CN219032328U - 一种快速抽充气真空腔室 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，涉及一种快速抽充气真空腔室，包括具有底板的腔体，所述腔体具有供载板进出的入料口和出料口，所述底板内具有气道，所述底板的下表面设有连通所述气道的抽气口和破真空机构，所述底板的上表面设有连通所述气道的通风口，所述通风口位于所述腔体的内部边缘，所述载板上设有若干板件收纳位，所述通风口避开所述板件收纳位设置。真空腔室将气道直接设于腔体的底板内，相比于现有技术中额外设置的分气模组而言降低了腔体的整体高度，进而有效缩小了腔体体积，提高了破真空速度；通过通风口避开板件收纳位的设计，避免了抽气和破真空时气流直接冲击板件造成破板和板件移位问题。

Description

一种快速抽充气真空腔室

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别涉及一种快速抽充气真空腔室。

背景技术

在真空镀膜连续线设备中，第一个腔室为上料腔要频繁快速的下料，需要进行腔室快速抽空。抽气口为一个，气流比较集中，抽空用的时间比较长。最后一个腔室为下料腔要频繁快速的下料，需要进行腔室快速破真空。现有真空镀膜设备通常采取的做法是打开腔体真空管路上的阀门，把真空腔室快速降低至标准大气压，然后打开腔室阀门，让载有板件的载板移出腔室。

中国专利202010325254.6披露了一种真空载片装置，这种真空载片装置依靠分气模组上的通风口进行吸气和破真空，通风口朝向载片架的外侧方，破真空时气流吹向腔体侧壁，减少气流对晶体片的冲击，降低气流对晶体片的损伤。在该结构中，其腔体内既有分气模组还要有挡板，腔体结构的厚度大，腔体空间也较大，这会导致破真空时间较长。

因此有必要开发一种新的真空腔室来解决以上问题。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种快速抽充气真空腔室，能够快速破真空，但是又避免破真风时，气流让板件相对载板移位以及出现破板问题。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种快速抽充气真空腔室，包括具有底板的腔体，所述腔体具有供载板进出的入料口和出料口，所述底板内具有气道，所述底板的下表面设有连通所述气道的抽气口和破真空机构，所述底板的上表面设有连通所述气道的通风口，所述通风口位于所述腔体的内部边缘，所述载板上设有若干板件收纳位，所述通风口避开所述板件收纳位设置。

具体的，所述底板上开设有沟槽，所述沟槽上遮盖有阻风板形成所述气道。

进一步的，所述抽气口位于所述底板的中心，所述沟槽包括从所述抽气口往左右两侧延伸的两个横向槽以及从所述横向槽前后延伸到各个所述通风口的若干纵向槽，每个横向槽的中部各连接一个所述破真空机构。

进一步的，所述破真空机构包括连通所述底板的破真空管以及设于所述破真空管的外端的破真空阀。

具体的，所述腔体由壳体围挡而成，所述壳体包括所述底板与围挡板，所述围挡板顶部设置有定位柱与密封圈。

进一步的，所述入料口设于所述围挡板的前侧，所述出料口设于所述围挡板的后侧。

具体的，还包括位于所述腔体两侧的两组输送模组以及驱动所述输送模组运作的驱动件，所述输送模组包括若干从侧方伸入至所述腔体内的输送滚轮。

进一步的，所述底板的两侧具有埋设所述输送滚轮的收容槽，所述输送滚轮部分内嵌于所述收容槽内且其上表面高于所述底板的上表面形成输送面。

进一步的，所述两个输送模组通过一根传动杆连接在一起实现同步联动，所述驱动件驱动所述传动杆转动。

进一步的，所述通风口均布于所述入料口内侧与所述出料口的内侧。

本实用新型技术方案的有益效果是：

真空腔室将气道直接设于腔体的底板内，相比于现有技术中额外设置的分气模组而言降低了腔体的整体高度，进而有效缩小了腔体体积，提高了破真空速度；通过通风口避开板件收纳位的设计，避免了抽气和破真空时气流直接冲击板件造成破板和板件移位问题。

