CN219170540U - 一种调节cmp机的抛光头到抛光垫距离的治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，具体涉及半导体制造技术领域，包括第一拼接块和第二拼接块，第一拼接块和第二拼接块用于靠近螺母的端面的周向固定设置有凸出于两者的多个高度相同的凸台，第一拼接块两端的第一拼接部与第二拼接块两端的第二拼接部能够卡接使两者拼接成一个套设在螺丝杆外侧的限高环，第二拼接部与第一拼接部的不同位置卡接时限高环处于第一形态或第二形态，第一形态时，各凸台的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，第二形态时，第一拼接块与第二拼接块的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接。本实用新型能够精准调节间距，调节方式简单，且调节速度更快，治具便于拆卸和组装，提高工作效率。

Description

一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具。

背景技术

CMP即化学机械抛光技术，将待抛光工件固定在一个旋转的吸盘上，该吸盘又与一个旋转的抛光垫相接触，抛光垫上放置有抛光液，抛光液能够不断的输到待抛光工件与抛光垫的间隙中。为了进行抛光，抛光垫与待抛光工件相对于彼此旋转并产生摩擦。在一定压力及抛光液的存在下，抛光液中的腐蚀介质使待抛光工件表面形成一层软化层，抛光液中的磨粒对工件上的软化层进行磨削，使得待抛光工件表面平坦化。对于产品玻璃晶圆而言，经过镀膜技术之后，不仅正面粗糙度达不到出厂要求，且背面存在饶扩现象。因此，需要对产品正背面均进行CMP抛光。

由于玻璃晶圆正面抛光和背面抛光所需的抛光垫的材质和厚度不同，因此正面抛光垫和背面抛光垫存在厚度差异，在更换抛光垫后需要调节抛光头到抛光垫的距离，使吸附在抛光头上的玻璃晶圆与抛光垫接触并产生摩擦，目前调节抛光头到抛光垫的高度是通过调节CMP机的限位螺丝，限位螺丝穿过固定螺母，且螺丝柱的端面与抛光头接触，通过调节螺丝头与螺母之间的间距来改变抛光头到抛光垫的高度。目前，调节螺丝头与螺母之间的间距依赖于操作人员经验判定，间距调节不精准，而且，由于在抛光过程中，机台的震动会造成限位螺丝的松动，通常会在限位螺丝的螺丝头与螺母之间设置垫片，来增大稳定性，目前设置垫片的方式是将限位螺丝完全从螺母中抽出再进行更换，垫片的安装和拆卸都不方便，工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种调节抛光头高度的治具，以解决上述现有技术存在的问题，能够精准调节间距，调节方式简单，且调节速度更快，治具便于拆卸和组装，提高工作效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，包括第一拼接块和第二拼接块，所述第一拼接块和所述第二拼接块用于靠近螺母的端面的周向固定设置有凸出于第一拼接块和所述第二拼接块的多个凸台，各所述凸台高度相同，所述第一拼接块的两端具有第一拼接部，所述第二拼接块的两端具有第二拼接部，所述第一拼接部和所述第二拼接部能够卡接使所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成一个限高环，所述第一拼接块和所述第二拼接块卡接成的所述限高环用于套设在螺丝杆外侧，所述第二拼接部与所述第一拼接部的不同位置卡接时所述限高环处于第一形态或第二形态，当处于所述第一形态时，各所述凸台的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，当处于所述第二形态时，所述第一拼接块与所述第二拼接块的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接。

优选的，所述第一拼接块包括所述第一拼接部和第一扇形部，所述第一扇形部两端与两个所述第一拼接部固定连接，所述第一扇形部靠近螺母的端面设置有凸出于所述第一扇形部端面的所述凸台，所述第一拼接部包括第一外拼接部和第一内拼接部，所述第一内拼接部相对于所述第一外拼接部靠近所述第一扇形部，所述第二拼接块包括所述第二拼接部和第二扇形部，所述第二扇形部两端与两个所述第二拼接部固定连接，所述第二扇形部靠近螺母的端面设置有凸出于所述第二扇形部端面的所述凸台，所述第二拼接部包括第二外拼接部和第二内拼接部，所述第二内拼接部相对于所述第二外拼接部靠近所述第二扇形部，所述第一外拼接部和所述第二内拼接部卡接且所述第一内拼接部与所述第二外拼接部卡接时，所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态，所述第一外拼接部和所述第二外拼接部卡接时，所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第二形态。

