CN219173535U - 载具盘双向流转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的载具盘双向流转装置，包括安装基板、Y轴驱动机构、X轴驱动机构及第一顶升机构，Y轴驱动机构及第一顶升机构均安装于安装基板上，其中，Y轴驱动机构能够承接载具盘，并驱使载具盘在Y轴方向上进行运动；X轴驱动机构安装于第一顶升机构上，且第一顶升机构能够驱使X轴驱动机构沿着Z轴方向运动，以将载具盘从Y轴驱动机构转移至X轴驱动机构上。本实用新型结构简单，空间占有率低，能够驱使载具在Y轴方向，X轴方向上进行运动，并可利用第一顶升机构对X轴驱动机构在Z轴方向上的运动，可将Y轴驱动机构上载具盘转移至X轴驱动机构，以此满足对载具盘双向流转的使用需求。

Description

载具盘双向流转装置

技术领域

本实用新型属于载具盘传输相关的技术领域，特别是涉及一种载具盘双向流转装置。

背景技术

芯片生产完成后，通常需要对芯片进行测试、分选。为此，需要将芯片放置在载具盘上，并通过对载具盘的传输，以使盛装有芯片的载具盘能够根据使用的需求途径芯片分选工位和芯片测试工位。

目前，现有的用于传输载具盘的传输装置为了实现载具盘能够在Y轴方向与X轴方向进行双向的流转，通常需要设计比较复杂的机械结构，这样不仅生产制造成本高，而且还会占用较大的空间，不利于机构布局。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种用于解决上述技术问题的载具盘双向流转装置。

一种载具盘双向流转装置，包括安装基板、Y轴驱动机构、X轴驱动机构及第一顶升机构，所述Y轴驱动机构及所述第一顶升机构均安装于所述安装基板上，其中，所述Y轴驱动机构能够承接载具盘，并驱使所述载具盘在Y轴方向上进行运动；

所述X轴驱动机构安装于所述第一顶升机构上，且所述第一顶升机构能够驱使所述X轴驱动机构沿着Z轴方向从第一位置运动至第二位置，以将所述载具盘从所述Y轴驱动机构转移至所述X轴驱动机构上；其中，所述第一位置低于所述Y轴驱动机构所在的位置设置，所述第二位置高于所述Y轴驱动机构所在的位置设置。

在本申请中，通过上述Y轴驱动机构、X轴驱动机构及第一顶升机构的合理结构设置，使得该载具盘双向流转装置工作时，能够用Y轴驱动机构驱使载具盘在Y轴方向上的运动，用X轴驱动机构驱使载具盘在X轴方向上的运动，并利用第一顶升机构对X轴驱动机构在Z轴方向上从第一位置到第二位置的运动，可将Y轴驱动机构上承接的载具盘转移至X轴驱动机构，以此满足对载具盘双向流转的使用需求；同时，该载具盘双向流转装置结构简单，空间占有率低，进一步满足企业对于载具盘传输的使用需求。

在其中一个实施例中，所述第一顶升机构包括第一伸缩驱动件、顶升驱动板及顶升从动板，所述顶升驱动板与所述顶升从动板分居于所述安装基板的两侧，其中，所述顶升驱动板与所述顶升从动板之间通过贯穿所述安装基板的顶升导向轴连接；

所述第一伸缩驱动件设置于所述安装基板与所述顶升驱动板之间，并可同时驱使所述顶升驱动板及所述顶升从动板作相对于所述安装基板的运动。

可以理解的是，通过上述第一伸缩驱动件、顶升驱动板及顶升从动板的结构设置，以此具体实现该第一顶升机构的结构上设置，使得该第一顶升机构工作时能够同时实现对顶升驱动板及顶升从动板的运动驱动，以满足X轴驱动机构在该第一顶升机构上装配的使用需求。

在其中一个实施例中，所述Y轴驱动机构包括Y向同步带组件及Y向驱动组件，所述Y向同步带组件的数量为两组，两组所述Y向同步带组件间隔且平行设置，且所述X轴驱动机构设置于两组所述Y向同步带组件之间；

