CN218925596U - 石英坩埚用清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了石英坩埚用清洗装置，包括底座，底座底部四角对称设有支腿，所述底座顶部由上到下依次设有上箱体和下箱体，所述下箱体内设有第一清理机构，本实用新型通过设有的电机、转轴、橡胶垫一、L架一、固定环、齿环、齿轮、连接块、L架二、转杆一、转杆二、单轨同步轮、双轨同步轮和同步带的使用，使其能够同时对石英坩埚的内外侧避免进行刷洗；同时配合设有水箱、水泵、水管、导管、喷水架和套管的使用，使其能够对石英坩埚内外侧避免喷水进行冲洗，从而配合刷洗使其清洗效果更好；通过螺杆、橡胶垫二配合卡块和橡胶垫一的使用，使其能够更好地对石英坩埚进行限位固定，从而方便对其进行清洗。

Description

石英坩埚用清洗装置

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚技术领域，具体为石英坩埚用清洗装置。

背景技术

石英坩埚是以石英砂为主要材制成的器皿。石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等一些优点，目前石英坩埚的应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。石英坩埚可以在1450度以下使用，分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其形成致密层，其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。石英坩埚生产工艺流程为：高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干。加温烘烤，喷涂→石英坩埚三次检验→真空包装→成品入库。

石英坩埚在制作过程中需要经过成型、切削、清洗和烘干等步骤，清洗时需要通过专门的清洗设备进行对石英坩埚清洗，而在目前市面上的一些石英坩埚清洗设备在对石英坩埚进行清洗时仅仅只是通过冲洗的方式进行清洗，清洗效率低，且清洗不彻底，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供石英坩埚用清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：石英坩埚用清洗装置，包括底座，底座底部四角对称设有支腿，所述底座顶部由上到下依次设有上箱体和下箱体，所述下箱体内设有第一清理机构，所述上箱体内设有与下箱体相连接的第二清理机构，所述下箱体和上箱体内设有喷水机构，所述第一清理机构包括底座底部设有的电机，所述电机的输出端延伸至下箱体内连接有转轴，所述下箱体内侧转轴外侧设有放置板，放置板顶部转轴外侧开设有通槽，所述放置板顶部对称设有若干卡块，所述第二清理机构包括上箱体内顶部设有的固定环，所述固定环内开设有空腔，所述空腔内一侧设有齿环，所述齿环底部对称设有连接块，所述喷水机构包括支腿之间电机下方设有的支撑板，所述支撑板顶部设有水箱和水泵。

进一步的，所述第一清理机构还包括转轴顶端连接的橡胶垫一，所述转轴两侧对称设有L架一，且所述L架一位于所述卡块相对内侧，所述L架一外侧壁面设有若干刷毛，通过设有的第一清理机构，使其能够对石英坩埚内壁面进行刷洗。

进一步的，所述第二清理机构还包括卡块的相对外侧对称设有内侧壁设有若干刷毛的L架二，所述L架二顶部与连接块相连接，所述空腔内齿环相对外侧设有与齿环相适配的齿轮，所述齿轮的内侧设有转杆一，所述转杆一下端延伸至固定环下方，所述底座底部电机两侧对称设有转杆二，所述转杆二延伸至下箱体内并穿过放置板，所述转杆二通过轴承与底座转动连接，所述转杆一下端插入转杆二顶部，所述底座下方转杆二外侧错位套设有单轨同步轮，所述底座下方转轴外侧套设有双轨同步轮，所述双轨同步轮与单轨同步轮之间通过同步带相连接，通过设有的第二清理机构，使其能够对石英坩埚外壁进行刷洗。

进一步的，所述喷水机构还包括水泵输出端连接的水管，所述水箱与水泵输入端相连通，所述下箱体内L架一相对内侧且位于转轴外侧套设有套管，所述套管外侧壁开设有若干喷孔，所述上箱体内顶部固定环的外侧设有喷水架，喷水架相对内侧壁设有若干喷头，所述水管上端延伸至下箱体内并通过三通阀连接两个导管，两个所述导管分别与套管和喷水架相连通，通过设有的喷水机构，使其能够对石英坩埚的外侧和内侧进行喷水冲洗。

进一步的，所述上箱体顶部中间位置设有螺杆，且螺杆位于L架二之间，所述螺杆下端延伸至上箱体内侧并连接有橡胶垫二，所述螺杆下端通过轴承与橡胶垫二转动连接，以便对石英坩埚进行限制固定，以便更好地对其进行清理。

进一步的，所述底座顶部下箱体两侧对称设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端与上箱体两侧相连接，以便推动上箱体上移，使其与下箱体分离开，从而方便放置和取出石英坩埚。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设有的电机、转轴、橡胶垫一、L架一、固定环、齿环、齿轮、连接块、L架二、转杆一、转杆二、单轨同步轮、双轨同步轮和同步带的使用，使其能够同时对石英坩埚的内外侧避免进行刷洗；同时配合设有水箱、水泵、水管、导管、喷水架和套管的使用，使其能够对石英坩埚内外侧避免喷水进行冲洗，从而配合刷洗使其清洗效果更好；

