CN218902269U - 喷涂设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型的喷涂设备，包括：氮气管路，所述氮气管路的进口适于通入氮气；多个喷涂罐，多个所述喷涂罐中的每一者用于存储喷涂液，每个所述喷涂罐具有进气口和排液口，每个所述喷涂罐的进气口与所述氮气管路连通；多个喷头，多个所述喷头中每一者的进气口与所述氮气管路连通，多个所述喷头的进液口一一对应地与多个所述喷涂罐的排液口连通。因此，根据本实用新型的喷涂设备具有适用范围大和工作效率高的优点。

Description

喷涂设备

技术领域

本实用新型涉及薄膜喷涂技术领域，具体涉及一种喷涂设备。

背景技术

喷涂涂布是一种在一定压力下，将喷涂液沿着雾化阀喷出并通过自由均匀的散落在基板表面，它以其喷涂速度快、涂膜均匀性好、喷涂面积可调等特点，主要针对于中低粘度液体喷涂应用。在半导体行装置及平板显示器的制造工艺中，喷涂设备是为了使被处理基板(玻璃基板)上喷涂上执行特定功能的薄膜，例如树脂膜、异丙醇膜等。不同产品需要涂料的顺序也不相同，一些产品需要两种药液，相关技术中，喷涂设备只能一次喷涂一种药液，喷涂效率低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种喷涂设备。

本实用新型实施例的喷涂设备，包括：

氮气管路，所述氮气管路的进口适于通入氮气；

多个喷涂罐，多个所述喷涂罐中的每一者用于存储喷涂液，每个所述喷涂罐具有进气口和排液口，每个所述喷涂罐的进气口与所述氮气管路连通；

多个喷头，多个所述喷头中每一者的进气口与所述氮气管路连通，多个所述喷头的进液口一一对应地与多个所述喷涂罐的排液口连通。

因此，根据本实用新型实施例的喷涂设备具有适用范围大和工作效率高的优点。

在一些实施例中，多个所述喷涂罐包括

第一喷涂罐，所述第一喷涂罐用于存储第一喷涂液，所述第一喷涂罐具有第一进气口和第一排液口，所述第一进气口与所述氮气管路连通；

第二喷涂罐，所述第二喷涂罐用于存储第二喷涂液，所述第二喷涂罐具有第二进气口和第二排液口，所述第二进气口与所述氮气管路连通；

多个所述喷头包括

第一喷头，所述第一喷头的进气口与所述氮气管路连通，所述第一喷头的进液口通过第一管路与所述第一排液口连通；

第二喷头，所述第二喷头的进气口与所述氮气管路连通，所述第二喷头的进液口通过第二管路与所述第二排液口连通；

所述喷头设备还包括

清洗罐，所述清洗罐用于存储清洗液，所述清洗罐具有第三进气口和第三排液口，所述第三进气口与所述氮气管路连通，所述第三排液口通过第一清洗管路与所述第一喷涂罐连通，所述第三排液口通过第二清洗管路与所述第二喷涂罐连通。

本实用新型实施例的喷涂设备包括；

第一附桶罐，所述第一附桶罐用于存储所述第一喷涂液，所述第一附桶罐具有第四进气口、第四加液口和第四排液口，所述第四进气口与所述氮气管路连通，所述第四排液口通过第一加液管路与所述第一喷涂罐连通，所述第四加液口适于通入所述第一喷涂液；

第二附桶罐，所述第二附桶罐用于存储所述第二喷涂液，所述第二附桶罐具有第五进气口、第五加液口和第五排液口，所述第五进气口与所述氮气管路连通，所述第五排液口通过第二加液管路与所述第二喷涂罐连通，所述第五加液口适于通入所述第二喷涂液。

在一些实施例中，所述第一喷涂罐的进液口通过第一三通阀可选择地与所述第一清洗管路和所述第一加液管路连通；

所述第二喷涂罐的进液口通过第二三通阀可选择地与所述第二清洗管路和所述第二加液管路连通；

所述第一喷涂罐的所述第一排液口处设有第一控制阀；

所述第二喷涂罐的所述第二排液口处设有第二控制阀；

所述第一加液管路上设有第十二控制阀；

所述第二加液管路上设有第十三控制阀。

在一些实施例中，所述氮气管路、第一送气管路、第一支路和所述第四进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第一送气管路、第二支路和所述第五进气口依次连通；

