CN219073830U - 一种石英坩埚高效清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种石英坩埚高效清洗装置，包括底座、设置在所述底座上的支撑块、滑动连接在所述支撑块内的夹紧块、驱动所述夹紧块移动的移动组件和对坩埚的表面进行清洗的清洗装置；所述夹紧块围绕坩埚设置有三组；所述移动组件设置在所述支撑块内；所述清洗装置设置在所述底座上；所述清洗装置的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转。解决了无法清洗不同尺寸的石英坩埚，且无法稳定夹持不同尺寸的石英坩埚的问题。

Description

一种石英坩埚高效清洗装置

技术领域

本发明涉及一种清洗装置，尤其涉及一种石英坩埚高效清洗装置。

背景技术

石英坩埚是一种具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源的工具。现有技术对石英坩埚的清洗常常采用手工清洗，手工清洗存在质量不稳定，因此对石英坩埚提供了一种专门的清洗装置。

根据专利号为201922010848.3的实用新型专利，其包括包括清洗箱、过滤箱、回水箱、蓄水箱和电机；其中，所述清洗箱内设有一夹持机构，所述夹持机构包括：底座，所述底座与所述电机的输出端相连；导轨，所述导轨设于所述底座的上端一侧，所述导轨内设有一滑块；连接块，所述连接块的一端通过连接柱与所述滑块相连，所述连接块的另一端设有一夹持弯板；固定部，所述固定部设于所述底座的上端另一侧，所述连接块与所述固定部之间设有一拉伸弹簧。此专利无法清洗不同尺寸的石英坩埚，且无法稳定夹持不同尺寸的石英坩埚。

发明内容

本申请实施例通过提供一种石英坩埚高效清洗装置，解决了现有技术中无法清洗不同尺寸的石英坩埚，且无法稳定夹持不同尺寸的石英坩埚的问题。

本申请实施例采用的技术方案如下。

一种石英坩埚高效清洗装置，包括底座、设置在所述底座上的支撑块、滑动连接在所述支撑块内的夹紧块、驱动所述夹紧块移动的移动组件和对坩埚的表面进行清洗的清洗装置；所述夹紧块围绕坩埚设置有三组；所述移动组件设置在所述支撑块内；所述清洗装置设置在所述底座上；所述清洗装置的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转。

进一步的技术方案为：所述移动组件包括旋转连接在所述支撑块内的驱动块、驱动所述驱动块旋转的齿轮和支撑所述齿轮的支撑板；所述驱动块的上表面设置有导向块；所述导向块呈螺旋状；所述夹紧块上开设有与所述导向块对应的导向槽；所述驱动块的下表面设置有齿条；所述齿条与所述齿轮啮合；所述齿轮旋转连接在所述支撑板上。

进一步的技术方案为：所述清洗装置包括清洗坩埚外侧的第一清洗机构和清洗坩埚内侧的第二清洗机构；所述第一清洗机构的清洗端朝向坩埚；所述第二清洗机构的清洗端朝向坩埚。

进一步的技术方案为：所述第一清洗机构包括第一支撑架、设置在所述第一支撑架上的第一驱动装置、设置在所述第一驱动装置的驱动端的第一水管和对坩埚表面喷水的第一喷头；所述第一水管呈L型；所述第一水管朝向坩埚的侧面均匀设置所述第一喷头；所述第一喷头的喷水端朝向坩埚的外侧面；所述第一水管外接水源。

进一步的技术方案为：所述第二清洗机构包括第二驱动装置、设置在所述第二驱动装置的驱动端的第二水管和对坩埚表面喷水的第二喷头；所述第二水管呈L型；所述第二水管朝向坩埚的侧面均匀设置所述第二喷头；所述第二喷头的喷水端朝向坩埚的外侧面。

进一步的技术方案为：所述第一水管上设置有第一螺杆；所述第一驱动装置的驱动端上设置有第一滑动块；所述第一滑动块上开设有第一滑动槽；所述第一螺杆滑动连接在所述第一滑动槽内；所述第一螺杆上螺纹连接有第一螺母；所述第一螺母压紧所述第一滑动块的表面。

