CN219189806U - 上下料机床 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种上下料机床，包括机架、机械手和安装位，机械手和安装位均设于机架，安装位用于设置随行夹具，机械手用于将硅棒运送至随行夹具，或将硅棒自随行夹具取出；上下料机床还包括晶线检测机构，晶线检测机构沿机械手的长度方向设置，晶线检测机构用于检测硅棒转动时的半径偏差；其中，晶线检测机构包括至少三组探头，三组探头的连线与竖向轴线重合，其有益效果是晶线检测机构可以为硅棒的可加工性检测提供硬件基础，所测得的硅棒半径，结合常规方差对比法，不但能够对硅棒的进行可加工性检测，还能对硅棒的可加工性进行校核，配合方差对比法，可以提高硅棒形状识别率，纠正因硅棒偏曲造成的加工影响。

Description

上下料机床

技术领域

本实用新型涉及硅棒上下料的技术领域，尤其涉及一种上下料机床。

背景技术

为了提高硅棒的加工效率，能够采用随行夹具作为硅棒的支撑体辅助进行硅棒的加工。

为了实现硅棒在随行夹具内的高精定位，提高开方、磨削工序加工质量，减少加工时间，降低硅棒损耗，就要保证硅棒自身不同位置的半径误差保持在一定的范围内。

目前，在相关技术中，硅棒的检测工作通过晶线检测机构进行，但是由于传统的晶线检测机构往往只存在两组探头，因此只能实现硅棒半径的初步检测，并不能对测得的硅棒半径进行校核，导致硅棒半径的检测结果不可靠。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种上下料机床，其解决了相关技术中硅棒半径的检测结果不可靠的技术问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型提供一种上下料机床，包括机架、机械手和安装位，机械手和安装位均设于机架，安装位用于设置随行夹具，机械手用于将硅棒运送至随行夹具，或将硅棒自随行夹具取出；上下料机床还包括晶线检测机构，晶线检测机构沿机械手的长度方向设置，晶线检测机构用于检测硅棒转动时的半径偏差；其中，晶线检测机构包括至少三组探头，三组探头的连线与竖向轴线重合。

在该技术方案中，上下料机床，包括机架、机械手和安装位，安装位用来设置随行夹具，机械手在上料过程中，用来将硅棒运送至随行夹具，使得硅棒能够通过随行夹具进行夹持；机械手在下料过程中，用于将硅棒在随行夹具中取下。

具体的，机械手可设置为自定心四轴机械手，其与随行夹具之间可前后方向设置，即机械手在前，随行夹具在后。

晶线检测机构用于对硅棒的晶线进行检测，由于硅棒为拉伸成型，在硅棒上，往往会形成四条沿硅棒长度方向延伸的晶线，晶线检测机构检测硅棒的夹持轴线与硅棒的竖向轴线的重合度；

具体的，硅棒的四条晶线所在的直线，与硅棒的上下端面之间形成一个棱柱状的轮廓，该棱柱的上端面对应的晶线的连线呈十字状交汇于第一点，该棱柱的下端面对应的晶线的连线呈十字状交汇于第二点，将第一点和第二点之间的连线记为硅棒的竖向轴线，而硅棒本身，通过机械手夹持，机械手为一种自定心式机械手，由机械手确定的硅棒的轴线，记为夹持轴线，检测机构用来检测硅棒的竖向轴线和夹持轴线的重合度。

硅棒经过随行夹具进行夹持，随行夹具的夹头本身具备转动功能，在机械手的作用下，在上料过程中，硅棒能够准确的进入到随行夹具，并且通过随行夹具进行夹紧。随行夹具的位置通过安装位限定，因此，随行夹具夹头的转动轴线也为一个位置固定的轴线，通过设置机械手的行程，便可以使得硅棒的夹持轴线与随行夹具夹头的转动轴线重合。

晶线检测机构在硅棒通过夹头带动运转时，检测硅棒的竖向轴线和夹持轴线的重合度，晶线检测机构包括至少三组探头，三组探头的连线与竖向轴线重合，探头可为位移传感器，探头检测的数值为硅棒上对应位置在转动时的半径偏移量，并且将该偏移量的方差值与标准硅棒的标准偏移量的方差值进行对比，当二者的差值处在合理的范围时，则说明硅棒的竖向轴线和硅棒的夹持轴线的重合度在合理范围内，说明硅棒的形状合格，当二者的偏移量处在不合理的范围时，则说明硅棒不合格。

在三组探头中，两组探头形成一个初步检测单元，其用来对硅棒的可加工性进行初步检测，并且得到硅棒半径的波动方差；另外一组探头，用来对硅棒的可加工性进行核验，同样得到硅棒半径的波动方差；

