CN219193637U - 硅片卸片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片卸片机，属于硅片抛光技术技术领域，解决了目前的硅片卸片机在对陶瓷盘进行卸片后容易划伤硅片背面，导致硅片的品质降低的技术问题。该硅片卸片机包括硅片卸片机本体，具有滑道，滑道具有进料端和出料端，滑道用于运送卸载的硅片，放置硅片的陶瓷盘位于滑道的进料端；卸载板，安装在滑道的进料端，卸载板远离滑道顶面的一侧的宽度向靠近滑道顶面的一侧的宽度逐渐增大，卸载板靠近滑道进料端的一侧形成导向斜面，卸载板的顶面与滑道平齐，卸载板的顶面距离地面的高度高于陶瓷盘顶面距离地面的高度。因此，该硅片卸片机对陶瓷盘进行卸片时，对后硅片背面的保护效果更好，使得卸载的硅片品质更高。

Description

硅片卸片机

技术领域

本实用新型属于硅片抛光技术技术领域，特别涉及一种硅片卸片机。

背景技术

硅片在有蜡抛光完成后，需要从陶瓷盘上卸下硅片。目前硅片卸片机在卸片过程中，硅片卸片机的滑道上仅有两边的挡板来控制硅片下滑的位置，使硅片能够准确下滑到四氟片架内，无法有效控制对晶片背面的划伤，硅片与陶瓷盘边缘接触造成硅片背面的划伤，会导致抛光效率下降，抛光片背面品质下降。

实用新型内容

本实用新型提供硅片卸片机，用于解决目前的硅片卸片机在对陶瓷盘进行卸片后容易划伤硅片背面，导致硅片的品质降低的技术问题。

本实用新型通过下述技术方案实现：硅片卸片机，包括：

硅片卸片机本体，具有滑道，所述滑道具有进料端和出料端，所述滑道用于运送卸载的硅片，放置硅片的陶瓷盘位于所述滑道的进料端；

卸载板，安装在所述滑道的进料端，所述卸载板远离所述滑道顶面的一侧的宽度向靠近所述滑道顶面的一侧的宽度逐渐增大，所述卸载板靠近所述滑道进料端的一侧形成导向斜面，所述卸载板的顶面与所述滑道平齐，卸载板的顶面距离地面的高度高于所述陶瓷盘顶面距离地面的高度。

可选地，还包括：

转动辊，所述卸载板的顶面开设有第一凹槽，所述转动辊转动安装在所述第一凹槽内。

可选地，还包括：

橡胶套，套设于所述转动辊上。

可选地，还包括：

凸条，安装在所述橡胶套的内侧面上，所述转动辊上开设有与所述凸条适配的第二凹槽，所述凸条滑动插接于所述第二凹槽。

可选地，还包括：

两个挡块，安装在所述卸载板的顶面，两个所述挡块分别位于所述卸载板的两端。

可选地，所述卸载板的顶面开设有两个螺纹孔，所述转动辊位于两个所述螺纹孔之间，所述卸载板通过螺钉连接在所述滑道上。

可选地，所述卸载板的顶面与所述导向斜面之间设有圆倒角。

可选地，所述卸载板由聚四氟乙烯材质制成。

本实用新型相较于现有技术具有以下有益效果：

本实用新型提供的硅片卸片机包括硅片卸片机本体卸载板，硅片卸片机具有滑道，滑道具有进料端和出料端，滑道用于运送卸载后的硅片，卸载板安装在滑道的进料端，卸载板远离滑道的一侧设有导向斜面，陶瓷盘位于滑道的进料端，卸载板安装在滑道的进料端，卸载板远离滑道顶面的一侧的宽度向靠近滑道顶面的一侧的宽度逐渐增大，卸载板靠近滑道进料端的一侧形成导向斜面，卸载板的顶面与滑道平齐，卸载板的顶面距离地面的高度高于陶瓷盘顶面距离地面的高度。