2、本实用新型通过螺杆、橡胶垫二配合卡块和橡胶垫一的使用，使其能够更好地对石英坩埚进行限位固定，从而方便对其进行清洗。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型上箱体与下箱体分离开的结构示意图；

图3是本实用新型图1中A的放大结构示意图；

图4是本实用新型齿轮与连接块之间的结构示意图；

图中：1、底座；2、下箱体；3、上箱体；4、伸缩杆；5、卡块；6、电机；7、转轴；8、套管；9、橡胶垫一；10、L架一；11、固定环；12、齿环；13、齿轮；14、连接块；15、L架二；16、转杆一；17、转杆二；18、单轨同步轮；19、双轨同步轮；20、同步带；21、水箱；22、水泵；23、水管；24、导管；25、喷水架；26、螺杆；27、橡胶垫二。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1－图4所示的石英坩埚用清洗装置，包括底座1，底座1底部四角对称设有支腿，底座1顶部由上到下依次设有上箱体3和下箱体2，下箱体2一侧连接有排水阀，下箱体2内设有第一清理机构，上箱体3内设有与下箱体2相连接的第二清理机构，下箱体2和上箱体3内设有喷水机构，第一清理机构包括底座1底部设有的电机6，电机6的输出端延伸至下箱体2内连接有转轴7，下箱体2内侧转轴7外侧设有放置板，放置板顶部转轴7外侧开设有通槽，放置板顶部对称设有若干卡块5，本示例中卡块5呈圆周等距阵列分布设置，第二清理机构包括上箱体3内顶部设有的固定环11，固定环11内开设有空腔，空腔内一侧设有齿环12，齿环12底部对称设有连接块14，喷水机构包括支腿之间电机6下方设有的支撑板，支撑板顶部设有水箱21和水泵22。

本示例中，第一清理机构还包括转轴7顶端连接的橡胶垫一9，橡胶垫一9通过轴承与转轴7转动连接，转轴7两侧对称设有L架一10，且L架一10位于卡块5相对内侧，L架一10外侧壁面设有若干刷毛，通过设有的第一清理机构，使其能够对石英坩埚内壁面进行刷洗。

本示例中，第二清理机构还包括卡块5的相对外侧对称设有内侧壁设有若干刷毛的L架二15，L架二15顶部与连接块14相连接，空腔内齿环12相对外侧设有与齿环12相适配的齿轮13，齿轮13、齿环12和连接块14的组合机构与空腔相适配，齿轮13的内侧设有转杆一16，转杆一16下端延伸至固定环11下方，底座1底部电机6两侧对称设有转杆二17，转杆二17延伸至下箱体2内并穿过放置板，转杆二17通过轴承与底座1转动连接，转杆一16下端插入转杆二17顶部，本示例中，转杆一16的下端位六棱柱形结构，转杆二17的上端顶部开设有与转杆一16下端六棱柱形结构相适配的六棱柱形槽，以便使得转杆一16与转杆二17活动连接，同时可进行动力传递，底座1下方转杆二17外侧错位套设有单轨同步轮18，底座1下方转轴7外侧套设有双轨同步轮19，双轨同步轮19与单轨同步轮18之间通过同步带20相连接，通过设有的第二清理机构，使其能够对石英坩埚外壁进行刷洗。

本示例中，喷水机构还包括水泵22输出端连接的水管23，水箱21与水泵22输入端相连通，下箱体2内L架一10相对内侧且位于转轴7外侧套设有套管8，套管8外侧壁开设有若干喷孔，上箱体3内顶部固定环11的外侧设有喷水架25，喷水架25相对内侧壁设有若干喷头，喷水架25为环形中空结构，水管23上端延伸至下箱体2内并通过三通阀连接两个导管24，两个导管24分别与套管8和喷水架25相连通，通过设有的喷水机构，使其能够对石英坩埚的外侧和内侧进行喷水冲洗。

本示例中，上箱体3顶部中间位置设有螺杆26，且螺杆26位于L架二15之间，螺杆26下端延伸至上箱体3内侧并连接有橡胶垫二27，螺杆26通过螺母与上箱体3相连接，螺母与上箱体3固定连接，螺杆26下端通过轴承与橡胶垫二27转动连接，以便对石英坩埚进行限制固定，以便更好地对其进行清理。

本示例中，底座1顶部下箱体2两侧对称设有伸缩杆4，本示例中，伸缩杆4为液压伸缩杆、电动伸缩杆或气缸中的一种，本示例中采用液压伸缩杆，伸缩杆4的伸缩端与上箱体3两侧相连接，以便推动上箱体3上移，使其与下箱体2分离开，从而方便放置和取出石英坩埚。