在硅棒初步检测完毕后，对硅棒进行再一次的校核，并且将两次的检测结果之间进行比较，同时还对校核所得的检测结果与硅棒的标准方差值进行比较，当两次比较的方差值均较为接近时，则可以表明硅棒满足加工条件，否则硅棒不合格。

与相关技术相比，本实用新型中，机械手上设置的晶线检测机构，可以为硅棒的可加工性检测提供硬件基础，所测得的硅棒半径，结合常规方差对比法，不但能够对硅棒的进行可加工性检测，还能对硅棒的可加工性进行校核，同时，晶线检测机构检测时能互为基准，例如，当探头为三组时，相邻的两组探头可互为基准，配合方差对比法，可以提高硅棒形状识别率，纠正因硅棒偏曲造成的加工影响。

同时，晶线检测机构与机械手集成为一体结构，在上料过程中，当机械手完成硅棒的夹持工作后，硅棒转动的同时，可通过晶线检测机构对硅棒进行检测，由于此时机械手的位置正对硅棒，因此，无需额外对晶线检测机构进行额外的调整，便可以使得其匹配不同长度的硅棒，提高了晶线检测机构对于硅棒的适配能力。

在本实用新型的一个技术方案中，机械手设置为自定心四轴机械手，机械手包括十字滑台、本体、回转部、至少两对滑动部、至少两对运行部和至少两对夹爪；

十字滑台设于机架，回转部与十字滑台连接，十字滑台能够在第一驱动件的带动下使回转部沿水平且相互垂直的两个方向进行滑移；

本体与回转部连接且本体沿竖向延伸，回转部能够在第二驱动件的带动下使本体绕竖向轴线转动；

两对滑动部均纵向滑动安装于本体，且两对运行部与对应滑动部驱动连接，滑动部能够在第三驱动件的带动下沿竖向滑移；

两对夹爪与对应两对运行部驱动连接，运行部能够带动两组夹爪运行以实现硅棒的夹持或松开硅棒；

第一驱动件和第三驱动件均设置为伸缩驱动件，第二驱动件设置为回转驱动件。

在该技术方案中，机械手为一种四轴机械手，并且夹爪为自定心夹爪，使得该机械手可以顺利的完成硅棒的上下料作业，并实现硅棒的自定心夹持工作。

十字滑台呈十字形，其设置于机架，十字滑台可包括两组直线滑台，两组直线滑台相互滑动连接，且呈十字交叉状，回转部设于十字滑台，并通过十字滑台带动运行，回转部可带动本体本身进行转动，滑动部设置在本体上，可带动运行部在本体上进行滑移，而夹爪则通过运行部带动运行。

如此一来，夹爪便可进行水平X、Y、Z方向的滑移，以及Z方向的旋转，进而实现夹爪的灵活移动，以使得硅棒能够被准确的运行至所需位置。

具体的，运行部包括伺服电机齿轮和齿条，伺服电机带动齿轮转动，齿条为两组，两组齿条分别对应设于夹爪上，且两组齿条呈一上一下设置，伺服电机转动，齿轮便带动齿条运行，实现夹爪相互靠近或者相互远离。

更具体的，第一驱动件和第三驱动件均设置为伸缩驱动件，如包括丝杠滑块和电动伸缩驱动件，第二驱动件设置为回转驱动件，如回转缸。

在本实用新型的一个技术方案中，两对滑动部在本体上均存在竖向浮动量，进而使夹爪也存在竖向浮动量，机械手还包括连接装置，且两对滑动部通过连接装置连接，第三驱动件与一个滑动部驱动连接；

其中，连接装置能够主动断开或主动保持两对滑动部之间的联动关系；

连接装置包括杆体和钳制器，杆体能够设于一个滑动部，钳制器能够设于另一个滑动部，杆体能够插设于钳制器；

其中，钳制器存在钳制状态和松脱状态，钳制状态对应两对滑动部联动运行的状态，松脱状态对应两对滑动部独立运行的状态。

在该技术方案中，滑动部相对于本体存在纵向浮动量，可以理解为，两对滑动部可以相对于本体进行纵向的滑移，例如，可以将滑移量设置为3-5mm，在滑动部相对于本体浮动时，夹头也可以相对于本体进行浮动，以使得通过夹头夹持的硅棒同样可以进行浮动。

