CN219225001U - 一种高效率全自动晶圆测试探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效率全自动晶圆测试探针台，涉及晶圆测试探针台技术领域，放置上板块，其设置在固定底板的上方，并且放置上板块的中间位置处设置有预留圆凹槽，并且预留圆凹槽的一侧设置有活动方块；传感器固定块，其设置在活动方块的一侧，且传感器固定块与活动方块通过连接转轴柱转动连接，并且传感器固定块的内部设置有测距传感器，并且辅助支撑架内部的一侧设置有辅助照明机构，并且测距传感器与辅助照明机构通过电性连接，该种高效率全自动晶圆测试探针台通过限位软垫的设计可以让物料更好的被限制住，而推送下软梯块的设计可以让工作人员在将物料取出时更加方便。

Description

一种高效率全自动晶圆测试探针台

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试探针台技术领域，具体为一种高效率全自动晶圆测试探针台。

背景技术

晶圆测试是芯片制造产业中一个重要组成部分，是主要的芯片良品率统计方法之一，而在晶圆测试中使用最为频繁的就是晶圆测试探针台，晶圆测试探针台，通过晶圆测试探针台可以有效减少工作人员进行检测时的难度。

中国专利授权公告号CN111198285B，授权公告日2022年05月03日，一种测试探针台，包括载台，在所述载台上设有用于固定晶圆的压环，所述压环上设有与所述晶圆轮廓相对应的结构，所述压环包括圆弧体，在所述圆弧体内侧下边缘上设有用于卡持晶圆边缘的凹部，所述载台上设有第一定位部，所述圆弧体内侧上边缘与所述凹部对应的位置上，还设有与所述第一定位部配合的第一缺口部；或者，所述载台上设有第一定位部，所述圆弧体内侧上边缘与所述凹部对应的位置上，还设有与所述第一定位部配合的第一缺口部及第二缺口部。

上述方案虽然通过采用压环机械固定锁紧的方式对晶圆进行固定，不受外界压力环境的影响，但是其在进行使用时由于对检测物料进行固定和位置调节时物料错位概率较大而导致工作人员对设备进行检测效率降低，对此我们提出一种高效率全自动晶圆测试探针台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效率全自动晶圆测试探针台，以解决上述背景技术中提出现有的全自动晶圆测试探针台在使用时常常由于对物料进行限位时稳定性不够而导致工作人员进行操作效率降低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效率全自动晶圆测试探针台，包括固定底板，

放置上板块，其设置在固定底板的上方，且放置上板块与固定底板通过控制柱体和辅助支撑架固定连接，并且放置上板块的中间位置处设置有预留圆凹槽，并且预留圆凹槽的一侧设置有活动方块，而且活动方块与放置上板块通过连接软柱固定连接；

XY行程调节机构，其设置在固定底板上方的中间位置处，并且XY行程调节机构上方的中间位置处设置有物料放置槽，并且物料放置槽的两侧均设置有物料限位块，而且物料限位块与XY行程调节机构通过液压缸固定连接，并且物料限位块一侧的上端设置有限位软垫，并且限位软垫的下方设置有推送下软梯块，且推送下软梯块与物料限位块固定连接。

优选的，所述活动方块的一侧设置有传感器固定块，且传感器固定块与活动方块通过连接转轴柱转动连接，所述传感器固定块的内部设置有测距传感器，所述辅助支撑架内部的一侧设置有辅助照明机构，且测距传感器与辅助照明机构通过电性连接，所述传感器固定块的外部设置有固定块活动槽，所述传感器固定块一端的两侧均设置有引接斜槽。

优选的，所述固定底板的两侧均设置有扳动横把，且扳动横把与固定底板焊接连接，所述固定底板的一侧设置有防护圆凸块，且防护圆凸块与固定底板粘贴连接，所述防护圆凸块设置有两个以上。

优选的，所述放置上板块一侧的上端设置有检测显微镜，所述检测显微镜一侧的上端设置有CCD相机，所述放置上板块上方的两侧均设置有夹持机构，且夹持机构与放置上板块焊接连接。

优选的，所述辅助照明机构的一侧设置有散光竖玻璃块，且散光竖玻璃块与辅助支撑架通过卡槽固定连接，所述固定底板下方的四个拐角处均设置有固定底座，且固定底座与固定底板焊接连接。

