CN218955482U - 炉帽及扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种炉帽及扩散炉。炉帽包括帽体，帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，出气孔用于与外部抽风管道连通，帽体用于套设炉管的管口；帽体套设炉管的管口时，容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，以与炉管密封连接，以使炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出，且炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域，与容纳槽的槽壁之间具有间隙。帽体套设炉管的管口时，通过容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，从而与炉管密封连接，而炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域与容纳槽的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，便于炉帽取下，提高了炉帽的适应性。

Description

炉帽及扩散炉

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及观察窗及炉帽及扩散炉。

背景技术

扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、返火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。主要反应装置一般分为水平式和直立式两种，半导体材料在高纯净的反应腔内进行高温反应，此过程一般需要通入不同种类的气体或对腔体进行抽真空处理。整个生产过程需要操作、生产设备需要纯净、轻便、耐高温。现有的炉帽为与炉管外壁适配的喇叭口形，从而提高炉帽与炉管的接触面积，提高密封性，然而，在生产过程中，扩散炉内反应后残留物有粘性，在高温时会顺着炉管流到炉帽与炉管的接触位置，残留物冷却后会使得炉帽与炉管粘连，从而使得取炉帽困难，且操作过程中炉帽易开裂损坏，甚至造成炉管损坏。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的炉帽为与炉管外壁适配的喇叭口形，扩散炉内反应后残留物有粘性，残留物冷却后会使得炉帽与炉管粘连，从而使得取炉帽困难，且操作过程中炉帽易开裂损坏，甚至造成炉管损坏的技术问题，提供一种炉帽。

一种炉帽，包括帽体；

所述帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，所述出气孔用于与外部抽风管道连通，所述帽体用于套设炉管的管口；

所述帽体套设所述炉管的管口时，所述容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于所述炉管的外壁，以与所述炉管密封连接，以使所述炉管排出的气体经过所述容纳槽和所述出气孔排出，且所述炉管位于所述槽口边缘和所述管口边缘之间的至少部分区域，与所述容纳槽的槽壁之间具有间隙。

在其中一个实施例中，所述容纳槽为圆形凹槽。

在其中一个实施例中，所述容纳槽的槽侧壁上设有限位凸，所述限位凸用于抵接于所述炉管的外壁，以限制所述帽体相对所述炉管沿与所述帽体的套设方向平行的方向移动。

在其中一个实施例中，所述限位凸的数量为多个，多个所述限位凸绕所述容纳槽的周向间隔设置。

在其中一个实施例中，所述限位凸在所述容纳槽的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿所述帽体的套设方向逐渐减小，以与所述炉管的外壁适配并贴合。

在其中一个实施例中，所述限位凸由所述槽口边缘向所述容纳槽的槽底壁延伸。

在其中一个实施例中，所述炉帽还包括排气管，所述出气孔设置于所述容纳槽的槽底壁上的中心位置，所述排气管的一端连通于所述出气孔，另一端用于与位于所述帽体侧方的所述抽风管道连通。

在其中一个实施例中，所述排气管上具有间隔设置第一弯折部和第二弯折部，所述第一弯折部位于所述排气管上靠近所述出气孔的区域，所述第二弯折部位于所述排气管上靠近所述抽风管道的区域。

在其中一个实施例中，所述排气管上还设有第三弯折部，所述第三弯折部位于所述第一弯折部和所述第二弯折部之间。

本实用新型还提供一种扩散炉，能够解决上述至少一个技术问题。

一种扩散炉，包括炉管及上述的炉帽，所述炉帽连接于所述炉管。

有益效果：

本实用新型实施例提供的的炉帽，包括帽体，帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，出气孔用于与外部抽风管道连通，帽体用于套设炉管的管口；帽体套设炉管的管口时，容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，以与炉管密封连接，以使炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出，且炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域，与容纳槽的槽壁之间具有间隙。本申请中帽体套设炉管的管口时，通过容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于炉管的外壁，从而与炉管密封连接，使得炉管排出的气体经过容纳槽和出气孔排出至抽风管道内，而炉管位于槽口边缘和管口边缘之间的至少部分区域与容纳槽的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，进而解决了炉帽因粘黏严重而无法取下的问题，提高了炉帽的适应性。

本实用新型还提供一种扩散炉，包括炉管及上述的炉帽，炉帽连接于炉管，扩散炉能够实现上述至少一个技术效果。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的炉帽与炉管配合的示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的炉帽的示意图；

图3为图1中A处的放大图。

附图标号：

100-帽体；110-容纳槽；111-槽口边缘；120-出气孔；130-限位凸；200-排气管；210-第一弯折部；220-第二弯折部；230-第三弯折部；300-炉管；310-管口。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1、图2及图3，图1为本实用新型一实施例提供的炉帽与炉管配合的示意图；图2为本实用新型一实施例提供的炉帽的示意图，图3为图1中A处的放大图。本实用新型一实施例提供了的炉帽，包括帽体100，帽体100设有相互连通的容纳槽110与出气孔120，出气孔120用于与外部抽风管道连通，帽体100用于套设炉管300的管口310；帽体100套设炉管300的管口310时，容纳槽110的槽口边缘111绕周向抵压于炉管300的外壁，以与炉管300密封连接，以使炉管300排出的气体经过容纳槽110和出气孔120排出，且炉管300位于槽口边缘111和管口310边缘之间的至少部分区域，与容纳槽110的槽壁之间具有间隙。

