CN219280023U - Pvd除尘装置及pvd镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电池镀膜技术领域，具体而言，涉及一种PVD除尘装置及PVD镀膜设备。PVD除尘装置包括第一运输组件、除尘组件以及负压机；第一运输组件用于沿预设方向输送载板；除尘组件与第一运输组件连接；除尘组件与负压机连通，且除尘组件正对于载板用于放置电池片的装载面，以形成对装载面进行除尘的负压区域。该PVD除尘装置能够对载板进行除尘，避免在载板的表面残留粉尘颗粒，从而能够避免粉尘落到待镀膜的硅片上对硅片造成污染，进而避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片的问题。

Description

PVD除尘装置及PVD镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及电池镀膜技术领域，具体而言，涉及一种PVD除尘装置及PVD镀膜设备。

背景技术

真空连续镀膜生产线，包括进口室、工艺室和出口室，在工艺腔镀膜时，除了硅片上会镀上膜外，在载板上也会形成膜层，由于载板是重复使用的结构，随着膜层厚度的增加，载板的表面以及侧边会产生疏松的粉尘颗粒，极易脱落；而进口室和出口室用于抽放气；当载板传送到进口室时，真空泵会进行快速抽气，此时，载板上放置有需要镀膜的硅片；当载板进入进口室后，真空泵开始抽气，气体与载板表面的运动摩擦会使得粉尘颗粒从载板上脱落，脱落的粉尘便会落到待镀膜的硅片上，从而对硅片造成污染；随着载板的进出腔体的次数增多，积累的粉尘也越来越多，粉尘造成会膜层污染越来越严重，造成电池片出现隐裂和破片等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PVD除尘装置及PVD镀膜设备，其能够对载板进行除尘，避免在载板的表面残留粉尘颗粒，从而能够避免粉尘落到待镀膜的硅片上对硅片造成污染，进而避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片的问题。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型提供一种PVD除尘装置，PVD除尘装置包括第一运输组件、除尘组件以及负压机；

第一运输组件用于沿预设方向输送载板；除尘组件与第一运输组件连接；除尘组件与负压机连通，且除尘组件正对于载板用于放置电池片的装载面，以形成对装载面进行除尘的负压区域。

在可选的实施方式中，除尘组件包括吸尘罩、安装板以及导气管；

吸尘罩与安装板连接，安装板与第一运输组件连接，导气管的两端分别与吸尘罩及负压机连通。

在可选的实施方式中，第一运输组件包括机架、输送带以及封板；

输送带及封板均与机架连接，封板位于输送带的正上方，且与输送带间隔；

安装板与封板连接，且吸尘罩的吸尘口与封板及输送带之间的区域连通。

在可选的实施方式中，吸尘罩位于封板与输送带之间。

在可选的实施方式中，PVD除尘装置包括多个除尘组件，多个除尘组件沿与预设方向呈夹角的方向布置；

沿与预设方向相垂直的方向，负压区域的宽度大于装载面的宽度。

在可选的实施方式中，沿与预设方向相垂直的方向，多个除尘组件错列布置。

在可选的实施方式中，PVD除尘装置还包括吹扫组件，吹扫组件用于朝向装载面的方向吹气；

其中，沿预设方向，吹扫组件位于除尘组件的前方。

在可选的实施方式中，吹扫组件包括正压机以及吹扫头，正压机与吹扫头连通，吹扫头与第一运输组件连接。

在可选的实施方式中，PVD除尘装置还包括第二运输组件以及转运机构；

转运机构用于将第一运输组件中经除尘组件除尘后的载板转运至第二运输组件。

在可选的实施方式中，第二运输组件位于第一运输组件的上方。

本实用新型提供一种PVD镀膜设备，包括上述的PVD除尘装置。

本实用新型实施例的有益效果包括：

该PVD除尘装置包括第一运输组件、除尘组件以及负压机；第一运输组件用于沿预设方向输送载板；除尘组件与第一运输组件连接；除尘组件与负压机连通，且除尘组件正对于载板用于放置电池片的装载面，以形成对装载面进行除尘的负压区域。

该PVD除尘装置能够在对硅片进行镀膜工作之前，对载板进行除尘，避免在载板的表面残留粉尘颗粒，从而能够避免粉尘落到待镀膜的硅片上对硅片造成污染，进而避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例中PVD除尘装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中除尘组件的结构示意图。

图标:200-PVD除尘装置；210-第一运输组件；220-除尘组件；230-负压机；201-载板；221-吸尘罩；222-安装板；223-导气管；211-机架；212-输送带；213-封板。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1，本实施例提供一种PVD除尘装置200，PVD除尘装置200包括第一运输组件210、除尘组件220以及负压机230；

第一运输组件210用于沿预设方向输送载板201；除尘组件220与第一运输组件210连接；除尘组件220与负压机230连通，且除尘组件220正对于载板201用于放置电池片的装载面，以形成对装载面进行除尘的负压区域。