优选的，所述固定底板的下方设置有吸潮下块，且吸潮下块与固定底板通过吸附磁块固定连接，所述吸潮下块的两侧均设置有限位圆软凸块，且限位圆软凸块与固定底板粘贴连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该种高效率全自动晶圆测试探针台与现有的晶圆测试探针台相比，配备了液压缸、物料限位块、限位软垫和推送下软梯块，液压缸的设计可以让物料限位块、限位软垫和推送下软梯块的动作更加灵敏，通过限位软垫的设计可以让物料更好的被限制住，而推送下软梯块的设计可以让工作人员在将物料取出时更加方便，解决了现有的全自动晶圆测试探针台在使用时常常由于对物料进行限位时稳定性不够而导致工作人员进行操作效率降低的问题。

2.该种高效率全自动晶圆测试探针台与现有的晶圆测试探针台相比，配备了测距传感器和辅助照明机构，测距传感器的设计可以让辅助照明机构的动作更加灵敏，辅助照明机构的设计可以让设备在进行检测时补光更加方便，解决了现有的全自动晶圆测试探针台在使用时常常由于对进行补光不够及时而导致工作人员检测难度增加的问题。

3.该种高效率全自动晶圆测试探针台与现有的晶圆测试探针台相比，配备了吸潮下块和吸附磁块，吸附磁块的设计可以让吸潮下块的固定更加方便，吸潮下块的设计可以有效减少环境中潮气对设备的影响，解决了现有的全自动晶圆测试探针台在使用时常常由于潮气对设备影响过大而导致设备使用寿命大大降低的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构主视图；

图2为本实用新型的部分结构剖视图；

图3为本实用新型图2的A区局部放大图；

图4为本实用新型的底部结构示意图；

图5为本实用新型图2的B区局部放大图。

图中：1、固定底板；2、防护圆凸块；3、扳动横把；4、辅助支撑架；5、XY行程调节机构；6、固定底座；7、预留圆凹槽；8、夹持机构；9、检测显微镜；10、CCD相机；11、散光竖玻璃块；12、辅助照明机构；13、连接软柱；14、活动方块；15、连接转轴柱；16、传感器固定块；17、测距传感器；18、固定块活动槽；19、引接斜槽；20、吸潮下块；21、限位圆软凸块；22、吸附磁块；23、放置上板块；24、控制柱体；25、物料放置槽；26、物料限位块；27、限位软垫；28、推送下软梯块；29、液压缸。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种高效率全自动晶圆测试探针台，包括固定底板1，

放置上板块23，其设置在固定底板1的上方，且放置上板块23与固定底板1通过控制柱体24和辅助支撑架4固定连接，并且放置上板块23的中间位置处设置有预留圆凹槽7，并且预留圆凹槽7的一侧设置有活动方块14，而且活动方块14与放置上板块23通过连接软柱13固定连接；

XY行程调节机构5，其设置在固定底板1上方的中间位置处，并且XY行程调节机构5上方的中间位置处设置有物料放置槽25，并且物料放置槽25的两侧均设置有物料限位块26，而且物料限位块26与XY行程调节机构5通过液压缸29固定连接，并且物料限位块26一侧的上端设置有限位软垫27，并且限位软垫27的下方设置有推送下软梯块28，且推送下软梯块28与物料限位块26固定连接。

请参阅图1和图2，固定底板1的两侧均设置有扳动横把3，且扳动横把3与固定底板1焊接连接，固定底板1的一侧设置有防护圆凸块2，且防护圆凸块2与固定底板1粘贴连接，防护圆凸块2设置有两个以上，放置上板块23一侧的上端设置有检测显微镜9，检测显微镜9一侧的上端设置有CCD相机10，放置上板块23上方的两侧均设置有夹持机构8，且夹持机构8与放置上板块23焊接连接，固定底板1下方的四个拐角处均设置有固定底座6，且固定底座6与固定底板1焊接连接；

请参阅图3，活动方块14的一侧设置有传感器固定块16，且传感器固定块16与活动方块14通过连接转轴柱15转动连接，传感器固定块16的内部设置有测距传感器17，辅助支撑架4内部的一侧设置有辅助照明机构12，且测距传感器17与辅助照明机构12通过电性连接，传感器固定块16的外部设置有固定块活动槽18，传感器固定块16一端的两侧均设置有引接斜槽19，辅助照明机构12的一侧设置有散光竖玻璃块11，且散光竖玻璃块11与辅助支撑架4通过卡槽固定连接；

