CN219144149U - 一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备，定位模具上设有晶圆定位缺口和至少一个视窗缺口，晶圆定位缺口的槽内壁轮廓与晶圆的外侧壁轮廓部分相匹配，视窗缺口分布于晶圆定位缺口的外侧，且与晶圆定位缺口连通。本实用新型能够有效解决现有半导体自动化设备在调试、维修及保养中出现在有限空间内机器人取放晶圆时的晶圆中心快速定位的问题。本实用新型通过在定位模具上增设的晶圆定位缺口和视窗缺口可以有效定位晶圆的中心，能够有效节约时间，避免腔体污染，提高工作效率。

Description

一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备

技术领域

本实用新型属于纳米压印技术领域，涉及定位模具，具体涉及一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备。

背景技术

目前大部分半导体自动化设备为了有效的利用空间，在设计上越来越紧凑，造成晶圆表面加工腔体空间偏小，在设备调试，维修及保养过程中，如果机器人在腔体内取放晶圆出现偏移时，只能通过拆除部分腔体防尘罩及有限的目视角度，还要经过多次取放进行微调才能校正，长时间的维护操作会造成腔体的污染，精度方面也不理想。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一方面，本实用新型公开一种晶圆的定位模具，定位模具上设有晶圆定位缺口和至少一个视窗缺口，晶圆定位缺口的槽内壁轮廓与晶圆的外侧壁轮廓部分相匹配，视窗缺口分布于晶圆定位缺口的外侧，且与晶圆定位缺口连通。

本实用新型公开一种晶圆的定位模具及包括该定位模具的纳米压印设备，能够有效解决现有半导体自动化设备在调试、维修及保养中出现在有限空间内机器人取放晶圆时的晶圆中心快速定位的问题。本实用新型通过在定位模具上增设的晶圆定位缺口和视窗缺口可以有效定位晶圆的中心，能够有效节约时间，避免腔体污染，提高工作效率。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，视窗缺口为多边形结构或圆弧结构。

采用上述优选的方案，根据具体情形选用合适结构的视窗缺口。

作为优选的方案，在定位模具上设有连接定位孔，连接定位孔用于对定位模具进行安装。

采用上述优选的方案，可以快速将定位模具安装在操作盒的腔体内，安装便捷，安装效率高。

作为优选的方案，在定位模具上设有定位槽，定位槽用于对定位模具的安装进行定位。。

采用上述优选的方案，安装便捷，安装效率高。

作为优选的方案，定位模具上设有用于吸附晶圆的吸附通道，吸附通道与抽真空装置连通。

采用上述优选的方案，可以对晶圆进行更好的固定。

作为优选的方案，在视窗缺口的内壁上设有测距传感器，测距传感器用于采集其与晶圆外侧壁之间的距离。

采用上述优选的方案，利用测距传感器采集其与晶圆外侧壁之间的距离，实现定位。

作为优选的方案，在定位模具上设有一个中心视窗缺口以及分布于中心视窗缺口两侧的至少一个侧视窗缺口，中心视窗缺口的中线穿过晶圆定位缺口的中心。

采用上述优选的方案，提高晶圆定位的精准度。

作为优选的方案，中心视窗缺口的尺寸大于侧视窗缺口的尺寸。

采用上述优选的方案，提高晶圆定位的精准度。

此外，本实用新型还公开一种纳米压印设备，包括上述任一种定位模具，定位模具安装于操作盒的腔体内。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的定位模具的俯视图之一。

图2为本实用新型实施例提供的下模的侧视图。

图3为本实用新型实施例提供的定位模具的俯视图之二。

图4为本实用新型实施例提供的定位模具安装在操作盒内时的立体图。

图5为本实用新型实施例提供的定位模具安装在操作盒内时的俯视图。

其中：1-定位模具，11-晶圆定位缺口，12-视窗缺口，121-中心视窗缺口，122-侧视窗缺口，13-连接定位孔，14-定位槽，2-晶圆，3-测距传感器，4-操作盒，41-腔体。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

使用序数词“第一”、“第二”、“第三”等等来描述普通对象仅仅表示涉及类似对象的不同实例，并且并不意图暗示这样被描述的对象必须具有时间上、空间上、排序方面或者以任意其它方式的给定顺序。

另外，“包括”元件的表述是“开放式”表述，该“开放式”表述仅仅是指存在对应的部件或步骤，不应当解释为排除附加的部件或步骤。

为了达到本实用新型的目的，一种晶圆的定位模具及包括该定位模具1的纳米压印设备的其中一些实施例中，如图1-2所示，定位模具1上设有晶圆定位缺口11和至少一个视窗缺口12，晶圆定位缺口11的槽内壁轮廓与晶圆2的外侧壁轮廓部分相匹配，视窗缺口12分布于晶圆定位缺口11的外侧，且与晶圆定位缺口11连通。