所述氮气管路、第二送气管路、第三支路和所述第一进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第二送气管路、第四支路和所述第二进气口依次连通；

所述氮气管路、第三送气管路和所述第三进气口依次连通；

所述氮气管路、第四送气管路、第五支路和所述第一喷头的进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第四送气管路、第六支路和所述第二喷头的进气口依次连通；

所述第一送气管路、所述第二送气管路、所述第三送气管路和所述第四送气管路中的每一者上均设有第一减压阀；

所述第一支路、所述第二支路、所述第三支路、所述第四支路和所述第三送气管路中的每一者上均设有第四控制阀；

所述氮气管路上设有空气三联件，所述空气三联件邻近所述氮气管路的进口处，所述空气三联件用于对进入氮气管路内的氮气进行过滤、润滑和压力调节。

本实用新型实施例的喷涂设备包括

废液桶，所述废液桶用于存储废液；

第一废液管路，所述第一管路通过所述第一废液管路与所述废液桶连通；

第二废液管路，所述第二管路通过所述第二废液管路与所述废液桶连通；

第三废液管路，所述清洗罐的所述第三排液口通过所述第三废液管路与所述废液桶连通；

第四废液管路，所述第一加液管路通过所述第四废液管路与所述废液桶连通；

第五废液管路，所述第二加液管路通过所述第五废液管路与所述废液桶连通。

在一些实施例中，

所述第一废液管路上设有第十控制阀；

所述第二废液管路上设有第十一控制阀；

所述清洗罐的所述第三排液口通过第三三通阀可选择地与所述第三废液管路和第三清洗管路连通，所述第三清洗管路与所述第一清洗管路和所述第二清洗管路连通；

第四废液管路和所述第五废液管路通过附桶罐废液管路与所述废液桶连通，第四废液管路的进口处设有第五控制阀，所述第五废液管路的进口处均设有第六控制阀。

在一些实施例中，所述第一管路上设有第一过滤器，所述第一过滤器的废液口通过第六废液管路与所述废液桶连通，所述第六废液管路上设有第七控制阀；

所述第二管路上设有第二过滤器，所述第二过滤器的废液口通过第七废液管路与所述废液桶连通，所述第七废液管路上设有第八控制阀。

在一些实施例中，所述第一管路上设有第一真空泵和第二减压阀，所述第一真空泵可抽取所述第一管路中的气体，所述第一过滤器、所述第一真空泵、所述第一废液管路的进口和所述第二减压阀在第一管路中液体的流动方向上依次设置；

所述第二管路上设有第二真空泵和第三减压阀，所述第二真空泵可抽取所述第二管路中的气体，所述第二过滤器、所述第二真空泵、所述第二废液管路的进口和所述第三减压阀在第二管路中液体的流动方向上依次设置；

抽真空装置，所述抽真空装置的抽气口与所述第一真空泵和所述第二真空泵连通。

本实用新型实施例的喷涂设备，包括

第一排气管路，所述第一排气管路与所述第一喷涂罐连通；

第二排气管路，所述第二排气管路与所述第二喷涂罐连通；

第三排气管路，所述第三排气管路与所述清洗罐连通；

第四排气管路，所述第四排气管路与所述第一附桶罐连通；

第五排气管路，所述第五排气管路与所述第二附桶罐连通；

所述第一排气管路、所述第二排气管路、所述第三排气管路、所述第四排气管路和所述第五排气管路中的每一者上均设有第九控制阀。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的喷涂设备的示意图。

附图标记：

喷涂设备100；

氮气管路1，第一送气管路11，第一支路111，第二支路112，第二送气管路12，第三支路121，第四支路122，第三送气管路13，第四送气管路14，第五支路141，第六支路142，第一减压阀15，第四控制阀16，空气三联件17；