具体的，可以将滑动部的浮动方向设置为纵向。

正是因为滑动部、夹头甚至硅棒均可进行浮动，因此，在进行硅棒装夹过程中，可采用硅棒的浮动放置法，具体包括如下步骤：

S1：通过第三驱动件带动滑动部向上滑移第一距离，如10mm；

S2：将夹持好的硅棒水平送入随行夹具的对应位置；

S3：通过第三驱动件带动滑动部向下滑移第一距离，如10mm。

由于滑动部自身存在浮动量，因此，在机械手夹持好硅棒后，在重力的作用下，硅棒会将浮动量完全消耗使得硅棒下行至极限位置；

在硅棒通过夹爪进行夹持时，由于二者之间势必会存在微小的纵向滑移，即在硅棒通过夹爪夹持的过程中，在重力的作用下，硅棒势必会相对于夹爪下行一微小的距离，而在硅棒装夹进随行夹具的过程中，由于硅棒事先上行了第一距离，因此，硅棒便不会因为其自身的滑动偏差导致与随行夹具的静夹头发生碰撞，在硅棒装夹完毕后，第三驱动件带动滑动部向下滑移第一距离，由于滑动部存在竖向浮动量，因此该浮动量可以对硅棒相对于夹爪的滑动偏差进行补偿，进而确保硅棒装夹工作准确，稳定的进行。

也就是说，滑动部与本体之间均存在的竖向浮动量，为硅棒的上述装夹方式提供了设备基础。

同时，两对滑动部通过连接装置进行联动，连接装置可主动断开，也可保持两对滑动部之间的联动关系，如此一来，通过控制单独的滑动部滑动，便可改变两对滑动部之间的间距，进而调整两对夹爪之间的间距，使得两对夹爪匹配不同长度的硅棒。

具体的，连接装置包括杆体和钳制器，钳制器可为气动钳制器，杆体则与两对滑动部中的一个相连，钳制器则与两对滑动部中的另一个相连。

在本实用新型的一个技术方案中，两对夹爪均包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪均与运行部驱动连接；

其中，第一夹爪和第二夹爪均设置为自定心夹爪，第一夹爪和第二夹爪之间形成硅棒的夹持空间，运行部能够带动第一夹爪和第二夹爪相互靠近或相互远离，进而实现硅棒的夹紧或松开夹紧的硅棒。

在该技术方案中，两对夹爪为自定心夹爪，例如将夹爪设置为V型夹爪，在与圆形截面的硅棒相接触后，对着夹爪的夹紧，便可实现硅棒的自定心夹持。

在本实用新型的一个技术方案中，机械手还包括缓冲装置，缓冲装置设于本体，且位于上部滑动部沿竖向的上侧，缓冲装置能够对上部滑动部进行滑动缓冲。

在该技术方案中，缓冲装置用来对滑动部进行滑动缓冲，由于滑动部相对于本体存在竖向浮动量，可将缓冲装置设于上部的滑动部的上方，并且在滑动部上行时，对其提供缓冲，避免滑动部损坏。

具体的，缓冲装置可为包括弹簧，缓冲块的缓冲装置，也可为包括弹性垫的缓冲装置。

在本实用新型的一个技术方案中，上下料机床还包括翻转料台，翻转料台与机架相邻，翻转料台内形成容纳腔以容纳硅棒；

其中，翻转料台包括水平位置和竖直位置，翻转料台能够在水平位置和竖直位置之间主动切换，进而使硅棒能够被机械手所夹紧。

在该技术方案中，上下料机床还包括翻转料台，翻转料台可执行翻转功能，其存在与夹爪夹持空间的延伸方向一致的容纳腔，在上料过程中，硅棒设于容纳腔内，在翻转料台运行至竖直位置后，机械手可以将硅棒取出并夹持；

在下料过程中，在翻转料台运行至竖直位置后，机械手可以将硅棒运送至容纳腔，而后翻转料台由竖直位置运行至水平位置，完成出料。

具体的，翻转料台可包括翻转驱动件、台体和安装架，台体铰接于安装架，翻转驱动件则可为伸缩驱动件，其两端分别与安装架和台体铰接，通过伸缩驱动件的伸缩，便可实现翻转料台台体位置的改变。

在本实用新型的一个技术方案中，上下料机床还包括清洗机构，清洗机构设于机架，清洗机构能够输出清洗液进而实现硅棒的清洁。

在该技术方案中，上下料机床还包括清洗机构，用于在上下料过程中，尤其是下料过程中，对硅棒进行清理，清洗机构喷洒清洗液，并且作用在硅棒上，进而实现硅棒的清洗。

在本实用新型的一个技术方案中，机架上还设有驱动装置，驱动装置能够带动随行夹具执行硅棒夹紧动作或执行松开硅棒动作。

在该技术方案中，机架上还设有驱动装置，驱动装置包括伸缩组件和转动组件，伸缩组件能够设于机架，转动组件设于伸缩组件，并且跟随伸缩组件执行伸缩动作；

转动组件包括依次驱动连接的转动驱动件、传动机构和连接端，转动驱动件用于输出转矩，传动机构能够实现连接端与转动驱动件之间的浮动连接关系，连接端能够与随行夹具的转矩输入端配合。

