CN219023903U - 一种高纯气体提纯装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气体提纯技术领域，尤其涉及一种高纯气体提纯装置，包括：进气主管路、催化反应器组、连接主管路、吸附反应器组和产品主管路，其中，催化反应器组包括两个反应罐，反应罐内安装有附着气体处理剂的载具，两个反应罐并联接入进气主管路上和连接主管路之间，吸附反应器组包括两个吸附罐，吸附罐内设置有多个过滤层，两个吸附罐并联接入连接主管路和产品主管路之间，本实用新型提供的高纯气体提纯装置，能够实现连续纯化气体，直接布设于产线，能够满足连续化作业。

Description

一种高纯气体提纯装置

技术领域

本实用新型涉及气体提纯技术领域，尤其涉及一种高纯气体提纯装置。

背景技术

高纯氮气、氧气等气体成为半导体制造、医疗、化工等技术领域必须的消耗气体，采用常规分离设备制备的氮气或氧气等均需要进一步提纯，从而将纯度控制到99.999%以上，目前市面上的高纯度气体纯化设备，生产效率低下，无法实现连续的纯化工序，且设备复杂化程度高，不利于后期维护。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本公开总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种高纯气体提纯装置，从而解决背景技术中的问题。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种高纯气体提纯装置，包括：

进气主管路，其进气端与未提纯的气源连通；

催化反应器组，包括两个反应罐，所述反应罐内安装有附着气体处理剂的载具，每个所述反应罐均单独设置有第一进气支管路和第一出气支管路，两个所述第一进气支管路进气端通过三通与所述进气主管路的出气端连接，两个所述第一进气支管路上均设置有第一阀门；

连接主管路，其进气端通过三通分别与所述第一出气支管路连接，两个所述第一出气支管路上分别设置有第二阀门；

吸附反应器组，包括两个吸附罐，所述吸附罐内设置有多个过滤层，每个所述吸附罐均单独设置有第二进气支管路和第二出气支管路，两个所述第二进气支管路进气端与所述连接主管路出气端连接，两个所述第二出气支管路出气端连接有产品主管路。

进一步地，还包括清洗系统，所述清洗系统包括入管道和出管道，所述入管道的出气端连接于所述产品主管路上，所述出管道的进气端连接于所述连接主管路上。

进一步地，所述产品主管路、所述入管道和所述出管道上依次设置有第三阀门、第四阀门和第五阀门。

进一步地，所述吸附罐上设置有温度传感器。

进一步地，所述反应罐和所述吸附罐内的气体均为下进上出。

进一步地，第一进气支管路和所述第二进气支管路上均设置有气压表。

进一步地，所述载具包括对称设置的两斜板，两个所述斜板顶边相互连接。

进一步地，所述载具通过连接杆固定于立柱上，且呈螺旋等距布设，所述立柱两端固定于所述反应罐上。

进一步地，所述斜板底端还设置有竖直的挡板，所述挡板的高度小于所述斜板在竖直方向的投影。

进一步地，所述斜板形成的夹角范围处于80°～120之间。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中主要用于氮气或氧气等粗提取气体进一步纯化，使其纯度更高，为了实现连续化作业，本实用新型中尤其在反应催化阶段设置两个反应罐，以及在吸附反应阶段也设置两个吸附罐，使其在实际生产过程中，可以根据内部催化剂消耗程度，将一个反应罐通过阀门开启接入到送气管路中进行，另一个反应罐通过阀门断开管路，从而检修及加料，同样的，一个吸附罐工作的时候，另一个吸附罐可以通入高温解析气体，实现解析，方便再利用，本实用新型提供的该套装置，能够实现连续纯化气体，直接布设于产线，能够满足连续化作业。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中高纯气体提纯装置的主视图；

图2为本实用新型实施例中高纯气体提纯装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中高纯气体提纯装置的侧视图；

图4为本实用新型实施例中反应罐内部示意图；

图5为本实用新型实施例中载具的结构示意图；

图6为本实用新型实施例中吸附罐内部示意图。

附图标记：1、进气主管路；2、反应罐；3、载具；4、第一进气支管路；5、第一出气支管路；6、连接主管路；7、吸附罐；8、过滤层；9、第二出气支管路；10、产品主管路；11、入管道；12、出管道；13、斜板；14、挡板；15、温度传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1～6任一项所示的高纯气体提纯装置，包括：进气主管路1、催化反应器组、连接主管路6和吸附反应器组；

