CN219111233U - 一种自清洁废气排出装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种自清洁废气排出装置，涉及半导体制造技术领域。所述自清洁废气排出装置包括排气管路、至少一个进气口和至少一个冷凝管，所述冷凝管紧贴所述排气管路内壁或外壁设置，所述冷凝管包括进水口和出水口，提升了废气排出效率，实现了自动清洁效果，进而提高了工艺效率。

Description

一种自清洁废气排出装置

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种自清洁废气排出装置。

背景技术

晶圆在涂胶显影等加工工艺中，会产生大量的废气，而这些废气往往包含许多胶质(如光刻胶、HMDS等)，这些胶质会在排出的过程中粘结在管路中，长此以往，会将管路堵塞，影响废气的排出，从而影响工艺效率。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种自清洁废气排出装置，提升了废气排出效率，实现了自动清洁效果，进而提高了工艺效率。

本说明书实施例提供以下技术方案：

所述自清洁废气排出装置，包括排气管路、至少一个进气口和至少一个冷凝管，所述冷凝管紧贴所述排气管路内壁或外壁设置，所述冷凝管包括进水口和出水口。

在一些实施例中，所述冷凝管设于所述排气管路内壁。

在一些实施例中，所述冷凝管设于所述排气管路内壁，所述进水口、所述出水口均设于所述排气管路外壁。

在一些实施例中，所述排气管路上还设有至少一个密封板。

在一些实施例中，所述密封板可拆卸固定于所述排气管路的开口上。

在一些实施例中，所述进气口连通至废气产生装置，所述冷凝管的进水口通入工业循环冷却水。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

通过排气管路内通入或吸入废气时，同时通过进水口通入冷却水，然后流经紧贴排气管路内壁或外壁设置的冷凝管，当高温废气遇到冷却水，由于冷凝效应气体中的各类胶质会吸附在冷凝管表面，从气体排出口排出的气体便不会含有胶质，保护与气体排出口相连接的下游管路，避免包含排气管路在内的整个管路被废气的胶质堵塞，从而提升了废气排出效率，实现了自动清洁效果，进而能够提高工艺效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请实施例提供的未安装密封板的自清洁废气排出装置结构示意图；

图2是本申请实施例提供的密封板安装后的自清洁废气排出装置结构示意图；

图3是本申请实施例提供的自清洁废气排出装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

图1是本申请实施例提供的未安装密封板的自清洁废气排出装置结构示意图。图2是本申请实施例提供的密封板安装后的自清洁废气排出装置结构示意图。图3是本申请实施例提供的自清洁废气排出装置结构示意图。

如图1至图3所示，自清洁废气排出装置主要包括排气管路1、至少一个进气口11和至少一个冷凝管2，进气口11用于通入或吸入废气，冷凝管2紧贴排气管路1内壁或外壁设置，冷凝管2包括进水口21和出水口22，排气管路1内通入或吸入废气时，同时通过进水口21通入冷却水，然后流经紧贴排气管路1内壁或外壁设置的冷凝管2，当高温废气遇到冷却水，由于冷凝效应气体中的各类胶质会吸附在冷凝管2表面，从气体排出口排出的气体便不会含有胶质，保护与气体排出口相连接的下游管路，避免包含排气管路1在内的整个管路被废气的胶质堵塞，从而提升了废气排出效率，实现了自动清洁效果，进而能够提高工艺效率。

在一些实施例中，为了保障废气吸入效率，可以在排气管路1外壁设置多个进气口11。在一些实施例中，多个进气口11与任何可能的废气产生装置连通，如晶圆涂胶显影处理工序的废气产生装置，废气产生装置可以是排出废气的排出口，也可以是通有废气的废气管道等。在一些实施例中，冷凝管2的进水口21通入工业循环冷却水，如厂务工艺冷却水等，节约能源。

在一些实施例中，为了进一步保障良好冷凝效果，可以冷凝管2设于排气管路1内壁，使得冷凝管2内的冷凝水与高温废气充分反应同时，还能避免外界空气影响，进一步提升了废气吸附的自清洁效率。在一些实施例中，冷凝管2设于所述排气管路1内壁，进水口21、出水口22均设于排气管路1外壁，方便通入冷却水。

在一些实施例中，排气管路1上还设有至少一个密封板3，优选地密封板3可以设置多个。在一些实施例中，排气管路1设有用于可拆卸地安装密封板3的开口，密封板3可拆卸固定于该开口上。当冷凝管2吸附的胶质达到一定数量时，可以拆下密封板3，对排气管路1进行清洗后再次使用，能够进一步提升清洁效果，清理起来简单便捷，维护成本低。

本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

同时，本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

此外，除非权利要求中明确说明，本说明书所述处理元素和序列的顺序、数字字母的使用、或其他名称的使用，并非用于限定本说明书流程和方法的顺序。尽管上述披露中通过各种示例讨论了一些目前认为有用的实用新型实施例，但应当理解的是，该类细节仅起到说明的目的，附加的权利要求并不仅限于披露的实施例，相反，权利要求旨在覆盖所有符合本说明书实施例实质和范围的修正和等价组合。例如，虽然以上所描述的系统组件可以通过硬件设备实现，但是也可以只通过软件的解决方案得以实现，如在现有的处理设备或移动设备上安装所描述的系统。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

Claims (4)

1.一种自清洁废气排出装置，其特征在于，包括排气管路(1)、至少一个进气口(11)和至少一个冷凝管(2)，所述冷凝管(2)紧贴所述排气管路(1)内壁或外壁设置，所述冷凝管(2)包括进水口(21)和出水口(22)，所述排气管路(1)上还设有至少一个密封板(3)，所述密封板(3)可拆卸固定于所述排气管路(1)的开口上。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述冷凝管(2)设于所述排气管路(1)内壁。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述冷凝管(2)设于所述排气管路(1)内壁，所述进水口(21)、所述出水口(22)均设于所述排气管路(1)外壁。

4.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，所述进气口(11)连通至废气产生装置，所述冷凝管(2)的所述进水口(21)通入工业循环冷却水。

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