CN219079697U - 一种封堵机构及单晶炉用加料机 - Google Patents

一种封堵机构及单晶炉用加料机 Download PDF

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张文祥
王鑫
张家鑫
黄剑雄
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Abstract

本申请提出了一种封堵机构及单晶炉用加料机,封堵机构包括封板、开合单元和驱动单元,封板固定连接在开合单元上,驱动单元的驱动端与开合单元连接,被配置为驱动开合单元沿第一方向往复运动,以带动封板封堵或开放待封堵区域。利用驱动单元驱动开合单元带动封板往复运动,以实现封板对待封堵区域的封堵或开放,方案简单,便于安装在需要封堵的场合。

Description

一种封堵机构及单晶炉用加料机
技术领域
本申请属于单晶炉加料领域,具体地说,涉及一种封堵机构及单晶炉用加料机。
背景技术
在单晶炉拉晶中,需要使用加料机向单晶炉中添加硅料,常用的硅料有颗粒硅和块状硅,其中颗粒硅的直径一般在0.5mm~7mm之间,块状硅的直径一般在10mm~80mm之间。
在采用不同的硅料进行加料时,由于颗粒硅的直径相对较小,在加料机移动或者是给加料机加料时,颗粒硅有可能掉落到加料机中,影响加料机的正常使用。
实用新型内容
针对颗粒硅在加料时会掉落到加料机中影响加料机的正常使用的问题,本申请提出了一种封堵机构及单晶炉用加料机。
第一方面,本申请提出了一种封堵机构,封堵机构包括封板、开合单元和驱动单元,封板固定连接在开合单元上,驱动单元的驱动端与开合单元连接,被配置为驱动开合单元沿第一方向往复运动,以带动封板封堵或开放待封堵区域。
利用驱动单元驱动开合单元带动封板往复运动,以实现封板对待封堵区域的封堵或开放,方案简单,便于安装在需要封堵的场合。
可选的,开合单元包括连杆、滚动轮、滑动座和导向杆,连杆的一端与驱动单元的驱动端固定连接,连杆的另一端与滚动轮铰接,滚动轮滑动设置在滑动座内,滑动座滑动设置在导向杆上,封板固定设置在滑动座上。
开合单元采用连杆、滚动轮、滑动座和导向杆的方式,结构简单稳定。
可选的,开合单元还包括安装底板和滑片,导向杆架设在安装底板上,安装底板上开设有与导向杆平行的导向槽,滑片的一端固定设置在滑动座上,且滑片的另一端穿过导向槽与封板固定连接。
通过设置安装底板,使得封堵机构更便捷地安装在待封堵区域,通过在安装底板上开设导向槽,对封板的滑动具有导向作用,从而提高封板开合时的稳定性。
可选的,开合单元包括丝杠和螺母,驱动单元的驱动端与丝杠连接,螺母套设在丝杠上,封板固定设置在螺母上。
开合单元采用丝杠和螺母,能够更灵活的控制封板的开合行程。
可选的,封板为石英或陶瓷或工程塑料材质。
采用石英或陶瓷材质的封板,能够提高封板的耐高温性能,使得封堵机构能够在高温环境下使用;在不需要耐受较高温度的环境下,采用工程塑料材质的封板,蠕变小,机械强度高。
可选的,驱动单元为气缸、电缸或者电机中的一种。
驱动单元的选择不局限于某一种特定形式,使得封堵机构的结构可实现性较强。
第二方面,本申请提出了一种单晶炉用加料机,单晶炉用加料机包括第一料隧、第一振动器、料仓和前述任意一项的封堵机构,第一料隧的进料端设置在料仓的下方,第一振动器设置在第一料隧的进料端下方,封堵机构设置在第一料隧的出料端,被配置为带动封板封堵或开放第一料隧的出料端。
在第一隧的出料端设置本申请所提出的封堵机构,在利用封板封堵住第一料隧的出料端时,能够有效阻挡第一料隧中的硅料落入到加料机中。
第三方面,本申请提出了一种单晶炉用加料机,单晶炉用加料机包括第一料隧、第二料隧、第一振动器、第二振动器、料仓和前述任意一项的封堵机构,第一料隧的进料端设置在料仓的下方,且第一料隧的进料端固定设置在第一振动器上,第二料隧的进料端设置在第一料隧的出料端下方,且第二料隧的进料端固定设置在第二振动器上,封堵机构设置在第一料隧的出料端,被配置为带动封板封堵或开放第一料隧的出料端。
在第一隧的出料端设置本申请所提出的封堵机构,在利用封板封堵住第一料隧的出料端时,能够有效阻挡第一料隧中的硅料落入到加料机或者第二料隧中。
可选的,单晶炉用加料机还包括防尘罩,防尘罩设置在第一料隧的出料端,封板位于在防尘罩内部封堵或开放第一料隧的出料端。
在第一料隧的出料端设置防尘罩,能够防止硅料从第一料隧的出料口进入第二料隧的进料口时,溅射到进料槽外面,污染加料机;将封堵机构的封板设置在防尘罩内部,封板与防尘罩配合,可以达到更优的封堵效果。
可选的,单晶炉用加料机还包括横移机构,第二振动器固定设置在横移机构上,横移机构被配置为带动第二振动器沿第一方向移动。
通过设置横移机构,驱动第二振动器即第二料隧沿第一方向移动,在需要向单晶炉中添加硅料时,横移机构驱动第二料隧伸入至单晶炉内进行加料;在向单晶炉加料结束后,横移机构驱动第二料隧退出单晶炉内。
附图说明
图1为封堵机构与第一料隧的一种实施方式示意图;
图2为图1中的封板封堵第一料隧后的示意图;
图3为封堵机构的另一种实施方式示意图;
图4为封堵机构应用在加料机上的示意图;
图5为图4的剖视图;
图中:封板1、开合单元2、连杆21、滚动轮22、滑动座23、导向杆24、安装底板25、导向槽251、滑片26、驱动单元3、第一料隧4、第一振动器5、第二料隧6、第二振动器7、料仓8、防尘罩9、横移机构10。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。
下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