附图说明

图1为实施例快速抽充气真空腔室在无盖状态下的立体图；

图2为实施例快速抽充气真空腔室在无盖状态下与载板的位置关系图；

图3为实施例快速抽充气真空腔室在无盖状态下的后视图；

图4为实施例快速抽充气真空腔室的仰视图。

图中数字表示：

1-壳体，11-底板，111-阻风板，112-收容槽，12-通风口，13-抽气口，14-入料口，15-出料口，16-围挡板，161-定位柱；

2-破真空机构，21-破真空管，22-破真空阀；

3-输送模组，31-输送滚轮，32-驱动件，33-传动杆；

4-载板，41-板件收纳位；

5-密封圈。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

如图1至图4所示，本实用新型的一种快速抽充气真空腔室，包括具有底板11的腔体，腔体具有供载板4进出的入料口14和出料口15，底板11内具有气道，底板11的下表面设有连通气道的抽气口13和破真空机构2，底板11的上表面设有连通气道的通风口12，通风口12位于腔体的内部边缘，载板4上设有若干板件收纳位41，通风口12避开板件收纳位41设置。入料口14与出料口15是载板4进出腔体的通道，在抽真空时需要关闭。装有板件的载板4进入腔体内后，气道由抽气口13抽气，破真空机构2放气，抽气和破真空都经通风口12向腔体通风，产生的气流不会直接作用于板件上。真空腔室将气道直接设于腔体的底板11内，相比于现有技术中额外设置的分气模组而言降低了腔体的整体高度，进而有效缩小了腔体体积，提高了破真空速度；通过通风口12避开板件收纳位41的设计避免了抽气和破真空时气流直接冲击板件，造成破板和板件移位问题。

如图1所示，底板11上开设有沟槽，沟槽上遮盖有阻风板111形成气道。阻风板111会阻止气流直接吹到板件。底板11上直接开槽，与阻风板111形成扁平的气道结构，设置方便。本实施例中，沟槽开设在底板11的上表面，在其他实施例中，沟槽也可以设置在底板的下表面，通风口12、抽气口13以及破真空机构2与沟槽连通。

如图3和图4所示，抽气口13位于底板11的中心，沟槽包括从抽气口往左右两侧延伸的两个横向槽以及从横向槽前后延伸到各个通风口的若干纵向槽，每个横向槽的中部各连接一个破真空机构2。纵向槽和横向槽相交形成王字形的结构，两者都由阻风板111遮挡而形成从抽气口13一直延伸到通风口12的多个气道，阻风板111用来阻止气流直接喷到载板4的板件上，这样就能在抽气口13只有一个的情况下，让抽气位置分散到底板11的周边。在抽气口13已经占用中心位置的情况下，两个破真空机构2各自位于两侧横向槽的中心位置，使破真空时，空气可以更快地流到通风口12。

如图3和图4所示，破真空机构2包括连通分气腔的破真空管21以及设于破真空管21的外端的破真空阀22。破真空阀22能对气流的流速进行控制，空气在通过破真空阀22杂质不会通过，所以避免了破真空时污染物沾染到板件上。

如图1和图2所示，腔体由壳体1围挡而成，壳体1包括底板11与围挡板16，围挡板16顶部设置有定位柱161与密封圈5。腔体由壳体1和盖板拼合而成，盖板在盖在壳体1上方时会构成一个完整的真空腔室。围挡板16上的定位柱161用来为盖板(未画出)定位。定位柱161用来与盖板上的定位孔配合固定相对位置。当壳体1内的部件存在故障时，维修人员能将盖板吊起再进行零件维修或更换。密封圈5用来对盖板与围挡板16之间的缝隙进行密封，避免两者之间漏气而影响真空度。

