CN214378342U - 一种硅片表面清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片表面清洗装置,涉及硅片领域。该硅片表面清洗装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有放置座,所述底板的上表面固定连接有液压杆,所述液压杆的左侧固定连接有安装块,所述安装块的左侧固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有齿轮,所述液压杆的左侧固定连接有横梁,所述横梁的左端固定连接有水箱。该硅片表面清洗装置,通过电机、齿轮、水箱、管道、移动套、托环、固定杆、开孔、转板、齿轮环、刷毛、喷头和硅胶刮板的相互配合,达到可以对于硅片表面进行清扫、冲洗和刮除水渍,使得大大增加清洗效果,解决了现有的硅片表面清洗装置所采用的基本是单纯冲洗,此方式清洗效果不够洁净的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片技术领域,具体为一种硅片表面清洗装置。
背景技术
在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑,地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,硅片在生产后必须进行清洗,避免杂质影响硅片性能,现有的硅片表面清洗装置所采用的基本是单纯冲洗,此方式清洗效果不够洁净。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种硅片表面清洗装置,解决了现有的硅片表面清洗装置所采用的基本是单纯冲洗,此方式清洗效果不够洁净的问题。
技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种硅片表面清洗装置,包括底板,所述底板的上表面固定连接有放置座,所述底板的上表面固定连接有液压杆,所述液压杆的左侧固定连接有安装块,所述安装块的左侧固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有齿轮,所述液压杆的左侧固定连接有横梁,所述横梁的左端固定连接有水箱,所述水箱的下方设置有转板,所述转板的上表面开设有与下表面相连通的开孔,所述开孔的内部插接有管道,所述管道的顶端与水箱的底部出水口固定连接,所述管道的底端固定连接有喷头,所述转板的下表面固定连接有刷毛,所述转板的下表面固定连接有硅胶刮板,所述转板的外表面固定连接有齿轮环,所述齿轮环的右侧表面与齿轮的左侧啮合,所述水箱的表面固定连接有托环,所述水箱的表面套接有移动套,所述移动套的下表面与托环的上表面搭接,所述移动套的左右两侧均固定连接有固定杆,两个固定杆的底端均与转板的上表面固定连接。
进一步的,所述转板的外表面固定连接有限位环,所述限位环的数量为两个,两个限位环相对的一侧与齿轮相反的一侧搭接。
进一步的,所述底板的上表面固定连接有侧板,所述侧板的左侧开设有升降槽。
进一步的,所述升降槽的顶底内壁之间固定连接有竖杆。
进一步的,所述竖杆的表面套接有升降环,所述升降环的左侧与液压杆的右侧固定连接。
本实用新型提供了一种硅片表面清洗装置。具备以下有益效果:
1、该硅片表面清洗装置,通过电机、齿轮、水箱、管道、移动套、托环、固定杆、开孔、转板、齿轮环、刷毛、喷头和硅胶刮板的相互配合,达到可以对于硅片表面进行清扫、冲洗和刮除水渍,使得大大增加清洗效果,解决了现有的硅片表面清洗装置所采用的基本是单纯冲洗,此方式清洗效果不够洁净的问题。
2、该硅片表面清洗装置,通过侧板、升降槽、竖杆和升降环之间的相互配合,达到增加液压杆的稳固性,通过限位环的设置,达到增加齿轮环和齿轮之间的紧密性,避免齿轮环和齿轮分离。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型结构正视图。
其中,1底板、2液压杆、3横梁、4水箱、5安装块、6电机、7管道、8移动套、9托环、10固定杆、11开孔、12转板、13限位环、14齿轮环、15刷毛、16喷头、17硅胶刮板、18放置座、19齿轮、20侧板、21升降槽、22竖杆、23升降环。
具体实施方式
如图1-2所示,本实用新型实施例提供一种硅片表面清洗装置,包括底板1,底板1的上表面固定连接有放置座18,底板1的上表面固定连接有液压杆2,底板1的上表面固定连接有侧板20,侧板20的左侧开设有升降槽21,升降槽21的顶底内壁之间固定连接有竖杆22,竖杆22的表面套接有升降环23,升降环23的左侧与液压杆2的右侧固定连接。
