CN218925140U - 一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置，注蜡装置的一侧设置有固定旋转装置，固定旋转装置固定安装在所述安装板上，固定旋转装置包括升降装置、固定吸附装置和旋转装置，所述升降装置固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置固定安装在所述升降装置之间，所述旋转装置上的旋转传动轴穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置连接。本实用新型的有益效果是，晶圆本身就很薄脆，采用吸附的方式固定晶圆，且带动晶圆旋转，可以很好的保证晶圆在被涂蜡的过程不被损坏和不被污染，提升了生产加工的品控质量，且极大的减少了的劳动量，进一步提升了产品加工的工作效率。

Description

一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，特别是一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；

目前，随着光电技术的飞速发展，光电产品对蓝宝石衬底材料需求量日益增加；同时随着LED元件的不断拓展，蓝宝石已经成为最重要的衬底材料之一，具有极大的国内外市场需求。但是由于在航天、军事等方面的重要应用，蓝宝石晶片的加工技术在西方国家都极为保密，蓝宝石加工工艺流程如下：a下料→b外周磨削→c周边倒角→d斜面研磨→e平面研磨→f镜面抛光→g清洗，现有技术中用于e→f中间工艺常常采用人工操作，人工工序为用抛光盘将陶瓷抛光盘置于烘箱加热至一定温度后恒温一段时间，取出，平放于操作台，取抛光蜡均匀分区涂抹于抛光盘上(涂抹抛光蜡的区域最好对称，以便抛光时蓝宝石晶片受力均匀)，将蓝宝石晶片分别置于抛光蜡上轻揉至晶片与抛光蜡间没有气泡，然后取一质量均匀的重物置于抛光盘上，待抛光盘冷却至室温后，将重物移走，用棉球沾取溶剂将晶片周围多余的抛光蜡擦除干净。

人工对抛光盘涂蜡很难控制均匀程度，对镜面抛光加工时间和蜡的成本是一定的浪费(待抛光盘冷却至室温后，将重物移走，用棉球沾取溶剂将晶片周围多余的抛光蜡擦除干净)，且人工涂蜡效率非常之低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置，所述注蜡装置的一侧设置有固定旋转装置，所述固定旋转装置固定安装在所述安装板上，所述固定旋转装置包括升降装置、固定吸附装置和旋转装置，所述升降装置固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置固定安装在所述升降装置之间，所述旋转装置上的旋转传动轴穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置连接。

作为对本实用新型的进一步说明，所述注蜡装置包括保温储蜡装置，所述保温储蜡装置的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的上端固定安装有注射转臂，所述注射转臂的一端固定安装有注蜡阀。

作为对本实用新型的进一步说明，所述升降装置包括固定安装在所述安装板下板面上的固定板，所述固定板上固定安装有竖向位移组件，所述竖向位移组件之间相向方向的板面上固定安装有滑台气缸，所述滑台气缸之间相向方向的滑轨上连接有L形滑板，所述L形滑板之间相向方向的面板上固定安装有安装架，所述安装架固定安装在所述L形滑板之间。

作为对本实用新型的进一步说明，所述旋转装置包括旋转传动轴，所述旋转传动轴上通过齿圈和齿带与旋转电机连接，所述旋转传动轴设置于所述安装架的中部，所述旋转电机固定安装在所述安装架的侧面。

作为对本实用新型的进一步说明，所述固定旋转装置包括固定安装在安装板上的限位套，所述限位套中设置有限位轴，所述限位轴的上端固定连接于防护圆筒的底部，所述旋转传动轴的上端穿过所述固定架、固定板和安装板连接有吸附组件，所述防护圆筒的通孔位置设置有置物凸台，所述固定吸附装置与所述防护圆筒的底部为旋转连接。

作为对本实用新型的进一步说明，所述防护圆筒的上方盖合有注蜡圆盖，所述注蜡圆盖的上表面设置有提拉把手和注蜡圆弧，所述注蜡圆弧的长度大于所述防护圆筒的半径长度，且所述注蜡圆弧竖向投影覆盖面积的一端经过所述防护圆筒的圆心，所述注蜡阀在所述注蜡圆弧内的任意位置到旋转电机的位置的距离相等。

其有益效果在于，本实用新型通过固定吸附装置将晶圆固定在防护圆筒的内部，通过吸附组件正对晶圆圆心出固定住晶圆，旋转装置带动晶圆进行匀速转动，注蜡装置上的注蜡阀伸进注蜡圆盖上的注蜡圆弧中进行匀速注蜡，同时注射转臂控制注蜡阀由圆心向圆周匀速运动，保证涂布在晶圆上的蜡是均匀的，该装置是一种全自动化注蜡涂布装置，晶圆本身就很薄脆，采用吸附的方式固定晶圆，且带动晶圆旋转，可以很好的保证晶圆在被涂蜡的过程不被损坏和不被污染，提升了生产加工的品控质量，且极大的减少了的劳动量，进一步提升了产品加工的工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的另一个结构示意图；

图3是去除注蜡圆盖后的结构示意图。

图中，1、注蜡装置；2、固定旋转装置；3、升降装置；4、固定吸附装置；5、旋转装置；6、旋转传动轴；7、保温储蜡装置；8、注射转臂；9、注蜡阀；10、竖向位移组件；11、滑台气缸；12、L形滑板；13、安装架；14、限位套；15、限位轴；16、防护圆筒；17、吸附组件；18、注蜡圆盖；19、提拉把手；20、注蜡圆弧。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1-3所示，一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置1，所述注蜡装置1的一侧设置有固定旋转装置2，所述固定旋转装置2固定安装在所述安装板上，所述固定旋转装置2包括升降装置3、固定吸附装置4和旋转装置5，所述升降装置3固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置5固定安装在所述升降装置3之间，所述旋转装置5上的旋转传动轴6穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置4连接。本装置主要就是通过吸附组件17正对晶圆圆心出固定住晶圆，旋转装置5带动晶圆进行匀速转动，注蜡装置1上的注蜡阀9伸进注蜡圆盖18上的注蜡圆弧20中进行匀速注蜡，同时注射转臂8控制注蜡阀9在注蜡圆弧20中由圆心向圆周匀速运动，保证涂布在晶圆上的蜡是均匀的。

所述升降装置3包括固定安装在所述安装板下板面上的固定板，所述固定板上固定安装有竖向位移组件10，所述竖向位移组件10之间相向方向的板面上固定安装有滑台气缸11，所述滑台气缸11之间相向方向的滑轨上连接有L形滑板12，所述L形滑板12之间相向方向的面板上固定安装有安装架13，所述安装架13固定安装在所述L形滑板12之间。升降装置3通过竖向位移组件10控制L形滑板12在滑台气缸11上进行移动，进而带动旋转装置5和旋转装置5上的固定吸附装置4进行上下移动。

所述注蜡装置1包括保温储蜡装置7，所述保温储蜡装置7的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的上端固定安装有注射转臂8，所述注射转臂8的一端固定安装有注蜡阀9。所述防护圆筒16的上方盖合有注蜡圆盖18，所述注蜡圆盖18的上表面设置有提拉把手19和注蜡圆弧20，所述注蜡圆弧20的长度大于所述防护圆筒16的半径长度，且所述注蜡圆弧20竖向投影覆盖面积的一端经过所述防护圆筒16的圆心，所述注蜡阀9在所述注蜡圆弧20内的任意位置到旋转电机的位置的距离相等。通过注射转臂8将注蜡阀9转到注蜡圆弧20的上方，通过升降装置3将固定吸附装置4顶升起来，使得注蜡阀9伸入注蜡圆弧20中，旋转装置5带动吸附组件17上的晶圆进行转动的时候，注蜡阀9开始将保温储蜡装置7中的液态蜡均匀的涂布在晶圆的表面，在注射的同时注射转臂8控制注蜡阀9在注蜡圆弧20中由圆心向圆周匀速运动，保证涂布在晶圆上的蜡是均匀的。

所述旋转装置5包括旋转传动轴6，所述旋转传动轴6上通过同步带轮与同步带与旋转电机连接，所述旋转传动轴6设置于所述安装架13的中部，所述旋转电机固定安装在所述安装架13的侧面。旋转电机通过齿圈和齿带带动旋转轴上的吸附组件17进行旋转，达到带动晶圆进行同步转动的效果。

所述固定旋转装置2包括固定安装在安装板上的限位套14，所述限位套14中设置有限位轴15，所述限位轴15的上端固定连接于防护圆筒16的底部，限位轴15和轴套可以限定防护圆筒16和其内部的吸附组件17的移动方向，所述旋转传动轴6的上端穿过所述固定架、固定板和安装板连接有吸附组件17，所述防护圆筒16的通孔位置设置有置物凸台，所述吸附组件17与所述防护圆筒16的底部为旋转连接，使得旋转装置5驱动吸附组件17进行旋转的时候，防护圆筒16不会进行同步转动。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，包括安装板，所述安装板上固定安装有注蜡装置(1)，所述注蜡装置(1)的一侧设置有固定旋转装置(2)，所述固定旋转装置(2)固定安装在所述安装板上，所述固定旋转装置(2)包括升降装置(3)、固定吸附装置(4)和旋转装置(5)，所述升降装置(3)固定安装在所述安装板的下板面上，所述旋转装置(5)固定安装在所述升降装置(3)之间，所述旋转装置(5)上的旋转传动轴(6)穿过安装板上的通孔与所述安装板上端的固定吸附装置(4)连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述注蜡装置(1)包括保温储蜡装置(7)，所述保温储蜡装置(7)的顶部固定安装有旋转电机，所述旋转电机的上端固定安装有注射转臂(8)，所述注射转臂(8)的一端固定安装有注蜡阀(9)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述升降装置(3)包括固定安装在所述安装板下板面上的固定板，所述固定板上固定安装有竖向位移组件(10)，所述竖向位移组件(10)之间相向方向的板面上固定安装有滑台气缸(11)，所述滑台气缸(11)之间相向方向的滑轨上连接有L形滑板(12)，所述L形滑板(12)之间相向方向的面板上固定安装有安装架(13)，所述安装架(13)固定安装在所述L形滑板(12)之间。

4.根据权利要求3所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述旋转装置(5)包括旋转传动轴(6)，所述旋转传动轴(6)上通过齿圈和齿带与旋转电机连接，所述旋转传动轴(6)设置于所述安装架(13)的中部，所述旋转电机固定安装在所述安装架(13)的侧面。

5.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述固定旋转装置(2)包括固定安装在安装板上的限位套(14)，所述限位套(14)中设置有限位轴(15)，所述限位轴(15)的上端固定连接于防护圆筒(16)的底部，所述旋转传动轴(6)的上端穿过固定架、固定板和安装板连接有吸附组件(17)，所述防护圆筒(16)的通孔位置设置有置物凸台，所述固定吸附装置(4)与所述防护圆筒(16)的底部为旋转连接。

6.根据权利要求5所述的一种适用于晶圆加工的滴蜡、甩蜡装置，其特征在于，所述防护圆筒(16)的上方盖合有注蜡圆盖(18)，所述注蜡圆盖(18)的上表面设置有提拉把手(19)和注蜡圆弧(20)，所述注蜡圆弧(20)的长度大于所述防护圆筒(16)的半径长度，且所述注蜡圆弧(20)竖向投影覆盖面积的一端经过所述防护圆筒(16)的圆心，所述注蜡阀(9)在所述注蜡圆弧(20)内的任意位置到旋转电机的位置的距离相等。

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