第一喷涂罐21，第二喷涂罐22，第一三通阀23，第二三通阀24，第一控制阀25，第二控制阀26；

第一喷头31，第二喷头32，第一管路33，第二管路34；

清洗罐4，第一清洗管路41，第二清洗管路42，第三清洗管路43，第三三通阀44；

第一附桶罐51，第二附桶罐52，第一加液管路53，第二加液管路54，第十二控制阀55，第十三控制阀56；

废液桶6，第一废液管路61，第十控制阀611，第二废液管路62，第十一控制阀621，第三废液管路63，第四废液管路64，第五废液管路65，第五控制阀66，第六控制阀67，附桶罐废液管路68；

第一过滤器71，第六废液管路72，第七控制阀73，第二过滤器74，第七废液管路75，第八控制阀76；

第一真空泵81，第二减压阀82，第二真空泵83，第三减压阀84，抽真空装置85；

第一排气管路91，第二排气管路92，第三排气管路93，第四排气管路94，第五排气管路95，第九控制阀96。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图描述本实用新型实施例的喷涂设备100。如图1所示，根据本实用新型实施例的喷涂设备100包括氮气管路1、多个喷涂罐和多个喷头。

氮气管路1的进口适于通入氮气。多个喷涂罐中的每一者用于存储喷涂液，每个喷涂罐具有进气口和排液口，每个喷涂罐的进气口与氮气管路连通。多个喷头中每一者的进气口与所述氮气管路连通，多个喷头的进液口一一对应地与多个喷涂罐的排液口连通。

根据本实用新型实施例的喷涂设备100通过设置氮气管路1、多个喷涂罐和多个喷头。从而可使得氮气管路1中的氮气可通入多个喷涂罐中且使得多个喷涂罐中的多种喷涂液可通过多个喷头喷出。具体地，不同的喷涂罐可存储不同的喷涂液，在对需要至少两喷涂液时，可在不同的喷涂罐中存储所需的药液，然后可先后或同时喷涂不同种类的药液，以便得到所需的产品。相较于相关技术中喷涂设备只能一次喷涂一种药液，根据本实用新型实施例的喷涂设备100可先后或同时喷涂不同种类的药液，适用范围大且工作效率高。

因此，根据本实用新型实施例的喷涂设备100具有适用范围大和工作效率高的优点。

如图1所示，根据本实用新型实施例的喷涂设备100包括氮气管路1、多个喷涂罐、多个喷头和清洗罐4。

氮气管路1的进口适于通入氮气。氮气管路1上设有空气三联件17，空气三联件17邻近氮气管路1的进口处，空气三联件17用于对进入氮气管路1内的氮气进行过滤、润滑和压力调节。具体地，氮气通过厂务气源供气通入氮气管路1的进口。空气三联件17(包括空气过滤器、减压阀和油雾器)设在氮气管路1上且邻近氮气管路1的进口处可便于对进入氮气管路1内的氮气进行过滤、润滑和压力调节。

多个喷涂罐中的每一者用于存储喷涂液，每个喷涂罐具有进气口和排液口，每个喷涂罐的进气口与氮气管路连通。多个喷头中每一者的进气口与所述氮气管路连通，多个喷头的进液口一一对应地与多个喷涂罐的排液口连通。

在一些实施例中，多个所述喷涂罐包括第一喷涂罐21和第二喷涂罐22，多个所述喷头包括第一喷头31和第二喷头32。

如图1所示，第一喷涂罐21用于存储第一喷涂液，第一喷涂罐21具有第一进气口和第一排液口，第一进气口与氮气管路1连通。第二喷涂罐22用于存储第二喷涂液，第二喷涂罐22具有第二进气口和第二排液口，第二进气口与氮气管路1连通。

第一喷头31的进气口与氮气管路1连通，第一喷头31的进液口通过第一管路33与第一排液口连通。第二喷头32的进气口与氮气管路1连通，第二喷头32的进液口通过第二管路34与第二排液口连通。

由此，可使得氮气管路1中的气体通入第一喷涂罐21、第二喷涂罐22、第一喷头31和第二喷头32内。从而使得第一喷涂罐21中的第一喷涂液在罐体内气体压力的作用下通过第一排液口进入第一管路33内，然后第一喷涂液进入第一喷头31内并与第一喷头31内的气体混合形成雾状的第一喷涂液，以便进行喷涂第一喷涂液。第二喷涂罐22中的第二喷涂液在罐体内气体压力的作用下通过第二排液口进入第二管路34内，然后第二喷涂液进入第二喷头32内并与第二喷头32内的气体混合形成雾状的第二喷涂液，以便进行喷涂第二喷涂液。也就是说，根据本实用新型实施例的喷涂设备100可先后或同时喷涂第一喷涂液和第二喷涂液。

