CN219292157U - 晶圆双面刷洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于刷洗机技术领域，尤其为晶圆双面刷洗机，包括外壳、支架，外壳的内侧固定连接有伸缩气缸，伸缩气缸的外部固定连接有推板，推板的外部固定连接有电机，电机的外部固定连接有主轮，主轮的外部啮合有链条，链条的外部啮合有副轮，副轮的外部固定连接有转轴，转轴的一端转动连接有推板，转轴的另一端固定连接有毛刷，推板的外部设置有波纹管，波纹管的外部设置有水管，水管的外部设置有若干倾斜分布的喷头，支架的内侧滑动连接有夹板，夹板的外部固定连接有弹簧。该晶圆双面刷洗机，达到了可对圆晶两面进行刷洗的效果，从而提升对圆晶的刷洗效率，并且通过设置多组夹板，使得一次可对多个圆晶进行刷洗，进一步的提升刷洗效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及刷洗机技术领域，具体为晶圆双面刷洗机。
背景技术
圆晶，是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。
现有的圆晶在制造完成后需要对其进行清洗，这时需要用到刷洗机，而现有的刷洗机大多是单面刷洗的设计，这种方式导致刷洗效率较低。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了晶圆双面刷洗机，解决了现有的圆晶在制造完成后需要对其进行清洗，这时需要用到刷洗机，而现有的刷洗机大多是单面刷洗的设计，这种方式导致刷洗效率较低的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：晶圆双面刷洗机，包括外壳、支架，外壳的内侧固定连接有伸缩气缸，伸缩气缸的外部固定连接有推板，推板的外部固定连接有电机，电机的外部固定连接有主轮，主轮的外部啮合有链条，链条的外部啮合有副轮，副轮的外部固定连接有转轴，转轴的一端转动连接有推板，转轴的另一端固定连接有毛刷，推板的外部设置有波纹管，波纹管的外部设置有水管，水管的外部设置有若干倾斜分布的喷头，支架的内侧滑动连接有夹板，夹板的外部固定连接有弹簧，弹簧远离夹板的一端固定连接有支架。
作为本实用新型的一种优选技术方案，伸缩气缸有两组且每组均有两个，两组伸缩气缸均固定连接在外壳的内侧且两组伸缩气缸对称分布，推板有两个，两个推板分别与两组伸缩气缸固定连接，两个推板的规格尺寸相同且两个推板对称分布。
作为本实用新型的一种优选技术方案，电机的输出轴穿过推板与主轮固定连接，副轮有四个，四个副轮均与链条啮合且四个副轮的外部均固定连接有转轴，四个转轴的一端均转动连接在推板的外部且四个转轴的另一端均固定连接有毛刷，四个毛刷的规格尺寸相同。
作为本实用新型的一种优选技术方案，水管分布在推板的内侧。
作为本实用新型的一种优选技术方案，夹板有四组且每组均有两个，四组夹板均滑动连接在支架的内侧且每组两个夹板对称分布，四组夹板等间距分布，四组夹板的外部均设置有与圆晶规格尺寸相匹配的卡槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案，弹簧的数量与夹板相同，四组弹簧的一端均固定连接在支架的内侧且四组弹簧的另一端分别与四组夹板固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，外壳的外侧设置有两个对称分布的通孔，两个通孔的规格尺寸与支架相匹配。
作为本实用新型的一种优选技术方案，主轮、副轮均为链轮，电机输出轴底部的水管呈弯折分布，波纹管与外部的清洗液连通。
与现有技术相比，本实用新型提供了晶圆双面刷洗机，具备以下有益效果：
该晶圆双面刷洗机，通过设置支架、伸缩气缸、推板、电机、主轮、链条、副轮、转轴、毛刷、波纹管、水管、喷头、夹板、弹簧，使用时，使用者将圆晶放置在四组夹板之间并通过夹板对其进行夹持固定，之后通过通孔将支架插进外壳中，之后通过两组伸缩气缸带动两个推板运动，推板运动带动电机、转轴、毛刷、喷头运动，当两个推板运动到一定位置时两个推板外部的毛刷会与圆晶的两面接触，这时使用者可通过电机工作带动主轮转动，主轮转动通过链条带动副轮转动，副轮转动带动转轴转动，转轴转动带动毛刷转动，毛刷转动会对圆晶进行刷洗，在电机工作的同时，使用者可将清洗液通过波纹管、水管输送至喷头喷出，这时喷头会将清洗液喷至毛刷上，这时毛刷可对圆晶进行刷洗，达到了可对圆晶两面进行刷洗的效果，从而提升对圆晶的刷洗效率，并且通过设置多组夹板，使得一次可对多个圆晶进行刷洗，进一步的提升刷洗效率。
附图说明
图1为本实用新型剖视示意图；
图2为本实用新型俯剖示意图；
图3为本实用新型局部结构放大示意图；
图4为本实用新型A处结构放大示意图；
图5为本实用新型夹板三维示意图。
图中：1、外壳；2、支架；3、伸缩气缸；4、推板；5、电机；6、主轮；7、链条；8、副轮；9、转轴；10、毛刷；11、波纹管；12、水管；13、喷头；14、夹板；15、弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实施方案中：晶圆双面刷洗机，包括外壳1、支架2，外壳1的内侧固定连接有伸缩气缸3，伸缩气缸3的外部固定连接有推板4，推板4的外部固定连接有电机5，电机5的外部固定连接有主轮6，主轮6的外部啮合有链条7，链条7的外部啮合有副轮8，副轮8的外部固定连接有转轴9，转轴9的一端转动连接有推板4，转轴9的另一端固定连接有毛刷10，推板4的外部设置有波纹管11，波纹管11的外部设置有水管12，水管12的外部设置有若干倾斜分布的喷头13，支架2的内侧滑动连接有夹板14，夹板14的外部固定连接有弹簧15，弹簧15远离夹板14的一端固定连接有支架2。