在本实用新型的一个技术方案中，安装位设置有定位机构，定位机构能够与随行夹具配合以实现随行夹具的定位和锁紧。

在该技术方案中，安装位设置有定位机构，定位机构包括粗定位头和精定位头，粗定位头和精定位头设置于安装位，粗定位头和精定位头均设置为圆锥销，且圆锥销的尖端朝向夹具体；夹具体的对应位置开设有与粗定位头和精定位头相匹配的定位孔；其中，精定位头上设有锥套，锥套用于与对应定位孔靠紧以实现夹具体相对于定位结构的夹紧。

在本实用新型的一个技术方案中，翻转料台、驱动装置和安装位对应设置为多组，使得该上下料台形成多工位料台，进而提高该料台的上下料效率，同时，多工位料台可以独立执行相应的上下料作业。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：本实用新型的上下料机床，机械手上设置的晶线检测机构，可以为硅棒的可加工性检测提供硬件基础，所测得的硅棒半径，结合常规方差对比法，不但能够对硅棒的进行可加工性检测，还能对硅棒的可加工性进行校核，同时，晶线检测机构检测时能互为基准，例如，当探头为三组时，相邻的两组探头可互为基准，配合方差对比法，可以提高硅棒形状识别率，纠正因硅棒偏曲造成的加工影响。

同时，晶线检测机构与机械手集成为一体结构，在上料过程中，当机械手完成硅棒的夹持工作后，硅棒转动的同时，可通过晶线检测机构对硅棒进行检测，由于此时机械手的位置正对硅棒，因此，无需额外对晶线检测机构进行额外的调整，便可以使得其匹配不同长度的硅棒，提高了晶线检测机构对于硅棒的适配能力。

附图说明

图1为本实用新型下料机床的结构示意图；

图2为本实用新型翻转料台的结构示意图；

图3为本实用新型机械手的结构示意图；

图4为本实用新型滑动部的局部放大结构示意图；

图5为本实用新型连接装置的结构示意图；

图6为本实用新型图1中A处的局部放大结构示意图；

图7为本实用新型图3中B处的局部放大结构示意图。

【附图标记说明】

1：随行夹具；

2：驱动装置；

3：上下料机床；

31：机架；

32：机械手；

321：十字滑台；

322：本体；

323：回转部；

324：滑动部；

325：运行部；

326：夹爪；

3261：第一夹爪；

3262：第二夹爪；

327：连接装置；

3271：杆体；

3272：钳制器；

328：缓冲装置；

33：晶线检测机构；

331：探头；

34：翻转料台；

35：清洗机构；

6：定位机构。

具体实施方式

为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图1-7，通过具体实施方式，对本实用新型作详细描述。其中，本文所提及的“上”、“下”......等方位名词以图1的定向为参照。

实施例1：

参照图1-7，本实用新型的实施例提供了一种上下料机床3，包括机架31、机械手32和安装位，机械手32和安装位均设于机架31，安装位用于设置随行夹具1，机械手32用于将硅棒运送至随行夹具1，或将硅棒自随行夹具1取出；上下料机床3还包括晶线检测机构33，晶线检测机构33沿机械手32的长度方向设置，晶线检测机构33用于检测硅棒转动时的半径偏差；其中，晶线检测机构33包括至少三组探头331，三组探头331的连线与竖向轴线重合。

在本实施例中，上下料机床3，包括机架31、机械手32和安装位，安装位用来设置随行夹具1，机械手32在上料过程中，用来将硅棒运送至随行夹具1，使得硅棒能够通过随行夹具1进行夹持；机械手32在下料过程中，用于将硅棒在随行夹具1中取下。

具体的，机械手32可设置为自定心四轴机械手32，其与随行夹具1之间可前后方向设置，即机械手32在前，随行夹具1在后。

晶线检测机构33用于对硅棒的晶线进行检测，由于硅棒为拉伸成型，在硅棒上，往往会形成四条沿硅棒长度方向延伸的晶线，晶线检测机构33检测硅棒的夹持轴线与硅棒的竖向轴线的重合度；

