CN219008900U - 一种纠偏机构及花篮输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种纠偏机构及花篮输送装置，包括：纠偏机构、后端齿轮组、花篮承载座、两根输送链条和两根限位条，花篮承载座卡设于两根限位条之间并连接输送链条，纠偏机构包括两个通过Y轴支撑条连接的X轴安装板，两个滚轮安装座，其下部设置有Z轴腰形孔并通过螺栓连接支撑条；滚轮，其连接滚轮安装座且位于花篮承载座的下方。放置硅片的花篮在花篮承载座上随着输送链条的转动过渡到靠近后端齿轮组的位置时，两侧相对高度一致的滚轮能够对花篮起到平衡作用，同时在运行时可观察花篮的侧倾状态，并可通过及时调整一侧的滚轮安装座相对于Y轴支撑条的高度，最大限度的保证此处花篮过渡的平稳性，减少了花篮因侧倾或震荡造成的硅片损伤。

Description

一种纠偏机构及花篮输送装置

技术领域

本实用新型涉及硅片输送技术领域，尤其是指一种纠偏机构及花篮输送装置。

背景技术

花篮是硅片运输过程中的重要载具，每个花篮中放置的硅片数量也不相同，而在一些输送花篮的流水线，常采用链条输送的方式，即将花篮承载底座与链条固定连接，承载底座上还设置有花篮定位销，花篮放置于承载底座并从流水线的前端输送至后端再由机械手进行抓取和转移。

这种链条传输的方式有一个弊端，输送链条的前后端均设置有转动齿轮，链条与前后端齿轮转动连接，链条的中段下方设置有限位条，能够保证花篮的两侧始终在一个高度进行水平输送，但是限位条和后端齿轮之间会存在间隙，当花篮随着链条移动至该间隙处时，因为两侧链条的张力不同或者花篮本身的配重不均匀时会发生倾斜，会影响外部机械手对花篮的准确抓取，如果花篮输送速度较快，还会发生发生剧烈震荡，从而影响硅片品质。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中链式输送装置存在当花篮输送至靠近后端齿轮位置时容易发生侧倾甚至剧烈震荡的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种纠偏机构，包括：

X轴安装板，其上设置有Y轴支撑条，所述X轴安装板平行设置有两个，两个所述X轴安装板的一侧通过所述Y轴支撑条连接；

滚轮安装座，其设置有两个，两个所述滚轮安装座分别靠近两个所述X轴安装板的内侧，所述滚轮安装座的下部设置有Z轴腰形孔，所述Z轴腰形孔内设置有螺栓，所述滚轮安装座通过螺栓连接所述支撑条；

滚轮，其连接所述滚轮安装座。

在本实用新型的一个实施例中，两个所述X轴安装板远离所述Y轴支撑条的一侧还设置有连接杆。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚轮沿X轴方向设置有多个。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚轮安装座包括X轴安装条，多个所述滚轮设置于所述X轴安装条上。

在本实用新型的一个实施例中，所述X轴安装条上设置有多个L形固定块，所述L形固定块连接所述滚轮。

在本实用新型的一个实施例中，所述滚轮安装座还包括调节底板，所述Z轴腰形孔开设于所述调节底板上。

在本实用新型的一个实施例中，所述调节底板上设置有L形安装板，所述X轴安装条上设置有X轴腰形孔，所述L形安装板和所述X轴安装条通过螺栓连接。

本实用新型还提供了一种花篮输送装置，包括如上述所述的纠偏机构，还包括后端齿轮组、花篮承载座、两根输送链条和两根限位条，所述滚轮安装座设置于所述后端齿轮组和所述限位条之间，所述花篮承载座卡设于两根所述限位条之间且其两侧分别连接所述两根输送链条，所述滚轮设置于所述花篮承载座的下方。

在本实用新型的另一个实施例中，所述后端齿轮组包括两个齿轮和转轴，所述两个齿轮分别设置于所述转轴的两侧且分别连接两个所述输送链条，所述转轴的两端与所述纠偏机构中的两个X轴安装板转动连接。