所述Y向驱动组件用于同步驱使两组所述Y向同步带组件运行。

可以理解的是，通过上述Y向同步带组件及Y向驱动组件的结构设置，以此具体实现该Y轴驱动机构的结构设置，而将X轴驱动机构设置于该Y轴驱动机构上两组Y向同步带组件之间，以此具体实现该Y轴驱动机构及X轴驱动机构的平面布置关系，这样能够起到节省空间的作用。

在其中一个实施例中，所述X轴驱动机构包括X向驱动电机、X向传送带及两个X向同步带组件，两个所述X向同步带组件配合能够共同用于承接所述载具盘，所述X向驱动电机能够通过所述X向传送带驱使两个所述X向同步带组件带动所述载具盘沿着X轴方向进行运动；

其中，所述X向驱动电机固定安装于所述顶升驱动板上，所述X向传送带贯穿所述安装基板设置。

可以理解的是，通过上述X向驱动电机、X向传送带及两个X向同步带组件的结构设置，以此具体实现该X轴驱动机构的结构设置；将X向驱动电机固定安装至顶升驱动板上，X向传送带贯穿安装基板设置，这样在满足该第一顶升机构工作时对X轴驱动机构在Z轴方向运动的使用需求的基础上，还能够与Y轴驱动机构之间起到避让的作用，以满足X轴驱动机构与Y轴驱动机构组合安装至安装基板上的使用需求。

在其中一个实施例中，所述X轴驱动机构还包括第二同步轴，两个所述X向同步带组件通过所述第二同步轴传动连接，以使两个所述X向同步带组件同步传送。

可以理解的是，通过上述第二同步轴的结构设置，利用第二同步轴与两个X向同步带组件之间的传动连接，可实现该X轴驱动机构工作时，两个X向同步带组件能够进行同步传送，以满足对载具盘在X轴方向上运动的驱动。

在其中一个实施例中，所述Y轴驱动机构还包括Y向限位件，所述Y向限位件与所述X轴驱动机构间隔设置；

其中，所述Y向限位件能够抵碰所述载具盘，以对所述载具盘在所述Y向同步带组件上的运动进行限位。

可以理解的是，通过上述Y向限位件的结构设置，以对载具盘在Y轴驱动机构上Y轴方向的运动进行限位，使得该载具盘双向流转装置工作时，Y轴驱动机构驱使载具盘在Y轴方向运动直至被Y向限位件限位后，再转移至X轴驱动机构上，以满足Y轴驱动机构上载具盘转移至X轴驱动机构上的使用需求。

在其中一个实施例中，所述载具盘双向流转装置还包括第二顶升机构；其中，所述第二顶升机构包括第二伸缩驱动件及载具盘打开座，所述载具盘打开座安装于所述第二伸缩驱动件上，且所述第二伸缩驱动件能够驱使所述载具盘打开座与所述载具盘配合，以解除所述载具盘对置于该载具盘内芯片的锁定。

可以理解的是，通过上述第二顶升机构的结构设置，使得该载具盘双向流转装置工作时，能够利用第二顶升机构上载具盘打开座与载具盘之间的配合，解除该载具盘对芯片的锁定，以满足后续机械手抓取该载具盘上芯片的使用需求。

在其中一个实施例中，所述载具盘双向流转装置还包括顶部限位机构，所述顶部限位机构安装于所述X轴驱动机构上，且所述顶部限位机构能够在所述载具盘打开座与所述载具盘配合的过程中抵碰所述载具盘，以对所述载具盘进行限位。

可以理解的是，通过上述顶部限位机构的结构设置，能够在载具盘打开座与载具盘配合时对载具盘进行限位，以满足载具盘打开座与载具盘配合并打开对载具盘上芯片进行锁定的使用需求。

