CN219265159U - 一种气体管路的固定测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种气体管路的固定测量装置，包括移动基座、平面固定单元、平行移动单元、旋转机构、白板和参数测量单元；所述平面固定单元位于移动基座上表面的中部区域，用于将气体管路平行固定在移动基座上；所述平行移动单元安装在移动基座上表面；所述白板通过旋转机构翻转安装在平行移动单元上，沿移动基座上表面水平竖向移动，且在外力作用下向下翻转以从上方固定平行固定在移动基座上的气体管路，或者向上翻转以远离气体管路；所述参数测量单元包括量角器。本实用新型能够实现不同尺寸的气体管路的尺寸测量，提高气体管路的测量精确性。

Description

一种气体管路的固定测量装置

技术领域

本实用新型属于气体管路测量技术领域，具体涉及一种气体管路的固定测量装置。

背景技术

当前，半导体产业正处于高速发展时期。在半导体生产过程中不可或缺的引入多样性的气体，针对于气体管路尺寸的精确性与标准化提出了更高的要求，以适应于不断发展的装备需求。

目前，各生产企业对于气体管路质量管理在某些方面，还停留在目视测量阶段，如多折弯气体管道空间尺寸的测量。缺点：零件移动不便且占据空间较大，对于空间尺寸，只能才能目视基准点测量，造成测量误差，使得不合格品流入生产。因其在目视测量过程中存在较大的误差，且不符合各企业对于产品质量把控的要求。一旦尺寸不符的气体管路流入安装过程，将会造成气体管路安装的不匹配，带来工时及领取物料的延误时间，造成交货延期和生产成本的双重损失；严重还会影响到半导体高精密设备的性能，给企业带来负面影响。

随着半导体装备行业的日益发展，针对气体管路提出愈来愈高的要求，例如：气体管路的复杂性、多样性、普适性。气体管路的应用不仅仅涉及到厂房，还会应用于机台安装。为了节省厂房的空间和规范性，管路需满足不同位置的需要；而对于机台端，气体管路的安装会涉及到VMB(Valve Manifold Box)、gasbox、chamber等多个部位，不同部位的协同与配合，对气体管路的安装尺寸提出严苛的要求，以节省成本和工作空间，提高产品的竞争力。

所以在当前半导体装备日益发展的情况下，如何提高气体管路的测量精确性已经成为亟需解决的技术问题。

实用新型内容

解决的技术问题：本实用新型提出一种气体管路的固定测量装置，能够实现不同尺寸(长，宽，高，角度-涉及平面和空间两种类型)的气体管路的尺寸测量，提高气体管路的测量精确性，能够有效地规范气体管路的测量和标准化，能够合理地利用工作空间和设备安装的准确性，能够有效提高设备生产商的产品竞争力，能够节省生产成本和提升质量管理的高效准确性。

技术方案：

一种气体管路的固定测量装置，所述固定测量装置包括移动基座、平面固定单元、平行移动单元、旋转机构、白板和参数测量单元；

所述平面固定单元位于移动基座上表面的中部区域，用于将气体管路平行固定在移动基座上；

所述平行移动单元安装在移动基座上表面；所述白板通过旋转机构翻转安装在平行移动单元上，沿移动基座上表面水平竖向移动，且在外力作用下向下翻转以从上方固定平行固定在移动基座上的气体管路，或者向上翻转以远离气体管路；

所述参数测量单元包括量角器。

进一步地，所述量角器通过连接器连接在白板上。

进一步地，所述参数测量单元还包括单束激光笔。

进一步地，所述激光笔通过连接器连接在白板上。

进一步地，所述平面固定单元包括首尾相互连接的直线移动槽和半弧形移动槽、以及位于直线移动槽和半弧形移动槽中的三枚卡扣装置。

进一步地，其中两枚卡扣装置安装在直线移动槽内，沿直线移动槽水平横向移动；另一枚卡扣装置安装在半弧形移动槽内，沿半弧形移动槽水平弧形移动。

进一步地，所述卡扣装置包括可移动卡扣基座和旋转卡扣；所述可移动卡扣基座竖直安装在直线移动槽或者半弧形移动槽上，沿直线移动槽或者半弧形移动槽移动；所述旋转卡扣安装在可移动卡扣基座远离直线移动槽或者半弧形移动槽的端部，在外力作用下以可移动卡扣基座端部为旋转面进行水平旋转。

