CN219200768U - 一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于节流阀生产技术领域，具体涉及一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，包括移动装置和气密性检测设备，所述气密性检测设备设置在移动装置上，所述气密性检测设备包括为节流阀提供负压的负压产生器，所述负压产生器上至少连接有三支检测气压的回路，每支检测气压回路上连接有一气压表，本实用新型通过设计气密性检测设备，包含多支检测回路，单次可以检测多个节流阀，从而提高检测的效率，提高生产效率。

Description

一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪

技术领域

本实用新型属于节流阀生产技术领域，具体涉及一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪。

背景技术

在半导体器件制造过程中，通常需要将待处理的晶圆放置在半导体处理设备具有的处理腔室内。并通过节流阀向抽真空后的处理腔室内输送工艺气体。在工艺气体和处理腔室内的相应气体的作用下，完成对晶圆的处理，半导体节流阀应用在半导体设备上，是控制腔室透过对节流阀开合角度来控制腔室压力大小，在维修半导体节流阀时，必须要有精准的数据来确定维修过后的节流阀能达到半导体制程需要。

现有技术中的节流阀包括有阀体、阀杆、阀芯，其中阀体上套设有两个密封圈，阀杆上套设有一个密封圈，阀芯上也套设有一个密封圈，阀杆底端安装有锁紧螺母，阀体底端安装有调节螺丝，阀杆和阀芯都安装到阀体内部之后还需要将阀体锁扣铆合，并最终进行气密性检查。对于应用在制造高稳定性半导体上的节流阀，由于其制造的要求高，节流阀的气密性检测更是必不可少的，现有的节流阀气密性检测装置单次只能检查一个节流阀，检测的效率比较低下，为此我们设计了一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型提供了一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，用以解决现有高稳定性半导体设备节流阀的气密性检测装置单次只能检查一个节流阀，检测的效率比较低下的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，包括移动装置和气密性检测设备，所述气密性检测设备设置在移动装置上，所述气密性检测设备包括为节流阀提供负压的负压产生器，所述负压产生器上至少连接有三支检测气压的回路，每支检测气压回路上连接有一气压表；

每支所述检测气压回路包括支气管、连接气管、和两接头，其中一个接头通过支气管和负压产生器连通，两接头通过三通管、连接气管和气压表连通，两接头分别和节流阀的两端连通，从而构成一个检测回路。

进一步地，所述负压产生器包括气泵和主气管，每支所述支气管通过主气管和气泵连通。

进一步地，所述主气管的主干上和每支支气管上均设置有单向阀。

进一步地，所述移动装置包括空心的车架以及容置箱，所述容置箱内设置有安装架，所述接头安装在安装架上。

进一步地，所述车架的底部安装有脚轮，所述气泵设置在车架的内部。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

1.通过设计气密性检测设备，包含多支检测回路，单次可以检测多个节流阀，从而提高检测的效率，提高生产效率；

2.通过设计移动装置，方便移动该检测设备；

3.通过在主气管上和支气管上都设置单向阀，可以通过主气管上的单向阀整体控制，又可以通过支气管上置单向阀控制每个之路，灵活操作，便于实际应用。

附图说明

图1为本实用新型一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角一)；

图2为本实用新型一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角二)；

图3为本实用新型一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪实施例的立体结构示意图(视角三)；

图4为本实用新型一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪实施例中检测回路的结构示意图；

说明书附图中的附图标记包括：

移动装置1、气密性检测设备2、节流阀3；

车架11、容置箱12、安装架121、脚轮13、气泵21、主气管22、支气管23、接头24、三通管25、连接气管26、气压表27、单向阀28。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

如图1-4所示，本实用新型。具体来说，一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，包括移动装置1和气密性检测设备2，气密性检测设备2设置在移动装置1上，气密性检测设备2包括为节流阀3提供负压的负压产生器，负压产生器上至少连接有三支检测气压的回路，每支检测气压回路上连接有一气压表27；每支检测气压回路包括支气管23、连接气管26、和两接头24，其中一个接头24通过支气管23和负压产生器连通，两接头24通过三通管25、连接气管26和气压表27连通，两接头24分别和节流阀3的两端连通，从而构成一个检测回路。负压产生器包括气泵21和主气管22，每支支气管23通过主气管22和气泵21连通。主气管22的主干上和每支支气管23上均设置有单向阀28。移动装置1包括空心的车架11以及容置箱12，容置箱12内设置有安装架121，接头24安装在安装架121上。车架11的底部安装有脚轮13，气泵21设置在车架11的内部。

在具体使用时，可以将多个待检测的节流阀3连接在接头24上，构成一个流通的回路，然后首先打开主气管22上的单向阀28，让气泵21开始供气，然后打开每条支路上的单向阀28，让气体开始进入每个节流阀3所在的回路，然后保持气压稳定，观察气压表27来检测节流阀3的气密性是否良好。

以上的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前实用新型所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。

Claims (5)

1.一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，包括移动装置(1)和气密性检测设备(2)，所述气密性检测设备(2)设置在移动装置(1)上，其特征在于：所述气密性检测设备(2)包括为节流阀(3)提供负压的负压产生器，所述负压产生器上至少连接有三支检测气压的回路，每支检测气压回路上连接有一气压表(27)；

每支所述检测气压回路包括支气管(23)、连接气管(26)、和两接头(24)，其中一个接头(24)通过支气管(23)和负压产生器连通，两接头(24)通过三通管(25)、连接气管(26)和气压表(27)连通，两接头(24)分别和节流阀(3)的两端连通，从而构成一个检测回路。

2.如权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，其特征在于：所述负压产生器包括气泵(21)和主气管(22)，每支所述支气管(23)通过主气管(22)和气泵(21)连通。

3.如权利要求2所述的一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，其特征在于：所述主气管(22)的主干上和每支支气管(23)上均设置有单向阀(28)。

4.如权利要求3所述的一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，其特征在于：所述移动装置(1)包括空心的车架(11)以及容置箱(12)，所述容置箱(12)内设置有安装架(121)，所述接头(24)安装在安装架(121)上。

5.如权利要求4所述的一种高稳定性半导体设备节流阀检测仪，其特征在于：所述车架(11)的底部安装有脚轮(13)，所述气泵(21)设置在车架(11)的内部。

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