CN219260174U - 一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，所述微型气泵安装在中间盒的上表面，所述微型气泵的右侧设置有冷却盒，所述盖子的内部开设有散气孔，所述冷却盒的内部设置有水袋，所述中间盒的上表面前后两端均固定有侧板，所述把手固定在侧板的上表面。该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，利用2组空心壳快速固定基片，气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员。

Description

一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜机相关技术领域，具体为一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置。

背景技术

通过溅射镀膜机对物体进行镀膜，在溅射镀膜机内被涂覆的物体称基板、基片或基体，镀膜结束后，需要转运结构移动基片，如授权公告号为CN109300831B的中国发明专利公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置，手持把手，进行基片的转运，抽拉拉杆，抽出热气，使得基片散热；

但需要工作人员手动抽拉拉杆，散热效率有待提高，抽出的热气直接流出，会烫伤工作人员。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，以解决上述背景技术中提出的散热效率有待提高、热气直接流出烫伤工作人员的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板、微型气泵和把手，所述安装板的左侧面固定有自带蓄电结构的马达，且马达的输出端固定连接有反向丝杆，所述反向丝杆的右端转动安装在安装板的右端，所述反向丝杆的外端螺纹连接有移动板，且移动板的下表面固定有空心壳，所述空心壳的内侧面粘贴连接有导热硅胶，所述安装板的上表面固定有中间盒，所述微型气泵安装在中间盒的上表面，且微型气泵的输出端连接有隔热管道，所述中间盒通过软管与空心壳相连接，所述微型气泵的右侧设置有冷却盒，且冷却盒的右端卡合安装有盖子，所述盖子的内部开设有散气孔，所述冷却盒的内部设置有水袋，且水袋的顶端固定有吊环，所述中间盒的上表面前后两端均固定有侧板，所述把手固定在侧板的上表面。

优选的，所述移动板通过反向丝杆与安装板构成滑动结构，且移动板关于反向丝杆的中心线对称设置。

优选的，所述微型气泵输出端的管道末端穿过冷却盒的左端插入冷却盒的内部。

优选的，所述水袋通过吊钩挂在冷却盒的内部。

优选的，所述空心壳的内端和导热硅胶的内部均开设有穿孔。

优选的，所述把手的顶端安装有隔热套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，利用2组空心壳快速固定基片，气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员；

1.设置有反向丝杆、移动板和空心壳，反向丝杆的旋转带动移动板和空心壳移动，利用2组空心壳快速固定基片；

2.设置有空心壳、导热硅胶和穿孔，空心壳和导热硅胶的内部均开设有穿孔，抽气散热时，热气通过均匀设置的穿孔流走，快速散热；

3.设置有冷却盒和水袋，散热时，抽出的气体通过微型气泵的输出端流向冷却盒，热气与水袋内的冷水换热后，降低温度的热气从冷却盒内流出，散热过程中，降低热气温度，避免热气烫伤工作人员。

附图说明

图1为本实用新型正视剖切结构示意图；

图2为本实用新型侧视剖切结构示意图；

图3为本实用新型盖子整体结构示意图；

图4为本实用新型水袋整体结构示意图。

图中：1、安装板；2、马达；3、反向丝杆；4、移动板；5、空心壳；6、导热硅胶；7、穿孔；8、中间盒；9、微型气泵；10、隔热管道；11、软管；12、冷却盒；13、盖子；14、散气孔；15、水袋；16、侧板；17、把手。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板1、马达2、反向丝杆3、移动板4、空心壳5、导热硅胶6、穿孔7、中间盒8、微型气泵9、隔热管道10、软管11、冷却盒12、盖子13、散气孔14、水袋15、侧板16和把手17，如图1和图2所示，安装板1的上表面固定有中间盒8，中间盒8的上表面前后两端均固定有侧板16，把手17固定在侧板16的上表面，把手17的顶端安装有隔热套，使用时，将手放在把手17的隔热套上，拿起该基片转运装置，将该基片转运装置插入溅射镀膜机内；

打开微型气泵9，在微型气泵9的作用下，溅射镀膜机内的热气通过穿孔7流向空心壳5，然后流向软管11、中间盒8、隔热管道10，经过微型气泵9的输出管道流向冷却盒12，热气与水袋15内部冷却水换热后，降低空气温度，避免热空气烫伤工作人员的手；

图1中的2组空心壳5和导热硅胶6分别位于需要转运的基片外侧，打开安装板1的左侧面固定有自带蓄电结构的马达2，马达2的输出端固定连接有反向丝杆3，马达2带动反向丝杆3旋转，从而与反向丝杆3螺纹连接的移动板4移动，进而移动板4的下表面固定的空心壳5移动，通过2组空心壳5和导热硅胶6固定基片，导热硅胶6与基片接触，使得基片快速散热；

夹住基片，移动过程中，微型气泵9继续工作，抽取基片上的热气，使得基片快速散热，水袋15的顶端固定有吊环，水袋15通过吊钩挂在冷却盒12的内部，取下卡合安装在冷却盒12右端的盖子13，然后取出水袋15，再将水袋15放入冰箱内冷冻，以便下次使用，马达2和微型气泵9部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，以上便完成该便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置的一系列操作，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，包括安装板（1）、微型气泵（9）和把手（17），其特征在于：所述安装板（1）的左侧面固定有自带蓄电结构的马达（2），且马达（2）的输出端固定连接有反向丝杆（3），所述反向丝杆（3）的右端转动安装在安装板（1）的右端，所述反向丝杆（3）的外端螺纹连接有移动板（4），且移动板（4）的下表面固定有空心壳（5），所述空心壳（5）的内侧面粘贴连接有导热硅胶（6），所述安装板（1）的上表面固定有中间盒（8），所述微型气泵（9）安装在中间盒（8）的上表面，且微型气泵（9）的输出端连接有隔热管道（10），所述中间盒（8）通过软管（11）与空心壳（5）相连接，所述微型气泵（9）的右侧设置有冷却盒（12），且冷却盒（12）的右端卡合安装有盖子（13），所述盖子（13）的内部开设有散气孔（14），所述冷却盒（12）的内部设置有水袋（15），且水袋（15）的顶端固定有吊环，所述中间盒（8）的上表面前后两端均固定有侧板（16），所述把手（17）固定在侧板（16）的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，其特征在于：所述移动板（4）通过反向丝杆（3）与安装板（1）构成滑动结构，且移动板（4）关于反向丝杆（3）的中心线对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，其特征在于：所述微型气泵（9）输出端的管道末端穿过冷却盒（12）的左端插入冷却盒（12）的内部。

4.根据权利要求1所述的一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，其特征在于：所述水袋（15）通过吊钩挂在冷却盒（12）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，其特征在于：所述空心壳（5）的内端和导热硅胶（6）的内部均开设有穿孔（7）。

6.根据权利要求1所述的一种便于散热的溅射镀膜机用基片转运装置，其特征在于：所述把手（17）的顶端安装有隔热套。

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