在本实用新型的另一个实施例中，所述限位条的一端连接所述滚轮安装座的上部。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种纠偏机构及花篮输送装置，放置硅片的花篮在花篮承载座上随着输送链条的转动过渡到靠近后端齿轮组的位置时，两侧相对高度一致的滚轮能够对花篮起到平衡作用，同时在运行时可观察花篮的侧倾状态，并可通过及时调整一侧的滚轮安装座相对于Y轴支撑条的高度，最大限度的保证此处花篮过渡的平稳性，减少了花篮因侧倾或震荡造成的硅片损伤，整个纠偏结构与花篮输送装置的后端巧妙连接在一起，结构简单且效果显著。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型纠偏机构的结构示意图；

图2为本实用新型纠偏机构的正视图；

图3为本实用新型花篮输送装置的俯视图。

说明书附图标记说明：1、X轴安装板；2、Y轴支撑条；3、滚轮安装座；301、X轴安装条；302、L形固定块；303、调节底板；304、Z轴腰形孔；305、L形安装板；306、X轴腰形孔；4、滚轮；5、连接杆；6、后端齿轮组；601、齿轮；602、转轴；7、花篮承载座；8、输送链条；9、限位条。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例1

参照图1至图2所示，本实用新型提供了一种纠偏机构，包括：

X轴安装板1，其上设置有Y轴支撑条2，X轴安装板1平行设置有两个，两个X轴安装板1的一侧通过Y轴支撑条2连接；

滚轮安装座3，其设置有两个，两个滚轮安装座3分别靠近两个X轴安装板1的内侧，滚轮安装座3的下部设置有Z轴腰形孔304，Z轴腰形孔304内设置有螺栓，滚轮安装座3通过螺栓连接支撑条；

滚轮4，其连接滚轮安装座3。

具体的，两个X轴安装板1通过螺栓固定在一个安装架上，滚轮安装座3的下端紧贴Y轴支撑条2的内侧，支撑条上对应位置设置有螺栓孔，滚轮4的高度可通过调整Z轴腰形孔304和该螺栓孔的位置进行调节，从而保证Y轴支撑条2两侧的滚轮4保持在同一高度。

进一步的，两个X轴安装板1远离Y轴支撑条2的一侧还设置有连接杆5。

具体的，连接杆5和Y轴支撑条2共同对两个X轴安装板1起到支撑作用，连接杆5可设置多条。

进一步的，滚轮4沿X轴方向设置有多个。

具体的，滚轮4设置两个及以上，从而能够满足花篮过渡间隙的长度需求。

进一步的，滚轮安装座3包括X轴安装条301，多个滚轮4设置于X轴安装条301上。

具体的，多个滚轮4的设置方向与花篮的运行方向保持一致，能够保证花篮在过渡间隙位置始终能够在一个高度平稳前进。

进一步的，X轴安装条301上设置有多个L形固定块302，L形固定块302连接滚轮4。

具体的，滚轮4可采用工程塑料材质，以减小硬磨擦带来的零部件磨损、振动和噪音，L形固定块302的一端连接X轴安装条301，另一端则用于安装滚轮4的轴端，使得滚轮4与X轴安装条301能够保证一定的间隙方便拆装。

进一步的，滚轮安装座3还包括调节底板303，Z轴腰形孔304开设于调节底板303上。

具体的，调节底板303紧贴Y轴支撑条2的内侧，Z轴腰形孔304可设置多个，可加强对整个滚轮4底座上部的支撑作用。

进一步的，调节底板303上设置有L形安装板305，X轴安装条301上设置有X轴腰形孔306，L形安装板305和X轴安装条301通过螺栓连接。

具体的，X轴腰形孔306可方便调整滚轮4在X轴方向的相对位置。

实施例2

参照图3和图1所示，本实用新型还提供了一种花篮输送装置，包括如上述的纠偏机构，还包括后端齿轮组6、花篮承载座7、两根输送链条8和两根限位条9，滚轮安装座3设置于后端齿轮组6和限位条9之间，花篮承载座7卡设于两根限位条9之间且其两侧分别连接两根输送链条8，滚轮4设置于花篮承载座7的下方。