针对颗粒硅在加料时会掉落到加料机中影响加料机的正常使用的问题,本申请提出了一种封堵机构及单晶炉用加料机。
第一方面,如图1、2所示,本申请提出了一种封堵机构,封堵机构包括封板1、开合单元2和驱动单元3,封板1固定连接在开合单元2上,驱动单元3的驱动端与开合单元2连接,被配置为驱动开合单元2沿第一方向往复运动,以带动封板1封堵或开放待封堵区域。
利用驱动单元3驱动开合单元2带动封板1往复运动,以实现封板1对待封堵区域的封堵或开放,方案简单,便于安装在需要封堵的场合。
第一方向为加料机的料隧与单晶炉的对接方向,即水平方向,控制封板1在第一方向上开合,相比沿竖直方向进行开合,可以有效避免封板1在开合的时候与料隧的出料口处的块状硅料发生碰撞,使硅料落入加料机中,水平方向的开合能够更好地兼顾硅料种类,提高加料机的兼容性。
可选的,如图1、2所示,开合单元2包括连杆21、滚动轮22、滑动座23和导向杆24,连杆21的一端与驱动单元3的驱动端固定连接,连杆21的另一端与滚动轮22铰接,滚动轮22滑动设置在滑动座23内,滑动座23滑动设置在导向杆24上,封板1固定设置在滑动座23上。
开合单元2采用连杆21、滚动轮22、滑动座23和导向杆24的方式,结构简单稳定。
可选的,如图1、2所示,开合单元2还包括安装底板25和滑片26,导向杆24架设在安装底板25上,安装底板25上开设有与导向杆24平行的导向槽251,滑片26的一端固定设置在滑动座23上,且滑片26的另一端穿过导向槽251与封板1固定连接。
通过设置安装底板25,使得封堵机构更便捷地安装在待封堵区域,通过在安装底板25上开设导向槽251,对封板1的滑动具有导向作用,从而提高封板1开合时的稳定性。
下面结合图1、2对封板1的运动进行介绍,驱动单元3驱动连杆21转动,连杆21带动滚动论在滑动座23内滑动,进而带动滑动座23沿导向杆24移动,进而带动封板1沿第一方向运动。
开合单元2除了采用连杆21机构实现外,还可以采用丝杠螺母、齿轮齿条、同步待等机构实现。如图3所示,为开合单元2采用丝杠螺母的一种实现方式:
开合单元2包括丝杠和螺母,驱动单元3的驱动端与丝杠连接,螺母套设在丝杠上,封板1固定设置在螺母上。
具体的,驱动单元3通过齿轮与丝杠连接,螺母套设在丝杠上,封板1通过滑动座23固定在螺母上,当驱动单元3输出动力后,带动齿轮转动,由啮合的齿轮将动力传递给丝杠,丝杠转动,从而带动丝杠上的螺母沿导向杆24在第一方向上移动,实现封板1在第一方向上的移动。
开合单元2采用丝杠和螺母,能够更灵活的控制封板1的开合行程。
可选的,封板1为石英或陶瓷或工程塑料材质。
采用石英或陶瓷材质的封板1,能够提高封板1的耐高温性能,使得封堵机构能够在高温环境下使用;在不需要耐受较高温度的环境下,采用工程塑料材质的封板,蠕变小,机械强度高。
可选的,驱动单元3为气缸、电缸或者电机中的一种。
驱动单元3的选择不局限于某一种特定形式,使得封堵机构的结构可实现性较强。
第二方面,本申请提出了一种单晶炉用加料机,单晶炉用加料机包括第一料隧4、第一振动器5、料仓8和前述任意一项的封堵机构,第一料隧4的进料端设置在料仓8的下方,第一振动器5设置在第一料隧4的进料端下方,封堵机构设置在第一料隧4的出料端,被配置为带动封板1封堵或开放第一料隧4的出料端。
在第一隧的出料端设置本申请所提出的封堵机构,在利用封板1封堵住第一料隧4的出料端时,能够有效阻挡第一料隧4中的硅料落入到加料机中。
第三方面,本申请提出了一种单晶炉用加料机,如图4、5所示,单晶炉用加料机包括第一料隧4、第二料隧6、第一振动器5、第二振动器7、料仓8和前述任意一项的封堵机构,第一料隧4的进料端设置在料仓8的下方,且第一料隧4的进料端固定设置在第一振动器5上,第二料隧6的进料端设置在第一料隧4的出料端下方,且第二料隧6的进料端固定设置在第二振动器7上,封堵机构设置在第一料隧4的出料端,被配置为带动封板1封堵或开放第一料隧4的出料端。
在第一隧的出料端设置本申请所提出的封堵机构,在利用封板1封堵住第一料隧4的出料端时,能够有效阻挡第一料隧4中的硅料落入到加料机或者第二料隧6中。
可选的,单晶炉用加料机还包括防尘罩9,防尘罩9设置在第一料隧4的出料端,封板1位于在防尘罩9内部封堵或开放第一料隧4的出料端。
在第一料隧4的出料端设置防尘罩9,能够防止硅料从第一料隧4的出料端进入第二料隧6的进料端时,溅射到进料槽外面,污染加料机;将封堵机构的封板1设置在防尘罩9内部,封板1与防尘罩9配合,可以达到更优的封堵效果。
可选的,单晶炉用加料机还包括横移机构10,第二振动器7固定设置在横移机构10上,横移机构10被配置为带动第二振动器7沿第一方向移动。
通过设置横移机构10,驱动第二振动器7即第二料隧6沿第一方向移动,在需要向单晶炉中添加硅料时,控制封堵机构将封板1相对于第一料隧4的出料端打开,横移机构10驱动第二料隧6伸入至单晶炉内,启动第一振动器5和第二振动器7,将料仓8内的硅料加入至单晶炉内的坩埚中;在向单晶炉加料结束后,控制封堵机构将封板1相对于第一料隧4的出料端闭合(即对第一料隧4的出料端进行封堵),横移机构10驱动第二料隧6退出单晶炉内。
以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述,该描述没有限制性,附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。所以,如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本专利的保护范围。

