CN218941404U - 一种等离子处理设备的充气管路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了等离子设备技术领域的一种等离子处理设备的充气管路结构，包括等离子处理装置和聚气装置，所述等离子处理装置包括箱体、下电极板、安装板、上电极板和工作台，所述下电极板通过连接柱固定于所述箱体内腔底部，所述安装板通过连接柱固定于所述箱体内腔顶部；该等离子处理设备的充气管路结构的设置，通过在箱体的内部安装折叠罩和出气管，折叠罩对工件台上的工件进行包覆，将氧气导进连接板中并通过出气管向两侧喷气，由于氧气受到折叠罩外壁的阻挡则汇聚在折叠罩的内腔中，氧气在电极板的作用下被电离分解，由于工件处于折叠罩内，使得离子集中撞击工件的表面，从而在降低氧气使用量的同时还能够提高对工件的处理效率。

Description

一种等离子处理设备的充气管路结构

技术领域

本实用新型涉及等离子设备技术领域，具体为一种等离子处理设备的充气管路结构。

背景技术

等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电。等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。

中国专利CN204906837U公布了一种等离子体发生器及其混合供气管路，制备同等量等离子体时，采用这种混合供气管路可极大地减少仪用压缩空气的消耗量，继而显著降低等离子体发生器的运行成本。现有的等离子处理设备在向腔室内充气时，不能够有效的将充入的气体进行汇聚，气体充满腔室，从而不仅增加了气体的使用量还会降低对工件的处理效率。为此，需要设计新的技术方案给予解决。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子处理设备的充气管路结构，以解决上述背景技术中提出的等离子处理设备在向腔室内充气时，不能够有效的将充入的气体进行汇聚，气体充满腔室，从而不仅增加了气体的使用量还会降低对工件的处理效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子处理设备的充气管路结构，包括等离子处理装置和聚气装置，所述等离子处理装置包括箱体、下电极板、安装板、上电极板和工作台，所述下电极板通过连接柱固定于所述箱体内腔底部，所述安装板通过连接柱固定于所述箱体内腔顶部，所述箱体镶嵌于所述安装板的底部，所述工作台通过立柱固定于所述工作台，所述工作台位于所述下电极板的上部；所述聚气装置位于所述箱体内腔，所述聚气装置包括折叠罩和连接板，所述折叠罩的顶部镶嵌于所述安装板的底部，所述上电极板位于所述折叠罩内腔，所述连接板通过螺栓与所述箱体内侧壁连接，所述连接板上水平插接有多个出气管，多个所述出气管贯穿所述折叠罩并延伸进所述折叠罩内腔。

为了使得折叠罩能够平稳的使用，作为本实用新型的一种等离子处理设备的充气管路结构优选的，所述折叠罩的底部镶嵌有环形框。

为了能够顺利的对折叠罩进行折叠和打开，作为本实用新型的一种等离子处理设备的充气管路结构优选的，所述箱体内腔顶部通过螺栓固定有双头电机，所述双头电机的两端分别通过连接绳与所述环形框外侧壁连接。

为了对环形框进行支撑，保持环形框在水平方向上保持平稳，作为本实用新型的一种等离子处理设备的充气管路结构优选的，所述工作台的外侧壁通过螺栓固定有延伸杆，所述环形框的底部与所述延伸杆接触。

为了使得气流在水平方向上能够快速的被导出，作为本实用新型的一种等离子处理设备的充气管路结构优选的，所述出气管的外侧壁沿着圆心对称开有通气孔。

为了提高双头电机使用的稳定性，作为本实用新型的一种等离子处理设备的充气管路结构优选的，所述双头电机与所述箱体之间通过固定座连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该等离子处理设备的充气管路结构的设置，通过在箱体的内部安装折叠罩和出气管，折叠罩对工件台上的工件进行包覆，将氧气导进连接板中并通过出气管向两侧喷气，由于氧气受到折叠罩外壁的阻挡则汇聚在折叠罩的内腔中，氧气在电极板的作用下被电离分解，由于工件处于折叠罩内，使得离子集中撞击工件的表面，从而在降低氧气使用量的同时还能够提高对工件的处理效率。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型剖视结构示意图；

图3为本实用新型连接板结构示意图。

图中：100、等离子处理装置；110、箱体；111、固定座；120、下电极板；130、安装板；140、上电极板；150、工作台；151、延伸杆；200、聚气装置；210、折叠罩；220、环形框；230、双头电机；231、连接绳；240、连接板；241、出气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

本技术方案中，一种等离子处理设备的充气管路结构，包括等离子处理装置100和聚气装置200，等离子处理装置100包括箱体110、下电极板120、安装板130、上电极板140和工作台150，下电极板120通过连接柱固定于箱体110内腔底部，安装板130通过连接柱固定于箱体110内腔顶部，箱体110镶嵌于安装板130的底部，工作台150通过立柱固定于工作台150，工作台150位于下电极板120的上部；