通过上述结构，本实用新型提供的硅片卸片机在使用时，当硅片从陶瓷盘上卸载后，硅片靠近卸载板的一端通过导向斜面滑动至卸载板的顶面，硅片的靠近卸载板的一端滑动至卸载板的顶面后，硅片被卸载板垫高，卸载板后方的硅片背面不与陶瓷盘的边缘接触，从而减少陶瓷盘的边缘对硅片背面的划伤，从而提高硅片卸片后的质量。因此，该硅片卸片机对陶瓷盘进行卸片时，对后硅片背面的保护效果更好，使得卸载的硅片品质更高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的硅片卸片机的结构示意图；

图2是本实用新型提供的硅片卸片机的剖视图；

图3是图1中A区域的放大结构示意图。

图中：

1-滑道；2-卸载板；21-导向斜面；22-螺纹孔；3-转动辊；4-橡胶套；5-凸条；6-挡块；7-挡板；8-陶瓷盘。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

实施例

本实用新型提供硅片卸片机，用于解决目前的硅片卸片机在对陶瓷盘进行卸片后容易划伤硅片背面，导致硅片的品质降低的技术问题。该硅片卸片机包括硅片卸片机本体以及卸载板2，其中：

硅片卸片机本体具有滑道1，滑道1具有进料端和出料端，滑道1用于运送卸载的硅片，滑道1的两侧具有挡板7，挡板7用于控制硅片下滑的位置，放置硅片的陶瓷盘8位于滑道1的进料端。

卸载板2，安装在滑道1的进料端，卸载板2远离滑道1顶面的一侧的宽度向靠近滑道1顶面的一侧的宽度逐渐增大，卸载板2靠近滑道1进料端的一侧形成导向斜面21，具体地，卸载板2的截面为直角梯形，卸载板2的顶面与滑道1平齐，卸载板2的顶面距离地面的高度高于陶瓷盘8顶面距离地面的高度，硅片从陶瓷盘8卸载后，硅片靠近卸载板2的一端首先会与导向斜面21接触，然后移动至卸载板2的顶面，从而使硅片与陶瓷盘8的边缘分离，进而减少陶瓷盘8边缘对硅片背面的划伤。

通过上述结构，本使用新型提供的硅片卸片机在使用时，当硅片从陶瓷盘8上卸载后，硅片靠近卸载板2的一端通过导向斜面21滑动至卸载板2的顶面，硅片的靠近卸载板2的一端滑动至卸载板2的顶面后，硅片被卸载板2垫高，卸载板2后方的硅片背面不与陶瓷盘8的边缘接触，从而减少陶瓷盘8的边缘对硅片背面的划伤，从而提高硅片卸片后的质量。因此，该硅片卸片机对陶瓷盘8进行卸片时，对后硅片背面的保护效果更好，使得卸载的硅片品质更高。

本实施例的一种可选实施方式如下：还包括转动辊3，上述卸载板2的顶面上开设有第一凹槽，转动辊3转动安装在第一凹槽内，当硅片滑动至卸载板2顶面上的转动辊3后，硅片移动带动转动辊3移动，减少硅片与卸载板2顶面之间的摩擦，从而更好的保护硅片的背面，减少卸载板2对硅片背面的划伤。

本实施例的一种可选实施方式如下：还包括橡胶套4，橡胶套4套设在转动辊3上，橡胶套4避免了硅片背面直接与转动辊3接触，对硅片的保护效果更好。

本实施例的一种可选实施方式如下：还包括凸条5，凸条5安装在橡胶套4的内侧面上，转动辊3上开设有与凸条5适配的第二凹槽，凸条5滑动插接与第二凹槽，凸条5沿橡胶套4的轴向设置，这样在硅片在橡胶套4上时，凸条5能够减少橡胶套4沿转动辊3的轴向转动的可能性，使得橡胶套4对硅片的保护效果更佳。

本实施例的一种可选实施方式如下：还包括挡块6，挡块6共设有两个，两个挡块6分别安装在卸载板2的两端，转动辊3位于两个挡块6之间，挡块6用于减少硅片在卸载板2上移动时硅片滑出硅片两端的可能性，从而使硅片传送至滑道1内。

本实施例的一种可选实施方式如下：卸载板2上开设有两个螺纹孔22，转动辊3位于两个螺纹孔22之间，卸载板2通过螺钉连接在滑道1上，这样以便于对卸载板2的安装和卸载，将螺钉安装在螺钉安装在螺纹孔22内，以防止螺钉的顶面划伤硅片。