优选的，当所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态时，所述第一扇形部的内侧面、所述第二扇形部的内侧面、部分所述第一拼接部的内侧面和部分所述第一拼接部的内侧面能够与螺丝外螺纹紧密贴合。

优选的，当所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态时，各所述凸台的内侧面为同一个圆柱面的一部分，且各所述凸台的内侧面与螺母外侧面紧密贴合。

优选的，所述第一外拼接部包括第一外凸台和第一外凹槽，所述第一内拼接部包括第一内凸台和第一内凹槽，所述第二外拼接部包括第二外凸台和第二外凹槽，所述第二内拼接部包括第二内凸台和第二内凹槽，所述第一外凸台或所述第一内凸台能够完全贴合的插入到所述第二外凹槽或所述第二内凹槽内，且所述第二外凸台或所述第二内凸台能够完全贴合的插入到所述第一外凹槽或所述第一内凹槽内，并能使所述第一拼接块和所述第二拼接块的两个端面相平齐。

优选的，所述第一拼接块和所述第二拼接块的材质为不锈钢。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型提供一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，当第一拼接块和第二拼接块拼接成第一形态时，各凸台的顶面能够与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，螺母与螺丝头之间的间距较大，能够使吸盘上的吸附晶圆刚好落在较厚的反面抛光垫上；当第一拼接块和第二拼接块拼接成第二形态时，第一拼接块与第二拼接块的顶面与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，螺母可以避开凸台落在第一拼接块与第二拼接块的顶面上，螺母与螺丝头之间的间距较小，能够使吸盘上的吸附晶圆刚好落在较薄的正面抛光垫上；套设在螺丝杆两侧的第一拼接块和第二拼接块不论是拆卸或者组装治具都不需要将限位螺丝完全拆卸，且仅需抬高部分螺母就能够实现治具的拆卸和组装，同时也不需要操作人员凭经验控制限位螺丝高度，只需要切换限高环的第一形态和第二形态，再将螺丝拧紧，就能够快速的调节螺母与螺丝头之间的间距，工作效率高。

进一步的，第一拼接块和第二拼接块拼接成第一形态时的限高环的大部分内侧面能够与螺丝外螺纹紧密贴合，在对吸附晶圆的反面抛光过程中，能够避免限位螺丝的松动，保证工作过程的稳定性。

进一步的，第一拼接块和第二拼接块拼接成第二形态时，凸台的内侧面与螺母外侧面紧密贴合，在对吸附晶圆的正面抛光过程中，能够避免限位螺丝的松动，保证工作过程的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具的结构示意图；

图2为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第一形态的正视图；

图3为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第一形态的俯视图；

图4为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第一形态时安装在螺丝头与螺母之间的正视图；

图5为图4的俯视图；

图6为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第二形态的正视图；

图7为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第二形态的俯视图；

图8为本实用新型的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具处于第二形态时安装在螺丝头与螺母之间的正视图；