进一步的技术方案为：所述第二水管上设置有第二螺杆；所述第二驱动装置的驱动端上设置有第二滑动块；所述第二滑动块上开设有第二滑动槽；所述第二螺杆滑动连接在所述第二滑动槽内；所述第二螺杆上螺纹连接有第二螺母；所述第二螺母压紧所述第二滑动块的表面；所述第二水管外接水源。

进一步的技术方案为：所述夹紧块上设置有弹性件；所述弹性件设置在所述夹紧块朝向坩埚的端面。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

1、由于采用了驱动块的上表面设置有导向块，驱动块的下表面设置有齿条，齿轮与齿条啮合，夹紧块的下表面开设有与导向块对应的导向槽，从而旋转齿轮时带动驱动块旋转，从而带动夹紧块向坩埚方向靠近或远离，进而实现了不同的尺寸的坩埚实用不同直径的夹紧尺寸，从而适配尺寸不一的坩埚。

2、由于采用了第一水管呈L型，第一水管均朝向坩埚的外侧面，第一驱动装置的驱动端设置有第一滑动块，第一滑动块上开设有第一滑动槽，第一水管上设置有第一螺栓，第一螺栓在第一滑动槽内滑动，第一螺母螺纹连接在第一螺栓上且压紧第一滑动块，进而实现了通过调整第一螺栓在第一滑动槽的位置，从而针对不同尺寸的坩埚使用不同旋转直径的喷洒范围。

3、由于采用了由于采用了第二水管呈L型，第二水管均朝向坩埚的外侧面，第二驱动装置的驱动端设置有第二滑动块，第二滑动块上开设有第二滑动槽，第二水管上设置有第二螺杆，第二螺杆在第二滑动槽内滑动，第二螺母螺纹连接在第二螺杆上且压紧第二滑动块，进而实现了通过调整第二螺杆在第二滑动槽的位置，从而针对不同尺寸的坩埚使用不同旋转直径的喷洒范围。

附图说明

图1为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置结构示意图。

图2为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置结构示意图。

图3为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置正视图。

图4为图2中A的局部放大图。

图中：1、底座；2、支撑块；3、夹紧块；31、导向槽；32、弹性件；4、移动组件；41、驱动块；42、齿轮；43、支撑板；44、导向块；45、齿条；5、清洗装置；51、第一清洗机构；511、第一支撑架；512、第一驱动装置；513、第一水管；514、第一喷头；515、第一螺杆；516、第一滑动块；517、第一滑动槽；518、第一螺母；52、第二清洗机构；522、第二驱动装置；523、第二水管；524、第二喷头；525、第二螺杆；526、第二滑动块；527、第二滑动槽；528、第二螺母。

具体实施方式

本申请实施例通过提供一种石英坩埚高效清洗装置，解决了现有技术中无法清洗不同尺寸的石英坩埚，且无法稳定夹持不同尺寸的石英坩埚。

本申请实施例中的技术方案为解决上述问题，总体思路如下

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

图1为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置结构示意图。图2为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置结构示意图。图3为本实用新型中石英坩埚高效清洗装置正视图。图4为图2中A的局部放大图。结合图1、图2、图3和图4所示，本实用新型公开了一种石英坩埚高效清洗装置。图中Y的方向为本实用新型结构示意图的右端，图中X的方向为本实用新型结构示意图的上端。

一种石英坩埚高效清洗装置，包括底座1、设置在底座1上的支撑块2、滑动连接在支撑块2内的夹紧块3、驱动夹紧块3移动的移动组件4和对坩埚的表面进行清洗的清洗装置5；夹紧块3围绕坩埚设置有三组；移动组件4设置在支撑块2内；清洗装置5设置在底座1上；清洗装置5的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转。