本申请中的炉帽用于扩散炉中。扩散炉还包括炉管300，炉帽用于连接炉管300，以使炉管300内产生的气体经过炉帽中的出气孔120导入至外部的抽风管道内。其中，本实施例以炉管300沿其管口310方向渐缩为例进行说明。

具体地，本申请中帽体100套设炉管300的管口310时，通过容纳槽110的槽口边缘111绕周向抵压于炉管300的外壁，从而与炉管300密封连接，使得炉管300排出的气体经过容纳槽110和出气孔120排出至抽风管道内，而炉管300位于槽口边缘111和管口310边缘之间的至少部分区域与容纳槽110的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管300的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，进而解决了炉帽因粘黏严重而无法取下的问题，提高了炉帽的适应性。

参阅图1和图2，在其中一个实施例中，容纳槽110为圆形凹槽。

具体地，炉管300沿其管口310方向渐缩，而容纳槽110为圆形凹槽，则容纳槽110的槽口边缘111处与炉管300的管壁线接触，从而进一步减小帽体100与炉管300的接触面积。

在其中实施例中，炉管300和容纳槽110均还可以为其他形状，其只要保证炉管300位于槽口边缘111和管口310边缘之间的至少部分区域，与容纳槽110的槽壁之间具有间隙即可。

参阅图1和图3，在其中一个实施例中，容纳槽110的槽侧壁上设有限位凸130，限位凸130用于抵接于炉管300的外壁，以限制帽体100相对炉管300沿与帽体100的套设方向平行的方向移动。

具体地，限位凸130抵接于炉管300位于槽口边缘111和管口310边缘之间的区域，增加了炉管300与帽体100之间的摩擦力，从而能够限制帽体100相对炉管300沿与帽体100的套设方向平行的方向移动，提高了炉管300与炉帽连接的稳定性，进而提高了炉帽与炉管300连接的密封性，提高了炉帽的可靠性。

参阅图2，在其中一个实施例中，限位凸130的数量为多个，多个限位凸130绕容纳槽110的周向间隔设置。

具体地，多个限位凸130绕容纳槽110的周向间隔设置，使得炉管300的管壁上绕周向能够受到多个限位凸130施加的摩擦力，从而能够限制容纳槽110的槽壁上绕周向的多个位置相对炉管300沿与帽体100的套设方向平行的方向移动，进一步地提高了炉管300与炉帽连接的稳定性。

进一步地，多个限位凸130绕容纳槽110的周向均匀间隔设置。

参阅图1、图2及图3，在其中一个实施例中，限位凸130在容纳槽110的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿帽体100的套设方向逐渐减小，以与炉管300的外壁适配并贴合。

具体地，炉管300沿其管口310方向渐缩，通过限位凸130在容纳槽110的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿帽体100的套设方向逐渐减小的设置，使得限位凸130与炉管300的外壁适配并贴合，从而使得帽体100套设炉管300时，限位凸130的端部均能够贴合于炉管300的外壁，进而提高限位凸130抵接于炉管300外壁的稳定性，提高了炉管300与炉帽连接的稳定性及密封性。

其中，本申请中的限位凸130为肋状结构，能够起到隔离容纳槽110的槽壁与炉管300的管壁的作用，相较于现有技术中炉管300与炉帽贴合设置而言，减少两者的接触面积，粘连程度减小，不会因炉帽与炉管300粘连而造成出炉时取不下炉帽，解决了现有技术中炉帽盖紧了粘连严重无法取下的问题。同时，限位凸130与炉管300外壁贴合的设置，提高了炉帽与炉管300连接的密封性，解决了容纳槽110的槽口边缘111漏气影响参数的一致性的问题，也改善了依靠员工经验盖炉帽松紧程度不一造成的炉间参数波动的问题。

参阅图2及图3，在其中一个实施例中，限位凸130由槽口边缘111向容纳槽110的槽底壁延伸。

具体地，帽体100套设于炉管300时，限位凸130远离槽口边缘111的一5端位于炉管300的管口310和容纳槽110的槽底壁之间，从而在不影响炉管300

与限位凸130粘黏性下，最大程度的增大限位凸130与炉管300的管壁的接触面积，提高炉管300与炉帽连接的稳定性。优选地，限位凸130沿帽体100的套设方向延伸。