本实用新型的工作原理：使用时，通过启动伸缩杆4，使得伸缩杆4的伸缩端推动上箱体3进行上移至合适高度，之后将石英坩埚放置在放置板上卡块5内侧，同时使得橡胶垫一9对石英坩埚进行支撑限位，之后使得伸缩杆4带动下箱体2下移与下箱体2盖合，之后扭转螺杆26，使得螺杆26下推橡胶垫二27，从而使得橡胶垫二27与石英坩埚顶部接触从而将其夹持固定，之后启动电机6，使得电机6带动转轴7转动，进而使得转轴7带动L架一10同步转动，从而使得L架一10带动其上的刷毛对石英坩埚内壁进行刷洗，同时转轴7会带动双轨同步轮19同步转动，同时通过两个同步带20带动两侧的单轨同步轮18转动，进而使得单轨同步轮18带动转杆二17同步转动，使得转杆二17带动转杆一16转，从而使得转杆一16带动齿轮13转动，进而使得齿轮13驱动齿环12进行转动，进而使得齿环12带动连接块14从而带动L架二15同步的转动，使得L架二15内侧刷毛对石英坩埚外侧壁面进行刷洗，在刷洗的同时启动水泵22，从而使得水泵22对水箱21内水进行抽出并通过水管23导送至导管24内进而输送至套管8和喷水架25内，从而通过喷孔和喷头喷出，进而对石英坩埚内外壁进行冲洗，从而配合刷毛的刷洗，从而使其刷洗效果更好，清洁效果更好，之后即可停止设备运行，启动伸缩杆4，使得伸缩杆4的伸缩端推动上箱体3上移至合适位置，从而即可取出清洗后的石英坩埚。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.石英坩埚用清洗装置，包括底座(1)，底座(1)底部四角对称设有支腿，其特征在于：

所述底座(1)顶部由上到下依次设有上箱体(3)和下箱体(2)，所述下箱体(2)内设有第一清理机构，所述上箱体(3)内设有与下箱体(2)相连接的第二清理机构，所述下箱体(2)和上箱体(3)内设有喷水机构，所述第一清理机构包括底座(1)底部设有的电机(6)，所述电机(6)的输出端延伸至下箱体(2)内连接有转轴(7)，所述下箱体(2)内侧转轴(7)外侧设有放置板，放置板顶部转轴(7)外侧开设有通槽，所述放置板顶部对称设有若干卡块(5)，所述第二清理机构包括上箱体(3)内顶部设有的固定环(11)，所述固定环(11)内开设有空腔，所述空腔内一侧设有齿环(12)，所述齿环(12)底部对称设有连接块(14)，所述喷水机构包括支腿之间电机(6)下方设有的支撑板，所述支撑板顶部设有水箱(21)和水泵(22)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述第一清理机构还包括转轴(7)顶端连接的橡胶垫一(9)，所述转轴(7)两侧对称设有L架一(10)，且所述L架一(10)位于所述卡块(5)相对内侧，所述L架一(10)外侧壁面设有若干刷毛。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述第二清理机构还包括卡块(5)的相对外侧对称设有内侧壁设有若干刷毛的L架二(15)，所述L架二(15)顶部与连接块(14)相连接，所述空腔内齿环(12)相对外侧设有与齿环(12)相适配的齿轮(13)，所述齿轮(13)的内侧设有转杆一(16)，所述转杆一(16)下端延伸至固定环(11)下方，所述底座(1)底部电机(6)两侧对称设有转杆二(17)，所述转杆二(17)延伸至下箱体(2)内并穿过放置板，所述转杆二(17)通过轴承与底座(1)转动连接，所述转杆一(16)下端插入转杆二(17)顶部，所述底座(1)下方转杆二(17)外侧错位套设有单轨同步轮(18)，所述底座(1)下方转轴(7)外侧套设有双轨同步轮(19)，所述双轨同步轮(19)与单轨同步轮(18)之间通过同步带(20)相连接。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述喷水机构还包括水泵(22)输出端连接的水管(23)，所述水箱(21)与水泵(22)输入端相连通，所述下箱体(2)内L架一(10)相对内侧且位于转轴(7)外侧套设有套管(8)，所述套管(8)外侧壁开设有若干喷孔，所述上箱体(3)内顶部固定环(11)的外侧设有喷水架(25)，喷水架(25)相对内侧壁设有若干喷头，所述水管(23)上端延伸至下箱体(2)内并通过三通阀连接两个导管(24)，两个所述导管(24)分别与套管(8)和喷水架(25)相连通。

5.根据权利要求3所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述上箱体(3)顶部中间位置设有螺杆(26)，且螺杆(26)位于L架二(15)之间，所述螺杆(26)下端延伸至上箱体(3)内侧并连接有橡胶垫二(27)，所述螺杆(26)下端通过轴承与橡胶垫二(27)转动连接。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚用清洗装置，其特征在于：所述底座(1)顶部下箱体(2)两侧对称设有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)的伸缩端与上箱体(3)两侧相连接。

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