支撑块2的下表面设置有支柱。支柱圆周阵列设置有三组。夹紧块3滑动连接在支撑块2内。夹紧块3圆周阵列设置有三组。驱动装置旋转设置在支撑块2内。驱动装置驱动三组夹紧块3同步向坩埚移动，从而将坩埚夹紧。清洗装置5固定设置在底座1上。清洗装置5的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转从而对坩埚的外侧进行冲刷。

移动组件4包括旋转连接在支撑块2内的驱动块41、驱动驱动块41旋转的齿轮42和支撑齿轮42的支撑板43；驱动块41的上表面设置有导向块44；导向块44呈螺旋状；夹紧块3上开设有与导向块44对应的导向槽31；驱动块41的下表面设置有齿条45；齿条45与齿轮42啮合；齿轮42旋转连接在支撑板43上。

驱动块41旋转连接在支撑块2内。支撑块2呈圆柱状且内部中空。驱动块41的上表面固定连接有导向块44，导向块44呈平面螺旋状。夹紧块3底面贴合驱动块41的上表面。夹紧块3的下表面开设有与导向块44对应的导向槽31。当导向块44旋转时，夹紧块3向靠近坩埚的方向移动，放反向旋转导向块44时，夹紧块3向远离坩埚的方向移动。驱动块41的底部设置有齿条45。齿条45呈圆盘状。支撑块2的下表面固定连接有支撑板43。支撑板43上旋转连接有齿轮42。齿轮42上同轴连接有旋转轴。夹紧块3朝向坩埚的端面上固定连接有弹性件32。优选的，弹性件32为橡胶件。

旋转旋转轴带动齿轮42旋转，齿轮42旋转带动齿条45旋转，从而导向块44旋转，使得夹紧块3向靠近或远离坩埚的方向移动。

由于采用了驱动块41的上表面设置有导向块44，驱动块41的下表面设置有齿条45，齿轮42与齿条45啮合，夹紧块3的下表面开设有与导向块44对应的导向槽31，从而旋转齿轮42时带动驱动块41旋转，从而带动夹紧块3向坩埚方向靠近或远离，进而实现了不同的尺寸的坩埚实用不同直径的夹紧尺寸，从而适配尺寸不一的坩埚。

夹紧块3上设置有弹性件32；弹性件32设置在夹紧块3朝向坩埚的端面。

清洗装置5包括清洗坩埚外侧的第一清洗机构51和清洗坩埚内侧的第二清洗机构52；第一清洗机构51的清洗端朝向坩埚；第二清洗机构52的清洗端朝向坩埚。

第一清洗机构51包括第一支撑架511、设置在第一支撑架511上的第一驱动装置512、设置在第一驱动装置512的驱动端的第一水管513和对坩埚表面喷水的第一喷头514；第一水管513呈L型；第一水管513朝向坩埚的侧面均匀设置第一喷头514；第一喷头514的喷水端朝向坩埚的外侧面；第一水管513外接水源。

第一水管513上设置有第一螺杆515；第一驱动装置512的驱动端上设置有第一滑动块516；第一滑动块516上开设有第一滑动槽517；第一螺杆515滑动连接在第一滑动槽517内；第一螺杆515上螺纹连接有第一螺母518；第一螺母518压紧第一滑动块516的表面。

第一支撑架511固定连接在底座1上。第一支撑架511呈L型。第一支撑架511的一端设置有第一驱动装置512。优选的，第一驱动装置512为电机。第一驱动装置512的驱动端穿设于第一支撑架511。第一驱动装置512固定连接在第一支撑架511上。第一驱动装置512的驱动端固定连接有第一滑动块516。第一滑动块516左右设置。第一滑动块516上左右开设有第一滑动槽517。第一滑动块516上上下设置有第一螺杆515。第一螺杆515位于第一滑动槽517内滑动。第一螺杆515上螺纹连接有第一螺母518。第一螺母518压紧第一滑动块516的上表面。使得第一螺杆515在第一滑动槽517内的位置固定，从而固定第一水管513的旋转直径。第一水管513的内侧面均匀设置有若干组第一喷头514。第一喷头514的喷嘴朝向坩埚的外侧面。

