CN219117543U - 一种镀膜载具及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及异质结太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种镀膜载具及镀膜设备。该镀膜载具包括载板框架、承载板以及定位块，承载板固定连接在载板框架中，承载板用于承载待镀膜硅片，承载板上间隔开设有多个避让孔，相邻两个避让孔之间夹设形成有筋条，定位块设置在筋条上，并且每个避让孔的外周上间隔设置有多个定位块，每个定位块均能够与对应避让孔上盖设的待镀膜硅片的侧边相抵接。镀膜设备通过应用上述镀膜载具来承载待镀膜硅片，实现了待镀膜硅片在承载板上的精准定位，降低了镀膜载具对待镀膜硅片的边缘遮挡效果，并且在保证承载板的结构稳定性的基础上增大了镀膜载具的有效镀膜面积。并且承载板便于进行加工，大大降低了加工成本。

Description

一种镀膜载具及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及异质结太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种镀膜载具及镀膜设备。

背景技术

在制备高效异质结太阳能电池时，PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片在真空腔室内进行物理气相沉积。

目前市场上PVD均采用上下同时镀膜的结构设计，因此需要在载板上开设避让孔，以便于通过避让孔对硅片的背面同时进行镀膜。为了实现硅片在载板上的定位，还需要在载板上开设限位支撑槽，限位支撑槽围设在避让孔的外周，硅片盖设在避让孔上并容置在限位支撑槽中。由于需要在载板上开设限位支撑槽来容置定位硅片，因此载板的厚度通常较大，这大大增加了载板的质量，同时，为了提高载板的有效镀膜面积，相邻两个避让孔之间的筋条通常较窄，使得载板在大质量的情况下容易发生变形下沉的问题，大大降低了载板的结构稳定性，导致载板无法在保证稳定性的基础上增大有效镀膜面积。此外，硅片容置在限位支撑槽内，使得硅片的边缘均会受到载板的遮挡，降低了对硅片的镀膜效果。并且在载板在加工过程中，不仅需要开设避让孔，还需要开设限位支撑槽，大大增加了载板加工难度和加工成本。

因此，亟需发明一种镀膜载具及镀膜设备，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜载具及镀膜设备，以实现待镀膜硅片在承载板上的精准定位，降低镀膜载具对待镀膜硅片的边缘遮挡效果，在保证承载板结构稳定性的基础上增大镀膜载具的有效镀膜面积，并且便于对承载板进行加工，降低承载板的加工成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种镀膜载具，包括：

载板框架；

承载板，固定连接在所述载板框架中，用于承载待镀膜硅片，所述承载板上间隔开设有多个避让孔，相邻两个所述避让孔之间夹设形成有筋条；以及

定位块，设置在所述筋条上，并且每个所述避让孔的外周上间隔设置有多个所述定位块，每个所述定位块均能够与对应所述避让孔上盖设的所述待镀膜硅片的侧边相抵接。

作为优选方案，所述定位块朝向对应所述避让孔的一侧设置有导向斜面。

作为优选方案，相邻两个所述避让孔上的所述待镀膜硅片能够共用夹设的所述筋条上的所述定位块。

作为优选方案，所述定位块可拆卸安装在所述筋条上。

作为优选方案，所述定位块插接固定在所述筋条上。

作为优选方案，所述定位块通过螺栓安装固定在所述筋条上。

作为优选方案，所述镀膜载具还包括：

多根金属丝，多根所述金属丝呈M行N列交叉排布，并且多根所述金属丝位于所述避让孔的外周，所述金属丝的一端固定在所述载板框架的内壁上，所述金属丝的另一端依次穿过对应行或列上的所述定位块固定在所述载板框架相对侧的内壁上，并且M＞1，N＞1。

作为优选方案，所述金属丝为钢丝。

作为优选方案，所述承载板为不锈钢薄板，并且所述承载板的厚度为0.5mm～1.5mm。

一种镀膜设备，包括如上所述的镀膜载具。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供了一种镀膜载具，该镀膜载具通过在相邻两个避让孔之间的筋条上设置定位块，并且避让孔外周上的每个定位块均能够与对应避让孔上盖设的待镀膜硅片的侧边相抵接，从而实现了待镀膜硅片在承载板上的精准定位。通过设置定位块进行定位，无需在承载板上开设限位支撑槽，能够有效降低承载板的厚度，进而降低承载板的质量，保证了承载板的结构稳定性，进而可以适当减少筋条的宽度尺寸，在保证承载板的结构稳定性的基础上增大了镀膜载具的有效镀膜面积。此外，由于避让孔的外周上间隔设置有定位块，有效减少了定位块对待镀膜硅片边缘的遮挡效果，保证了待镀膜硅片的镀膜效果。此外，该镀膜载具仅在承载板上开设避让孔即可，无需额外开设限位支撑槽，便于进行加工，也大大降低了加工成本。