清洗罐4用于存储清洗液，清洗罐4具有第三进气口和第三排液口，第三进气口与氮气管路1连通，第三排液口通过第一清洗管路41与第一喷涂罐21连通，第三排液口通过第二清洗管路42与第二喷涂罐22连通。由此，可使得氮气管路1中的气体进入清洗罐4内时，清洗罐4内的清洗液可通过第一清洗管路41进入第一喷涂罐21内并对第一喷涂罐21进行清洗，或者，清洗罐4内的清洗液可通过第二清洗管路42进入第二喷涂罐22内并对第二喷涂罐22进行清洗。可通过在第一清洗管路41和第二清洗管路42上设置阀门以便可分别对第一喷涂罐21和第二喷涂罐22进行清洗。例如，在对第一喷涂罐21和第二喷涂罐22进行清洗时，第一喷涂罐21和第二喷涂罐22内的清洗液需达到罐体容积的2/3，以保证整个罐体可以充分清洁。

如图1所示，根据本实用新型实施例的喷涂设备100包括第一附桶罐51和第二附桶罐52。

第一附桶罐51用于存储第一喷涂液，第一附桶罐51具有第四进气口、第四加液口和第四排液口。第四进气口与氮气管路1连通，第四排液口通过第一加液管路53与第一喷涂罐21连通，第一加液管路53上设有第十二控制阀55，第四加液口适于通入第一喷涂液。在第一喷涂罐21内需要补充第一喷涂液时。氮气管路1中的气体可通入第一附桶罐51内，以便第一附桶罐51内的第一喷涂液可通过第一加液管路53通入第一喷涂罐21中，以便为第一喷涂罐21补充第一喷涂液。

第二附桶罐52用于存储第二喷涂液，第二附桶罐52具有第五进气口、第五加液口和第五排液口。第五进气口与氮气管路1连通，第五排液口通过第二加液管路54与第二喷涂罐22连通，第二加液管路54上设有第十三控制阀55，第五加液口适于通入第二喷涂液。在第二喷涂罐2内需要补充第二喷涂液时。氮气管路1中的气体可通入第二附桶罐52内，以便第二附桶罐52内的第二喷涂液可通过第二加液管路54通入第二喷涂罐22中，以便为第二喷涂罐22补充第二喷涂液。

在一些实施例中，氮气管路1、第一送气管路11、第一支路111和第四进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第一送气管路11和第一支路111进入第一附桶罐51，以便氮气管路1为第一附桶罐51供气。

如图1所示，氮气管路1、第一送气管路11、第二支路112和第五进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第一送气管路11和第二支路112进入第二附桶罐52，以便氮气管路1为第二附桶罐52供气。

氮气管路1、第二送气管路12、第三支路121和第一进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第二送气管路12和第三支路121进入第一喷涂罐21，以便氮气管路1为第一喷涂罐21供气。

氮气管路1、第二送气管路12、第四支路122和第二进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第二送气管路12和第四支路122进入第二喷涂罐22，以便氮气管路1为第二喷涂罐22供气。

氮气管路1、第三送气管路13和第三进气口依次连通，从而使得氮气管路1通过第三送气管路13为清洗罐4供气。

氮气管路1、第四送气管路14、第五支路141和第一喷头31的进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第四送气管路14和第五支路141进入第一喷头31，以便氮气管路1为第第一喷头31供气。

氮气管路1、第四送气管路14、第六支路142和第二喷头32的进气口依次连通。由此，可使得氮气管路1中的气体依次经过第四送气管路14和第六支路142进入第二喷头32，以便氮气管路1为第二喷头32供气。

第一送气管路11、第二送气管路12、第三送气管路13和第四送气管路14中的每一者上均设有第一减压阀15。第一送气管路11、第二送气管路12、第三送气管路13和第四送气管路14中的每一者上的第一减压阀15可使得其管路内的气压稳定。