参阅图1，在其中一个实施例中，炉帽还包括排气管200，出气孔120设置0于容纳槽110的槽底壁上的中心位置，排气管200的一端连通于出气孔120，另

一端用于与位于帽体100侧方的抽风管道连通。

具体地，抽风管道设置于帽体100沿容纳槽110深度方向的侧方，本申请中出气孔120设置于容纳槽110的槽底壁上的中心位置，相较于现有技术中出

气孔120设置于帽体100的边缘处而言，炉管300的管口310处气流紊乱的影响减小，可改善邻近炉管300管口310位置半导体材料的高温反应的一致性，

提高炉帽的适应性。

参阅图1和图2，在其中一个实施例中，排气管200上具有间隔设置第一弯折部210和第二弯折部220，第一弯折部210位于排气管200上靠近出气孔120的区域，第二弯折部220位于排气管200上靠近抽风管道的区域。

0具体地，排气管200的进气口与位于容纳槽110的槽壁中心位置的出气孔120连通，排气管200的出气口与位于帽体100侧方的抽风管道连通，且出气口朝向背离帽体100的一侧。通过第一弯折部210和第二弯折部220的设置，减小了抽风管道的弯曲角度，从而能够保护排气管200，提高排气管200的使用寿命。

进一步地，第一弯折部210使得排气管200由炉管300的轴向向帽体100的侧方弯折，第二弯折部220使得排气管200由帽体100的侧方向背离帽体100一侧弯折。

参阅图1和图2，在其中一个实施例中，排气管200上还设有第三弯折部230，第三弯折部230位于第一弯折部210和第二弯折部220之间。

具体地，第一弯折部210使得排气管200由炉管300的轴向向炉管300的径向弯折，第三弯折部230使得排气管200由炉管300的径向向炉管300的轴向且朝向帽体100的一侧弯折，第二弯折部220使得排气管200由炉管300的轴向向背离帽体100一侧弯折，从而进一步减小了排气管200的弯折角度，提高排气管200的使用寿命，同时，增加了排气管200的弯折程度，减小了容纳槽110内气流的流速，从而使得炉管300内的半导体材料能够与气体更加充分的反应，提高了炉帽的适应性。

参阅图1、图2及图3，本实用新型一实施例提供了的扩散炉，包括炉管300及上述的炉帽，炉帽连接于炉管300。

本申请中帽体100套设炉管300的管口310时，通过容纳槽110的槽口边缘111绕周向抵压于炉管300的外壁，从而与炉管300密封连接，使得炉管300排出的气体经过容纳槽110和出气孔120排出至抽风管道内，而炉管300位于槽口边缘111和管口310边缘之间的至少部分区域与容纳槽110的槽壁之间具有间隙的设置，减小了炉帽与炉管300的接触面积，从而减小了两者之间的粘黏程度，且容纳槽110的槽壁上设有用于抵接炉管300外壁的限位凸130，从而提高了炉管300与炉帽连接的稳定性，便于炉帽与炉管300的安装于拆卸，提高了扩散炉的适应性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种炉帽，其特征在于，所述炉帽包括帽体；

所述帽体设有相互连通的容纳槽与出气孔，所述出气孔用于与外部抽风管道连通，所述帽体用于套设炉管的管口；

所述帽体套设所述炉管的管口时，所述容纳槽的槽口边缘绕周向抵压于所述炉管的外壁，以与所述炉管密封连接，以使所述炉管排出的气体经过所述容纳槽和所述出气孔排出，且所述炉管位于所述槽口边缘和所述管口边缘之间的至少部分区域，与所述容纳槽的槽壁之间具有间隙。

2.根据权利要求1所述的炉帽，其特征在于，所述容纳槽为圆形凹槽。

3.根据权利要求2所述的炉帽，其特征在于，所述容纳槽的槽侧壁上设有限位凸，所述限位凸用于抵接于所述炉管的外壁，以限制所述帽体相对所述炉管沿与所述帽体的套设方向平行的方向移动。

4.根据权利要求3所述的炉帽，其特征在于，所述限位凸的数量为多个，多个所述限位凸绕所述容纳槽的周向间隔设置。

5.根据权利要求3所述的炉帽，其特征在于，所述限位凸在所述容纳槽的中心指向槽侧壁的方向上的尺寸沿所述帽体的套设方向逐渐减小，以与所述炉管的外壁适配并贴合。

6.根据权利要求5所述的炉帽，其特征在于，所述限位凸由所述槽口边缘向所述容纳槽的槽底壁延伸。

7.根据权利要求1-6任一项所述的炉帽，其特征在于，所述炉帽还包括排气管，所述出气孔设置于所述容纳槽的槽底壁上的中心位置，所述排气管的一端连通于所述出气孔，另一端用于与位于所述帽体侧方的所述抽风管道连通。

8.根据权利要求7所述的炉帽，其特征在于，所述排气管上具有间隔设置第一弯折部和第二弯折部，所述第一弯折部位于所述排气管上靠近所述出气孔的区域，所述第二弯折部位于所述排气管上靠近所述抽风管道的区域。

9.根据权利要求8所述的炉帽，其特征在于，所述排气管上还设有第三弯折部，所述第三弯折部位于所述第一弯折部和所述第二弯折部之间。

10.一种扩散炉，其特征在于，包括炉管及如权利要求1-9中任一项所述的炉帽，所述炉帽连接于所述炉管。

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