请参阅图4和图5，固定底板1的下方设置有吸潮下块20，且吸潮下块20与固定底板1通过吸附磁块22固定连接，吸潮下块20的两侧均设置有限位圆软凸块21，且限位圆软凸块21与固定底板1粘贴连接。

工作原理：使用时先将该种高效率全自动晶圆测试探针台移动到需要使用的位置处，随后就可以将需要进行检测的物质放置到XY行程调节机构5上端物料放置槽内，随后液压缸29就会进行动作，液压缸29可以对物料进行限位，物料限位块26一侧下端设置的推送下软梯块28可以让物料与XY行程调节机构5进行分离，便于后期工作人员对物料的取出，而推送下软梯块28上方设置的限位软垫27可以有效增加限位时的稳定性，减少设备使用时错位的概率，随着物质的固定完成，此时测距传感器17就会感知到，并将信号传输给辅助照明机构12，随后辅助照明机构12就可以及时进行补光，可以减少检测时的难度，当该种高效率全自动晶圆测试探针台在进行使用时，此时通过固定底板1下方设置的吸潮下块20可以有效减少外部环境中潮气对设备的影响。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种高效率全自动晶圆测试探针台，包括固定底板(1)，其特征在于：

放置上板块(23)，其设置在固定底板(1)的上方，且放置上板块(23)与固定底板(1)通过控制柱体(24)和辅助支撑架(4)固定连接，并且放置上板块(23)的中间位置处设置有预留圆凹槽(7)，并且预留圆凹槽(7)的一侧设置有活动方块(14)，而且活动方块(14)与放置上板块(23)通过连接软柱(13)固定连接；

XY行程调节机构(5)，其设置在固定底板(1)上方的中间位置处，并且XY行程调节机构(5)上方的中间位置处设置有物料放置槽(25)，并且物料放置槽(25)的两侧均设置有物料限位块(26)，而且物料限位块(26)与XY行程调节机构(5)通过液压缸(29)固定连接，并且物料限位块(26)一侧的上端设置有限位软垫(27)，并且限位软垫(27)的下方设置有推送下软梯块(28)，且推送下软梯块(28)与物料限位块(26)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种高效率全自动晶圆测试探针台，其特征在于：所述活动方块(14)的一侧设置有传感器固定块(16)，且传感器固定块(16)与活动方块(14)通过连接转轴柱(15)转动连接，所述传感器固定块(16)的内部设置有测距传感器(17)，所述辅助支撑架(4)内部的一侧设置有辅助照明机构(12)，且测距传感器(17)与辅助照明机构(12)通过电性连接，所述传感器固定块(16)的外部设置有固定块活动槽(18)，所述传感器固定块(16)一端的两侧均设置有引接斜槽(19)。

3.根据权利要求2所述的一种高效率全自动晶圆测试探针台，其特征在于：所述固定底板(1)的两侧均设置有扳动横把(3)，且扳动横把(3)与固定底板(1)焊接连接，所述固定底板(1)的一侧设置有防护圆凸块(2)，且防护圆凸块(2)与固定底板(1)粘贴连接，所述防护圆凸块(2)设置有两个以上。

4.根据权利要求3所述的一种高效率全自动晶圆测试探针台，其特征在于：所述放置上板块(23)一侧的上端设置有检测显微镜(9)，所述检测显微镜(9)一侧的上端设置有CCD相机(10)，所述放置上板块(23)上方的两侧均设置有夹持机构(8)，且夹持机构(8)与放置上板块(23)焊接连接。

5.根据权利要求4所述的一种高效率全自动晶圆测试探针台，其特征在于：所述辅助照明机构(12)的一侧设置有散光竖玻璃块(11)，且散光竖玻璃块(11)与辅助支撑架(4)通过卡槽固定连接，所述固定底板(1)下方的四个拐角处均设置有固定底座(6)，且固定底座(6)与固定底板(1)焊接连接。

6.根据权利要求5所述的一种高效率全自动晶圆测试探针台，其特征在于：所述固定底板(1)的下方设置有吸潮下块(20)，且吸潮下块(20)与固定底板(1)通过吸附磁块(22)固定连接，所述吸潮下块(20)的两侧均设置有限位圆软凸块(21)，且限位圆软凸块(21)与固定底板(1)粘贴连接。

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