Claims (10)

1.一种封堵机构,其特征在于,所述封堵机构包括封板、开合单元和驱动单元,所述封板固定连接在所述开合单元上,所述驱动单元的驱动端与所述开合单元连接,被配置为驱动所述开合单元沿第一方向往复运动,以带动所述封板封堵或开放待封堵区域。
2.根据权利要求1所述的封堵机构,其特征在于,所述开合单元包括连杆、滚动轮、滑动座和导向杆,所述连杆的一端与所述驱动单元的驱动端固定连接,所述连杆的另一端与所述滚动轮铰接,所述滚动轮滑动设置在所述滑动座内,所述滑动座滑动设置在所述导向杆上,所述封板固定设置在所述滑动座上。
3.根据权利要求2所述的封堵机构,其特征在于,所述开合单元还包括安装底板和滑片,所述导向杆架设在所述安装底板上,所述安装底板上开设有与所述导向杆平行的导向槽,所述滑片的一端固定设置在所述滑动座上,且所述滑片的另一端穿过所述导向槽与所述封板固定连接。
4.根据权利要求1所述的封堵机构,其特征在于,所述开合单元包括丝杠和螺母,所述驱动单元的驱动端与所述丝杠连接,所述螺母套设在所述丝杠上,所述封板固定设置在所述螺母上。
5.根据权利要求1所述的封堵机构,其特征在于,所述封板为石英或陶瓷或工程塑料材质。
6.根据权利要求1所述的封堵机构,其特征在于,所述驱动单元为气缸、电缸或者电机中的一种。
7.一种单晶炉用加料机,其特征在于,所述单晶炉用加料机包括第一料隧、第一振动器、料仓和如权利要求1-6任意一项所述的封堵机构,所述第一料隧的进料端设置在所述料仓的下方,所述第一振动器设置在所述第一料隧的进料端下方,所述封堵机构设置在所述第一料隧的出料端,被配置为带动所述封板封堵或开放所述第一料隧的出料端。
8.一种单晶炉用加料机,其特征在于,所述单晶炉用加料机包括第一料隧、第二料隧、第一振动器、第二振动器、料仓和如权利要求1-6任意一项所述的封堵机构,所述第一料隧的进料端设置在所述料仓的下方,且所述第一料隧的进料端固定设置在所述第一振动器上,所述第二料隧的进料端设置在所述第一料隧的出料端下方,且所述第二料隧的进料端固定设置在所述第二振动器上,所述封堵机构设置在所述第一料隧的出料端,被配置为带动所述封板封堵或开放所述第一料隧的出料端。
9.根据权利要求8所述的单晶炉用加料机,其特征在于,所述单晶炉用加料机还包括防尘罩,所述防尘罩设置在所述第一料隧的出料端,所述封板在所述防尘罩内部封堵或开放所述第一料隧的出料端。
10.根据权利要求8所述的单晶炉用加料机,其特征在于,所述单晶炉用加料机还包括横移机构,所述第二振动器固定设置在所述横移机构上,所述横移机构被配置为带动所述第二振动器沿所述第一方向移动。
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