图9为图7的俯视图。

图中：1-第一拼接块；2-第二拼接块；3-凸台；4-第一外拼接部；5-第一内拼接部；6-第二外拼接部；7-第二内拼接部；8-螺丝头；9-螺母；10-螺丝杆；11-第一形态；12-第二形态。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种调节抛光头高度的治具，以解决上述现有技术存在的问题，能够精准调节间距，调节方式简单，且调节速度更快，治具便于拆卸和组装，提高工作效率。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型提供一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，如图1、图4和图8所示，包括第一拼接块1和第二拼接块2，第一拼接块1和第二拼接块2用于靠近螺母9的端面的周向固定设置有凸出于第一拼接块1和第二拼接块2的多个凸台3，各凸台3高度相同，第一拼接块1的两端具有第一拼接部，第二拼接块2的两端具有第二拼接部，第一拼接部和第二拼接部能够卡接使第一拼接块1和第二拼接块2拼接成形成一个限高环，第一拼接块1和第二拼接块2卡接成的限高环套设在螺丝杆10外侧，第二拼接部与第一拼接部的不同位置卡接时限高环处于第一形态11或第二形态12，当处于第一形态11时，各凸台3的顶面能够用于与螺母9靠近螺丝头8的端面相抵接，当处于第二形态12时，第一拼接块1与第二拼接块2的顶面能够用于与螺母9靠近螺丝头8的端面相抵接；第一拼接块1和第二拼接块2卡接后套设在螺丝杆10两侧，不论是对治具的拆卸或者组装都不需要将限位螺丝完全拆卸，仅需抬高部分螺母9就能够实现治具的拆卸和组装，操作简单方便；当需要对吸盘上的吸附晶圆反面抛光时，第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第二形态12，各凸台3的顶面能够与螺母9靠近螺丝头8的端面相接触，螺母9与螺丝头8之间的间距较大，能够使吸盘上的吸附晶圆能刚好落在较厚的反面抛光垫上；当需要对吸盘上的吸附晶圆正面抛光时，将第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第一形态11，螺母9可以避开凸台3落在第一拼接块1与第二拼接块2的顶面上，螺母9与螺丝头8之间的间距较小，能够使吸盘上的吸附晶圆能刚好落在较薄的正面抛光垫上，更换抛光垫后，不再需要操作人员凭经验控制限位螺丝高度，只需要切换限高环的第一形态11和第二形态12，再将螺丝拧紧，就能够精准、快速的调节螺母9与螺丝头8之间的间距，来适应不同厚度的抛光垫，工作效率高，而凸台3的高度由更换的正面抛光垫和背面抛光垫之间的厚度差来确定。

本实用新型的实施例中进一步优选的是，第一拼接块1包括第一拼接部和第一扇形部，第一扇形部两端与两个第一拼接部固定连接，第一扇形部靠近螺母9的端面设置有凸出于第一扇形部端面的凸台3，第一拼接部包括第一外拼接部4和第一内拼接部5，第一内拼接部5相较于第一外拼接部4靠近第一扇形部，第二拼接块包括第二拼接部和第二扇形部，第二扇形部两端与两个第二拼接部固定连接，第二扇形部靠近螺母9的端面设置有凸出于第二扇形部端面的凸台3，第二拼接部包括第二外拼接部6和第二内拼接部7，第二内拼接部7相较于第二外拼接部6靠近第二扇形部，第一外拼接部4和第二内拼接部7卡接且第一内拼接部5与第二外拼接部6卡接时，第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第一形态11，第一外拼接部4和第二外拼接部6卡接时，第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第二形态12，通过第一外拼接部4或第一内拼接部5与第二外拼接部6或第二内拼接部7之间的多种卡接方式，能够快速的实现治具的形态变化，提高工作效率。

本实用新型的实施例中进一步优选的是，如图2-3和图5所示，第一拼接块1包括第一内侧面，第二拼接块2包括第二内侧面，当第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第一形态11时，第一外拼接部4远离第一内拼接部5的部分内侧面和第二外拼接部6远离第二内拼接部7的部分内侧面为平面，并不是弧形面，保证使螺丝杆10能够插入到限高环中，且第一扇形部的内侧面、第二扇形部的内侧面、部分第一拼接部的内侧面和部分第二拼接部内侧面能够与螺丝杆10外螺纹紧密贴合，在对吸附晶圆的反面抛光过程中，能够避免限位螺丝的松动，保证工作过程的稳定性。

本实用新型的实施例中进一步优选的是，如图6-7和图9所示，当第一拼接块1和第二拼接块2拼接成第二形态12时，各凸台3的内侧面为同一个圆柱面的一部分，各凸台3的内侧面与螺母9外侧面紧密贴合，在对吸附晶圆的正面抛光过程中，各凸台3的内侧面与螺母9外侧面紧密贴合能够避免限位螺丝的松动，保证工作过程的稳定性。