具体的，硅棒的四条晶线所在的直线，与硅棒的上下端面之间形成一个棱柱状的轮廓，该棱柱的上端面对应的晶线的连线呈十字状交汇于第一点，该棱柱的下端面对应的晶线的连线呈十字状交汇于第二点，将第一点和第二点之间的连线记为硅棒的竖向轴线，而硅棒本身，通过机械手32夹持，机械手32为一种自定心式机械手32，由机械手32确定的硅棒的轴线，记为夹持轴线，检测机构用来检测硅棒的竖向轴线和夹持轴线的重合度。

硅棒经过随行夹具1进行夹持，随行夹具1的夹头本身具备转动功能，在机械手32的作用下，在上料过程中，硅棒能够准确的进入到随行夹具1，并且通过随行夹具1进行夹紧。随行夹具1的位置通过安装位限定，因此，随行夹具1夹头的转动轴线也为一个位置固定的轴线，通过设置机械手32的行程，便可以使得硅棒的夹持轴线与随行夹具1夹头的转动轴线重合。

晶线检测机构33在硅棒通过夹头带动运转时，检测硅棒的竖向轴线和夹持轴线的重合度，晶线检测机构33包括至少三组探头331，三组探头331的连线与竖向轴线重合，探头331可为位移传感器，探头331检测的数值为硅棒上对应位置在转动时的半径偏移量，并且将该偏移量的方差值与标准硅棒的标准偏移量的方差值进行对比，当二者的差值处在合理的范围时，则说明硅棒的竖向轴线和硅棒的夹持轴线的重合度在合理范围内，说明硅棒的形状合格，当二者的偏移量处在不合理的范围时，则说明硅棒不合格。

在三组探头331中，两组探头331形成一个初步检测单元，其用来对硅棒的可加工性进行初步检测，并且得到硅棒半径的波动方差；另外一组探头331，用来对硅棒的可加工性进行核验，同样得到硅棒半径的波动方差；

在硅棒初步检测完毕后，对硅棒进行再一次的校核，并且将两次的检测结果之间进行比较，同时还对校核所得的检测结果与硅棒的标准方差值进行比较，当两次比较的方差值均较为接近时，则可以表明硅棒满足加工条件，否则硅棒不合格。

与相关技术相比，本实用新型中，机械手32上设置的晶线检测机构33，可以为硅棒的可加工性检测提供硬件基础，所测得的硅棒半径，结合常规方差对比法，不但能够对硅棒的进行可加工性检测，还能对硅棒的可加工性进行校核，同时，晶线检测机构33检测时能互为基准，例如，当探头331为三组时，相邻的两组探头331可互为基准，配合方差对比法，可以提高硅棒形状识别率，纠正因硅棒偏曲造成的加工影响。

同时，晶线检测机构33与机械手32集成为一体结构，在上料过程中，当机械手32完成硅棒的夹持工作后，硅棒转动的同时，可通过晶线检测机构33对硅棒进行检测，由于此时机械手32的位置正对硅棒，因此，无需额外对晶线检测机构33进行额外的调整，便可以使得其匹配不同长度的硅棒，提高了晶线检测机构33对于硅棒的适配能力。

机械手32设置为自定心四轴机械手32，机械手32包括十字滑台321、本体322、回转部323、至少两对滑动部324、至少两对运行部325和至少两对夹爪326；

十字滑台321设于机架31，回转部323与十字滑台321连接，十字滑台321能够在第一驱动件的带动下使回转部323沿水平且相互垂直的两个方向进行滑移；

本体322与回转部323连接且本体322沿竖向延伸，回转部323能够在第二驱动件的带动下使本体322绕竖向轴线转动；

两对滑动部324均纵向滑动安装于本体322，且两对运行部325与对应滑动部324驱动连接，滑动部324能够在第三驱动件的带动下沿竖向滑移；

两对夹爪326与对应两对运行部325驱动连接，运行部325能够带动两组夹爪326运行以实现硅棒的夹持或松开硅棒；

第一驱动件和第三驱动件均设置为伸缩驱动件，第二驱动件设置为回转驱动件。

在本实施例中，机械手32为一种四轴机械手32，并且夹爪326为自定心夹爪326，使得该机械手32可以顺利的完成硅棒的上下料作业，并实现硅棒的自定心夹持工作。

十字滑台321呈十字形，其设置于机架31，十字滑台321可包括两组直线滑台，两组直线滑台相互滑动连接，且呈十字交叉状，回转部323设于十字滑台321，并通过十字滑台321带动运行，回转部323可带动本体322本身进行转动，滑动部324设置在本体322上，可带动运行部325在本体322上进行滑移，而夹爪326则通过运行部325带动运行。