其中：三个视窗缺口12均匀分布于晶圆定位缺口11的外侧。

进一步，在本实施例中，视窗缺口12为矩形结构。在其他实施例中，视窗缺口12可以为三角形结构、五边形结构或圆弧结构，根据具体情形选用合适结构的视窗缺口12。

本实用新型一种晶圆的定位模具的工作过程如下：

机器人手臂取晶圆2后，调整机器人手臂进行上升微调，到相应高度后进行水平微调至大概位置，微调前伸手臂，通过三个视窗缺口123对进行手臂的前后及左右的微调，当晶圆2的外侧壁轮廓与晶圆定位缺口11的槽内壁轮廓吻合后，保存手臂点位，腔体41晶圆2中心定位完成。

值得注意的是，可以采用人工，也可以采用视觉采集装置采集视觉缺口与晶圆2的外侧壁轮廓之间的间隙，从而对机器人手臂进行前后及左右的微调。

本实用新型公开一种晶圆的定位模具及包括该定位模具1的纳米压印设备，能够有效解决现有半导体自动化设备在调试、维修及保养中出现在有限空间内机器人取放晶圆2时的晶圆2中心快速定位的问题。本实用新型通过在定位模具1上增设的晶圆定位缺口11和视窗缺口12可以有效定位晶圆2的中心，能够有效节约时间，避免腔体41污染，提高工作效率。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，在定位模具1上设有连接定位孔13，连接定位孔13用于对定位模具1进行安装。

采用上述优选的方案，可以快速将定位模具1安装在操作盒4的腔体41内，安装便捷，安装效率高。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，在定位模具1上设有定位槽14，定位槽14用于对定位模具1的安装进行定位。

采用上述优选的方案，安装便捷，安装效率高。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，定位模具1上设有用于吸附晶圆2的吸附通道(图中未示出)，吸附通道与抽真空装置连通。

采用上述优选的方案，可以对晶圆2进行更好的固定。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，如图3所示，在视窗缺口12的内壁上设有测距传感器3，测距传感器3用于采集其与晶圆2外侧壁之间的距离。

采用上述优选的方案，利用测距传感器3采集其与晶圆2外侧壁之间的距离，实现定位。采用视窗缺口12上的测距传感器3采集其与晶圆2外侧壁之间的距离，并将采集的距离发送给机器人手臂的控制中心，从而控制手臂的微调，实现自动调控。

为了进一步地优化本实用新型的实施效果，在另外一些实施方式中，其余特征技术相同，不同之处在于，在定位模具1上设有一个中心视窗缺口121以及分布于中心视窗缺口121两侧的一个侧视窗缺口122，中心视窗缺口121的中线穿过晶圆定位缺口11的中心。

采用上述优选的方案，提高晶圆2定位的精准度。

进一步，中心视窗缺口121的尺寸大于侧视窗缺口122的尺寸。

采用上述优选的方案，提高晶圆2定位的精准度。

此外，本实用新型还公开一种纳米压印设备，包括上述任一实施例公开的定位模具1，定位模具1安装于操作盒4的腔体41内，如图4和5所示。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

本实用新型的控制方式是通过人工启动和关闭开关来控制，动力元件的接线图与电源的提供属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和接线布置。

Claims (9)

1.一种晶圆的定位模具，其特征在于，所述定位模具上设有晶圆定位缺口和至少一个视窗缺口，所述晶圆定位缺口的槽内壁轮廓与晶圆的外侧壁轮廓部分相匹配，视窗缺口分布于所述晶圆定位缺口的外侧，且与所述晶圆定位缺口连通。

2.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，所述视窗缺口为多边形结构或圆弧结构。

3.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，在所述定位模具上设有连接定位孔，所述连接定位孔用于对定位模具进行安装。

4.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，在所述定位模具上设有定位槽，所述定位槽用于对定位模具的安装进行定位。

5.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，所述定位模具上设有用于吸附晶圆的吸附通道，所述吸附通道与抽真空装置连通。

6.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，在所述视窗缺口的内壁上设有测距传感器，所述测距传感器用于采集其与晶圆外侧壁之间的距离。

7.根据权利要求1所述的定位模具，其特征在于，在所述定位模具上设有一个中心视窗缺口以及分布于所述中心视窗缺口两侧的至少一个侧视窗缺口，所述中心视窗缺口的中线穿过所述晶圆定位缺口的中心。

8.根据权利要求7所述的定位模具，其特征在于，所述中心视窗缺口的尺寸大于所述侧视窗缺口的尺寸。

9.一种纳米压印设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的定位模具，所述定位模具安装于操作盒的腔体内。

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