CN219218130U - 一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机。所述连续加料式蒸镀装置包括：蒸镀源；送料仓，与蒸镀源相连通，适于暂存基材并向蒸镀源输送基材；送料驱动单元，设置于送料仓上，适于驱动送料仓内的基材移动至蒸镀源内；储料室，与送料仓相连通，适于存储基材。本实用新型提供的连续加料式蒸镀装置，通过在蒸镀源上连接送料仓，并进一步在送料仓连接适于存储基材的储料室，通过送料驱动单元驱动，将由储料室进入送料仓内的基材移动至蒸镀源内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。

Description

一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种连续加料式蒸镀装置及真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜技术能够在真空状态下对物品蒸镀纳米级到微米级的薄膜，已经在半导体、显示、装饰、航天、能源等领域实现应用。真空镀膜机是实现真空镀膜的关键设备，根据其对物料的蒸发原理可以区分为热蒸发式真空镀膜机和磁控溅射式真空镀膜机。其中，热蒸发式真空镀膜机的原理是在真空条件下，对基材进行加热使其气化或升华未粒子流，最终在基片上沉积并析出固态薄膜。

目前，热蒸发式真空镀膜机中用于放置基材的容器称为蒸发源，根据蒸发源的形状可以分为点源、线源和面源。点源体积小、能够沉积薄膜的区域也较小，只能适合于小面积范围的镀膜。线源为长方体形状，类似于多个点源排成一条直线而组成，在蒸镀过程中，基板在线源上方移动镀膜，可以实现宽度一定、长度不限的大面积基底镀膜。面源为和基底面积一样大的蒸发源，缺点在于体积过大，不适用安装于设备内部。因此，线源具有特殊的优势更适合于大面积工业生产。

实际使用时，在对基底进行镀膜之前，需要打开蒸发源添加基材以保证每次镀膜的用量充足。然而，由于蒸发源的容量限制，需要在使用过程中频繁添加基材，操作过程繁琐，增加人工工作量，限制镀膜效率。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸发源内需要频繁人工添加基材导致操作繁琐的缺陷，从而提供一种能够无需频繁人工添加基材的连续加料式蒸镀装置。

本实用新型要解决的另一个技术问题在于克服现有技术中蒸发源内需要频繁人工添加基材导致操作繁琐的缺陷，从而提供一种能够无需频繁人工添加基材的真空镀膜机。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种连续加料式蒸镀装置，包括：

蒸镀源，适于蒸发基材；

送料仓，与所述蒸镀源相连通，适于暂存基材并向所述蒸镀源输送基材；

送料驱动单元，设置于所述送料仓，适于驱动所述送料仓内的基材移动至所述蒸镀源内；

储料室，与所述送料仓相连通，适于存储基材。

可选的，所述储料室沿高度方向设置于所述送料仓的相对上方，所述储料室与所述送料仓之间活动设置有进料口挡板；所述进料口挡板具有连通所述储料室与所述送料仓的进料状态，还具有切断所述储料室与所述送料仓连通的储料状态。

可选的，所述送料仓与所述蒸镀源沿水平方向邻接设置，所述送料仓与所述蒸镀源之间活动设置有出料口挡板，所述出料口挡板使所述送料仓与所述蒸镀源相连通的送料状态，还具有切断所述送料仓与所述蒸镀源连通的停料状态。

可选的，所述连续加料式蒸镀装置还包括：

真空泵，与所述送料仓相连通；

在所述送料仓内基材为空时，使所述进料口挡板处于储料状态，且使所述出料口挡板处于停料状态，所述真空泵适于开启以将所述送料仓抽真空。

可选的，所述送料驱动单元包括鼓风机，所述鼓风机适于将基材吹入所述蒸镀源内。

可选的，所述储料室上设置有储料室盖板，所述储料室盖板适于遮盖所述储料室的入料口。

可选的，所述真空泵上设置有过滤模块。

本实用新型提供的真空镀膜机，包括：

如上述所述的连续加料式蒸镀装置；

基板支架，设置于蒸镀源沿高度方向的相对上方，所述基板支架上适于安装基板。

可选的，所述真空镀膜机还包括：投料仓，设置于储料室沿高度方向的相对上方，适于向储料室内投放基材。

可选的，所述投料仓与所述储料室经由投料通道相连通，所述投料通道上设置有开关阀。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的连续加料式蒸镀装置，通过在蒸镀源上连接送料仓，并进一步在送料仓连接适于存储基材的储料室，通过送料驱动单元驱动，将由储料室进入所述送料仓内的基材移动至所述蒸镀源内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。