在这种技术方案中，箱体110用于为各个零件的安装提供支撑点，下电极板120和上电极板140相互配合使用用于对充入箱体110内腔中的气体进行电离，安装板130用于为上电极板140和折叠罩210的安装提供支撑点，工作台150用于对工件的摆放提供支撑点。

本技术方案中，聚气装置200位于箱体110内腔，聚气装置200包括折叠罩210和连接板240，折叠罩210的顶部镶嵌于安装板130的底部，上电极板140位于折叠罩210内腔，连接板240通过螺栓与箱体110内侧壁连接，连接板240上水平插接有多个出气管241，多个出气管241贯穿折叠罩210并延伸进折叠罩210内腔；

在这种技术方案中，折叠罩210用于对注入进箱体110内腔中的气体进行汇聚，以防止在还未电离时充满箱体110的内腔，而增加了气体的使用量，连接板240和出气管241相互组合后一端与外接的输气罐连通，一端将气体导进折叠罩210的内腔中，时气体发生电离。

在有的技术方案中，参考图1-2，折叠罩210的底部镶嵌有环形框220。

在这种技术方案中，环形框220的使用能够使得折叠罩210在竖直方向上能够正常使用，进而对工作台150上的工件进行包覆。

在有的技术方案中，参考图2，箱体110内腔顶部通过螺栓固定有双头电机230，双头电机230的两端分别通过连接绳231与环形框220外侧壁连接。

在这种技术方案中，双头电机230和连接绳231相互配合使用能够控制环形框220在竖直方向上的上升或者下降，进而控制折叠罩210的折叠和打开。

在有的技术方案中，参考图2，工作台150的外侧壁通过螺栓固定有延伸杆151，环形框220的底部与延伸杆151接触。

在这种技术方案中，延伸杆151的使用能够对环形框220进行支撑，避免环形框220处于悬空状态而发生晃动影响到对工件的处理。

在有的技术方案中，参考图2-3，出气管241的外侧壁沿着圆心对称开有通气孔。

在这种技术方案中，使得气体能够快速的被导出，在图中设计三个出气管241，进而能够快速的使气体铺满水平层。

在有的技术方案中，参考图2，双头电机230与箱体110之间通过固定座111连接。

在这种技术方案中，固定座111的使用能够提高双头电机230与箱体110内腔顶部的连接稳定性，使得双头电机230能够平稳的工作。

工作原理：将箱体110外侧的密封盖打开后将工件放置于工作台150的表面后，将密封盖恢复原位，此时打开双头电机230的控制开关，双头电机230对连接绳231进行松动，进而环形框220向下移动直至与延伸杆151接触，此时关闭开关，打开真空泵(图中未画出)的开关对箱体110内腔进行抽气，抽气完成后，打开上电极板140通电开关，并将连接板240上的阀门打开向折叠罩210内腔中输气，输入的气体在下电极板120和上电极板140的作用下被电离，电离后的电子沿着折叠罩210内腔向下移动撞击工件表面对其进行处理，处理完成后点开上电极板140的电源开关，再操作双头电机230的控制开关使其反向旋转进而带动环形框220上移，此时将密封盖打开将处理后的工件取出。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

虽然在上文中已经参考实施例对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (6)

1.一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：包括等离子处理装置(100)和聚气装置(200)，所述等离子处理装置(100)包括箱体(110)、下电极板(120)、安装板(130)、上电极板(140)和工作台(150)，所述下电极板(120)通过连接柱固定于所述箱体(110)内腔底部，所述安装板(130)通过连接柱固定于所述箱体(110)内腔顶部，所述箱体(110)镶嵌于所述安装板(130)的底部，所述工作台(150)通过立柱固定于所述工作台(150)，所述工作台(150)位于所述下电极板(120)的上部；

所述聚气装置(200)位于所述箱体(110)内腔，所述聚气装置(200)包括折叠罩(210)和连接板(240)，所述折叠罩(210)的顶部镶嵌于所述安装板(130)的底部，所述上电极板(140)位于所述折叠罩(210)内腔，所述连接板(240)通过螺栓与所述箱体(110)内侧壁连接，所述连接板(240)上水平插接有多个出气管(241)，多个所述出气管(241)贯穿所述折叠罩(210)并延伸进所述折叠罩(210)内腔。

2.根据权利要求1所述的一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：所述折叠罩(210)的底部镶嵌有环形框(220)。

3.根据权利要求1所述的一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：所述箱体(110)内腔顶部通过螺栓固定有双头电机(230)，所述双头电机(230)的两端固定连接有连接绳(231)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：所述工作台(150)的外侧壁通过螺栓固定有延伸杆(151)。

5.根据权利要求1所述的一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：所述出气管(241)的外侧壁沿着圆心对称开有通气孔。

6.根据权利要求3所述的一种等离子处理设备的充气管路结构，其特征在于：所述双头电机(230)与所述箱体(110)之间通过固定座(111)连接。

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