如图1和图3所示，入料口14设于围挡板16的前侧，出料口15设于围挡板16的后侧。这样载板4在进出腔体都是在底板11的上方水平移动，不存在上下移动。

如图1至图4所示，真空腔室还包括位于腔体两侧的两组输送模组3以及驱动输送模组3运作的驱动件32，输送模组3包括若干从侧方伸入至腔体内的输送滚轮31。输送模组3用来负责载板4的移送，因为输送模组3只有输送滚轮31位于腔体内，所以可以不占用过大的腔体空间，也有利于减少腔体厚度。输送模组3也可以采用滚轮、链板、传送带等各种方式来实现载板4的移送，但相比于输送滚轮31对腔体空间的占用较大。

如图1所示，底板11的两侧具有埋设输送滚轮31的收容槽112，输送滚轮31部分内嵌于收容槽112内且其上表面高于底板11的上表面形成输送面。输送滚轮3的大部分位于底板11上表面的高度以下，只有最高位置高于底板11。输送滚轮3的顶部需要能够接触载板4的下表面来实现其水平输送，同时避免板件在输送过程中被底板11刮擦到，保护了板件的完好性；输送滚轮3与腔体结构紧凑，让腔体高度可以进一步缩小。

如图1至图4所示，两个输送模组3通过一根传动杆33连接在一起实现同步联动，驱动件32驱动传动杆33转动。传动杆33能够让两侧的输送滚轮3同步运动。因为传动杆33也位于腔体外，所以也有利于缩小腔体空间。

如图1所示，通风口12均布于入料口14内侧与出料口15的内侧。壳体1的左右两侧属于宽边，前后两侧属于长边，宽边已经被输送滚轮3占用，如果在此处设置通风口12会比较密集，破真空时气流太集中，反而导致载板4抖动，板件错位；所以通风口12宜分散分布于长边一侧，降低气流对板件的影响。

工作时，盖板盖在壳体1上形成密封的腔体，满载板件的载板4在输送滚轮3的带动下从入料口14进入腔体内并到达底板11上方的工作位置，入料口14和出料口15关闭，壳体利用抽气口13抽气，在各个通风口12处产生负压，继而使板件位于真空环境。当抽气口13停止吸气时，两个破真空机构2会自行打开，空气在经过破真空阀22后穿过气道分配到每个通风口12，真空解除，气流不会直接吹到板件上。最后入料口14和出料口15打开，载板4再在输送滚轮3的带动下从出料口15移出腔体。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种快速抽充气真空腔室，其特征在于：包括具有底板的腔体，所述腔体具有供载板进出的入料口和出料口，所述底板内具有气道，所述底板的下表面设有连通所述气道的抽气口和破真空机构，所述底板的上表面设有连通所述气道的通风口，所述通风口位于所述腔体的内部边缘，所述载板上设有若干板件收纳位，所述通风口避开所述板件收纳位设置。

2.根据权利要求1所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述底板上开设有沟槽，所述沟槽上遮盖有阻风板形成所述气道。

3.根据权利要求2所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述抽气口位于所述底板的中心，所述沟槽包括从所述抽气口往左右两侧延伸的两个横向槽以及从所述横向槽前后延伸到各个所述通风口的若干纵向槽，每个横向槽的中部各连接一个所述破真空机构。

4.根据权利要求1或3所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述破真空机构包括连通所述底板的破真空管以及设于所述破真空管的外端的破真空阀。

5.根据权利要求1所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述腔体由壳体围挡而成，所述壳体包括所述底板与围挡板，所述围挡板顶部设置有定位柱与密封圈。

6.根据权利要求5所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述入料口设于所述围挡板的前侧，所述出料口设于所述围挡板的后侧。

7.根据权利要求1所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：还包括位于所述腔体两侧的两组输送模组以及驱动所述输送模组运作的驱动件，所述输送模组包括若干从侧方伸入至所述腔体内的输送滚轮。

8.根据权利要求7所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述底板的两侧设置有与所述输送滚轮对应的收容槽，所述输送滚轮部分内嵌于所述收容槽内且其上表面高于所述底板的上表面形成输送面。

9.根据权利要求8所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述两个输送模组通过一根传动杆连接在一起实现同步联动，所述驱动件驱动所述传动杆转动。

10.根据权利要求7所述的快速抽充气真空腔室，其特征在于：所述通风口均布于所述入料口内侧与所述出料口的内侧。

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