第一支路111、第二支路112、第三支路121、第四支路122和第三送气管路1中的每一者上均设有第四控制阀16。例如，第一支路111和第二支路112上的第四控制阀16为控制其开关的手动阀，第三支路121、第四支路122和第三送气管路1上的第四控制阀16为控制其开关的气控阀。

如图1所示，根据本实用新型实施例的喷涂设备100包括废液桶6、第一废液管路61、第二废液管路62、第三废液管路63、第四废液管路64和第五废液管路65和抽真空装置85。

废液桶6用于存储废液。

第一管路33通过第一废液管路61与废液桶6连通，从而可使得第一管路33中的废液可通过第一废液管路61流入废液桶6。

第二管路34通过第二废液管路62与废液桶6连通，从而可使得第二管路34中的废液可通过第二废液管路62流入废液桶6。

清洗罐4的第三排液口通过第三废液管路63与废液桶6连通，从而可使得清洗罐4中的废液可通过第三废液管路63流入废液桶6。

第一加液管路53通过第四废液管路64与废液桶6连通，从而可使得第一附桶罐51中的废液可通过第四废液管路64流入废液桶6。

第二加液管路54通过第五废液管路65与废液桶6连通，从而可使得第二附桶罐52中的废液可通过第五废液管路65流入废液桶6。

在一些实施例中，第一废液管路61上设有第十控制阀611，第十控制阀611可开关第一废液管路61。

如图1所示，第二废液管路62上设有第十一控制阀621，第十一控制阀621可开关第二废液管路62。

清洗罐4的第三排液口通过第三三通阀44可选择地与第三废液管路63和第三清洗管路43连通，第三清洗管路43与第一清洗管路41和第二清洗管路42连通。第三三通阀44壳控制清洗罐4的第三排液口与第三废液管路63和第三清洗管路43中的一者连通。

第四废液管路64和第五废液管路65通过附桶罐废液管路68与废液桶6连通，第四废液管路64的进口处设有第五控制阀66，第五废液管路66的进口处均设有第六控制阀67。第五控制阀66可开关第四废液管路64，第六控制阀67可开关第五废液管路66。

在一些实施例中，第一管路33上设有第一过滤器71，第一过滤器71的废液口通过第六废液管路72与废液桶6连通，第六废液管路72上设有第七控制阀73。第七控制阀73可开关第六废液管路72。由此，可使得第一过滤器71可过滤第一管路33中的液体，且产生的废液可通过第六废液管路72流入废液桶6中。

第二管路34上设有第二过滤器74，第二过滤器74的废液口通过第七废液管路75与废液桶6连通，第七废液管路75上设有第八控制阀76。第八控制阀76可开关第七废液管路75。由此，可使得第二过滤器74可过滤第二管路34中的液体，且产生的废液可通过第七废液管路75流入废液桶6中。

在一些实施例中，第一管路33上设有第一真空泵81和第二减压阀82，第一真空泵81可抽取第一管路33中的气体，第一过滤器71、第一真空泵81、第一废液管路61的进口和第二减压阀82在第一管路33中液体的流动方向上依次设置。具体地，在第一管路33中液体的流动方向上，第一管路33中液体依次经过第一过滤器71、第一真空泵81、第一废液管路61的进口和第二减压阀82。从而使得经过第一过滤器71和第一真空泵81产生的废液可通过第一废液管路61流入废液桶6。第二减压阀82可稳定第一管路33内流体的压力。

如图1所示，第二管路34上设有第二真空泵83和第三减压阀84，第二真空泵83可抽取第二管路34中的气体，第二过滤器74、第二真空泵83、第二废液管路62的进口和第三减压阀84在第二管路34中液体的流动方向上依次设置。具体地，在第二管路34中液体的流动方向上，第一管路33中液体依次经过第二过滤器74、第二真空泵83、第二废液管路62的进口和第三减压阀84。从而使得经过第二过滤器74和第二真空泵83产生的废液可通过第二废液管路62流入废液桶6。第三减压阀84可稳定第二管路3内流体的压力。