其中，进气主管路1进气端设置有法兰盘，未经提纯的粗提取气体通过管道输送到进气主管路1内，催化反应器组包括两个反应罐2，反应罐2内安装有附着气体处理剂的载具3，每个反应罐2均单独设置有第一进气支管路4和第一出气支管路5，两个第一进气支管路4进气端通过三通与进气主管路1的出气端连接，两个第一进气支管路4上均设置有第一阀门，通过第一阀门的启闭，可以选择对应的反应罐2接入到进气主管路1上，反应罐2内设置有催化剂，用于去除氮气中残留的一氧化碳、氢等杂质气体，连接主管路6的进气端通过三通分别与第一出气支管路5连接，两个第一出气支管路5上分别设置有第二阀门，吸附反应器组，包括两个吸附罐7，吸附罐7内设置有多个过滤层8，每个吸附罐7均单独设置有第二进气支管路和第二出气支管路9，两个第二进气支管路进气端与连接主管路6出气端连接，过滤器用于除去氮气中的水份以及吸附杂质，两个第二出气支管路9出气端连接有产品主管路10。

为了能够实现吸附罐7的循环利用，还包括清洗系统，清洗系统包括入管道11和出管道12，入管道11的出气端连接于产品主管路10上，出管道12的进气端连接于连接主管路6上，高温的解析气体通过入管道11和第二出气支管路进入到吸附罐7内，实现解析，气体依次通过连接主管路6和出管道12排出，避免回流到反应罐2内。

为了便于切换气体流向，产品主管路10、入管道11和出管道12上依次设置有第三阀门、第四阀门和第五阀门，上述阀门可以采用电磁阀，电磁阀接入到控制器中，实现自动化控制。

为了便于监测温度，吸附罐7上设置有温度传感器15。

更具体的，为了增加气体接触时间，反应罐2和吸附罐7内的气体均为下进上出。

作为上述实施例的优选，第一进气支管路4和第二进气支管路上均设置有气压表，用于检测管道内的气压。

作为上述实施例的进一步公开，载具3包括对称设置的两斜板13，两个斜板13顶边相互连接，载具3通过连接杆固定于立柱上，且呈螺旋等距布设，立柱两端固定于反应罐2上，通过载具3的设置，将催化剂附着于表面，将载具3设置成折弯形状，便于捕捉气体，气流在上升过程中，可以通过载具3之间的间隙进行流通，而载具3将气体的流动进行导向，使气流更加曲折，从而达到气体均匀分散，且与载具3接触面大的目的，更进一步地，斜板13底端还设置有竖直的挡板14，挡板14的高度小于斜板13在竖直方向的投影，通过挡板14来使气流上升，具体的，斜板13形成的夹角范围处于80°～120之间。

本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种高纯气体提纯装置，其特征在于，包括：

进气主管路（1），其进气端与未提纯的气源连通；

催化反应器组，包括两个反应罐（2），所述反应罐（2）内安装有附着气体处理剂的载具（3），每个所述反应罐（2）均单独设置有第一进气支管路（4）和第一出气支管路（5），两个所述第一进气支管路（4）进气端通过三通与所述进气主管路（1）的出气端连接，两个所述第一进气支管路（4）上均设置有第一阀门；

连接主管路（6），其进气端通过三通分别与所述第一出气支管路（5）连接，两个所述第一出气支管路（5）上分别设置有第二阀门；

吸附反应器组，包括两个吸附罐（7），所述吸附罐（7）内设置有多个过滤层（8），每个所述吸附罐（7）均单独设置有第二进气支管路和第二出气支管路（9），两个所述第二进气支管路进气端与所述连接主管路（6）出气端连接，两个所述第二出气支管路（9）出气端连接有产品主管路（10）。

2.根据权利要求1所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，还包括清洗系统，所述清洗系统包括入管道（11）和出管道（12），所述入管道（11）的出气端连接于所述产品主管路（10）上，所述出管道（12）的进气端连接于所述连接主管路（6）上。

3.根据权利要求2所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述产品主管路（10）、所述入管道（11）和所述出管道（12）上依次设置有第三阀门、第四阀门和第五阀门。

4.根据权利要求1所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述吸附罐（7）上设置有温度传感器（15）。

5.根据权利要求1所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述反应罐（2）和所述吸附罐（7）内的气体均为下进上出。

6.根据权利要求1所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，第一进气支管路（4）和所述第二进气支管路上均设置有气压表。

7.根据权利要求1所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述载具（3）包括对称设置的两斜板（13），两个所述斜板（13）顶边相互连接。

8.根据权利要求7所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述载具（3）通过连接杆固定于立柱上，且呈螺旋等距布设，所述立柱两端固定于所述反应罐（2）上。

9.根据权利要求7所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述斜板（13）底端还设置有竖直的挡板（14），所述挡板（14）的高度小于所述斜板（13）在竖直方向的投影。

10.根据权利要求7所述的高纯气体提纯装置，其特征在于，所述斜板（13）形成的夹角范围处于80°～120之间。

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