液压杆2的左侧固定连接有安装块5,安装块5的左侧固定连接有电机6,电机6的输出端固定连接有齿轮19,液压杆2的左侧固定连接有横梁3,横梁3的左端固定连接有水箱4,水箱4的下方设置有转板12,转板12的外表面固定连接有限位环13,限位环13的数量为两个,两个限位环13相对的一侧与齿轮19相反的一侧搭接,转板12的上表面开设有与下表面相连通的开孔11,开孔11的内部插接有管道7,管道7的顶端与水箱4的底部出水口固定连接,管道7的底端固定连接有喷头16,转板12的下表面固定连接有刷毛15,转板12的下表面固定连接有硅胶刮板17,转板12的外表面固定连接有齿轮环14,齿轮环14的右侧表面与齿轮19的左侧啮合,水箱4的表面固定连接有托环9,水箱4的表面套接有移动套8,移动套8的下表面与托环9的上表面搭接,移动套8的左右两侧均固定连接有固定杆10,两个固定杆10的底端均与转板12的上表面固定连接。
工作原理:将硅片放入放置座18的内部,驱动液压杆2进行收缩,液压杆2带动各个部件向下移动,当刷毛15和硅胶刮板17与硅片表面接触即可,然后启动电机6和喷头16,喷头16会对于硅片表面进行冲洗,电机6会经过齿轮19带动齿轮环14进行转动,齿轮环14转动会带动转板12转动,转板12转动会带动刷毛15对于硅片表面清扫,而硅胶刮板17会跟随转板12转动对于硅片表面进行刮除水渍。
Claims (5)
1.一种硅片表面清洗装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上表面固定连接有放置座(18),所述底板(1)的上表面固定连接有液压杆(2),所述液压杆(2)的左侧固定连接有安装块(5),所述安装块(5)的左侧固定连接有电机(6),所述电机(6)的输出端固定连接有齿轮(19),所述液压杆(2)的左侧固定连接有横梁(3),所述横梁(3)的左端固定连接有水箱(4),所述水箱(4)的下方设置有转板(12),所述转板(12)的上表面开设有与下表面相连通的开孔(11),所述开孔(11)的内部插接有管道(7),所述管道(7)的顶端与水箱(4)的底部出水口固定连接,所述管道(7)的底端固定连接有喷头(16),所述转板(12)的下表面固定连接有刷毛(15),所述转板(12)的下表面固定连接有硅胶刮板(17),所述转板(12)的外表面固定连接有齿轮环(14),所述齿轮环(14)的右侧表面与齿轮(19)的左侧啮合,所述水箱(4)的表面固定连接有托环(9),所述水箱(4)的表面套接有移动套(8),所述移动套(8)的下表面与托环(9)的上表面搭接,所述移动套(8)的左右两侧均固定连接有固定杆(10),两个固定杆(10)的底端均与转板(12)的上表面固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洗装置,其特征在于:所述转板(12)的外表面固定连接有限位环(13),所述限位环(13)的数量为两个,两个限位环(13)相对的一侧与齿轮(19)相反的一侧搭接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片表面清洗装置,其特征在于:所述底板(1)的上表面固定连接有侧板(20),所述侧板(20)的左侧开设有升降槽(21)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片表面清洗装置,其特征在于:所述升降槽(21)的顶底内壁之间固定连接有竖杆(22)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片表面清洗装置,其特征在于:所述竖杆(22)的表面套接有升降环(23),所述升降环(23)的左侧与液压杆(2)的右侧固定连接。
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CN115213158A (zh) * | 2022-08-05 | 2022-10-21 | 无锡京运通科技有限公司 | 制备薄片化单晶硅片减投清洗剂的加药装置 |
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CN115213158B (zh) * | 2022-08-05 | 2023-08-11 | 无锡京运通科技有限公司 | 制备薄片化单晶硅片减投清洗剂的加药装置 |
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