在其中一个实施例中，所述顶部限位机构包括伸缩驱动件、安装支座、连杆组件及限位挡板，所述限位挡板滑动地安装于所述安装支座上，其中，所述限位挡板通过所述连杆组件与所述伸缩驱动件传动连接，且所述伸缩驱动件能够通过所述连杆组件驱使所述限位挡板在所述安装支座上滑动，以使所述限位挡板部分伸入至所述载具盘的上方位置。

可以理解的是，通过上述伸缩驱动件、安装支座、连杆组件及限位挡板的结构设置，以此具体实现该顶部限位机构的结构设置，以满足该顶部限位机构应用于该载具盘双向流转装置中，能够根据使用的需求实现对载具盘的顶部限位。

在其中一个实施例中，所述载具盘双向流转装置还包括侧顶限位机构，所述侧顶限位机构安装于所述X轴驱动机构上，且所述侧顶限位机构能够与所述载具盘配合，以对所述载具盘进行定位。

可以理解的是，通过上述侧顶限位机构的结构设置，使得该载具盘双向流转装置工作时，能够用侧顶限位机构对载具盘在X轴驱动机构上的位置进行精确定位，以满足后续第二顶升机构工作时对载具盘进行顶升的使用需求。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请请求保护的载具盘双向流转装置的结构示意图；

图2为本申请中Y轴驱动机构的结构示意图；

图3为本申请请求保护的载具盘双向流转装置的局部结构示意图；

图4为图3另一视角的结构示意图；

图5为本申请中顶部限位机构的结构示意图；

图6为本申请中侧顶限位机构的结构示意图。

附图标记，10、安装基板；20、Y轴驱动机构；21、Y向同步带组件；211、Y向同步带；212、驱动轮；213、惰轮；22、Y向驱动组件；221、同步轴；222、Y向驱动电机；223、同步带轮组件；23、Y向导轨；231、导轨固定支座；24、Y向限位件；241、Y向侧挡板；30、X轴驱动机构；31、X向驱动电机；32、X向传送带；33、X向同步带组件；34、第二同步轴；35、X向导轨；40、第一顶升机构；41、第一伸缩驱动件；42、顶升驱动板；43、顶升从动板；44、顶升导向轴；45、直线轴承；50、第二顶升机构；51、第二伸缩驱动件；52、载具盘打开座；60、顶部限位机构；601、轴承；61、伸缩驱动件；611、伸缩部；62、安装支座；63、连杆组件；631、第一连接轴；632、第二连接轴；633、连杆；64、限位挡板；70、侧顶限位机构；71、定位气缸；72、固定安装板；73、销轴安装座；74、定位销轴；200、载具盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接设在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“固定于”另一个元件，它可以是直接固定在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本申请请求保护的载具盘双向流转装置，用于承载载具盘200，并可驱使载具盘200在Y轴方向，X轴方向及Z轴方向上分别进行运动，以满足对载具盘200传输的使用需求。

如图1至图6所示，本申请第一实施例所提供的载具盘双向流转装置，包括安装基板10、Y轴驱动机构20、X轴驱动机构30、第一顶升机构40、第二顶升机构50、顶部限位机构60及侧顶限位机构70。

其中，Y轴驱动机构20及第一顶升机构40安装于安装基板10上，X轴驱动机构30及第二顶升机构50安装于第一顶升机构40上，顶部限位机构60及侧顶限位机构70均安装于X轴驱动机构30上。也就是说，本申请的载具盘双向流转装置以安装基板10为安装基础进行安装。

如图2所示，本申请的Y轴驱动机构20包括两个Y向同步带组件21及Y向驱动组件22，两个Y向同步带组件21对称地分居于安装基板10的两侧，使得两个Y向同步带组件21上Y向同步带211能够相互配合并共同用于支撑载具盘200，且载具盘200在两个Y向同步带211的带动下能够在Y轴方向上进行运动；Y向驱动组件22用于同时驱动两个Y向同步带组件21工作。需要说明的是，本申请的Y向同步带组件21具体通过Y向导轨23安装于安装基板10上，而Y向导轨23与安装基板10之间则用导轨固定支座231进行连接固定。