2.本实用新型提供的真空镀膜机，通过设置连续加料式蒸镀装置，在蒸镀源上连接送料仓，并进一步在送料仓连接适于存储基材的储料室，通过送料驱动单元驱动，将由储料室进入所述送料仓内的基材移动至所述蒸镀源内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型连续加料式蒸镀装置的示意图；

图2为本实用新型线真空镀膜机的示意图。

附图标记说明：

100-储料室，110-储料室盖板，120-固定件，130-进料口挡板，200-送料仓，210-送料驱动单元，220-真空泵，230-出料口挡板，300-蒸镀源，310-蒸镀源盖板，400-投料仓，410-投料仓盖板，420-投料通道，510-基板支架，520-基板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“垂直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例一

结合图1-图2所示，本实施例提供的连续加料式蒸镀装置，包括：

蒸镀源300，适于蒸发基材；

送料仓200，与所述蒸镀源300相连通，适于暂存基材并向所述蒸镀源300输送基材；

送料驱动单元210，设置于所述送料仓200，适于驱动所述送料仓200内的基材移动至所述蒸镀源300内；

储料室100，与所述送料仓200相连通，适于存储基材。

本实施例提供的连续加料式蒸镀装置，通过在蒸镀源300上连接送料仓200，并进一步在送料仓200连接适于存储基材的储料室100，通过送料驱动单元210驱动，将由储料室100进入所述送料仓200内的基材移动至所述蒸镀源300内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。

可选的，所述蒸镀源300可以为点源、线源或面源，本实施例中优选采用线源。

可选的，所述储料室100可以储存大量的基材，用于在送料仓200内的基材数量降低时随时进行补给，以满足蒸镀源300的连续蒸镀。

通过采用本实施例提供的连续加料式蒸镀装置，能够减少人工的干预，避免毒性基材对人体产生危害。

本实施例提供的连续加料式蒸镀装置通过增加重力传感器元件，并反馈给控制模块，又控制模块控制电机、电磁阀等元件的启闭，可以实现自动化的连续操作，提高设备自动化程度。

可选的，所述蒸镀源300上盖设有蒸镀源盖板310。

具体地，所述储料室100沿高度方向设置于所述送料仓200的相对上方，所述储料室100与所述送料仓200之间活动设置有进料口挡板130；所述进料口挡板130具有连通所述储料室100与所述送料仓200的进料状态，还具有切断所述储料室100与所述送料仓200连通的储料状态。

通过将所述储料室100沿高度方向设置于所述送料仓200的相对上方，从而使得储料室100内的基材能够在重力作用下进入所述送料仓200内，提高尽量的顺畅程度。

所述进料口挡板130活动设置在所述储料室100与所述送料仓200之间，可选的，所述进料口挡板130的尺寸大于储料室100的下料口尺寸。

可选的，所述进料口挡板130可以采用抽拉开合的方式，也可以采用旋转开合的方式。

当所述进料口挡板130将所述储料室100与所述送料仓200导通时，所述储料室100能够向所述送料仓200进料；当所述进料口挡板130切断所述储料室100与所述送料仓200的导通时，所述储料室100内的基材停止进料。

具体地，所述送料仓200与所述蒸镀源300沿水平方向邻接设置，所述送料仓200与所述蒸镀源300之间活动设置有出料口挡板230，所述出料口挡板230使所述送料仓200与所述蒸镀源300相连通的送料状态，还具有切断所述送料仓200与所述蒸镀源300连通的停料状态。