如此一来，夹爪326便可进行水平X、Y、Z方向的滑移，以及Z方向的旋转，进而实现夹爪326的灵活移动，以使得硅棒能够被准确的运行至所需位置。

具体的，运行部325包括伺服电机齿轮和齿条，伺服电机带动齿轮转动，齿条为两组，两组齿条分别对应设于夹爪326上，且两组齿条呈一上一下设置，伺服电机转动，齿轮便带动齿条运行，实现夹爪326相互靠近或者相互远离。

更具体的，第一驱动件和第三驱动件均设置为伸缩驱动件，如包括丝杠滑块和电动伸缩驱动件，第二驱动件设置为回转驱动件，如回转缸。

两对夹爪326均包括第一夹爪3261和第二夹爪3262，第一夹爪3261和第二夹爪3262均与运行部325驱动连接；

其中，第一夹爪3261和第二夹爪3262均设置为自定心夹爪326，第一夹爪3261和第二夹爪3262之间形成硅棒的夹持空间，运行部325能够带动第一夹爪3261和第二夹爪3262相互靠近或相互远离，进而实现硅棒的夹紧或松开夹紧的硅棒。

在本实施例中，两对夹爪326为自定心夹爪326，例如将夹爪326设置为V型夹爪326，在与圆形截面的硅棒相接触后，对着夹爪326的夹紧，便可实现硅棒的自定心夹持。

驱动装置2包括伸缩组件和转动组件，伸缩组件能够设于机架31，转动组件设于伸缩组件，并且跟随伸缩组件执行伸缩动作；

转动组件包括依次驱动连接的转动驱动件、传动机构和连接端，转动驱动件用于输出转矩，传动机构能够实现连接端与转动驱动件之间的浮动连接关系，连接端能够与随行夹具的转矩输入端配合。

在本实施例中，安装位设置有定位机构6，定位机构6能够与随行夹具1配合以实现随行夹具1的定位和锁紧。

在本实施例中，安装位设置有定位机构6，定位机构6包括粗定位头和精定位头，粗定位头和精定位头设置于安装位，粗定位头和精定位头均设置为圆锥销，且圆锥销的尖端朝向夹具体；夹具体的对应位置开设有与粗定位头和精定位头相匹配的定位孔；其中，精定位头上设有锥套，锥套用于与对应定位孔靠紧以实现夹具体相对于定位结构的夹紧。

在本实施例中，翻转料台34、驱动装置2和安装位对应设置为多组，使得该上下料台形成多工位料台，进而提高该料台的上下料效率，同时，多工位料台可以独立执行相应的上下料作业。

实施例2：

参照图3、图4和图5，本实用新型的实施例除具备上述实施例的全部技术方案外，还进一步的具备以下技术方案：

两对滑动部324在本体322上均存在竖向浮动量，进而使夹爪326也存在竖向浮动量，机械手32还包括连接装置327，且两对滑动部324通过连接装置327连接，第三驱动件与一个滑动部324驱动连接；

其中，连接装置327能够主动断开或主动保持两对滑动部324之间的联动关系；

连接装置327包括杆体3271和钳制器3272，杆体3271能够设于一个滑动部324，钳制器3272能够设于另一个滑动部324，杆体3271能够插设于钳制器3272；

其中，钳制器3272存在钳制状态和松脱状态，钳制状态对应两对滑动部324联动运行的状态，松脱状态对应两对滑动部324独立运行的状态。

在本实施例中，滑动部324相对于本体322存在纵向浮动量，可以理解为，两对滑动部324可以相对于本体322进行纵向的滑移，例如，可以将滑移量设置为3-5mm，在滑动部324相对于本体322浮动时，夹头也可以相对于本体322进行浮动，以使得通过夹头夹持的硅棒同样可以进行浮动。

具体的，可以将滑动部324的浮动方向设置为纵向。

正是因为滑动部324、夹头甚至硅棒均可进行浮动，因此，在进行硅棒装夹过程中，可采用硅棒的浮动放置法，具体包括如下步骤：

S1：通过第三驱动件带动滑动部324向上滑移第一距离，如10mm；

S2：将夹持好的硅棒水平送入随行夹具1的对应位置；

S3：通过第三驱动件带动滑动部324向下滑移第一距离，如10mm。

由于滑动部324自身存在浮动量，因此，在机械手32夹持好硅棒后，在重力的作用下，硅棒会将浮动量完全消耗使得硅棒下行至极限位置；

在硅棒通过夹爪326进行夹持时，由于二者之间势必会存在微小的纵向滑移，即在硅棒通过夹爪326夹持的过程中，在重力的作用下，硅棒势必会相对于夹爪326下行一微小的距离，而在硅棒装夹进随行夹具1的过程中，由于硅棒事先上行了第一距离，因此，硅棒便不会因为其自身的滑动偏差导致与随行夹具1的静夹头发生碰撞，在硅棒装夹完毕后，第三驱动件带动滑动部324向下滑移第一距离，由于滑动部324存在竖向浮动量，因此该浮动量可以对硅棒相对于夹爪326的滑动偏差进行补偿，进而确保硅棒装夹工作准确，稳定的进行。