其中，两个Y向同步带组件21上两个驱动轮212之间用第一同步轴221进行连接，以此确保该Y向驱动组件22驱动两个Y向同步带组件21时，两个Y向同步带组件21上Y向同步带211在各自的驱动轮212的驱动下进行同步传送。

该Y向驱动组件22还包括Y向驱动电机222、Y向驱动电机222的转轴部通过同步带轮组件223与第一同步轴221连接，使得该Y向驱动组件22工作时，Y向驱动电机222在同步带轮组件223的传动下实现对第一同步轴221旋转运动的驱动，进而达到对两个Y向同步带组件21上Y向同步带211运动的驱动。需要说明的是，本申请的Y向驱动电机222固定地安装至安装基板10上背离Y向同步带211的一侧，并在该Y向同步带组件21上设置惰轮213，以使该Y向同步带211呈L型结构，这样可满足该载具盘双向流转装置中Y轴驱动机构20与X轴驱动机构30之间配合装配的使用需求，在此就不展开阐述。

本申请的Y轴驱动机构20还包括Y向限位件24，Y向限位件24能够抵碰载具盘200，以对载具盘200在Y轴驱动机构20上的运动进行限位。使得载具盘200在Y轴方向进行运动时，直至载具盘200被Y向限位件24限位后，该第一顶升机构40才启动，并驱使X轴驱动机构30在Z轴方向上运动，以使X轴驱动机构30能够从Y轴驱动机构20上承接载具盘200，并带动载具盘200在Z轴方向上提升一定高度。也就是说，Y向限位件24对载具盘200在Y轴方向上运动的限位位置，即为载具盘200从Y轴驱动机构20转移至X轴驱动机构30上时的限位位置。

具体地，本申请的Y向限位件24具体设置为Y向侧挡板241，Y向侧挡板241固定在Y向导轨23上。需要说明的是，本申请的Y向侧挡板241的数量为一个，Y向侧挡板241固定地安装于其中一Y向导轨23的端部，并且水平指向另一Y向导轨23设置，以避免Y向侧挡板241的结构设置与X轴驱动机构30在Z轴方向上的运动产生干涉。

如图3、图4所示，本申请的第一顶升机构40包括第一伸缩驱动件41、顶升驱动板42及顶升从动板43，顶升驱动板42与顶升从动板43分居于安装基板10厚度方向的两侧，其中，顶升驱动板42与顶升从动板43之间通过贯穿安装基板10的顶升导向轴44连接；第一伸缩驱动件41设置于安装基板10与顶升驱动板42之间，并可同时驱使顶升驱动板42及顶升从动板43作相对于安装基板10的运动。以此具体实现该第一顶升机构40的结构设置，使得该第一顶升机构40工作时能够同时实现对顶升驱动板42及顶升从动板43运动的驱动，并满足X轴驱动机构30及第二顶升机构50在该第一顶升机构40上装配的使用需求。需要说明的是，本申请的第一伸缩驱动件41具体设置为伸缩气缸，伸缩气缸的缸体部固定安装于安装基板10靠近顶升驱动板42一侧上，而伸缩杆部与顶升驱动板42连接固定。

其中，本申请的安装基板10上安装有直线轴承45，直线轴承45对应于顶升导向轴44设置，且顶升导向轴44滑动地安装于直线轴承45上，使得该第一顶升机构40工作时，利用直线轴承45的结构特点，可实现对顶升驱动板42及顶升从动板43的运动起到导向的作用，以此确保该顶升驱动板42及顶升从动板43在Z轴方向上进行运动。需要说明的是，本申请的第一顶升机构40上顶升导向轴44及直线轴承45的数量为多个，具体可分居于第一伸缩驱动件41的外围，以此提高该第一顶升机构40工作时，顶升驱动板42与顶升从动板43运动的稳定性。