本实用新型还提供了一种镀膜设备，通过应用上述镀膜载具来承载待镀膜硅片，实现了待镀膜硅片在承载板上的精准定位，降低了镀膜载具对待镀膜硅片的边缘遮挡效果，保证了对待镀膜硅片的镀膜质量，并且在保证承载板的结构稳定性的基础上增大了镀膜载具的有效镀膜面积。此外，承载板仅需要进行开孔操作即可，便于进行加工，也大大降低了承载板的加工成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的镀膜载具的俯视图；

图2是本实用新型实施例提供的镀膜载具的轴测图；

图3是图2中A处的局部放大图。

图中：

100、镀膜载具；200、待镀膜硅片；

1、载板框架；2、承载板；21、避让孔；22、筋条；3、定位块；31、导向斜面；4、金属丝。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1和图2所示，本实施例提了一种镀膜载具100，主要用于在真空腔室内承载待镀膜硅片200并带动待镀膜硅片200移动，从而保证待镀膜硅片200的上下两面均被均匀地镀膜。

具体而言，如图1～图3所示，本实施例提供的镀膜载具100包括载板框架1、承载板2以及定位块3，其中，承载板2固定连接在载板框架1中，承载板2用于承载待镀膜硅片200，承载板2上间隔开设有多个避让孔21，相邻两个避让孔21之间夹设形成有筋条22，定位块3设置在筋条22上，并且每个避让孔21的外周上间隔设置有多个定位块3，每个定位块3均能够与对应避让孔21上盖设的待镀膜硅片200的侧边相抵接。通过将待镀膜硅片200盖设在对应的避让孔21上，使得待镀膜硅片200的背面也能够同时进行镀膜。该镀膜载具100通过在相邻两个避让孔21之间的筋条22上设置定位块3，并且避让孔21外周上的每个定位块3均能够与对应避让孔21上盖设的待镀膜硅片200的侧边相抵接，从而实现了待镀膜硅片200在承载板2上的精准定位。通过设置定位块3进行定位，无需在承载板2上开设限位支撑槽，能够有效降低承载板2的厚度，进而降低承载板2的质量，保证了承载板2的结构稳定性，进而可以适当减少筋条22的宽度尺寸，在保证承载板2的结构稳定性的基础上增大了镀膜载具100的有效镀膜面积。此外，由于避让孔21的外周上间隔设置有定位块3，有效减少了定位块3对待镀膜硅片200边缘的遮挡效果，保证了待镀膜硅片200的镀膜效果。此外，该镀膜载具100仅在承载板2上开设避让孔21即可，无需额外开设限位支撑槽，便于进行加工，也大大降低了加工成本。

优选地，在本实施例中，承载板2为不锈钢薄板，并且承载板2的厚度为0.5mm～1.5mm。通过将承载板2设计成不锈钢薄板的形式，不仅保证了承载板2的结构稳定性，也有效减轻了承载板2的质量。由于无需在承载板2上开设限位支撑槽来容置定位待镀膜硅片200，承载板2的厚度可以设置为0.5mm～1.5mm，相对于开设限位支撑槽的承载板2而言(开设限位支撑槽的承载板2的厚度一般需要设计成4mm)，能够将承载板2设计得更加轻薄，大大减轻了承载板2的质量。在本实施例中，承载板2的厚度优选设置为1mm。

需要说明的是，在本实施例中，待镀膜硅片200为矩形，相应地，避让孔21也为矩形，并且承载板2上间隔开设有m行n列个避让孔21，m＞1，n＞1，使得多个避让孔21在承载板2上呈阵列排布，保证了承载板2的有效镀膜面积。

优选地，如图3所示，定位块3朝向对应避让孔21的一侧设置有导向斜面31。通过设置导向斜面31，为待镀膜硅片200在承载板2上放置起到了导向引导的作用，保证能够将待镀膜硅片200更加精准、容易地放入承载板2的预设位置处。需要说明的是，在本实施例中，每个避让孔21的外周上间隔设置有六个定位块3，待镀膜硅片200的每个侧边处均能够与两个定位块3相抵接，进一步保证了对待镀膜硅片200的定位精度，也减少了定位块3对待镀膜硅片200的边缘遮挡效果。在其他实施例中，每个避让孔21外周上间隔设置定位块3的数量可根据具体需求进行设置。