进一步地，所述旋转卡扣的旋转角度为0度-360度。

进一步地，所述旋转卡扣呈半弧型。

进一步地，所述旋转卡扣为弹性件。

进一步地，所述半弧形移动槽的边缘上设置有角度刻度。

进一步地，所述平行移动单元包括分别位于移动基座上表面两侧的两个平行移动槽；

所述白板连接有两个旋转机构，两个旋转机构一一对应地安装在两个平行移动槽内。

进一步地，所述固定测量装置安装在移动装置上，移动装置包括台面基座和移动轮；

所述台面基座上设置有基座移动槽，移动基座通过移动轮安装在基座移动槽内，沿基座移动槽水平竖向移动。

进一步地，所述移动基座的侧面安装有拉手槽。

进一步地，所述移动轮采用自由转向轮，移动基座在外力作用下以移动轮为轴心进行水平旋转。

有益效果：

本实用新型提出的气体管路的固定测量装置，能够实现不同尺寸(长，宽，高，角度-涉及平面和空间两种类型)的气体管路的尺寸测量，提高气体管路的测量精确性，能够有效地规范气体管路的测量和标准化，能够合理地利用工作空间和设备安装的准确性，能够有效提高设备生产商的产品竞争力，能够节省生产成本和提升质量管理的高效准确性。

附图说明

图1为本实用新型实施例的气体管路的固定测量装置结构示意图；

图2为卡扣装置结构示意图；

图3为移动装置结构示意图；

图4为本实用新型实施例的气体管路的固定测量装置的应用流程图。

具体实施方式

下面的实施例可使本专业技术人员更全面地理解本实用新型，但不以任何方式限制本实用新型。

参见图1，本实施例公开了一种气体管路的固定测量装置，所述固定测量装置包括移动基座3、平面固定单元、平行移动单元、旋转机构4、白板7和参数测量单元。

所述平面固定单元位于移动基座3上表面的中部区域，用于将气体管路平行固定在移动基座3上。

所述平行移动单元安装在移动基座3上表面；所述白板7通过旋转机构4翻转安装在平行移动单元上，沿移动基座3上表面水平竖向移动，且在外力作用下向下翻转以从上方固定平行固定在移动基座3上的气体管路，或者向上翻转以远离气体管路。

所述参数测量单元包括量角器8。

本实施例的固定测量装置同样适用于多折弯气体管路的复杂尺寸测量。具体地，将气体管路通过平面固定单元固定在移动基座3上，实现平面层面上的气体管路固定；再移动并旋转白板7，使白板7从上方对气体管路进行空间层面上的固定。当固定好气体管路后，再利用量角器8等工具对气体管路的尺寸、角度等参数进行测量。

作为一种优选例，所述参数测量单元还包括单束激光笔9。单束激光笔9用于提供垂足点，单束激光笔9垂直于尺寸一端放置，光束由测量零件一端直射在白板7上，并使用记号笔做垂足点，实现尺寸由空间转换为平面，避免目测造成误差。更加优选的，所述量角器8和单束激光笔9都通过连接器连接在白板7上，方便取用和收纳。

作为一种优选例，所述平行移动单元包括分别位于移动基座3上表面两侧的两个平行移动槽5；所述白板7连接有两个旋转机构4，两个旋转机构4一一对应地安装在两个平行移动槽5内。两个移动基座3分别位于平行移动槽5内，移动基座3上端含有旋转机构4，用于连接白板7；利用平行移动槽5内的滚轮6进行前后的移动，带动白板7的位置，实现测量零件距离人员的远近。旋转机构4可以实现0-180°的角度位置，实现白板7位置的变换。白板7有两个功能，分别是管路固定和标记作点功能。

参见图1，所述平面固定单元包括首尾相互连接的直线移动槽1和半弧形移动槽2、以及位于直线移动槽1和半弧形移动槽2中的三枚卡扣装置10。其中两枚卡扣装置10安装在直线移动槽1内，沿直线移动槽1水平横向移动；另一枚卡扣装置10安装在半弧形移动槽2内，沿半弧形移动槽2水平弧形移动。在本实施例中，利用三个卡扣装置10和白板7协同应用于气体管路直径的固定。卡扣装置10可以应用于不同直径的管路的固定。

具体地，直线移动槽1内有两个可以移动的360°旋转的卡扣装置10；半弧形移动槽2内有一个可以移动的360°旋转的卡扣装置10。卡扣装置10可以在移动基座3上实现360°任一角度旋转，满足在同一平面上存在角度的气体管路的固定需求；直线移动槽1内的两个卡扣装置10，用于限制测量管路的自由度，只保留了X移动和X转动自由度；根据管路的尺寸不同，调整半弧形移动槽2内的卡扣装置10；3个卡扣装置10结合，实现6个自由度限制，即实现平面管路固定。直线移动槽1内两个卡扣装置10和白板7协同，实现空间位置固定。直线移动槽1和半弧形移动槽2通过卡扣装置10的可移动卡扣基座在移动槽内位置变换，满足测量管路的不同尺寸。

