CN219078237U - 一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，包括清洗机以及设于所述清洗机中的送料机构，所述送料机构包括：横向设置的底座：所述底座的两侧设置有平行的基准座，所述基准座的顶部设置有直线导轨；所述直线导轨滑动连接有滑台，所述滑台上连接有送料平台；所述送料平台底部设置有提供横向驱动力的驱动组件，所述送料平台受所述驱动组件所提供的横向驱动力带动所连接的滑台在所述直线导轨进行直线移动。本实用新型的基准座一方面用于安装于机架，另一方面用于安装直线导轨，而直线导轨上的滑台与送料平台连接，驱动组件用于驱动所连接的送料平台，使送料平台通过底部的滑台在直线导轨上进行水平移动。

Description

一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片、液晶面板清洗领域，特别涉及一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构。

背景技术

半导体晶片、液晶面板清洗机是对半导体晶片、液晶面板进行毛刷清洗的设备。可以清除半导体晶片、液晶面板在前段工艺和环境产生中的灰尘、残胶和油污，保证液晶面板的稳定性，为下一道工序做准备。目前，现有的半导体晶片、液晶面板清洗机中的送料平台大部分采用丝杆传动送料，然后由于丝杆传动行程长，在使用过程中容易出现变形等情况，针对于此，我们研究了一种用于半导体晶片、液晶面板清洗的送料机构。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，具有传动效率高、不易变形的优点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，包括清洗机以及设于所述清洗机中的送料机构，所述送料机构包括：

横向设置的底座：

设于所述底座两侧、并与所述底座平行的基准座，所述基准座的顶部设置有直线导轨；

与所述直线导轨滑动连接的滑台，所述滑台上连接有送料平台；以及，

设于所述送料平台底部、并用于提供横向驱动力的驱动组件，所述送料平台受所述驱动组件所提供的横向驱动力带动所连接的滑台在所述直线导轨进行直线移动。

实现上述技术方案，底座用于连接两侧的基准座，基准座一方面用于安装于机架，另一方面用于安装直线导轨，而每个直线导轨上的滑台至少设置有两个与送料平台连接，驱动组件用于驱动所连接的送料平台，使送料平台通过底部的滑台在直线导轨上进行水平移动，而送料平台的两侧设置有与底座和基准座连接的防水罩。

作为本申请的一种优选方案，所述底座的两侧设置有与所述基准座连接的凹槽，所述凹槽内安装有齿条。

实现上述技术方案，以便于驱动组件的安装以及驱动送料平台进行移动。

作为本申请的一种优选方案，所述驱动组件包括：

设于所述送料平台底部的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设置有联轴器；以及，

设于所述送料平台底部、并与所述联轴器连接的T型转向器，所述T型转向器的两侧设置有与所述齿条啮合的驱动齿轮。

实现上述技术方案，由驱动电机通过联轴器带动所连接的T型转向器，使T型转向器两侧的驱动齿轮在齿条上进行转动，以带动T型转向器所连接的送料平台通过滑台在直线导轨上进行移动。

作为本申请的一种优选方案，所述直线导轨的两端设置有与所述滑台连接的限位块，所述限位块固定于所述基准座。

实现上述技术方案，以便于滑台移动时进行限位，防止滑台从直线导轨上脱落。

作为本申请的一种优选方案，所述底座的中间开设有导向槽，所述导向槽与所述送料平台底部安装的导向块连接，所述导向块的底部设置有滑块，所述滑块与所述底座底部开设的滑槽滑动连接。

实现上述技术方案，以便于送料平台通过滑块在底座滑槽上进行移动，以防止驱动组件上的驱动齿轮在齿条上进行运动时，导致送料平台受力向上。其中，滑块位于滑槽的一侧设置有滚珠，而滑槽设置有与所述滚珠连接的滚珠槽。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，包括清洗机以及设于所述清洗机中的送料机构，所述送料机构包括：横向设置的底座：设于所述底座两侧、并与所述底座平行的基准座，所述基准座的顶部设置有直线导轨；与所述直线导轨滑动连接的滑台，所述滑台上连接有送料平台；以及，设于所述送料平台底部、并用于提供横向驱动力的驱动组件，所述送料平台受所述驱动组件所提供的横向驱动力带动所连接的滑台在所述直线导轨进行直线移动。本实用新型底座用于连接两侧的基准座，基准座一方面用于安装于机架，另一方面用于安装直线导轨，而每个直线导轨上的滑台至少设置有两个与送料平台连接，驱动组件用于驱动所连接的送料平台，使送料平台通过底部的滑台在直线导轨上进行水平移动，而送料平台的两侧设置有与底座和基准座连接的防水罩。

2.本实用新型由驱动电机通过联轴器带动所连接的T型转向器，使T型转向器两侧的驱动齿轮在齿条上进行转动，以带动T型转向器所连接的送料平台通过滑台在直线导轨上进行移动，与传统的丝杆传递相比，其传动效率高、不易变形。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的示意图。