请参照图1，该PVD除尘装置200的工作原理是：

该PVD除尘装置200包括第一运输组件210、除尘组件220以及负压机230；其中，第一运输组件210用于沿预设方向输送载板201，而且在输送载板201的过程中，由于除尘组件220正对于载板201用于放置电池片的装载面，进而能够在负压机230工作的前提下，通过除尘组件220形成对装载面进行除尘的负压区域，从而吸附位于载板201上的粉尘颗粒；

由此避免在载板201的表面残留粉尘颗粒，进而避免粉尘颗粒残留在载板201上对装载于载板201上的电池片的镀膜工作产生影响，由此提高电池片的镀膜质量，避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片。

需要说明的是，该PVD除尘装置200能够在对硅片进行镀膜工作之前，对载板201进行除尘，而且在除尘的过程中，载板201上未放置有电池片，即，该PVD除尘装置200的除尘流程是在取出载板201上完成镀膜的电池片的流程之后，以及在向载板201上放置待进行镀膜的电池片之前，从而能够通过这样的方式，避免载板201上出现粉尘残留，从而能够确保载板201在放置待进行镀膜的电池片之前均进行了除尘处理。

进一步地，请参照图1及图2，在本实施例中，在设置除尘组件220时，其目的是通过与负压机230连接，进而能够形成对载板201进行除尘处理的负压区域，由此，除尘组件220包括吸尘罩221、安装板222以及导气管223；吸尘罩221与安装板222连接，安装板222与第一运输组件210连接，导气管223的两端分别与吸尘罩221及负压机230连通。由此，通过上述的设置方式，便可通过安装板222将吸尘罩221连接于第一运输组件210，进而能够通过吸尘罩221吸附载板201上的粉尘颗粒。

在本实施例中，第一运输组件210包括机架211、输送带212以及封板213；输送带212及封板213均与机架211连接，封板213位于输送带212的正上方，且与输送带212间隔；安装板222与封板213连接，且吸尘罩221的吸尘口与封板213及输送带212之间的区域连通。

由此，通过这样的设置方式，使得吸尘罩221与输送带212的正上方的封板213连接，进而使得负压区域位于载板201的正上方，由此，便可通过吸尘罩221吸附载板201上的粉尘颗粒。需要说明的是，当吸尘罩221在吸附粉尘的过程中，通过输送带212能够驱动载板201沿预设方向运动，并在运动的过程中，经过负压区域，从而使得吸尘罩221能够对载板201进行除尘。而在本实施例中，为提高除尘的质量，故，吸尘罩221位于封板213与输送带212之间，从而能够缩小吸尘罩221与载板201的装载面之间的间距，使得负压区域的负压吸附作用能够更多的作用于载板201，由此提高除尘效果。

进一步地，请参照图1及图2，在本实施例中，为提高对载板201的除尘效果，故PVD除尘装置200包括多个除尘组件220，而且多个除尘组件220沿与预设方向呈夹角的方向布置；沿与预设方向相垂直的方向，负压区域的宽度大于装载面的宽度。需要说明的是，由于沿与预设方向相垂直的方向，负压区域的宽度大于装载面的宽度，进而能够确保载板201在输送带212的驱动作用下沿预设方向运输的过程中，其装载面均能够经过负压区域，从而能够对装载面的所有区域进行除尘，防止在装载面上出现被遗漏的区域。而且在本实施例中，为区别负压区域沿与预设方向相垂直的方向的宽度大于装载面的宽度，故，可以沿与预设方向相垂直的方向，多个除尘组件220错列布置。还需要说明的是，在本实用新型的其他实施例中，在设置多个除尘组件220时，在沿与预设方向相垂直的方向，使得负压区域的宽度大于装载面的宽度的前提下，还可以沿预设方向间隔排布除尘组件220，进而使得载板201沿预设方向运输的过程中会经过多道除尘的工序，从而提高除尘质量。

进一步地，请参照图1及图2，基于上述结构，在本实施例中，PVD除尘装置200还包括吹扫组件，吹扫组件用于朝向装载面的方向吹气；其中，沿预设方向，吹扫组件位于除尘组件220的前方。

由于吹扫组件位于除尘组件220的前方，使得载板201沿预设方向运输的过程中，会在经过吹扫组件后，再经过除尘组件220，即，该PVD除尘装置200在工作的过程中，会先对载板201进行吹扫，然后在对载板201进行除尘，从而能够通过这样的方式提高载板201的除尘效果。具体的，吹扫组件包括正压机以及吹扫头，正压机与吹扫头连通，吹扫头与第一运输组件210连接。

基于上述内容，在本实施例中，PVD除尘装置200还包括第二运输组件以及转运机构；转运机构用于将第一运输组件210中经除尘组件220除尘后的载板201转运至第二运输组件。而且第二运输组件位于第一运输组件210的上方。