伸缩气缸3有两组且每组均有两个，两组伸缩气缸3均固定连接在外壳1的内侧且两组伸缩气缸3对称分布，推板4有两个，两个推板4分别与两组伸缩气缸3固定连接，两个推板4的规格尺寸相同且两个推板4对称分布，使得使用者可通过两组伸缩气缸3带动两个推板4运动，从而为后续对支架2上的圆晶做刷洗准备，同时每组两个伸缩气缸3的设置，提升了推板4运动时的稳定性。
电机5的输出轴穿过推板4与主轮6固定连接，副轮8有四个，四个副轮8均与链条7啮合且四个副轮8的外部均固定连接有转轴9，四个转轴9的一端均转动连接在推板4的外部且四个转轴9的另一端均固定连接有毛刷10，四个毛刷10的规格尺寸相同，水管12分布在推板4的内侧，使得两个推板4运动到一定位置时两个推板4外部的毛刷10会与圆晶的两面接触，这时使用者可通过电机5工作带动主轮6转动，主轮6转动通过链条7带动副轮8转动，副轮8转动带动转轴9转动，转轴9转动带动毛刷10转动，毛刷10转动会对圆晶进行刷洗，在电机5工作的同时，使用者可将清洗液通过波纹管11、水管12输送至喷头13喷出，这时喷头13会将清洗液喷至毛刷10上，这时毛刷10可对圆晶进行刷洗。
夹板14有四组且每组均有两个，四组夹板14均滑动连接在支架2的内侧且每组两个夹板14对称分布，四组夹板14等间距分布，四组夹板14的外部均设置有与圆晶规格尺寸相匹配的卡槽，弹簧15的数量与夹板14相同，四组弹簧15的一端均固定连接在支架2的内侧且四组弹簧15的另一端分别与四组夹板14固定连接，使得使用者可拉动两个夹板14，之后将圆晶放置在两个夹板14之间，之后松开夹板14，这时圆晶会在弹簧15的影响下被夹板14固定，而多组夹板14的设置，使得一次可对多个圆晶进行固定，从而使得一次可对圆晶进行清洗，进而提升工作效率，外壳1的外侧设置有两个对称分布的通孔，两个通孔的规格尺寸与支架2相匹配，使得方便使用者将安装好的支架2穿进外壳1中，从而方便接下来的清洗。
本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，使用者将圆晶放置在四组夹板14之间并通过夹板14对其进行夹持固定，之后通过通孔将支架2插进外壳1中，之后通过两组伸缩气缸3带动两个推板4运动，推板4运动带动电机5、转轴9、毛刷10、喷头13运动，当两个推板4运动到一定位置时两个推板4外部的毛刷10会与圆晶的两面接触，这时使用者可通过电机5工作带动主轮6转动，主轮6转动通过链条7带动副轮8转动，副轮8转动带动转轴9转动，转轴9转动带动毛刷10转动，毛刷10转动会对圆晶进行刷洗，在电机5工作的同时，使用者可将清洗液通过波纹管11、水管12输送至喷头13喷出，这时喷头13会将清洗液喷至毛刷10上，这时毛刷10可对圆晶进行刷洗。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.晶圆双面刷洗机，包括外壳(1)、支架(2)，其特征在于：所述外壳(1)的内侧固定连接有伸缩气缸(3)，所述伸缩气缸(3)的外部固定连接有推板(4)，所述推板(4)的外部固定连接有电机(5)，所述电机(5)的外部固定连接有主轮(6)，所述主轮(6)的外部啮合有链条(7)，所述链条(7)的外部啮合有副轮(8)，所述副轮(8)的外部固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)的一端转动连接有推板(4)，所述转轴(9)的另一端固定连接有毛刷(10)，所述推板(4)的外部设置有波纹管(11)，所述波纹管(11)的外部设置有水管(12)，所述水管(12)的外部设置有若干倾斜分布的喷头(13)，所述支架(2)的内侧滑动连接有夹板(14)，所述夹板(14)的外部固定连接有弹簧(15)，所述弹簧(15)远离夹板(14)的一端固定连接有支架(2)。
2.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述伸缩气缸(3)有两组且每组均有两个，两组所述伸缩气缸(3)均固定连接在外壳(1)的内侧且两组伸缩气缸(3)对称分布，所述推板(4)有两个，两个所述推板(4)分别与两组伸缩气缸(3)固定连接，两个所述推板(4)的规格尺寸相同且两个推板(4)对称分布。
3.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述电机(5)的输出轴穿过推板(4)与主轮(6)固定连接，所述副轮(8)有四个，四个所述副轮(8)均与链条(7)啮合且四个副轮(8)的外部均固定连接有转轴(9)，四个所述转轴(9)的一端均转动连接在推板(4)的外部且四个转轴(9)的另一端均固定连接有毛刷(10)，四个所述毛刷(10)的规格尺寸相同。
4.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述水管(12)分布在推板(4)的内侧。
5.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述夹板(14)有四组且每组均有两个，四组所述夹板(14)均滑动连接在支架(2)的内侧且每组两个夹板(14)对称分布，四组所述夹板(14)等间距分布，四组所述夹板(14)的外部均设置有与圆晶规格尺寸相匹配的卡槽。
6.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述弹簧(15)的数量与夹板(14)相同，四组所述弹簧(15)的一端均固定连接在支架(2)的内侧且四组弹簧(15)的另一端分别与四组夹板(14)固定连接。
7.根据权利要求1所述的晶圆双面刷洗机，其特征在于：所述外壳(1)的外侧设置有两个对称分布的通孔，两个通孔的规格尺寸与支架(2)相匹配。
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