CN212758034U

CN212758034U - 一种高纯氮气净化装置

Info

Publication number: CN212758034U
Application number: CN202020624797.3U
Authority: CN
Inventors: 夏文炯; 李春江; 余剑立; 周燕; 陈远鹏
Original assignee: Nanjing Baoya Gas Co ltd
Current assignee: Nanjing Baoya Gas Co ltd
Priority date: 2020-04-23
Filing date: 2020-04-23
Publication date: 2021-03-23
Anticipated expiration: 2030-04-23

Abstract

本实用新型涉及一种高纯氮气净化装置，包括罐体1，罐体1内安装有催化剂网2，罐体1的底端设置有气体进口101，顶端设置有气体出口102，气体出口101通过管道与干燥器3连接，气体进口101与管道连接，管道上的支路管道4与氢气罐5连接，支路管道4上设置有自动开关阀6，自动开关阀6与在线控制装置7电连接；干燥器3的出口通过管道与液化分离器8连接，液化分离器8上设置有进气口和出气口，液化分离器8的出气口通过高纯氮气输出管道9将高纯氮气输出。本实用新型中的采用催化氧化的方法对氮气中的少量氧气进行去除，同时又不引入其它杂质气体，达到净化氮气的目的。设置有在线检测装置，对不合格的氮气返回液化装置进行再处理。

Description

一种高纯氮气净化装置

技术领域

本实用新型涉及气体净化设备技术领域，具体涉及一种高纯氮气净化装置。

背景技术

在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有超高纯度。目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入氧气，导致氮气的纯度达不到超高标准，导致高纯试剂产品质量不合格。因此，亟需设计一种高纯氮气纯化装置来解决上述问题。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种高纯氮气净化装置，具体的技术方案如下所述：

一种高纯氮气净化装置，包括罐体（1），罐体（1）内安装有催化剂网（2），所述的罐体（1）的底端设置有气体进口（101），顶端设置有气体出口（102），所述的气体出口（102）通过管道与干燥器（3）连接，

所述的气体进口（101）与管道连接，管道上的支路管道（4）与氢气罐（5）连接，所述的支路管道（4）上设置有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接；

所述的干燥器（3）的出口通过管道与液化分离器（8）连接，所述的液化分离器（8）上设置有进气口和出气口，所述的液化分离器（8）的出气口通过高纯氮气输出管道（9）将高纯氮气输出。设置有两个干燥器（3），根据实际应用，定时更换吸水物质，保证将氮气中的水汽出去。当更换其中一个干燥器（3）中的吸水物质时，自动开启另一个干燥器（3），保证整个装置的正常运转。

进一步地，所述的高纯氮气输出管道（9）上安装有自动开关阀（6），所述的自动开关阀（6）的上游设置有支管（10），支管（10）的另一端与液化分离器（8）的进气口连接。

进一步地，所述的液化分离器（8）的出气口上设置有氢气在线检测装置（11），所述的氢气在线检测装置（11）和自动开关阀（6）均与在线控制装置（7）电连接。

进一步地，所述的气体出口（102）通过管道与两个干燥器（3）连接，两个干燥器（3）并联，并且管路上均安装有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接。

进一步地，所述的罐体（1）内平行安装有多个催化剂网（2），保证氢气与氧气充分反应。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中的高纯氮气净化装置中设置有多层催化剂网层，并设置有两个干燥器，充分的保证能将氮气中的氧气出去，并不引入水汽。对引入的氢气才有低压液化分离的方法，得到高纯氮气的同时回收了氢气，回收的氢气可以继续使用。本实用新型中的采用催化氧化的方法对氮气中的少量氧气进行去除，同时又不引入其它杂质气体，达到净化氮气的目的。设置有在线检测装置，对不合格的氮气返回液化装置进行再处理。因此，本实用新型具有结构设计合理、得到的氮气纯度高等优点，适于广泛推广使用。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种高纯氮气净化装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例的一种高纯氮气净化装置的控制流程框图。

其中，1-罐体，101-气体进口，102-气体出口，2-催化剂网，3-干燥器，4-支路管道，5-氢气罐，6-自动开关阀，7-在线控制装置，8-液化分离器，9-高纯氮气输出管道，10-支管，11-氢气在线检测装置。

具体实施方式：

为了加深对本实用新型的理解，下面结合附图对本实用新型的实施例做详细的说明。

须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

实施例

参见图1至图2，

一种高纯氮气净化装置，包括罐体1，罐体1内安装有催化剂网2，罐体1的底端设置有气体进口101，顶端设置有气体出口102，气体出口102通过管道与干燥器3连接，

气体进口101与管道连接，管道上的支路管道4与氢气罐5连接，支路管道4上设置有自动开关阀6，自动开关阀6与在线控制装置7电连接；

干燥器3的出口通过管道与液化分离器8连接，液化分离器8上设置有进气口和出气口，液化分离器8的出气口通过高纯氮气输出管道9将高纯氮气输出。设置有两个干燥器3，根据实际应用，定时更换吸水物质，保证将氮气中的水汽出去。当更换其中一个干燥器3中的吸水物质时，自动开启另一个干燥器3，保证整个装置的正常运转。

进一步地，高纯氮气输出管道9上安装有自动开关阀6，自动开关阀6的上游设置有支管10，支管10的另一端与液化分离器8的进气口连接。

进一步地，液化分离器8的出气口上设置有氢气在线检测装置11，氢气在线检测装置11和自动开关阀6均与在线控制装置7电连接。

进一步地，气体出口102通过管道与两个干燥器3连接，两个干燥器3并联，并且管路上均安装有自动开关阀6，自动开关阀6与在线控制装置7电连接。

进一步地，罐体1内平行安装有多个催化剂网2，保证氢气与氧气充分反应。

本实用新型方案所公开的技术手段不仅限于上述技术手段所公开的技术手段，还包括由以上技术特征等同替换所组成的技术方案。本实用新型的未尽事宜，属于本领域技术人员的公知常识。

Claims

1.一种高纯氮气净化装置，其特征在于，包括罐体（1），罐体（1）内安装有催化剂网（2），所述的罐体（1）的底端设置有气体进口（101），顶端设置有气体出口（102），所述的气体出口（102）通过管道与干燥器（3）连接，

所述的干燥器（3）的出口通过管道与液化分离器（8）连接，所述的液化分离器（8）上设置有进气口和出气口，所述的液化分离器（8）的出气口通过高纯氮气输出管道（9）将高纯氮气输出。

2.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的高纯氮气输出管道（9）上安装有自动开关阀（6），所述的自动开关阀（6）的上游设置有支管（10），支管（10）的另一端与液化分离器（8）的进气口连接。

3.根据权利要求2所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的液化分离器（8）的出气口上设置有氢气在线检测装置（11），所述的氢气在线检测装置（11）和自动开关阀（6）均与在线控制装置（7）电连接。

4.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的气体出口（102）通过管道与两个干燥器（3）连接，两个干燥器（3）并联，并且管路上均安装有自动开关阀（6），自动开关阀（6）与在线控制装置（7）电连接。

5.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置，其特征在于，所述的罐体（1）内平行安装有多个催化剂网（2），保证氢气与氧气充分反应。