CN219239840U - 一种氧化炉内惰性气体喷淋装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，其包括：进气管接头、第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管同心设置在第二喷淋管中，所述进气管接头垂直贯穿第二喷淋管并与第一喷淋管相连接，所述第一喷淋管顶部间隔设置有第一喷淋孔，所述第一喷淋管两侧分别设置有延伸至第二喷淋管内壁的喷淋板，所述喷淋板上间隔设置有第二喷淋孔，所述第二喷淋管底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口。本实用新型所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，提升了惰性气体喷淋的均匀性，而且结构相对简洁，加工难道低。
Description
技术领域
本实用新型涉及氧化炉领域，尤其涉及一种氧化炉内惰性气体喷淋装置。
背景技术
氧化炉是一种半导体晶片加工设备，通过氧化炉的加工，在半导体晶片的表面形成氧化层，进行半导体晶片的表面保护。
在氧化炉进行半导体晶片的加工过程中，可以向炉内导入惰性气体进行保护。为了提升惰性气体的分布均匀性，申请号为2017209024458的专利中公开了一种均匀喷淋的光伏硅片石英扩散炉，在喷淋管的管壁开有多个喷淋孔，距离石英扩散炉头部较近的喷淋孔的直径大于距离石英扩散炉尾部较近的喷淋孔的直径，期望解决喷淋管喷淋不均匀的问题。由于喷淋孔的直径和距离难以精准设定，实难达到上述专利所述的惰性气体均匀喷淋效果。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，提升惰性气体喷淋均匀性，降低加工难度。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，包括：进气管接头、第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管同心设置在第二喷淋管中，所述进气管接头垂直贯穿第二喷淋管并与第一喷淋管相连接，所述第一喷淋管顶部间隔设置有第一喷淋孔，所述第一喷淋管两侧分别设置有延伸至第二喷淋管内壁的喷淋板，所述喷淋板上间隔设置有第二喷淋孔，所述第二喷淋管底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口。
其中，所述进气管接头连接在第一喷淋管长度方向的中部。
其中，所述第二喷淋管的内壁中内凹设置有与喷淋板对应的卡槽。
其中，所述第一喷淋管两端分别设置有与第二喷淋管对应的封堵板。
其中，所述喷淋板沿第一喷淋管的径向水平延伸至卡槽中。
其中，所述第一喷淋管的外径小于第二喷淋管的外径。
本实用新型的有益效果：一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，惰性气体通过进气管接头导入第一喷淋管，利用第一喷淋管顶部的第一喷淋孔喷向第二喷淋管内腔上部，进行第一次喷淋，第二喷淋管中的气体通过喷淋板上的第二喷淋孔喷向第二喷淋管的内腔下部，进行第二次喷淋，在第二喷淋管的内腔下部混合后再通过喷淋口喷向下方，提升了惰性气体喷淋的均匀性，而且结构相对简洁，加工和维护的成本低。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的A-A向剖视图。
具体实施方式
下面结合图1至图2并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1所示的氧化炉内惰性气体喷淋装置，包括：进气管接头3、第一喷淋管1和第二喷淋管2，第二喷淋管2水平安装在氧化炉内，为氧化炉进行惰性气体的喷淋。
将所述第一喷淋管1同心设置在第二喷淋管2中，在本实施例中，所述第一喷淋管1的外径小于第二喷淋管2的外径，组装便利。所述第一喷淋管1两端分别设置有与第二喷淋管2对应的封堵板9，封堵板9可以先焊接固定在第一喷淋管1的端部，边缘再与第二喷淋管2焊接，提升第一喷淋管1和第二喷淋管2的端部气密性。
将所述进气管接头3垂直贯穿第二喷淋管2并与第一喷淋管1相连接，在本实施例中，所述进气管接头3连接在第一喷淋管1长度方向的中部，进气管接头3外接惰性气体供应管道，使得惰性气体通过进气管接头3导入第一喷淋管1中部，并向两侧流动。
如图2所示，所述第一喷淋管1顶部间隔设置有第一喷淋孔7，第一喷淋孔7沿第一喷淋管1的长度方向间隔分布。第一喷淋管1中的惰性气体利用第一喷淋管1顶部的第一喷淋孔7喷向第二喷淋管2内腔上部，进行第一次喷淋。
在所述第一喷淋管1两侧分别设置有延伸至第二喷淋管2内壁的喷淋板4，喷淋板4与第一喷淋管1侧面焊接固定，结构稳定。在本实施例中，所述第二喷淋管2的内壁中内凹设置有与喷淋板4对应的卡槽8，所述喷淋板4沿第一喷淋管1的径向水平延伸至卡槽8中，组装便利，减少喷淋板4的边缘漏气问题，有利于提升第二喷淋管2中喷淋板4上方惰性气体的分布均匀性。
如图1所示，所述喷淋板4上间隔设置有第二喷淋孔5，第二喷淋管2中喷淋板4上方的惰性气体通过第二喷淋孔5向下喷向第二喷淋管2的内腔下部，进行第二次喷淋，并在进一步提升第二喷淋管2内腔下部惰性气体的分布均匀性。
如图2所示，所述第二喷淋管2底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口6，第二喷淋管2内腔下部混合均匀的惰性气体通过狭长的喷淋口6向下喷出，形成均匀的气帘，提升了氧化炉内惰性气体的喷淋均匀性。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (6)
1.一种氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，包括：进气管接头、第一喷淋管和第二喷淋管，所述第一喷淋管同心设置在第二喷淋管中，所述进气管接头垂直贯穿第二喷淋管并与第一喷淋管相连接，所述第一喷淋管顶部间隔设置有第一喷淋孔，所述第一喷淋管两侧分别设置有延伸至第二喷淋管内壁的喷淋板，所述喷淋板上间隔设置有第二喷淋孔，所述第二喷淋管底部设置有沿长度方向延伸的喷淋口。
2.根据权利要求1所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，所述进气管接头连接在第一喷淋管长度方向的中部。
3.根据权利要求1所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，所述第二喷淋管的内壁中内凹设置有与喷淋板对应的卡槽。
4.根据权利要求1所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋管两端分别设置有与第二喷淋管对应的封堵板。
5.根据权利要求3所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，所述喷淋板沿第一喷淋管的径向水平延伸至卡槽中。
6.根据权利要求1所述的氧化炉内惰性气体喷淋装置，其特征在于，所述第一喷淋管的外径小于第二喷淋管的外径。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202320799930.2U CN219239840U (zh) | 2023-04-12 | 2023-04-12 | 一种氧化炉内惰性气体喷淋装置 |
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Publications (1)
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| CN219239840U true CN219239840U (zh) | 2023-06-23 |
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Family Applications (1)
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2023
- 2023-04-12 CN CN202320799930.2U patent/CN219239840U/zh active Active
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