可选的，所述出料口挡板230可以采用抽拉开合的方式，也可以采用旋转开合的方式。

当所述出料口挡板230将所述送料仓200与所述蒸镀源300相连通时，所述送料仓200内的基材能够进入所述蒸镀源300内；当所述出料口挡板230切断所述送料仓200与所述蒸镀源300的连通时，所述送料仓200内的基材无法进入所述蒸镀源300。

具体地，所述连续加料式蒸镀装置还包括：

真空泵220，与所述送料仓200相连通；

在所述送料仓200内基材为空时，使所述进料口挡板130处于储料状态，且使所述出料口挡板230处于停料状态，所述真空泵220适于开启以将所述送料仓200抽真空。

所述真空泵220适于开启以将所述送料仓200抽真空，从而在所述进料口挡板130被开启后，所述储料室100内的基材会在气压差与重力的双重作用下被传输到送料仓200内，提高进料效率。

可选的，所述进料口挡板130与所述出料口挡板230上设置有密封结构，以提高所述送料仓200的密封效果。

具体地，所述送料驱动单元210包括鼓风机，所述鼓风机适于将基材吹入所述蒸镀源300内。

所述鼓风机适于向所述送料仓200吹风，所述送料仓200内的基材会在气流的作用下被传输到蒸镀源300中，完成自动上料。

作为变形，所述送料驱动单元210还可以为加压泵等结构形式。

具体地，所述储料室100上设置有储料室盖板110，所述储料室盖板110适于遮盖所述储料室100的入料口。

储料室100为储存大量的基材所设置，当储料室100内无基材或基材数量较少时，可打开储料室盖板110提前进行大量补料。

通过在所述储料室100上设置储料室盖板110，能够在储料室100内存储基材时，通过关闭储料室盖板110，以避免灰尘或其他杂质落入所述储料室100内。当所述储料室100需要添加基材时，可以开启所述储料室盖板110，以露出储料室100的入料口，方便向所述储料室100内添加基材。

可选的，所述储料室100内设置有重力传感器，以监测所述储料室100内基材的余量。

可选的，所述储料室100开设有目窗，以便观察储料室100内的物料情况。

可选的，所述储料室盖板110通过固定件120可活动的固定在所述储料室100上。所述固定件120可以为合页、卡扣等。

具体地，所述真空泵220上设置有过滤模块。从而保证真空泵220的清洁程度，避免杂质进入真空泵220内，提高真空泵220的使用寿命。

以下对本实施例提供的连续加料式蒸镀装置的具体使用过程进行记述：

首先关闭进料口挡板130与出料口挡板230，打开具有过滤系统的真空泵220，对送料仓200抽真空，使得送料仓200保持为真空状态。随后打开进料口挡板130，基材就会在气压差与重力的作用下，从储料室100被传输到送料仓200内。随后，关闭进料口挡板130和线式蒸镀源盖板310，打开出料口挡板230和送料驱动单元210，原料就会在气流的作用下被传输到蒸镀源300中，完成自动且连续地上料，进而开启蒸镀源300进行蒸镀。

实施例二

本实施例提供一种真空镀膜机，包括：

如上述实施例一所述的连续加料式蒸镀装置；

基板支架510，设置于蒸镀源300沿高度方向的相对上方，所述基板支架510上适于安装基板520。

在开启蒸镀源300后，可以对基板支架510上的基板520进行蒸镀，实现镀膜。

本实施例提供的真空镀膜机，通过设置连续加料式蒸镀装置，在蒸镀源300上连接送料仓200，并进一步在送料仓200连接适于存储基材的储料室100，通过送料驱动单元210驱动，将由储料室100进入所述送料仓200内的基材移动至所述蒸镀源300内，从而对蒸镀源的进行自动且连续加料，克服了蒸发源容量受限制的缺陷，无需频繁人工添加基材，使蒸镀工序得以连续进行，且加料操作大大简化，提高镀膜效率。

