CN219073768U - 除尘装置 - Google Patents

除尘装置 Download PDF

Info

Publication number
CN219073768U
CN219073768U CN202223290253.6U CN202223290253U CN219073768U CN 219073768 U CN219073768 U CN 219073768U CN 202223290253 U CN202223290253 U CN 202223290253U CN 219073768 U CN219073768 U CN 219073768U
Authority
CN
China
Prior art keywords
air outlet
dust
blowing pipe
dust removing
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202223290253.6U
Other languages
English (en)
Inventor
周超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd
Original Assignee
LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd filed Critical LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd
Priority to CN202223290253.6U priority Critical patent/CN219073768U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN219073768U publication Critical patent/CN219073768U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

本实用新型公开一种除尘装置,包括除尘室、伸缩夹具、第一吹风管和第二吹风管,除尘室包括进料口;伸缩夹具设置在除尘室沿第一方向相对的两个侧壁上,伸缩夹具能够夹紧固定提升装置的玻璃板或围栏;第一吹风管设置在除尘室内,第一吹风管沿第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,第一方向与第二方向垂直,第一吹风管上设有若干第一出气孔,若干第一出气孔能够向玻璃板的上表面吹气;第二吹风管设置在除尘室内,第二吹风管沿第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,第二吹风管上设有若干第二出气孔,若干第二出气孔能够向玻璃板的下表面吹气。上述除尘装置,能够实现提升装置的自动除尘,提高了除尘效率,降低了人工成本。

Description

除尘装置
技术领域
本实用新型涉及除尘设备技术领域,尤其涉及一种除尘装置。
背景技术
在显示面板的制备过程中,需要使用曝光机对玻璃基板进行多次曝光,即利用紫外线透过掩膜板照射玻璃基板表面的光刻胶,使光刻胶性质发生变化。掩膜板通常是一种矩形的平板,其上制造有透光孔,使得紫外线在玻璃基板表面形成刻蚀图像。随着技术的进步,玻璃基板的尺寸越来越大,使得掩膜板的尺寸也随之增大,而掩膜板的刚度不高,导致掩膜板在使用时容易因重力原因下垂弯曲,影响曝光质量。如图1所示,为了提高掩膜板10’的平整度,在掩膜板10’上设置一个提升装置20’,提升装置20’包括玻璃板21’和围设在玻璃板21’四周的围栏22’,将提升装置20’设置在掩膜板10’的上方,并使围栏22’与掩膜板10’的四周紧密贴合,此时玻璃板21’、围栏22’与掩膜板10’之间形成一个空间,通过调整该空间内的气压,能够使掩膜板10’一直保持平整不下垂。但在使用过程中,提升装置20’的玻璃板21’上会附着灰尘,影响掩膜板10’的曝光效果,因此,需要定期对提升装置20’进行除尘。
目前,采用人工手持气枪30’的方式对提升装置20’进行除尘。现有技术存在以下缺陷:由于提升装置20’的尺寸较大,人工除尘的效率较低,人工成本较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:提供一种除尘装置,能够实现提升装置的自动除尘,提高了玻璃板的除尘效率,降低了人工成本。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
提供一种除尘装置,用于对提升装置进行除尘,所述提升装置包括玻璃板和围设在所述玻璃板四周的围栏,所述除尘装置包括:
除尘室,所述除尘室包括进料口;
伸缩夹具,所述伸缩夹具设置在所述除尘室沿第一方向相对的两个侧壁上,所述伸缩夹具能够夹紧固定所述玻璃板或所述围栏;
第一吹风管,所述第一吹风管设置在所述除尘室内,所述第一吹风管沿所述第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,所述第一方向与所述第二方向垂直,所述第一吹风管上设有若干第一出气孔,若干所述第一出气孔能够向所述玻璃板的上表面吹气;
第二吹风管,所述第二吹风管设置在所述除尘室内,所述第二吹风管沿所述第一方向延伸,并能沿所述第二方向往复运动,所述第二吹风管上设有若干第二出气孔,若干所述第二出气孔能够向所述玻璃板的下表面吹气。
作为除尘装置的一种优选方案,还包括:
第三吹风管,所述第三吹风管设置在所述进料口处,所述第三吹风管上设有若干第三出气孔,若干所述第三出气孔吹出的气体在所述进料口处形成气流门,以阻挡灰尘进入所述除尘室内。
作为除尘装置的一种优选方案,还包括:
出风口,所述出风口设置在所述除尘室的侧壁上,所述除尘室内的携带灰尘的气体通过所述出风口排出所述除尘室。
作为除尘装置的一种优选方案,所述出风口设有两组,两组所述出风口分别设置在所述除尘室沿所述第一方向相对的两个侧壁上;
若干所述第一出气孔分为第一斜向出气孔组和第二斜向出气孔组,所述第一斜向出气孔组和所述第二斜向出气孔组的吹气方向分别向较近的所述出风口倾斜;
若干所述第二出气孔分为第三斜向出气孔组和第四斜向出气孔组,所述第三斜向出气孔组和所述第四斜向出气孔组的吹气方向分别向较近的所述出风口倾斜。
作为除尘装置的一种优选方案,所述出风口处设有过滤棉。
作为除尘装置的一种优选方案,所述第一吹风管的有效吹风长度大于或等于所述玻璃板沿所述第一方向的长度;
所述第二吹风管的有效吹风长度大于或等于所述玻璃板沿所述第一方向的长度。
作为除尘装置的一种优选方案,还包括第一驱动装置,用于驱动所述第一吹风管沿所述第二方向往复运动,所述第一驱动装置包括:
驱动件,所述驱动件的固定端与所述除尘室的侧壁固定连接;
主动齿轮,所述驱动件的输出端与所述主动齿轮驱动连接,以驱动所述主动齿轮旋转;
从动齿轮,所述从动齿轮与所述除尘室的侧壁转动连接;
齿条,绕设在所述主动齿轮与所述从动齿轮之间,所述第一吹风管的一端与所述齿条固定连接。
作为除尘装置的一种优选方案,所述第一驱动装置设置在所述除尘室沿所述第一方向相对的两个侧壁上,两个所述第一驱动装置分别与所述第一吹风管的两端驱动连接,以驱动所述第一吹风管沿所述第二方向往复运动。
作为除尘装置的一种优选方案,还包括第二驱动装置,用于驱动所述第二吹风管沿所述第二方向往复运动,所述第二驱动装置的结构和所述第一驱动装置的结构相同。
作为除尘装置的一种优选方案,所述伸缩夹具为行程可调式气缸。
本实用新型的有益效果:通过设置伸缩夹具,将待清理的提升装置固定在除尘室内,然后通过第一吹风管和第二吹风管分别对玻璃板的上表面和下表面的灰尘和杂物进行清理,实现了对提升装置的自动除尘,与人工手动除尘相比,提高了除尘效率,同时,降低了人工成本。
附图说明
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1是掩膜板与提升装置的装配图。
图2是本实用新型实施例提供的除尘装置的主视图。
图3是本实用新型实施例提供的除尘装置的俯视图(未示出除尘室的上盖板和第三吹风管)。
图4是本实用新型实施例提供的除尘装置的剖视图。
图5是本实用新型实施例提供的第一驱动装置的结构示意图(未示出驱动件)。
图1中:
10’、掩膜板;20’、提升装置;21’、玻璃板;22’、围栏;30’、气枪。
图2-图4中:
100、除尘室;110、进料口;200、伸缩夹具;300、玻璃板;400、第一吹风管;410、第一斜向出气孔组;420、第二斜向出气孔组;500、第二吹风管;510、第三斜向出气孔组;520、第四斜向出气孔组;600、第三吹风管;700、出风口;800、第一驱动装置;810、驱动件;820、主动齿轮;830、从动齿轮;840、齿条;900、第二驱动装置。
具体实施方式
参考下面结合附图详细描述的实施例,本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本实用新型不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围,并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
以下,参照附图来详细描述本实用新型。