如图3所示，X轴驱动机构30设置于Y轴驱动机构20上两组Y向同步带组件21之间，以此具体实现该Y轴驱动机构20及X轴驱动机构30的平面布置关系，这样能够起到节省空间的作用。

其中，本申请的X轴驱动机构30包括X向驱动电机31、X向传送带32及两个X向同步带组件33，两个X向同步带组件33配合能够共同用于承接载具盘200，且X向驱动电机31能够通过X向传送带32驱使X向同步带组件33带动载具盘200沿着X轴方向进行运动，以此具体实现该X轴驱动机构30的结构设置。

其中，本申请的X向驱动电机31固定安装于顶升驱动板42上，X向传送带32通过开设于安装基板10上的通孔贯通安装基板10设置，这样在满足该第一顶升机构40工作时对X轴驱动机构30在Z轴方向运动的使用需求的基础上，还能够与Y轴驱动机构20之间起到避让的作用，以满足X轴驱动机构30与Y轴驱动机构20组合安装至安装基板10上的使用需求。

本申请的X轴驱动机构30还包括第二同步轴34，两个X向同步带组件33通过第二同步轴34传动连接，以使两个X向同步带组件33同步传送，以满足该X轴驱动机构30工作时对载具盘200在X轴方向上运动进行驱动的使用需求。需要说明的是，第二同步轴34与两个X向同步带组件33及X向传送带32之间的连接方式，与Y轴驱动机构20中第一同步轴221、两个Y向同步带组件21及Y向驱动组件22三者之间的连接方式相同，在此就不展开阐述。

如图4所示，本申请的第二顶升机构50包括第二伸缩驱动件51及载具盘打开座52，载具盘打开座52安装于第二伸缩驱动件51上，且第二伸缩驱动件51能够驱使载具盘打开座52与载具盘200配合，以解除载具盘200对置于该载具盘200内芯片的锁定，以此具体实现该第二顶升机构50的结构设置，使得该第二顶升机构50工作时，能够利用载具盘打开座52与载具盘200之间的配合，解除该载具盘200对芯片的锁定，以满足后续机械手抓取该载具盘200上芯片的使用需求。需要说明的是，载具盘打开座52与载具盘200之间的配合具体可采用现有技术中常规方式，具体可在载具盘打开座52上设置用于匹配载具盘200上每个芯片的位置针杆，利用针杆对载具盘200上对应锁定部位的推顶，即可实现对载具盘200上芯片锁定结构的解除。

本申请的顶部限位机构60能够在载具盘打开座52与载具盘200配合的过程中抵碰载具盘200，以对载具盘200进行限位，这样能够满足载具盘打开座52与载具盘200配合并打开对载具盘200上芯片进行锁定的使用需求。

如图4、5所示，本申请的顶部限位机构60包括伸缩驱动件61、安装支座62、连杆组件63及限位挡板64，限位挡板64滑动地安装于安装支座62上，其中，限位挡板64通过连杆组件63与伸缩驱动件61传动连接，且伸缩驱动件61能够通过连杆组件63驱使限位挡板64在安装支座62上滑动，以使限位挡板64部分伸入至载具盘200的上方位置，以此具体实现该顶部限位机构60的结构设置，以满足该顶部限位机构60应用于该载具盘双向流转装置中，能够根据使用的需求实现对载具盘200的顶部限位。需要说明的是，本申请的伸缩驱动件61设置为伸缩气缸，且该伸缩气缸固定地安装于安装支座62，使得该顶部限位机构60能够以安装支座62为安装基础安装至X轴驱动机构30上，具体是固定地安装至X轴驱动机构30的X向导轨35上，并且位于所在X轴驱动机构30背离两X轴驱动机构30之间区域的一侧。