将坩埚先放入夹紧块3中，通过三组夹紧块3将坩埚夹紧，随后松开第一螺母518，调整第一螺栓在第一滑动槽517内的位置，直至第一水管513的旋转直径适配当前的坩埚直径，将第一螺母518旋紧，直至第一螺母518压紧第一滑动块516，随后驱动第一驱动装置512将坩埚的外侧面进行清除。

由于采用了第一水管513呈L型，第一水管513均朝向坩埚的外侧面，第一驱动装置512的驱动端设置有第一滑动块516，第一滑动块516上开设有第一滑动槽517，第一水管513上设置有第一螺栓，第一螺栓在第一滑动槽517内滑动，第一螺母518螺纹连接在第一螺栓上且压紧第一滑动块516，进而实现了通过调整第一螺栓在第一滑动槽517的位置，从而针对不同尺寸的坩埚使用不同旋转直径的喷洒范围。

第二清洗机构52包括第二驱动装置522、设置在第二驱动装置522的驱动端的第二水管523和对坩埚表面喷水的第二喷头524；第二水管523呈L型；

第二水管523朝向坩埚的侧面均匀设置第二喷头524；第二喷头524的喷水端朝向坩埚的外侧面；第二水管523外接水源。

第二水管523上设置有第二螺杆525；第二驱动装置522的驱动端上设置有第二滑动块526；第二滑动块526上开设有第二滑动槽527；第二螺杆525滑动连接在第二滑动槽527内；第二螺杆525上螺纹连接有第二螺母528；第二螺母528压紧第二滑动块526的表面。

第二驱动装置522设置在底座1上。优选的，第二驱动装置522为电机。第二驱动装置522的驱动端固定连接有第二滑动块526。第二滑动块526左右设置。第二滑动块526上左右开设有第二滑动槽527。第二滑动块526上上下设置有第二螺杆525。第二螺杆525位于第二滑动槽527内滑动。第二螺杆525上螺纹连接有第二螺母528。第二螺母528压紧第二滑动块526的上表面。使得第二螺杆525在第二滑动槽527内的位置固定，从而固定第二水管523的旋转直径。第二水管523的内侧面均匀设置有若干组第二喷头524。第二喷头524的喷嘴朝向坩埚的内侧面。

将坩埚先放入夹紧块3中，通过三组夹紧块3将坩埚夹紧，随后松开第二螺母528，调整第二螺杆525在第二滑动槽527内的位置，直至第二水管523的旋转直径适配当前的坩埚直径，将第二螺母528旋紧，直至第二螺母528压紧第二滑动块526，随后驱动第二驱动装置522将坩埚的内侧面进行清除。

由于采用了第二水管523呈L型，第二水管523均朝向坩埚的外侧面，第二驱动装置522的驱动端设置有第二滑动块526，第二滑动块526上开设有第二滑动槽527，第二水管523上设置有第二螺杆525，第二螺杆525在第二滑动槽527内滑动，第二螺母528螺纹连接在第二螺杆525上且压紧第二滑动块526，进而实现了通过调整第二螺杆525在第二滑动槽527的位置，从而针对不同尺寸的坩埚使用不同旋转直径的喷洒范围。第一水管513与第二水管523均外接水源。