如图2-3所示,本实用新型实施例的除尘装置,用于对提升装置进行除尘,提升装置包括玻璃板300和围设在玻璃板300四周的围栏。除尘装置包括除尘室100、伸缩夹具200、第一吹风管400和第二吹风管500,其中,除尘室100包括进料口110,玻璃板300从进料口110处进入除尘室100内部进行除尘;伸缩夹具200设置在除尘室100沿第一方向相对的两个侧壁上,伸缩夹具200能够夹紧固定玻璃板300或围栏,以固定提升装置,在本实施例中,第一方向为图1中的X轴方向,当需要夹紧固定玻璃板300时,位于除尘室100相对两个侧壁上的伸缩夹具200同时伸出,将玻璃板300固定在两个伸缩夹具200之间,两个相对设置的伸缩夹具200为一组夹具,由于玻璃板300的尺寸较大,为了提高对玻璃板300的固定效果,可以设置多组夹具,多组夹具沿第二方向间隔设置,第二方向与第一方向垂直,在本实施例中,第二方向为图2中的Y轴方向;可选地,伸缩夹具200可以为行程可调式气缸,行程可调式气缸能够根据玻璃板300的尺寸调整输出端的伸出长度,以匹配不同尺寸的玻璃板300,提高了上述除尘装置的普适性。第一吹风管400设置在除尘室100内,第一吹风管400沿第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,第一吹风管400上设有若干第一出气孔,若干第一出气孔能够向玻璃板300的上表面吹气,以去除玻璃板300上表面的灰尘;第二吹风管500设置在除尘室100内,第二吹风管500沿第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,第二吹风管500上设有若干第二出气孔,若干第二出气孔能够向玻璃板300的下表面吹气,以去除玻璃板300下表面的灰尘。在进行玻璃板300的除尘时,第一吹气管和第二吹气管可以沿第二方向往复运动多次,以提高对玻璃板300的清洁效果。通过第一吹风管400和第二吹风管500分别对玻璃板300的上表面和下表面的灰尘和杂物进行清理,实现了对提升装置的自动除尘,与人工手动除尘相比,提高了除尘效率,同时,降低了人工成本。
进一步地,继续参见图2和图3,为了保证第一吹风管400和第二吹风管500的除尘效果,第一吹风管400的有效吹风长度大于或等于玻璃板300沿第一方向的长度;第二吹风管500的有效吹风长度大于或等于玻璃板300沿所述第一方向的长度,这种设置方式,能够保证第一吹风管400吹出的气流能够全部覆盖整个玻璃板300的上表面,以及第二吹分管吹出的气流能够全部覆盖整个玻璃板300的下表面,避免留有死角,实现对玻璃板300的彻底除尘。
可选地,在本实施例中,第一吹风管400和第二吹风管500均与供气设备相连,供气设备为第一吹风管400和第二吹风管500提供气体,供气设备内可以存储压缩气体,压缩气体能够使第一吹风管400和第二吹风管500吹出带有一定压力的气体,有利于提高除尘效果。
优选地,继续参见图2,上述除尘装置还包括第三吹风管600,第三吹风管600设置在进料口110处,第三吹风管600上设有若干第三出气孔,若干第三出气孔吹出的气体在进料口110处形成气流门,以阻挡灰尘进入除尘室100内。具体地,在本实施例中,第三吹风管600沿第一方向延伸,且第三吹风管600的有效吹风长度大于或等于进料口110沿第一方向的长度,第三吹风管600可以从上向下吹风,也可以从下向上吹风,第三出气孔吹出的气体在进料口110处形成气流门需要至少覆盖整个进料口110。通过设置第三吹风管600,能够避免外界环境中的灰尘和杂物进入除尘室100内污染玻璃板300,提高了上述除尘装置的除尘效果。
进一步地,在本实施例中,第三吹风管600也与供气设备相连,供气设备为第三吹风管600提供气体,供气设备内可以存储压缩气体,压缩气体能够使第三吹风管600吹出带有一定压力的气体,提高了气流门阻挡灰尘的效果。
进一步地,继续参见图2和图3,上述除尘装置还包括出风口700,出风口700设置在除尘室100的侧壁上,除尘室100内的携带灰尘的气体通过出风口700排出除尘室100。由于玻璃板300的尺寸一般较大,若第一吹风管400和第二吹风管500吹出的气体将玻璃板300的上表面和下表面的灰尘带走后无法及时从除尘室100内排出,则会存在部分灰尘又落回玻璃板300上的问题出现,影响除尘效果。因此,通过设置出风口700,能够让携带灰尘的气体有效排出除尘室100,提高了上述除尘装置的除尘效果。
可选地,出风口700可以设置多个,在本实施例中,出风口700设置四个,除尘室100沿第一方向相对设置的两个侧壁,每个侧壁上设置两个出风口700。在其他实施例中,出风口700的设置数量和方式也可以为其他,根据实际需要设置即可。