抽真空装置85的抽气口与第一真空泵81和第二真空泵83连通，从而使得抽真空装置85为第一真空泵81和第二真空泵83提供吸力。

根据本实用新型实施例的喷涂设备100包括第一排气管路91、第二排气管路92、第三排气管路93、第四排气管路94和第五排气管路95。第一排气管路91、第二排气管路92、第三排气管路93、第四排气管路94和第五排气管路95中的每一者上均设有第九控制阀96，第一排气管路91、第二排气管路92、第三排气管路93、第四排气管路94和第五排气管路95中的每一者上的第九控制阀96可控制其管路的开关。

第一排气管路91与第一喷涂罐21连通，以使得第一喷涂罐21内的气体可从第一排气管路91排出，进而使得向第一喷涂罐21加料时更加安全。

第二排气管路92与第二喷涂罐22连通，以使第二喷涂罐22内的气体可从第二排气管路92排出，进而使得向第二喷涂罐22加料时更加安全。

第三排气管路93与清洗罐4连通，以使得清洗罐4内的气体可从第三排气管路93排出，进而使得向清洗罐4加料时更加安全。

第四排气管路94与第一附桶罐51连通，以使得第一附桶罐51内的气体可从第四排气管路94排出，使得向第一附桶罐51加料时更加安全。

第五排气管路95与第二附桶罐52连通，以使得第二附桶罐52内的气体可从第五排气管路95排出，使得向第二附桶罐52加料时更加安全。

如图1所示，在一些实施例中，第一喷涂罐21的进液口通过第一三通阀23可选择地与第一清洗管路41和第一加液管路53连通。即第一三通阀23可控制第一喷涂罐21的进液口与第一清洗管路41和第一加液管路53中的一者连通，从而便于向第一喷涂罐21通入第一喷涂液或清洗液。

第二喷涂罐22的进液口通过第二三通阀24可选择地与第二清洗管路42和第二加液管路54连通。即第二三通阀24可控制第二喷涂罐22的进液口与第二清洗管路42和第二加液管路54中的一者连通，从而便于向第二喷涂罐22通入第二喷涂液或清洗液。

第一喷涂罐21的第一排液口处设有第一控制阀25，第一控制阀25可开关第一喷涂罐21的第一排液口。

第二喷涂罐22的第二排液口处设有第二控制阀26，第二控制阀26可开关第二喷涂罐22的第二排液口。

在需要喷涂时，空气三联件17处于打开状态，第一减压阀15将第二送气管路12的压力调节到合适压力值，从而使得氮气管路1向第一喷涂罐21和第二喷涂罐22持续供压。

第一喷头31喷涂时，第一支路111上的第四控制阀16和第一控制阀25开启。

第二喷头32喷涂时，第二支路112上的第四控制阀16和第二控制阀26开启。

第一附桶罐51向第一喷涂罐21加入第一喷涂液时，控制第一三通阀23使得第一加液管路53与第一喷涂罐21连通，第一控制阀25关闭，第十二控制阀55和第一支路111上的第四控制阀16打开。

第二附桶罐52向第二喷涂罐22加入第二喷涂液时，控制第二三通阀24使得第二加液管路54与第二喷涂罐22连通，第二控制阀26关闭，第十三控制阀56和第二支路112上的第四控制阀16打开。

清洗第一喷涂罐21时，第三送气管路13上的第四控制阀16开启，控制第三三通阀44使得清洗罐4的第三排液口与第三清洗管路43连通，控制第一三通阀23使得第一清洗管路41与第一喷涂罐21连通，第一控制阀25关闭，以便清洗液可通入第一喷涂罐21内，待清洗液装满第一喷涂罐21容积的2/3以保证第一喷涂罐21整个罐体可以充分清洁到。然后第一控制阀25开启，以便清洗液进入第一管路33内。第七控制阀73开启，清洗液对第一过滤器71清洁后通过第六废液管路72进入废液桶6。或者，第十控制阀611开启，以便清洗液对第一过滤器71和第一真空泵81清洗后从第一废液管路61进入废液桶6。

清洗第二喷涂罐22时，第三送气管路13上的第四控制阀16开启，控制第三三通阀44使得清洗罐4的第三排液口与第三清洗管路43连通，控制第二三通阀24使得第二清洗管路42与第二喷涂罐22连通，第二控制阀26关闭。以便清洗液可通入第二喷涂罐22内，待清洗液装满第二喷涂罐22容积的2/3以保证第二喷涂罐22整个罐体可以充分清洁到。然后第二控制阀26开启，以便清洗液进入第二管路34。第八控制阀76开启，清洗液对第二过滤器74清洁后通过第七废液管路75进入废液桶6。或者，第十一控制阀621开启，以便清洗液对第二过滤器74和第二真空泵83清洗后从第二废液管路62进入废液桶6。

清洗第一喷头31时，第三送气管路13上的第四控制阀16开启，控制第三三通阀44使得清洗罐4的第三排液口与第三清洗管路43连通，控制第一三通阀23使得第一清洗管路41与第一喷涂罐21连通，第一控制阀25开启。以便清洗液通入第一喷涂罐21内后进入第一管路33。第七控制阀73和第十控制阀611关闭，第一喷头31打开，以便清洗液对第一过滤器71和第一真空泵81清洗后从第一喷头31喷出。

清洗第二喷头32时，第三送气管路13上的第四控制阀16开启，控制第三三通阀44使得清洗罐4的第三排液口与第三清洗管路43连通，控制第二三通阀24使得第二清洗管路42与第二喷涂罐22连通，第二控制阀26开启。以便清洗液通入第二喷涂罐22内后进入第二管路34。第八控制阀76和第十一控制阀621关闭，第二喷头32打开，以便清洗液对第二过滤器74和第二真空泵83清洗后从第二喷头32喷出。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种喷涂设备，其特征在于，包括：

氮气管路，所述氮气管路的进口适于通入氮气；

多个喷涂罐，多个所述喷涂罐中的每一者用于存储喷涂液，每个所述喷涂罐具有进气口和排液口，每个所述喷涂罐的进气口与所述氮气管路连通；

多个喷头，多个所述喷头中每一者的进气口与所述氮气管路连通，多个所述喷头的进液口一一对应地与多个所述喷涂罐的排液口连通。

2.根据权利要求1所述的喷涂设备，其特征在于，

多个所述喷涂罐包括

第一喷涂罐，所述第一喷涂罐用于存储第一喷涂液，所述第一喷涂罐具有第一进气口和第一排液口，所述第一进气口与所述氮气管路连通；

第二喷涂罐，所述第二喷涂罐用于存储第二喷涂液，所述第二喷涂罐具有第二进气口和第二排液口，所述第二进气口与所述氮气管路连通；

多个所述喷头包括

第一喷头，所述第一喷头的进气口与所述氮气管路连通，所述第一喷头的进液口通过第一管路与所述第一排液口连通；

第二喷头，所述第二喷头的进气口与所述氮气管路连通，所述第二喷头的进液口通过第二管路与所述第二排液口连通；

所述喷头设备还包括

清洗罐，所述清洗罐用于存储清洗液，所述清洗罐具有第三进气口和第三排液口，所述第三进气口与所述氮气管路连通，所述第三排液口通过第一清洗管路与所述第一喷涂罐连通，所述第三排液口通过第二清洗管路与所述第二喷涂罐连通。

3.根据权利要求2所述的喷涂设备，其特征在于，包括；

第一附桶罐，所述第一附桶罐用于存储所述第一喷涂液，所述第一附桶罐具有第四进气口、第四加液口和第四排液口，所述第四进气口与所述氮气管路连通，所述第四排液口通过第一加液管路与所述第一喷涂罐连通，所述第四加液口适于通入所述第一喷涂液；

第二附桶罐，所述第二附桶罐用于存储所述第二喷涂液，所述第二附桶罐具有第五进气口、第五加液口和第五排液口，所述第五进气口与所述氮气管路连通，所述第五排液口通过第二加液管路与所述第二喷涂罐连通，所述第五加液口适于通入所述第二喷涂液。

4.根据权利要求3所述的喷涂设备，其特征在于，

所述第一喷涂罐的进液口通过第一三通阀可选择地与所述第一清洗管路和所述第一加液管路连通；

所述第二喷涂罐的进液口通过第二三通阀可选择地与所述第二清洗管路和所述第二加液管路连通；

所述第一喷涂罐的所述第一排液口处设有第一控制阀；

所述第二喷涂罐的所述第二排液口处设有第二控制阀；

所述第一加液管路上设有第十二控制阀；

所述第二加液管路上设有第十三控制阀。

5.根据权利要求4所述的喷涂设备，其特征在于，

所述氮气管路、第一送气管路、第一支路和所述第四进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第一送气管路、第二支路和所述第五进气口依次连通；

所述氮气管路、第二送气管路、第三支路和所述第一进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第二送气管路、第四支路和所述第二进气口依次连通；

所述氮气管路、第三送气管路和所述第三进气口依次连通；

所述氮气管路、第四送气管路、第五支路和所述第一喷头的进气口依次连通；

所述氮气管路、所述第四送气管路、第六支路和所述第二喷头的进气口依次连通；

所述第一送气管路、所述第二送气管路、所述第三送气管路和所述第四送气管路中的每一者上均设有第一减压阀；

所述第一支路、所述第二支路、所述第三支路、所述第四支路和所述第三送气管路中的每一者上均设有第四控制阀；

所述氮气管路上设有空气三联件，所述空气三联件邻近所述氮气管路的进口处，所述空气三联件用于对进入氮气管路内的氮气进行过滤、润滑和压力调节。

6.根据权利要求5所述的喷涂设备，其特征在于，包括

废液桶，所述废液桶用于存储废液；

第一废液管路，所述第一管路通过所述第一废液管路与所述废液桶连通；

第二废液管路，所述第二管路通过所述第二废液管路与所述废液桶连通；

第三废液管路，所述清洗罐的所述第三排液口通过所述第三废液管路与所述废液桶连通；

第四废液管路，所述第一加液管路通过所述第四废液管路与所述废液桶连通；

第五废液管路，所述第二加液管路通过所述第五废液管路与所述废液桶连通。

7.根据权利要求6所述的喷涂设备，其特征在于，

所述第一废液管路上设有第十控制阀；

所述第二废液管路上设有第十一控制阀；

所述清洗罐的所述第三排液口通过第三三通阀可选择地与所述第三废液管路和第三清洗管路连通，所述第三清洗管路与所述第一清洗管路和所述第二清洗管路连通；

第四废液管路和所述第五废液管路通过附桶罐废液管路与所述废液桶连通，第四废液管路的进口处设有第五控制阀，所述第五废液管路的进口处均设有第六控制阀。

8.根据权利要求6所述的喷涂设备，其特征在于，

所述第一管路上设有第一过滤器，所述第一过滤器的废液口通过第六废液管路与所述废液桶连通，所述第六废液管路上设有第七控制阀；

所述第二管路上设有第二过滤器，所述第二过滤器的废液口通过第七废液管路与所述废液桶连通，所述第七废液管路上设有第八控制阀。

9.根据权利要求8所述的喷涂设备，其特征在于，

所述第一管路上设有第一真空泵和第二减压阀，所述第一真空泵可抽取所述第一管路中的气体，所述第一过滤器、所述第一真空泵、所述第一废液管路的进口和所述第二减压阀在第一管路中液体的流动方向上依次设置；

所述第二管路上设有第二真空泵和第三减压阀，所述第二真空泵可抽取所述第二管路中的气体，所述第二过滤器、所述第二真空泵、所述第二废液管路的进口和所述第三减压阀在第二管路中液体的流动方向上依次设置；

抽真空装置，所述抽真空装置的抽气口与所述第一真空泵和所述第二真空泵连通。

10.根据权利要求3-9任一项所述的喷涂设备，其特征在于，包括

第一排气管路，所述第一排气管路与所述第一喷涂罐连通；

第二排气管路，所述第二排气管路与所述第二喷涂罐连通；

第三排气管路，所述第三排气管路与所述清洗罐连通；

第四排气管路，所述第四排气管路与所述第一附桶罐连通；

第五排气管路，所述第五排气管路与所述第二附桶罐连通；

所述第一排气管路、所述第二排气管路、所述第三排气管路、所述第四排气管路和所述第五排气管路中的每一者上均设有第九控制阀。

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