也就是说，滑动部324与本体322之间均存在的竖向浮动量，为硅棒的上述装夹方式提供了设备基础。

同时，两对滑动部324通过连接装置327进行联动，连接装置327可主动断开，也可保持两对滑动部324之间的联动关系，如此一来，通过控制单独的滑动部324滑动，便可改变两对滑动部324之间的间距，进而调整两对夹爪326之间的间距，使得两对夹爪326匹配不同长度的硅棒。

具体的，连接装置327包括杆体3271和钳制器3272，钳制器3272可为气动钳制器3272，杆体3271则与两对滑动部324中的一个相连，钳制器3272则与两对滑动部324中的另一个相连。

实施例3：

参照图3和图4，本实用新型的实施例除具备上述任一实施例的全部技术方案外，还进一步的具备以下技术方案：

机械手32还包括缓冲装置328，缓冲装置328设于本体322，且位于上部滑动部324沿竖向的上侧，缓冲装置328能够对上部滑动部324进行滑动缓冲。

在本实施例中，缓冲装置328用来对滑动部324进行滑动缓冲，由于滑动部324相对于本体322存在竖向浮动量，可将缓冲装置328设于上部的滑动部324的上方，并且在滑动部324上行时，对其提供缓冲，避免滑动部324损坏。

具体的，缓冲装置328可为包括弹簧，缓冲块的缓冲装置328，也可为包括弹性垫的缓冲装置328。

实施例4：

参照图1和图2，本实用新型的实施例除具备上述任一实施例的全部技术方案外，还进一步的具备以下技术方案：

上下料机床3还包括翻转料台34，翻转料台34与机架31相邻，翻转料台34内形成容纳腔以容纳硅棒；

其中，翻转料台34包括水平位置和竖直位置，翻转料台34能够在水平位置和竖直位置之间主动切换，进而使硅棒能够被机械手32所夹紧。

在本实施例中，上下料机床3还包括翻转料台34，翻转料台34可执行翻转功能，其存在与夹爪326夹持空间的延伸方向一致的容纳腔，在上料过程中，硅棒设于容纳腔内，在翻转料台34运行至竖直位置后，机械手32可以将硅棒取出并夹持；

在下料过程中，在翻转料台34运行至竖直位置后，机械手32可以将硅棒运送至容纳腔，而后翻转料台34由竖直位置运行至水平位置，完成出料。

具体的，翻转料台34可包括翻转驱动件、台体和安装架，台体铰接于安装架，翻转驱动件则可为伸缩驱动件，其两端分别与安装架和台体铰接，通过伸缩驱动件的伸缩，便可实现翻转料台34台体位置的改变。

在本实施例中，上下料机床3还包括清洗机构35，清洗机构35设于机架31，清洗机构35能够输出清洗液进而实现硅棒的清洁。

实施例5：

参照图1，本实用新型的实施例除具备上述任一实施例的全部技术方案外，还进一步的具备以下技术方案：

上下料机床3还包括清洗机构35，用于在上下料过程中，尤其是下料过程中，对硅棒进行清理，清洗机构35喷洒清洗液，并且作用在硅棒上，进而实现硅棒的清洗。

在本实施例中，机架31上还设有驱动装置2，驱动装置2能够带动随行夹具1执行硅棒夹紧动作或执行松开硅棒动作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅能够描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”，可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”，可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”，可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

术语“包括”或者任何其它类似用语旨在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、物品或者设备/装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其它要素，或者还包括这些过程、物品或者设备/装置所固有的要素。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种上下料机床，其特征在于：包括：

机架(31)、机械手(32)和安装位，所述机械手(32)和所述安装位均设于所述机架(31)，所述安装位用于设置随行夹具(1)；

所述机械手(32)用于将硅棒运送至所述随行夹具(1)实现夹持并使所述硅棒的夹持轴线与所述随行夹具(1)驱动硅棒运转的轴线重合，或将所述硅棒自所述随行夹具(1)取出；

所述上下料机床(3)还包括晶线检测机构(33)，所述晶线检测机构(33)沿所述机械手(32)的长度方向设置，所述晶线检测机构(33)用于检测所述硅棒转动时的半径偏差；