优选地,在出风口700处还设有过滤棉,过滤棉起到过滤空气的作用,具体地,过滤棉能够允许空气通过,并将灰尘等异物吸附,避免污染除尘室100外的环境。
进一步地,如图1和图4所示,出风口700设有两组,两组出风口700分别设置在除尘室100沿第一方向相对的两个侧壁上。若干第一出气孔分为第一斜向出气孔组410和第二斜向出气孔组420,第一斜向出气孔组410和第二斜向出气孔组420的吹气方向分别向较近的出风口700倾斜。在本实施例中,第一斜向出气孔组410斜向左侧出风口700吹气,第二斜向出气孔组420斜向右侧出风口700吹气,这种设置方式能够使除尘室100内的气体快速从出风口700排出,提高了除尘效果。同样地,若干第二出气孔分为第三斜向出气孔组510和第四斜向出气孔组520,第三斜向出气孔组510和第四斜向出气孔组520的吹气方向分别向较近的出风口700倾斜。在本实施例中,第三斜向出气孔组510斜向左侧出风口700吹气,第四斜向出气孔组520斜向右侧出风口700吹气。
进一步地,如图3和图5所示,上述除尘装置还包括第一驱动装置800,第一驱动装置800用于驱动第一吹风管400沿第二方向往复运动,在本实施例中,第一驱动装置800包括驱动件810、主动齿轮820、从动齿轮830和齿条840,其中,驱动件810的固定端与除尘室100的侧壁固定连接;驱动件810的输出端与主动齿轮820驱动连接,以驱动主动齿轮820旋转;从动齿轮830与除尘室100的侧壁转动连接;齿条840绕设在主动齿轮820与从动齿轮830之间,第一吹风管400的一端与齿条840固定连接。驱动件810可选但不限定为电机,可以通过调节电机的正转和反转来控制第一吹风管400沿第二方向的往复运动。当然,在其他实施例中,第一驱动装置800的结构也可以为其他,根据实际需要设置即可。
优选地,第一驱动装置800设有两个,两个第一驱动装置800设置在除尘室100沿第一方向相对的两个侧壁上,两个第一驱动装置800分别与第一吹风管400的两端驱动连接,以驱动第一吹风管400沿第二方向往复运动。通过设置两个驱动装置,能够提高第一吹风管400的运动稳定性。
进一步地,上述除尘装置还包括第二驱动装置900,第二驱动装置900用于驱动第二吹风管500沿第二方向往复运动,在本实施例中,第二驱动装置900的结构和第一驱动装置800的结构相同,有利于降低研发成本。
尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例,但是本实用新型不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种除尘装置,用于对提升装置进行除尘,所述提升装置包括玻璃板和围设在所述玻璃板四周的围栏,其特征在于,所述除尘装置包括:
除尘室,所述除尘室包括进料口;
伸缩夹具,所述伸缩夹具设置在所述除尘室沿第一方向相对的两个侧壁上,所述伸缩夹具能够夹紧固定所述玻璃板或所述围栏;
第一吹风管,所述第一吹风管设置在所述除尘室内,所述第一吹风管沿所述第一方向延伸,并能沿第二方向往复运动,所述第一方向与所述第二方向垂直,所述第一吹风管上设有若干第一出气孔,若干所述第一出气孔能够向所述玻璃板的上表面吹气;
第二吹风管,所述第二吹风管设置在所述除尘室内,所述第二吹风管沿所述第一方向延伸,并能沿所述第二方向往复运动,所述第二吹风管上设有若干第二出气孔,若干所述第二出气孔能够向所述玻璃板的下表面吹气。
2.根据权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,还包括:
第三吹风管,所述第三吹风管设置在所述进料口处,所述第三吹风管上设有若干第三出气孔,若干所述第三出气孔吹出的气体在所述进料口处形成气流门,以阻挡灰尘进入所述除尘室内。
3.根据权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,还包括:
出风口,所述出风口设置在所述除尘室的侧壁上,所述除尘室内的携带灰尘的气体通过所述出风口排出所述除尘室。
4.根据权利要求3所述的除尘装置,其特征在于,所述出风口设有两组,两组所述出风口分别设置在所述除尘室沿所述第一方向相对的两个侧壁上;
若干所述第一出气孔分为第一斜向出气孔组和第二斜向出气孔组,所述第一斜向出气孔组和所述第二斜向出气孔组的吹气方向分别向较近的所述出风口倾斜;
若干所述第二出气孔分为第三斜向出气孔组和第四斜向出气孔组,所述第三斜向出气孔组和所述第四斜向出气孔组的吹气方向分别向较近的所述出风口倾斜。
5.根据权利要求3所述的除尘装置,其特征在于,所述出风口处设有过滤棉。
6.根据权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,所述第一吹风管的有效吹风长度大于或等于所述玻璃板沿所述第一方向的长度;