具体地，所述真空镀膜机还包括：投料仓400，设置于储料室100沿高度方向的相对上方，适于向储料室100内投放基材。

通过在储料室100沿高度方向的相对上方设置投料仓400，从而能够方便投料，避免基材洒落。

可选的，所述投料仓400构造为漏斗形。

可选的，所述投料仓400上还设置有投料仓盖板410，通过关闭投料仓盖板410，以避免灰尘或其他杂质落入所述投料仓400内。

具体地，所述投料仓400与所述储料室100经由投料通道420相连通，所述投料通道420上设置有开关阀。

以下对本实施例提供的真空镀膜机的具体使用过程进行记述：

首先打开投料仓盖板410，往投料仓400中加入基材，基材会顺着投料通道420进入所述储料室100内，关闭进料口挡板130与出料口挡板230，打开具有过滤系统的真空泵220，对送料仓200抽真空，使得送料仓200保持为真空状态。随后打开进料口挡板130，基材就会在气压差与重力的作用下，从储料室100被传输到送料仓200内。随后，关闭进料口挡板130和线式蒸镀源盖板310，打开出料口挡板230和送料驱动单元210，原料就会在气流的作用下被传输到蒸镀源300中，完成自动且连续地上料，进而开启蒸镀源300进行蒸镀。在进行蒸镀实验时，基材则会被沉积在基板支架510固定的基板520上面，以完成蒸镀。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种连续加料式蒸镀装置，其特征在于，包括：

蒸镀源(300)，适于蒸发基材；

送料仓(200)，与所述蒸镀源(300)相连通，适于暂存基材并向所述蒸镀源(300)输送基材；

送料驱动单元(210)，设置于所述送料仓(200)，适于驱动所述送料仓(200)内的基材移动至所述蒸镀源(300)内；

储料室(100)，与所述送料仓(200)相连通，适于存储基材。

2.根据权利要求1所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述储料室(100)沿高度方向设置于所述送料仓(200)的相对上方，所述储料室(100)与所述送料仓(200)之间活动设置有进料口挡板(130)；所述进料口挡板(130)具有连通所述储料室(100)与所述送料仓(200)的进料状态，还具有切断所述储料室(100)与所述送料仓(200)连通的储料状态。

3.根据权利要求2所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述送料仓(200)与所述蒸镀源(300)沿水平方向邻接设置，所述送料仓(200)与所述蒸镀源(300)之间活动设置有出料口挡板(230)；所述出料口挡板(230)使所述送料仓(200)与所述蒸镀源(300)相连通的送料状态，还具有切断所述送料仓(200)与所述蒸镀源(300)连通的停料状态。

4.根据权利要求3所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述连续加料式蒸镀装置还包括：

真空泵(220)，与所述送料仓(200)相连通；

在所述送料仓(200)内基材为空时，使所述进料口挡板(130)处于储料状态，且使所述出料口挡板(230)处于停料状态，所述真空泵(220)适于开启以将所述送料仓(200)抽真空。

5.根据权利要求4所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述送料驱动单元(210)包括鼓风机，所述鼓风机适于将基材吹入所述蒸镀源(300)内。

6.根据权利要求5所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述储料室(100)上设置有储料室盖板(110)，所述储料室盖板(110)适于遮盖所述储料室(100)的入料口。

7.根据权利要求4所述的连续加料式蒸镀装置，其特征在于，所述真空泵(220)上设置有过滤模块。

8.一种真空镀膜机，其特征在于，包括：

如上述权利要求1-7任意一项所述的连续加料式蒸镀装置；

基板支架(510)，设置于蒸镀源(300)沿高度方向的相对上方，所述基板支架(510)上适于安装基板(520)。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜机还包括：投料仓(400)，设置于储料室(100)沿高度方向的相对上方，适于向储料室(100)内投放基材。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜机，其特征在于，所述投料仓(400)与所述储料室(100)经由投料通道(420)相连通，所述投料通道(420)上设置有开关阀。

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