其中，本申请的连杆组件63包括第一连接轴631、第二连接轴632、连杆633，第一连接轴631沿Z轴方向滑动地安装于安装支座62上，第二连接轴632沿Y轴方向滑动地安装于安装支座62上，为了便于第一连接轴631及第二连接轴632在安装支座62上的运动，第一连接轴631及第二连接轴632分别可通过轴承601滑动地安装于安装支座62上，伸缩驱动件61的伸缩部611及连杆633的一端分别转动地安装于第一连接轴631上，连杆633的另一端及限位挡板64安装于第二连接轴632上。使得该顶部限位机构60工作时，伸缩驱动件61用伸缩部611推顶第一连接轴631在安装支座62上沿Z轴方向滑动，于此同时，第一连接轴631在连杆633的传动下能够实现对第二连接轴632在安装支座62上沿Y轴方向的滑动，然后利用第二连接轴632能够带动限位挡板64伸出安装支座62并进入至载具盘200的上方位置。需要说明的是，第二连接轴632的数量为两根，两根第二连接轴632以并列地方式设置在安装支座62上，两个第二连接轴632均安装于限位挡板64上，其中一个第二连接轴632通过连杆633与第一连接轴631连接，以提高该顶部限位机构60工作时对限位挡板64作相对于安装支座62伸缩驱动的稳定性。

可以理解，本申请的顶部限位机构60利用第一连接轴631及第二连接轴632在安装支座62上的滑动连接，使得限位挡板64只能沿Y轴方向伸入至载具盘200所在的区域，亦即实现对载具盘200的抵碰限位。

本申请的侧顶限位机构70应用于载具盘双向流转装置中，能够与载具盘200配合，以对载具盘200进行定位，这样可实现对载具盘200在X轴驱动机构30上的位置进行精确定位，以满足后续第二顶升机构50工作时对载具盘200进行顶升的使用需求。

如图6所示，本申请的侧顶限位机构70包括定位气缸71、固定安装板72、销轴安装座73及定位销轴74，固定安装板72固定地安装于X轴驱动机构30的X向导轨35上，定位销轴74固定地安装于销轴安装座73上，且定位气缸71能够通过销轴安装座73带动定位销轴74朝向载具盘200侧壁的方向运动，利用定位销轴74与载具盘200之间的配合，来实现载具盘200在X轴驱动机构30上安装位置的精确驱动。需要说明的是，该载具盘200上开设有匹配于定位销轴74的凹槽(图未示)，利用定位销轴74与凹槽之间的配合，来实现对载具盘200在X轴驱动机构30上位置的精确定位。

综上，本申请的载具盘双向流转装置工作时，先用Y轴驱动机构20驱使载具盘200在Y轴方向上运动，然后再用第一顶升机构40对X轴驱动机构30在Z轴方向从第一位置运动至第二位置，以将载具盘200从Y轴驱动机构20转移至X轴驱动机构30上；之后再用第二顶升机构50上载具盘打开座52沿着Z轴方向推顶载具盘200，以解除载具盘200对其内芯片的锁定，这样能够满足后续用机械手抓取载具盘200内芯片的使用需求，该载具盘双向流转装置结构简单，空间占有率低，满足了企业对于载具盘传输的使用需求。需要说明的是，上述第一位置低于Y轴驱动机构20所在的位置设置，第二位置高于Y轴驱动机构20所在的位置设置。

以上实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。

Claims (10)

1.一种载具盘双向流转装置，其特征在于，包括安装基板(10)、Y轴驱动机构(20)、X轴驱动机构(30)及第一顶升机构(40)，所述Y轴驱动机构(20)及所述第一顶升机构(40)均安装于所述安装基板(10)上，其中，所述Y轴驱动机构(20)能够承接载具盘(200)，并驱使所述载具盘(200)在Y轴方向上进行运动；

所述X轴驱动机构(30)安装于所述第一顶升机构(40)上，且所述第一顶升机构(40)能够驱使所述X轴驱动机构(30)沿着Z轴方向从第一位置运动至第二位置，以将所述载具盘(200)从所述Y轴驱动机构(20)转移至所述X轴驱动机构(30)上；其中，所述第一位置低于所述Y轴驱动机构(20)所在的位置设置，所述第二位置高于所述Y轴驱动机构(20)所在的位置设置。