由此，请参照图1及图2，该PVD除尘装置200中的单个载板201在完成一次镀膜循环流程的工作过程如下：

载板201在第一运输组件210上运行时，输送带212会驱动载板201沿预设方向依次经过吹扫组件及除尘组件220；其中，当经过吹扫组件时，吹扫组件能够对载板201的装载面进行吹扫，以减少载板201的装载面上的粉尘；随后在经过除尘组件220时，吸尘罩221能够吸附残留于载板201的装载面上的粉尘，以此能够避免粉尘残留在载板201的装载面；

在载板201完成除尘后，转运机构便会将第一运输组件210中经除尘组件220除尘后的载板201转运至第二运输组件；

第二运输组件接收到载板201后，便可根据镀膜生产线的处理流程在载板201上放置待镀膜电池片，并对其进行镀膜；

在取出载板201上完成镀膜的电池片的流程之后，载板201会回送至第一运输组件210，由此，载板201的一个镀膜循环流程结束。

请参照图1及图2，该PVD除尘装置200具备以下优点：

该PVD除尘装置200能够在取出载板201上完成镀膜的电池片的流程之后，以及在向载板201上放置待进行镀膜的电池片之前，对载板201进行除尘操作，从而能够通过这样的方式，避免载板201上出现粉尘残留，从而能够确保载板201在放置待进行镀膜的电池片之前均进行了除尘处理。由此避免在载板201的表面残留粉尘颗粒，进而避免粉尘颗粒残留在载板201上对装载于载板201上的电池片的镀膜工作产生影响，由此提高电池片的镀膜质量，避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片。

基于上述内容，本实用新型还提供一种PVD镀膜设备，包括上述的PVD除尘装置200。该PVD镀膜设备通过采用前述内容的PVD除尘装置200，便可在载板201在第一运输组件210上运行时，对载板201的装载面进行吹扫，以减少载板201的装载面上的粉尘；随后在经过除尘组件220时，吸尘罩221能够吸附残留于载板201的装载面上的粉尘，以此能够避免粉尘残留在载板201的装载面；

在载板201完成除尘后，转运机构便会将第一运输组件210中经除尘组件220除尘后的载板201转运至第二运输组件；第二运输组件接收到载板201后，便可根据PVD镀膜设备的处理流程在载板201上放置待镀膜电池片，并对其进行镀膜；在取出载板201上完成镀膜的电池片的流程之后，载板201会回送至第一运输组件210，由此，载板201的一个镀膜循环流程结束。

由此，该PVD镀膜设备能够确保载板201在放置待进行镀膜的电池片之前均进行了除尘处理，由此避免在载板201的表面残留粉尘颗粒，进而避免粉尘颗粒残留在载板201上对装载于载板201上的电池片的镀膜工作产生影响，由此提高电池片的镀膜质量，避免电池片因粉尘而出现隐裂或破片。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种PVD除尘装置，其特征在于：

所述PVD除尘装置包括第一运输组件、除尘组件以及负压机；

所述第一运输组件用于沿预设方向输送载板；所述除尘组件与所述第一运输组件连接；所述除尘组件与所述负压机连通，且所述除尘组件正对于所述载板用于放置电池片的装载面，以形成对所述装载面进行除尘的负压区域；

所述除尘组件包括吸尘罩、安装板以及导气管；

所述吸尘罩与所述安装板连接，所述安装板与所述第一运输组件连接，所述导气管的两端分别与所述吸尘罩及所述负压机连通。

2.根据权利要求1所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述第一运输组件包括机架、输送带以及封板；

所述输送带及所述封板均与所述机架连接，所述封板位于所述输送带的正上方，且与所述输送带间隔；

所述安装板与所述封板连接，且所述吸尘罩的吸尘口与所述封板及所述输送带之间的区域连通。

3.根据权利要求2所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述吸尘罩位于所述封板与所述输送带之间。

4.根据权利要求1所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述PVD除尘装置包括多个所述除尘组件，多个所述除尘组件沿与所述预设方向呈夹角的方向布置；

沿与所述预设方向相垂直的方向，所述负压区域的宽度大于所述装载面的宽度。

5.根据权利要求4所述的PVD除尘装置，其特征在于：

沿与所述预设方向相垂直的方向，多个所述除尘组件错列布置。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述PVD除尘装置还包括吹扫组件，所述吹扫组件用于朝向所述装载面的方向吹气；

其中，沿所述预设方向，所述吹扫组件位于所述除尘组件的前方。

7.根据权利要求6所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述吹扫组件包括正压机以及吹扫头，所述正压机与所述吹扫头连通，所述吹扫头与所述第一运输组件连接。

8.根据权利要求1-5中任意一项所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述PVD除尘装置还包括第二运输组件以及转运机构；

所述转运机构用于将所述第一运输组件中经所述除尘组件除尘后的所述载板转运至所述第二运输组件。

9.根据权利要求8所述的PVD除尘装置，其特征在于：

所述第二运输组件位于所述第一运输组件的上方。

10.一种PVD镀膜设备，其特征在于：

所述PVD镀膜设备包括如权利要求1-9中任意一项所述的PVD除尘装置。

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