其中，所述晶线检测机构(33)包括至少三组探头(331)，三组所述探头(331)的连线与所述硅棒的竖向轴线重合。

2.如权利要求1所述的上下料机床，其特征在于：所述机械手(32)设置为自定心四轴机械手(32)，所述机械手(32)包括十字滑台(321)、本体(322)、回转部(323)、至少两对滑动部(324)、至少两对运行部(325)和至少两对夹爪(326)；

所述十字滑台(321)设于所述机架(31)，所述回转部(323)与所述十字滑台(321)连接，所述十字滑台(321)能够在第一驱动件的带动下使所述回转部(323)沿水平且相互垂直的两个方向进行滑移；

所述本体(322)与所述回转部(323)连接且所述本体(322)沿竖向延伸，所述回转部(323)能够在第二驱动件的带动下使所述本体(322)绕竖向轴线转动；

两对所述滑动部(324)均纵向滑动安装于所述本体(322)，且两对所述运行部(325)与对应所述滑动部(324)驱动连接，所述滑动部(324)能够在第三驱动件的带动下沿竖向滑移；

两对所述夹爪(326)与对应两对所述运行部(325)驱动连接，所述运行部(325)能够带动两组所述夹爪(326)运行以实现所述硅棒的夹持或松开所述硅棒；

所述第一驱动件和所述第三驱动件均设置为伸缩驱动件，所述第二驱动件设置为回转驱动件。

3.如权利要求2所述的上下料机床，其特征在于：两对所述滑动部(324)在所述本体(322)上均存在竖向浮动量，进而使所述夹爪(326)也存在竖向浮动量，所述机械手(32)还包括连接装置(327)，且两对所述滑动部(324)通过所述连接装置(327)连接，所述第三驱动件与一个所述滑动部(324)驱动连接；

其中，所述连接装置(327)能够主动断开或主动保持两对所述滑动部(324)之间的联动关系；

所述连接装置(327)包括杆体(3271)和钳制器(3272)，所述杆体(3271)能够设于一个所述滑动部(324)，所述钳制器(3272)能够设于另一个所述滑动部(324)，所述杆体(3271)能够插设于所述钳制器(3272)；

其中，所述钳制器(3272)存在钳制状态和松脱状态，所述钳制状态对应两对所述滑动部(324)联动运行的状态，所述松脱状态对应两对所述滑动部(324)独立运行的状态。

4.如权利要求3所述的上下料机床，其特征在于：两对所述夹爪(326)均包括第一夹爪(3261)和第二夹爪(3262)，所述第一夹爪(3261)和所述第二夹爪(3262)均与所述运行部(325)驱动连接；

其中，所述第一夹爪(3261)和所述第二夹爪(3262)均设置为自定心夹爪(326)，所述第一夹爪(3261)和所述第二夹爪(3262)之间形成所述硅棒的夹持空间，所述运行部(325)能够带动所述第一夹爪(3261)和所述第二夹爪(3262)相互靠近或相互远离，进而实现所述硅棒的夹紧或松开夹紧的所述硅棒。

5.如权利要求3所述的上下料机床，其特征在于：所述机械手(32)还包括缓冲装置(328)，所述缓冲装置(328)设于所述本体(322)，且位于上部所述滑动部(324)沿竖向的上侧，所述缓冲装置(328)能够对上部所述滑动部(324)进行滑动缓冲。

6.如权利要求1所述的上下料机床，其特征在于：所述上下料机床(3)还包括翻转料台(34)，所述翻转料台(34)与所述机架(31)相邻，所述翻转料台(34)内形成容纳腔以容纳硅棒；

其中，所述翻转料台(34)包括水平位置和竖直位置，所述翻转料台(34)能够在所述水平位置和所述竖直位置之间主动切换，进而使所述硅棒能够被所述机械手(32)所夹紧。

7.如权利要求6所述的上下料机床，其特征在于：所述上下料机床(3)还包括清洗机构(35)，所述清洗机构(35)设于所述机架(31)，所述清洗机构(35)能够输出清洗液进而实现硅棒的清洁。

8.如权利要求7所述的上下料机床，其特征在于：所述机架(31)上还设有驱动装置(2)，所述驱动装置(2)能够带动所述随行夹具(1)执行硅棒夹紧动作或执行松开硅棒动作。

9.如权利要求8所述的上下料机床，其特征在于：所述安装位设置有定位机构(6)，所述定位机构(6)能够与所述随行夹具(1)配合以实现所述随行夹具(1)的定位和锁紧。

10.如权利要求9所述的上下料机床，其特征在于：所述翻转料台(34)、所述驱动装置(2)和所述安装位对应设置为多组。

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