具体的，输送链条8为循环运转状态，其分为上输送部和下回转部，链条上均匀设置有多个安装片，该安装片用于固定花篮承载座7的两侧，花篮承载座7上设置有定位销以对花篮进行定位，两根限位条9能保证花篮始终沿X轴方向输送，上述L形固定块302还可为输送链条8提供一定的设置空间，使得滚轮4尽可能靠近花篮承载座7的下表面，最大限度的保证花篮固定的稳定性，在靠近后端齿轮组6的位置还设置有到位传感器，花篮承载座7的下表面设置有到位检测块，可用于检测花篮的到位情况以便于外部机械手对花篮的抓取。

进一步的，后端齿轮组6包括两个齿轮601和转轴602，两个齿轮601分别设置于转轴602的两侧且分别连接两个输送链条8，转轴602的两端与纠偏机构中的两个X轴安装板1转动连接。

具体的，X轴安装板1的中部安装有轴承，轴承的内圈连接转轴602，加强了整个纠偏机构和花篮输送装置的整体性。

进一步的，限位条9的一端连接滚轮安装座3的上部。

具体的，在滚轮安装座3的上部还包括多个用扁铁和角钢焊接形成的连接板用来固定限位条9，使得滚轮安装座3本身作为一个连接件与花篮输送装置成为一个整体。

综上所述，放置硅片的花篮在花篮承载座7上随着输送链条8的转动过渡到靠近后端齿轮组6的位置时，两侧相对高度一致的滚轮4能够对花篮起到平衡作用，同时在运行时可观察花篮的侧倾状态，并可通过及时调整一侧的滚轮安装座3相对于Y轴支撑条2的高度，最大限度的保证此处花篮过渡的平稳性，减少了花篮因侧倾或震荡造成的硅片损伤，整个纠偏结构与花篮输送装置的后端巧妙连接在一起，结构简单且效果显著。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种纠偏机构，其特征在于，包括：

X轴安装板，其上设置有Y轴支撑条，所述X轴安装板平行设置有两个，两个所述X轴安装板的一侧通过所述Y轴支撑条连接；

滚轮安装座，其设置有两个，两个所述滚轮安装座分别靠近两个所述X轴安装板的内侧，所述滚轮安装座的下部设置有Z轴腰形孔，所述Z轴腰形孔内设置有螺栓，所述滚轮安装座通过螺栓连接所述支撑条；

滚轮，其连接所述滚轮安装座。

2.根据权利要求1所述的纠偏机构，其特征在于：两个所述X轴安装板远离所述Y轴支撑条的一侧还设置有连接杆。

3.根据权利要求1所述的纠偏机构，其特征在于：所述滚轮沿X轴方向设置有多个。

4.根据权利要求1所述的纠偏机构，其特征在于：所述滚轮安装座包括X轴安装条，多个所述滚轮设置于所述X轴安装条上。

5.根据权利要求4所述的纠偏机构，其特征在于：所述X轴安装条上设置有多个L形固定块，所述L形固定块连接所述滚轮。

6.根据权利要求4所述的纠偏机构，其特征在于：所述滚轮安装座还包括调节底板，所述Z轴腰形孔开设于所述调节底板上。

7.根据权利要求6所述的纠偏机构，其特征在于：所述调节底板上设置有L形安装板，所述X轴安装条上设置有X轴腰形孔，所述L形安装板和所述X轴安装条通过螺栓连接。

8.一种花篮输送装置，包括如权利要求1-7任意一项所述的纠偏机构，其特征在于，还包括后端齿轮组、花篮承载座、两根输送链条和两根限位条，所述滚轮安装座设置于所述后端齿轮组和所述限位条之间，所述花篮承载座卡设于两根所述限位条之间且其两侧分别连接所述两根输送链条，所述滚轮设置于所述花篮承载座的下方。

9.根据权利要求8所述的花篮输送装置，其特征在于：所述后端齿轮组包括两个齿轮和转轴，所述两个齿轮分别设置于所述转轴的两侧且分别连接两个所述输送链条，所述转轴的两端与所述纠偏机构中的两个X轴安装板转动连接。

10.根据权利要求8所述的花篮输送装置，其特征在于：所述限位条的一端连接所述滚轮安装座的上部。

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