所述第二吹风管的有效吹风长度大于或等于所述玻璃板沿所述第一方向的长度。
7.根据权利要求1-6任一项所述的除尘装置,其特征在于,还包括第一驱动装置,用于驱动所述第一吹风管沿所述第二方向往复运动,所述第一驱动装置包括:
驱动件,所述驱动件的固定端与所述除尘室的侧壁固定连接;
主动齿轮,所述驱动件的输出端与所述主动齿轮驱动连接,以驱动所述主动齿轮旋转;
从动齿轮,所述从动齿轮与所述除尘室的侧壁转动连接;
齿条,绕设在所述主动齿轮与所述从动齿轮之间,所述第一吹风管的一端与所述齿条固定连接。
8.根据权利要求7所述的除尘装置,其特征在于,所述第一驱动装置设置在所述除尘室沿所述第一方向相对的两个侧壁上,两个所述第一驱动装置分别与所述第一吹风管的两端驱动连接,以驱动所述第一吹风管沿所述第二方向往复运动。
9.根据权利要求7所述的除尘装置,其特征在于,还包括第二驱动装置,用于驱动所述第二吹风管沿所述第二方向往复运动,所述第二驱动装置的结构和所述第一驱动装置的结构相同。
10.根据权利要求1-6任一项所述的除尘装置,其特征在于,所述伸缩夹具为行程可调式气缸。
CN202223290253.6U 2022-12-08 2022-12-08 除尘装置 Active CN219073768U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202223290253.6U CN219073768U (zh) 2022-12-08 2022-12-08 除尘装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202223290253.6U CN219073768U (zh) 2022-12-08 2022-12-08 除尘装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN219073768U true CN219073768U (zh) 2023-05-26

Family

ID=86389388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202223290253.6U Active CN219073768U (zh) 2022-12-08 2022-12-08 除尘装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN219073768U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011091650A1 (zh) 激光刻线除尘设备及除尘方法
CN203610396U (zh) 自动吹气除尘装置及液晶面板自动组立设备
CN208336165U (zh) 单晶圆承载盒清洗后吹干设备
WO2023024043A1 (zh) 一种电子设备生产用印制电路板基材毛刺清除装置
CN219073768U (zh) 除尘装置
CN111701395A (zh) 一种电解铝车间二次烟气净化系统
CN211963614U (zh) 一种适用于无尘工作室的超净工作台
CN216470599U (zh) 一种玻璃旋转装置
CN210788653U (zh) 钢丝表面除尘装置
CN209829656U (zh) 一种太阳能背板清洁装置
CN211802621U (zh) 一种控制板生产过程中的除尘设备
CN208116297U (zh) 一种屏幕除尘除静电装置
CN219943928U (zh) 一种除尘装置
CN217775011U (zh) 一种电路板贴片表层除尘吸附装置
CN213223571U (zh) 一种用于测序芯片的除尘装置
CN220146681U (zh) 一种人造石板覆膜装置
CN220388535U (zh) 一种工件自动上料的螺丝机
CN216880907U (zh) 一种箱体内部灰尘的清理装置
CN217068100U (zh) 一种新型的脉冲除尘装置
CN216801033U (zh) 一种高效吸烟风箱
CN220479599U (zh) 生瓷片除尘装置
CN210585031U (zh) 一种方便安装照明组件的超净工作台
CN216655608U (zh) 一种带有离子风棒的电路板的吹气除尘装置
CN112687581B (zh) 一种芯片光刻加工设备及芯片加工工艺
CN218339237U (zh) 一种除尘装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant