CN218918795U - 一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆测试探针台技术领域，且特别涉及了一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，包括位移机构，所述位移机构的顶部设置有旋转台，所述旋转台的内部设置固定管件和转动件。该探针台载物台更换式锁定结构，通过紧固件的配合，可将多种不同型号的载物台安装在连管顶端，实现了单一型号探针台与多型号载物台的适配，进一步设置的卡件和卡槽在锁定件的配合下，可将安装座安装在连管顶端，使得连管和安装有真空卡盘的安装板可随转动件一同旋转，而且因为抽气接头和进气接头分别设在真空卡盘和连管的侧面，所以在真空卡盘转动时，连接了抽气接头和进气接头的管件不会再发生扭曲，解除了管件对这真空卡盘转动的限制。

Description

一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试探针台领域，具体涉及一种用于晶圆测试探针台中载物台的更换锁定结构。

背景技术

晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，它们全部由测试系统的应用测试程序来执行测试，其中探针测试台的载物部分为承载台，而常见的晶圆承载台多为真空吸附卡盘，它安装在探针台的位移行程机构上，便于对晶圆的相对位置进行调节，在使用真空吸附卡盘时，可通过外接的真空泵将晶圆牢牢的吸附在卡盘表面，防止晶圆滑移。

晶圆越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本，按其直径可分为4英寸、5英寸、6英寸和8英寸等规格，但随着近些年的技术发展，晶圆尺寸进一步增大，逐渐出现了12英寸、16英寸，甚至20英寸以上的晶圆，而这些晶圆在使用探针台测试时，需要用到对应尺寸的载物台，而载物台与位移行程机构的连接方式多为螺钉连接，载物台与位移行程机构上均需开设有用于螺钉安装的螺孔，然而晶圆尺寸繁多，在检测不同尺寸的晶圆时需要用到不同型号的载物台，此时便需要在位移行程机构上开设多组安装孔，然而不同品牌载物台的安装孔位置也不尽相同，如此便导致了载物台适配困难，而且现有载物台多为真空吸附卡盘，其抽气接口安装在卡盘侧面，可通过管件与真空泵连接，而探针台的位移形成机构包括沿XYZ的三方向移动和绕R轴的转动，当载物台进行大幅度转动时，连接抽气接头与真空泵的管件在转动作用下可能会发生扭曲，之后，扭紧的管件不仅影响载物台的正常旋转，而且管件还可能会从抽气接头上脱落，影起卡盘吸附故障。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适于多型号载物台安装和避免外接抽气管件干扰的载物台更换锁定结构。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，包括位移机构，所述位移机构的顶部设置有旋转台，所述旋转台的内部设置固定管件和转动件，所述固定管件通过轴承与转动件连接，所述旋转台的内部设置有用于驱动转动件旋转的传动件，所述转动件的中心处设置有与固定管件插接的连管，所述连管的底端通过密封件与固定管件连接，所述连管通过锁定件连接有安装座，所述安装座的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部活动连接有紧固件，所述安装座通过紧固件连接有载物台，所述载物台的侧面和连管的侧面分别设置有抽气接头和进气接头，所述抽气接头通过管件与进气接头连接，所述固定管件的底端通过通管连接有泵机。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述位移机构包括与旋转台底部固定连接升降台，所述升降台通过第二水平移动机构连接有第一水平移动机构。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述转动件包括与轴承外圈套接的转动管，所述转动管的顶端设置有转盘，所述转盘的底部与旋转台的顶部贴合。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述转盘通过连接件连接有压环，所述压环的底部与轴承的顶端抵持。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述连管位于固定管件内部的一端开设有环形嵌槽，所述固定管件的内壁设置有环形凸缘，所述密封件包括设置在环形嵌槽内的弹力支撑件，所述弹力支撑件的底端连接有第一密封环，所述环形凸缘的顶部设置有第二密封环，所述第一密封环的底端与第二密封环的顶端抵持。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述连管的顶端开设有卡槽，所述安装座的底部设置有卡件，所述卡件与卡槽的内部卡接。

作为本实用新型所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构优选方案，其中：所述紧固件包括可在滑槽内移动的锁紧螺钉，所述锁紧螺钉位于安装座下方的一端螺纹连接有锁紧螺母，所述锁紧螺母与安装座之间设置有垫片。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：

该探针台载物台更换式锁定结构，通过紧固件的配合，可将多种不同型号的载物台安装在连管顶端，实现了单一型号探针台与多型号载物台的适配，进一步设置的卡件和卡槽在锁定件的配合下，可将安装座安装在连管顶端，使得连管和安装有真空卡盘的安装板可随转动件一同旋转，而且因为抽气接头和进气接头分别设在真空卡盘和连管的侧面，所以在真空卡盘转动时，连接了抽气接头和进气接头的管件不会再发生扭曲，解除了管件对这真空卡盘转动的限制。

附图说明

图1是本实用新型实施例的俯视图。

图2是本实用新型实施例的正视图。

图3是本实用新型实施例旋转台的剖视图。

图4是本实用新型图3中A处的放大图。

图5是本实用新型实施例安装座的结构示意图。

图6是本实用新型实施例旋转台的俯视图。

其中：1、位移机构；101、第一水平移动机构；102、第二水平移动机构；103、升降台；2、旋转台；3、固定管件；4、轴承；5、转动件；501、转动管；502、转盘；6、传动件；7、连管；8、密封件；801、弹力支撑件；802、第一密封环；803、第二密封环；9、密封圈；10、锁定件；11、安装座；12、滑槽；13、紧固件；1301、锁紧螺钉；1302、垫片；1303、锁紧螺母；14、卡槽；15、卡件；16、压环；17、管件；18、通管。

具体实施方式

下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步的详细说明，以下实施例是对本实用新型的解释而本实用新型并不局限于以下实施例。

参见图1-图6，本实施例提供了一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，包括位移机构1。

其中，位移机构1包括与旋转台2底部固定连接升降台103，升降台103通过第二水平移动机构102连接有第一水平移动机构101，有第一水平移动机构101和第二水平移动机构102为精密滑台，可以采用集X和Y方向的可调的一体型精密滑台，驱动为电机驱动，升降台103则采用Z轴方向位置可调的电动精密滑台，上述举例产品位置调节精度可以达到0.01mm，需要说明的是，上述举例仅仅是为了充分公开本发明实施例，不能理解为对其他可实现方案的排他性限定。

位移机构1的顶部设置有旋转台2，旋转台2的内部设置固定管件3和转动件5，固定管件3的底端为密封状态，固定管件3通过紧固螺钉与旋转台2连接，且固定管件3位于旋转台2的中心处，固定管件3的外部套接有轴承4，固定管件3与轴承4为过盈连接，轴承4的外圈套接有转动件5连接，两者同样为过盈连接。

其中，转动件5包括与轴承4外圈套接的转动管501，转动管501的轴心线与固定管件3的轴心线共线，转动管501的顶端设置有转盘502，转盘502与转动管501为一体成型设置，转盘502的底部与旋转台2的顶部贴合，此时旋转台2可为转盘502提供一定的竖向制成，以保证转盘502稳定转动。

旋转台2的内部设置有用于驱动转动件5旋转的传动件6，传动件6包括驱动机构和与驱动机构的驱动轴连接的蜗杆，转动管501的侧表面开设有与蜗杆相适配的蜗轮齿槽，蜗杆与涡轮齿槽相啮合，驱动机构包括但不限于伺服电机。

进一步，转盘502通过连接件连接有压环16，压环16位于转盘502的下方，且压环16的底端与轴承4的顶端抵持，可以有效避免轴承4发生轴向窜动。

转动件5的中心处设置有与固定管件3插接的连管7，连管7顶端为密封状态，即连管7的底端与固定管件3的内部插接，且连管7外圈的直径等于固定管件3内圈的直径。

连管7的底端通过密封件8与固定管件3连接。

其中，固定管件3的内壁设置有环形凸缘，连管7位于固定管件3内部的一端和环形凸缘的顶部均开设有环形嵌槽，密封件8包括设置在上方环形嵌槽内的弹力支撑件801，弹力支撑件801的底端连接有第一密封环802，位于下方环形凸缘的内部设置有第二密封环803，第一密封环802的底端与第二密封环803的顶端抵持，两个密封环均匀碳化硅密封环，当两个碳化硅密封环的端面相互抵持时，便初步保证了对连管7与固定管件3间隙的密封。

进一步，连管7的侧表面设置有密封圈9，密封圈9的侧表面与固定管件3的内壁抵持贴合，以实现对连管7侧表面与固定管件3内壁间间隙的密封。

连管7通过锁定件10连接有安装座11，连管7的顶端开设有卡槽14，安装座11的底部设置有卡件15，卡件15与卡槽14的内部卡接，卡件15为多边形柱形件，卡槽14的形状与卡件15的形状相适配，连管7位于转盘502上方一端的侧表面开设有与卡槽14相连通的通槽，卡件15的侧面开设有与通槽相适配的插槽，锁定件10为螺栓固定件，螺栓固定件的一端穿过通槽并延伸至插槽的内部，从而将安装座11固定连接在连管7的顶端。

安装座11的顶部开设有滑槽12，滑槽12的数量共有四个，在安装座11顶端整列分布，且滑槽12的移动方向沿连管7的径向设置。

滑槽12的内部活动连接有紧固件13，安装座11通过紧固件13连接有载物台，载物台为真空吸附卡盘，真空吸附卡盘为现有产品，例如SHSIWI生产的真空吸附卡盘，真空吸附卡盘顶部开设有环形槽，其内部开设有气道，气道与环形槽连通，卡盘侧表面开设有与气道连通的抽气接头，需要说明的是，上述举例仅仅是为了充分公开本发明实施例，不能理解为对其他可实现方案的排他性限定。

其中，紧固件13包括可在滑槽12内移动的锁紧螺钉1301，锁紧螺钉1301位于安装座11下方的一端螺纹连接有锁紧螺母1303，锁紧螺母1303与安装座11之间设置有垫片1302。

载物台的侧面和连管7的侧面分别设置有抽气接头和进气接头，抽气接头通过管件17与进气接头连接，固定管件3的底端设置有通管18，通管18远离固定管件3的一端贯穿旋转台2并延伸至旋转台2的外部，通管18位于旋转台2外部的一端通过连接管与泵机连接，其中泵机为真空泵，在图中并未画出。

在安装载物台时，先拧动锁紧螺钉1301，将锁紧螺钉1301与安装座11分离，再将待安装的载物台置于安装座11顶部，接着使锁紧螺钉1301的底端依次穿过载物台的安装孔和安装座11上的滑槽12，然后使锁紧螺母1303与锁紧螺钉1301位于安装座11的下方的一端螺纹连接并拧紧，而且锁紧螺母1303与安装座11之间填充有垫片1302，可防止锁紧螺母1303松动，之后，使用管件17将载物台侧面的抽气接头与连管7侧面的进气接头连通，此时便完成了载物台的更换工作，之后，在使用载物台时，因连管7与载物台会随着转动件5同步转动，所以两者间的管件17不会发生扭曲变形，解除了抽真空管件对载物台的转动限制。

本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本实用新型所作的举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型说明书的内容或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，包括位移机构(1)，所述位移机构(1)的顶部设置有旋转台(2)，其特征在于：所述旋转台(2)的内部设置固定管件(3)和转动件(5)，所述固定管件(3)通过轴承(4)与转动件(5)连接，所述旋转台(2)的内部设置有用于驱动转动件(5)旋转的传动件(6)，所述转动件(5)的中心处设置有与固定管件(3)插接的连管(7)，所述连管(7)的底端通过密封件(8)与固定管件(3)连接，所述连管(7)通过锁定件(10)连接有安装座(11)，所述安装座(11)的顶部开设有滑槽(12)，所述滑槽(12)的内部活动连接有紧固件(13)，所述安装座(11)通过紧固件(13)连接有载物台，所述载物台的侧面和连管(7)的侧面分别设置有抽气接头和进气接头，所述抽气接头通过管件(17)与进气接头连接，所述固定管件(3)的底端通过通管(18)连接有泵机。

2.根据权利要求1所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述位移机构(1)包括与旋转台(2)底部固定连接升降台(103)，所述升降台(103)通过第二水平移动机构(102)连接有第一水平移动机构(101)。

3.根据权利要求2所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述转动件(5)包括与轴承(4)外圈套接的转动管(501)，所述转动管(501)的顶端设置有转盘(502)，所述转盘(502)的底部与旋转台(2)的顶部贴合。

4.根据权利要求3所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述转盘(502)通过连接件连接有压环(16)，所述压环(16)的底部与轴承(4)的顶端抵持。

5.根据权利要求4所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述连管(7)位于固定管件(3)内部的一端开设有环形嵌槽，所述固定管件(3)的内壁设置有环形凸缘，所述密封件(8)包括设置在环形嵌槽内的弹力支撑件(801)，所述弹力支撑件(801)的底端连接有第一密封环(802)，所述环形凸缘的顶部设置有第二密封环(803)，所述第一密封环(802)的底端与第二密封环(803)的顶端抵持。

6.根据权利要求5所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述连管(7)的顶端开设有卡槽(14)，所述安装座(11)的底部设置有卡件(15)，所述卡件(15)与卡槽(14)的内部卡接。

7.根据权利要求6所述的一种探针台载物台(Chuck)更换式锁定结构，其特征在于：所述紧固件(13)包括可在滑槽(12)内移动的锁紧螺钉(1301)，所述锁紧螺钉(1301)位于安装座(11)下方的一端螺纹连接有锁紧螺母(1303)，所述锁紧螺母(1303)与安装座(11)之间设置有垫片(1302)。

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