参见图2，所述卡扣装置10包括可移动卡扣基座101和旋转卡扣102；卡扣装置10分为上下结构：上部位为旋转卡扣102，下部位为可移动卡扣基座101，于基座中间部位进行上下部位的连接，来满足卡扣的360°的旋转。所述可移动卡扣基座101竖直安装在直线移动槽1或者半弧形移动槽2上，沿直线移动槽1或者半弧形移动槽2移动；所述旋转卡扣102安装在可移动卡扣基座远离直线移动槽1或者半弧形移动槽2的端部，在外力作用下以可移动卡扣基座101端部为旋转面进行水平旋转。卡扣装置10可选用具有弹性变形的材料，也可以进行机构上的改进，来满足测量不同直径的需求。

优选的，所述半弧形移动槽2的边缘上设置有角度刻度。例如，在固定台面的半弧形槽边缘刻上设置180°度数，协同便携式量角器8，满足管道空间角度的测量。

作为一种优选例，参见图3，所述固定测量装置安装在移动装置上，移动装置包括台面基座12和移动轮13；所述台面基座上设置有基座移动槽，移动基座3通过移动轮13安装在基座移动槽内，沿基座移动槽水平竖向移动。移动装置用于依据人员臂长，实现固定台面的前后移动，满足不同人员臂长需要，提高工作的舒适性。为了便于拉取所述移动基座3的侧面安装有拉手槽11。移动装置置于工作台面，可以实现测量装置的位置更改，不仅仅局限于同一工作场地。优选的，所述移动轮13采用自由转向轮，移动基座3在外力作用下以移动轮13为轴心进行水平旋转，从而支撑固定台面和实现固定台面360°旋转，省却了测量尺寸时人员反复翻转零件的步骤，节省了时间。

气体管路固定测量装置操作流程图如图4所示。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，应视为本实用新型的保护范围。

Claims (15)

1.一种气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述固定测量装置包括移动基座、平面固定单元、平行移动单元、旋转机构、白板和参数测量单元；

所述平面固定单元位于移动基座上表面的中部区域，用于将气体管路平行固定在移动基座上；

所述平行移动单元安装在移动基座上表面；所述白板通过旋转机构翻转安装在平行移动单元上，沿移动基座上表面水平竖向移动，且在外力作用下向下翻转以从上方固定平行固定在移动基座上的气体管路，或者向上翻转以远离气体管路；

所述参数测量单元包括量角器。

2.根据权利要求1所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述量角器通过连接器连接在白板上。

3.根据权利要求1所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述参数测量单元还包括单束激光笔。

4.根据权利要求3所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述激光笔通过连接器连接在白板上。

5.根据权利要求1所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述平面固定单元包括首尾相互连接的直线移动槽和半弧形移动槽、以及位于直线移动槽和半弧形移动槽中的三枚卡扣装置。

6.根据权利要求5所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，其中两枚卡扣装置安装在直线移动槽内，沿直线移动槽水平横向移动；另一枚卡扣装置安装在半弧形移动槽内，沿半弧形移动槽水平弧形移动。

7.根据权利要求5所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述卡扣装置包括可移动卡扣基座和旋转卡扣；

所述可移动卡扣基座竖直安装在直线移动槽或者半弧形移动槽上，沿直线移动槽或者半弧形移动槽移动；所述旋转卡扣安装在可移动卡扣基座远离直线移动槽或者半弧形移动槽的端部，在外力作用下以可移动卡扣基座端部为旋转面进行水平旋转。

8.根据权利要求7所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述旋转卡扣的旋转角度为0度-360度。

9.根据权利要求7所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述旋转卡扣呈半弧型。

10.根据权利要求7所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述旋转卡扣为弹性件。

11.根据权利要求5所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述半弧形移动槽的边缘上设置有角度刻度。

12.根据权利要求1所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述平行移动单元包括分别位于移动基座上表面两侧的两个平行移动槽；

所述白板连接有两个旋转机构，两个旋转机构一一对应地安装在两个平行移动槽内。

13.根据权利要求1所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述固定测量装置安装在移动装置上，移动装置包括台面基座和移动轮；

所述台面基座上设置有基座移动槽，移动基座通过移动轮安装在基座移动槽内，沿基座移动槽水平竖向移动。

14.根据权利要求13所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述移动基座的侧面安装有拉手槽。

15.根据权利要求13所述的气体管路的固定测量装置，其特征在于，所述移动轮采用自由转向轮，移动基座在外力作用下以移动轮为轴心进行水平旋转。

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