2.根据权利要求1所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述第一顶升机构(40)包括第一伸缩驱动件(41)、顶升驱动板(42)及顶升从动板(43)，所述顶升驱动板(42)与所述顶升从动板(43)分居于所述安装基板(10)的两侧，其中，所述顶升驱动板(42)与所述顶升从动板(43)之间通过贯穿所述安装基板(10)的顶升导向轴(44)连接；

所述第一伸缩驱动件(41)设置于所述安装基板(10)与所述顶升驱动板(42)之间，并可同时驱使所述顶升驱动板(42)及所述顶升从动板(43)作相对于所述安装基板(10)的运动。

3.根据权利要求1所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述Y轴驱动机构(20)包括Y向同步带组件(21)及Y向驱动组件(22)，所述Y向同步带组件(21)的数量为两组，两组所述Y向同步带组件(21)间隔且平行设置，且所述X轴驱动机构(30)设置于两组所述Y向同步带组件(21)之间；

所述Y向驱动组件(22)用于同步驱使两组所述Y向同步带组件(21)运行。

4.根据权利要求2所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述X轴驱动机构(30)包括X向驱动电机(31)、X向传送带(32)及两个X向同步带组件(33)，两个所述X向同步带组件(33)配合能够共同用于承接所述载具盘(200)，所述X向驱动电机(31)能够通过所述X向传送带(32)驱使两个所述X向同步带组件(33)带动所述载具盘(200)沿着X轴方向进行运动；

其中，所述X向驱动电机(31)固定安装于所述顶升驱动板(42)上，所述X向传送带(32)贯穿所述安装基板(10)设置。

5.根据权利要求4所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述X轴驱动机构(30)还包括第二同步轴(34)，两个所述X向同步带组件(33)通过所述第二同步轴(34)传动连接，以使两个所述X向同步带组件(33)同步传送。

6.根据权利要求3所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述Y轴驱动机构(20)还包括Y向限位件(24)，所述Y向限位件(24)与所述X轴驱动机构(30)间隔设置；

其中，所述Y向限位件(24)能够抵碰所述载具盘(200)，以对所述载具盘(200)在所述Y向同步带组件(21)上的运动进行限位。

7.根据权利要求1所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述载具盘双向流转装置还包括第二顶升机构(50)；其中，所述第二顶升机构(50)包括第二伸缩驱动件(51)及载具盘打开座(52)，所述载具盘打开座(52)安装于所述第二伸缩驱动件(51)上，且所述第二伸缩驱动件(51)能够驱使所述载具盘打开座(52)与所述载具盘(200)配合，以解除所述载具盘(200)对置于该载具盘(200)内芯片的锁定。

8.根据权利要求7所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述载具盘双向流转装置还包括顶部限位机构(60)，所述顶部限位机构(60)安装于所述X轴驱动机构(30)上，且所述顶部限位机构(60)能够在所述载具盘打开座(52)与所述载具盘(200)配合的过程中抵碰所述载具盘(200)，以对所述载具盘(200)进行限位。

9.根据权利要求8所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述顶部限位机构(60)包括伸缩驱动件(61)、安装支座(62)、连杆组件(63)及限位挡板(64)，所述限位挡板(64)滑动地安装于所述安装支座(62)上，其中，所述限位挡板(64)通过所述连杆组件(63)与所述伸缩驱动件(61)传动连接，且所述伸缩驱动件(61)能够通过所述连杆组件(63)驱使所述限位挡板(64)在所述安装支座(62)上滑动，以使所述限位挡板(64)部分伸入至所述载具盘(200)的上方位置。

10.根据权利要求1所述的载具盘双向流转装置，其特征在于，所述载具盘双向流转装置还包括侧顶限位机构(70)，所述侧顶限位机构(70)安装于所述X轴驱动机构(30)上，且所述侧顶限位机构(70)能够与所述载具盘(200)配合，以对所述载具盘(200)进行定位。

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