本实施例的一种可选实施方式如下：卸载板2的顶面与导向斜面21之间设有圆倒角，这样，硅片靠近卸载板2的一端在向卸载板2滑动时，硅片会通过导向斜面21逐步滑动至卸载板2的顶面上，倒圆角能够减少卸载板2的顶面与导向斜面21之间夹角对硅片背面的划伤，对硅片的保护效果更好。

本实施例的一种可选实施方式如下：卸载板2由聚四氟乙烯材质制成，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，它的摩擦系数极低，以便于对硅片输送时作润滑作用，减少硅片与卸载板2之间的摩擦力。

综上所述，本实用新型新型提供的硅片卸片机在使用时，当硅片从陶瓷盘8上卸载后，硅片靠近卸载板2的一端通过导向斜面21滑动至卸载板2的顶面时，倒圆角能够减少卸载板2的顶面与导向斜面21之间夹角对硅片背面的划伤，硅片的靠近卸载板2的一端滑动至卸载板2的顶面后，硅片被卸载板2垫高，卸载板2后方的硅片背面不与陶瓷盘8的边缘接触，从而减少陶瓷盘8的边缘对硅片背面的划伤，从而提高硅片卸片后的质量，当硅片滑动至卸载板2顶面上的转动辊3后，硅片移动带动转动辊3移动，减少硅片与卸载板2顶面之间的摩擦，从而更好的保护硅片的背面，减少卸载板2对硅片背面的划伤，橡胶套4避免了硅片背面直接与转动辊3接触，提高对硅片的保护效果，橡胶套4内的凸条5能够减少橡胶套4沿转动辊3的轴向转动的可能性，挡块6用于减少硅片在卸载板2上移动时硅片滑出硅片两端的可能性，从而使硅片传送至滑道1内，卸载板2通过螺钉连接在滑道1上，这样以便于对卸载板2的安装和卸载，将螺钉安装在螺钉安装在螺纹孔22内，以防止螺钉的顶面划伤硅片，聚四氟乙烯制成的卸载板2便于对硅片输送时作润滑作用，减少硅片与卸载板2之间的摩擦力。因此，该硅片卸片机对陶瓷盘8进行卸片时，对后硅片背面的保护效果更好，使得卸载的硅片品质更高。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型记载的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.硅片卸片机，其特征在于，包括：

硅片卸片机本体，具有滑道，所述滑道具有进料端和出料端，所述滑道用于运送卸载的硅片，放置硅片的陶瓷盘位于所述滑道的进料端；

卸载板，安装在所述滑道的进料端，所述卸载板远离所述滑道顶面的一侧的宽度向靠近所述滑道顶面的一侧的宽度逐渐增大，所述卸载板靠近所述滑道进料端的一侧形成导向斜面，所述卸载板的顶面与所述滑道平齐，卸载板的顶面距离地面的高度高于所述陶瓷盘顶面距离地面的高度。

2.根据权利要求1所述的硅片卸片机，其特征在于，还包括：

转动辊，所述卸载板的顶面开设有第一凹槽，所述转动辊转动安装在所述第一凹槽内。

3.根据权利要求2所述的硅片卸片机，其特征在于，还包括：

橡胶套，套设于所述转动辊上。

4.根据权利要求3所述的硅片卸片机，其特征在于，还包括：

凸条，安装在所述橡胶套的内侧面上，所述转动辊上开设有与所述凸条适配的第二凹槽，所述凸条滑动插接于所述第二凹槽。

5.根据权利要求1所述的硅片卸片机，其特征在于，还包括：

两个挡块，安装在所述卸载板的顶面，两个所述挡块分别位于所述卸载板的两端。

6.根据权利要求2所述的硅片卸片机，其特征在于，所述卸载板的顶面开设有两个螺纹孔，所述转动辊位于两个所述螺纹孔之间，所述卸载板通过螺钉连接在所述滑道上。

7.根据权利要求1所述的硅片卸片机，其特征在于，所述卸载板的顶面与所述导向斜面之间设有圆倒角。

8.根据权利要求1所述的硅片卸片机，其特征在于，所述卸载板由聚四氟乙烯材质制成。

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