工作原理：将第二螺母528旋松，随后将第二水管523向右移动至第二滑动槽527的最右侧；将第一螺母518旋松直至脱离第一螺杆515，将第一水管513拆出第一滑动槽517；旋转齿轮42带动齿条45旋转，齿条45旋转带动驱动块41旋转，使得夹紧块3向远离工件的方向移动至最大范围；将坩埚放入夹紧块3组成的包容区内；旋转齿轮42，带动夹紧块3向坩埚的方向运动，直至夹紧块3夹紧坩埚；将第二水管523向左移动直至移动最佳的清洗位置，旋转第二螺母528，直至第二螺母528压紧第二滑动块526；将第一螺杆515插入第一滑动槽517；将第一水管513调整至合适的清洗位置，将第一螺母518压紧第一滑动块516，从而将第一水管513固定；启动第一驱动装置512与第二驱动装置522，带动第二水管523与第一水管513旋转，从而对坩埚的内侧壁与外侧壁进行清洗。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，包括底座(1)、设置在所述底座(1)上的支撑块(2)、滑动连接在所述支撑块(2)内的夹紧块(3)、驱动所述夹紧块(3)移动的移动组件(4)和对坩埚的表面进行清洗的清洗装置(5)；所述夹紧块(3)围绕坩埚设置有三组；所述移动组件(4)设置在所述支撑块(2)内；所述清洗装置(5)设置在所述底座(1)上；所述清洗装置(5)的清洗端朝向坩埚且围绕坩埚旋转。

2.如权利要求1所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述移动组件(4)包括旋转连接在所述支撑块(2)内的驱动块(41)、驱动所述驱动块(41)旋转的齿轮(42)和支撑所述齿轮(42)的支撑板(43)；所述驱动块(41)的上表面设置有导向块(44)；所述导向块(44)呈螺旋状；所述夹紧块(3)上开设有与所述导向块(44)对应的导向槽(31)；所述驱动块(41)的下表面设置有齿条(45)；所述齿条(45)与所述齿轮(42)啮合；所述齿轮(42)旋转连接在所述支撑板(43)上。

3.如权利要求1所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述清洗装置(5)包括清洗坩埚外侧的第一清洗机构(51)和清洗坩埚内侧的第二清洗机构(52)；所述第一清洗机构(51)的清洗端朝向坩埚；所述第二清洗机构(52)的清洗端朝向坩埚。

4.如权利要求3所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述第一清洗机构(51)包括第一支撑架(511)、设置在所述第一支撑架(511)上的第一驱动装置(512)、设置在所述第一驱动装置(512)的驱动端的第一水管(513)和对坩埚表面喷水的第一喷头(514)；所述第一水管(513)呈L型；所述第一水管(513)朝向坩埚的侧面均匀设置所述第一喷头(514)；所述第一喷头(514)的喷水端朝向坩埚的外侧面；所述第一水管(513)外接水源。

5.如权利要求3所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述第二清洗机构(52)包括第二驱动装置(522)、设置在所述第二驱动装置(522)的驱动端的第二水管(523)和对坩埚表面喷水的第二喷头(524)；所述第二水管(523)呈L型；所述第二水管(523)朝向坩埚的侧面均匀设置所述第二喷头(524)；所述第二喷头(524)的喷水端朝向坩埚的外侧面；所述第二水管(523)外接至水源。

6.如权利要求4所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述第一水管(513)上设置有第一螺杆(515)；所述第一驱动装置(512)的驱动端上设置有第一滑动块(516)；所述第一滑动块(516)上开设有第一滑动槽(517)；所述第一螺杆(515)滑动连接在所述第一滑动槽(517)内；所述第一螺杆(515)上螺纹连接有第一螺母(518)；所述第一螺母(518)压紧所述第一滑动块(516)的表面。

7.如权利要求5所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述第二水管(523)上设置有第二螺杆(525)；所述第二驱动装置(522)的驱动端上设置有第二滑动块(526)；所述第二滑动块(526)上开设有第二滑动槽(527)；所述第二螺杆(525)滑动连接在所述第二滑动槽(527)内；所述第二螺杆(525)上螺纹连接有第二螺母(528)；所述第二螺母(528)压紧所述第二滑动块(526)的表面。

8.如权利要求1所述的石英坩埚高效清洗装置，其特征在于，所述夹紧块(3)上设置有弹性件(32)；所述弹性件(32)设置在所述夹紧块(3)朝向坩埚的端面。

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