本实用新型的实施例中进一步优选的是，第一外拼接部4包括第一外凸台和第一外凹槽，第一内拼接部5包括第一内凸台和第一内凹槽，第二外拼接部6包括第二外凸台和第二外凹槽，第二内拼接部7包括第二内凸台和第二内凹槽，第一外凸台或第一内凸台能够完全贴合的插入到第二外凹槽或第二内凹槽内，且第二外凸台或第二内凸台能够完全贴合的插入到第一外凹槽或第一内凹槽内，进而使第一半圆环和第二半圆环的两个端面相平齐，第一外拼接部4或第一内拼接部5与第二外拼接部6和第二内拼接部7通过凸起和凹槽形成卯榫结构，既使治具便于拆卸和组装，同样使拼接成的治具的结构更加稳定。

本实用新型的实施例中进一步优选的是，第一拼接块1和第二拼接块2的材质为不锈钢，不锈钢具有耐腐蚀性，减缓在使用过程中治具的磨损和腐蚀性。

本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (6)

1.一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：包括第一拼接块和第二拼接块，所述第一拼接块和所述第二拼接块用于靠近螺母的端面的周向固定设置有凸出于第一拼接块和所述第二拼接块的多个凸台，各所述凸台高度相同，所述第一拼接块的两端具有第一拼接部，所述第二拼接块的两端具有第二拼接部，所述第一拼接部和所述第二拼接部能够卡接使所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成一个限高环，所述第一拼接块和所述第二拼接块卡接成的所述限高环用于套设在螺丝杆外侧，所述第二拼接部与所述第一拼接部的不同位置卡接时所述限高环处于第一形态或第二形态，当处于所述第一形态时，各所述凸台的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，当处于所述第二形态时，所述第一拼接块与所述第二拼接块的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接。

2.根据权利要求1所述的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：所述第一拼接块包括所述第一拼接部和第一扇形部，所述第一扇形部两端与两个所述第一拼接部固定连接，所述第一扇形部靠近螺母的端面设置有凸出于所述第一扇形部端面的所述凸台，所述第一拼接部包括第一外拼接部和第一内拼接部，所述第一内拼接部相较于所述第一外拼接部靠近所述第一扇形部，所述第二拼接块包括所述第二拼接部和第二扇形部，所述第二扇形部两端与两个所述第二拼接部固定连接，所述第二扇形部靠近螺母的端面设置有凸出于所述第二扇形部端面的所述凸台，所述第二拼接部包括第二外拼接部和第二内拼接部，所述第二内拼接部相较于所述第二外拼接部靠近所述第二扇形部，所述第一外拼接部和所述第二内拼接部卡接且所述第一内拼接部与所述第二外拼接部卡接时，所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态，所述第一外拼接部和所述第二外拼接部卡接时，所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第二形态。

3.根据权利要求2所述的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：当所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态时，所述第一扇形部的内侧面、所述第二扇形部的内侧面、部分所述第一拼接部的内侧面和部分所述第一拼接部的内侧面能够与螺丝外螺纹紧密贴合。

4.根据权利要求2所述的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：当所述第一拼接块和所述第二拼接块拼接成第一形态时，各所述凸台的内侧面为同一个圆柱面的一部分，且各所述凸台的内侧面与螺母外侧面紧密贴合。

5.根据权利要求2所述的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：所述第一外拼接部包括第一外凸台和第一外凹槽，所述第一内拼接部包括第一内凸台和第一内凹槽，所述第二外拼接部包括第二外凸台和第二外凹槽，所述第二内拼接部包括第二内凸台和第二内凹槽，所述第一外凸台或所述第一内凸台能够完全贴合的插入到所述第二外凹槽或所述第二内凹槽内，且所述第二外凸台或所述第二内凸台能够完全贴合的插入到所述第一外凹槽或所述第一内凹槽内，并能使所述第一拼接块和所述第二拼接块的两个端面相平齐。

6.根据权利要求1所述的调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，其特征在于：所述第一拼接块和所述第二拼接块的材质为不锈钢。

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