图2为本实用新型实施例中的送料机构的示意图。

图3为本实用新型实施例中的送料机构截面示意图。

图4为本实用新型实施例中的驱动组件示意图。

图中标号：1、清洗机；2、送料机构；3、底座；301、导向槽；302、滑槽；4、基准座；5、直线导轨；501、限位块；6、滑台；7、送料平台；701、导向块；702、滑块；8、驱动组件；801、驱动电机；802、联轴器；803、T型转向器；804、驱动齿轮；9、齿条。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，参照图1、图2、图3和图4，包括清洗机1以及设于清洗机1上的送料机构2，送料机构2上安装有固定凸凹曲面半导体晶片、液晶面板的固定件；以及，设于送料机构2上侧、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件，Z轴驱动组件上安装有清洗凸凹曲面半导体晶片、液晶面板板的毛刷旋转组件，毛刷旋转组件的一侧设置有喷淋系统，而送料机构2包括横向设置的底座3以及安装于底座3两侧、并与底座3平行的基准座4，基准座4的顶部安装有直线导轨5，直线导轨5上安装有滑动的滑台6，滑台6上连接有固定固定件的送料平台7，送料平台7的底部安装有提供横向驱动力的驱动组件8，送料平台7受驱动组件8所提供的横向驱动力带动所连接的滑台6在直线导轨5进行直线移动，以将固定件上安装的曲面半导体晶片、液晶面板送入到毛刷旋转组件和喷淋系统下方进行清洗。在本实施例中，为了便于驱动组件8的安装以及驱动送料平台7进行移动，底座3的两侧设置有与基准座4连接的凹槽，凹槽内安装有齿条9，驱动组件8包括：设于送料平台7底部的驱动电机801，驱动电机801的输出轴上安装有联轴器802；联轴器与送料平台7底部安装的T型转向器803，T型转向器803的两侧安装有与齿条9啮合的驱动齿轮804，在使用时，由驱动电机801通过联轴器802带动所连接的T型转向器803，使T型转向器803两侧的驱动齿轮804在齿条9上进行转动，以带动T型转向器803所连接的送料平台7通过滑台6在直线导轨5上进行移动。

参照图2，直线导轨5的两端安装有与滑台6连接的限位块501，限位块501固定于基准座4。在本实施例中，以便于滑台6移动时进行限位，防止滑台6从直线导轨5上脱落。

参照图3，底座3的中间开设有导向槽301，导向槽301与送料平台7底部安装的导向块701连接，导向块701的底部安装有滑块702，滑块702与底座3底部开设的滑槽302滑动连接。在本实施例中，以便于送料平台7通过滑块702在底座3滑槽302上进行移动，以防止驱动组件8上的驱动齿轮804在齿条9上进行运动时，导致送料平台7受力向上。其中，滑块702位于滑槽302的一侧设置有滚珠，而滑槽302设置有与滚珠连接的滚珠槽。

具体的，在实际使用时，底座3用于连接两侧的基准座4，基准座4一方面用于安装于机架，另一方面用于安装直线导轨5，而每个直线导轨5上的滑台6至少设置有两个与送料平台7连接，驱动组件8用于驱动所连接的送料平台7，使送料平台7通过底部的滑台6在直线导轨5上进行水平移动，而送料平台7的两侧设置有与底座3和基准座4连接的防水罩。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (5)

1.一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，包括清洗机（1）以及设于所述清洗机（1）中的送料机构（2），其特征在于，所述送料机构（2）包括：

横向设置的底座（3）：设于所述底座（3）两侧、并与所述底座（3）平行的基准座（4），所述基准座（4）的顶部设置有直线导轨（5）；与所述直线导轨（5）滑动连接的滑台（6），所述滑台（6）上连接有送料平台（7）；以及，设于所述送料平台（7）底部、并用于提供横向驱动力的驱动组件（8），所述送料平台（7）受所述驱动组件（8）所提供的横向驱动力带动所连接的滑台（6）在所述直线导轨（5）进行直线移动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，其特征在于，所述底座（3）的两侧设置有与所述基准座（4）连接的凹槽，所述凹槽内安装有齿条（9）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，其特征在于，所述驱动组件（8）包括：设于所述送料平台（7）底部的驱动电机（801），所述驱动电机（801）的输出轴上设置有联轴器（802）；以及，设于所述送料平台（7）底部、并与所述联轴器（802）连接的T型转向器（803），所述T型转向器（803）的两侧设置有与所述齿条（9）啮合的驱动齿轮（804）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，其特征在于，所述直线导轨（5）的两端设置有与所述滑台（6）连接的限位块（501），所述限位块（501）固定于所述基准座（4）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片、液晶面板清洗送料机构，其特征在于，所述底座（3）的中间开设有导向槽（301），所述导向槽（301）与所述送料平台（7）底部安装的导向块（701）连接，所述导向块（701）的底部设置有滑块（702），所述滑块（702）与所述底座（3）底部开设的滑槽（302）滑动连接。

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