进一步地，在本实施例中，相邻两个避让孔21上的待镀膜硅片200能够共用夹设的筋条22上的定位块3，大大提高了对定位块3的利用率，也可以有效降低筋条22的宽度尺寸，将筋条22设计的尽可能地细。由于待镀膜硅片200掩膜边的宽度通常为1mm左右，即待镀膜硅片200伸出避让孔21的边缘宽度为1mm左右，因此，只要保证筋条22的宽度尺寸能够放置一个定位块3，并且定位块3朝向对应侧避让孔21的距离为1mm左右即可。此外，由于相邻两个避让孔21上的待镀膜硅片200能够共用夹设的筋条22上的定位块3，因此各个定位块3沿相应的筋条22的延伸方向间隔排布即可。

在本实施例中，定位块3可拆卸安装在筋条22上，从而便于在筋条22上更换定位块3。并且当需要变更待镀膜硅片200掩膜边的大小时，只需将定位块3的尺寸进行相应的调整，然后将合适尺寸的定位块3安装在筋条22上即可，无需更换整个承载板2，大大提高了承载板2的适用性。

具体而言，定位块3可以插接固定在筋条22上，定位块3也可以通过螺栓安装固定在筋条22上。本实施例对定位块3在筋条22上的具体固定方式不做具体的限定，只要保证定位块3可拆卸安装在筋条22上即可。

此外，如图1～图3所示，本实施例提供的镀膜载具100还包括多根金属丝4，多根金属丝4呈M行N列交叉排布，并且M＞1，N＞1，多根金属丝4位于避让孔21的外周，金属丝4的一端固定在载板框架1的内壁上，金属丝4的另一端依次穿过对应行或列上的定位块3固定在载板框架1相对侧的内壁上，从而将承载板2支撑固定在载板框架1内。由于多根金属丝4呈M行N列交叉排布，使得金属丝4在对应的筋条22的上方并沿相应的筋条22呈行列方向延伸，不会对待镀膜硅片200造成遮挡，也提高了对承载板2的支撑稳定性。具体而言，定位块3上开设有穿设孔，从而便于对应的金属丝4穿过。金属丝4可以为钢丝，钢丝的结构强度大，具有较好的承重效果。

本实施例还提供了一种镀膜设备，包括上述镀膜载具100，本实施例提供的镀膜设备通过应用上述镀膜载具100来承载待镀膜硅片200，实现了待镀膜硅片200在承载板2上的精准定位，降低了镀膜载具100对待镀膜硅片200的边缘遮挡效果，保证了对待镀膜硅片200的镀膜质量，并且在保证承载板2的结构稳定性的基础上增大了镀膜载具100的有效镀膜面积。此外，承载板2仅需要进行开孔操作即可，便于进行加工，也大大降低了承载板2的加工成本。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种镀膜载具，其特征在于，包括：

载板框架(1)；

承载板(2)，固定连接在所述载板框架(1)中，用于承载待镀膜硅片(200)，所述承载板(2)上间隔开设有多个避让孔(21)，相邻两个所述避让孔(21)之间夹设形成有筋条(22)；以及

定位块(3)，设置在所述筋条(22)上，并且每个所述避让孔(21)的外周上间隔设置有多个所述定位块(3)，每个所述定位块(3)均能够与对应所述避让孔(21)上盖设的所述待镀膜硅片(200)的侧边相抵接。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述定位块(3)朝向对应所述避让孔(21)的一侧设置有导向斜面(31)。

3.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，相邻两个所述避让孔(21)上的所述待镀膜硅片(200)能够共用夹设的所述筋条(22)上的所述定位块(3)。

4.根据权利要求1～3任一项所述的镀膜载具，其特征在于，所述定位块(3)可拆卸安装在所述筋条(22)上。

5.根据权利要求4所述的镀膜载具，其特征在于，所述定位块(3)插接固定在所述筋条(22)上。

6.根据权利要求4所述的镀膜载具，其特征在于，所述定位块(3)通过螺栓安装固定在所述筋条(22)上。

7.根据权利要求1～3任一项所述的镀膜载具，其特征在于，所述镀膜载具还包括：

多根金属丝(4)，多根所述金属丝(4)呈M行N列交叉排布，并且多根所述金属丝(4)位于所述避让孔(21)的外周，所述金属丝(4)的一端固定在所述载板框架(1)的内壁上，所述金属丝(4)的另一端依次穿过对应行或列上的所述定位块(3)固定在所述载板框架(1)相对侧的内壁上，并且M＞1，N＞1。

8.根据权利要求7所述的镀膜载具，其特征在于，所述金属丝(4)为钢丝。

9.根据权利要求1～3任一项所述的镀膜载具，其特征在于，所述承载板(2)为不锈钢薄板，并且所述承载板(2)的厚度为0.5mm～1.5mm。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的镀膜载具。

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