CN218890912U - 一种抛光垫清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光垫清洗机，属于抛光清洗设备技术领域，包括：底座、抛光刷、喷水装置，底座为空心结构，底座上方的左右两侧安装有固定板，两个固定板相互平行，底座上方设有升降装置；抛光刷通过转动轴转动连接于两个固定板之间，抛光刷位于升降装置上方，固定板远离抛光刷一侧安装有支撑台，支撑台上方设有电机，电机轴端穿过固定板与抛光刷转动连接；喷水装置安装于底座上方且位于固定板远离抛光刷的一侧。本实用新型可以上下移动调整抛光垫的位置，在进行清理时，对抛光垫进行喷水，清洗时会更加干净，提高使用效率。

Description

一种抛光垫清洗机

技术领域

本实用新型涉及抛光清洗设备领域，具体是指一种抛光垫清洗机。

背景技术

在半导体工艺技术中，表面平坦化是处理高密度光刻的一项重要技术，因为，没有高低起伏的平坦表面，才能够避免曝光时造成散射，以达成精密的图案转移。化学机械抛光法为目前常规采用的能实现全面性平坦化的一种技术，该方法的原理是将晶圆与旋转的抛光垫相接触，并施加一定的压力，用化学抛光液来对晶圆进行抛光以使晶圆平坦化。

现有的对抛光垫清洗的方法，是将毛刷拆下来，手动将毛刷分开，并使用水进行冲洗去除。这种采用人为手动的方法费时又费力，也不能起到完全清洁的效果，为此我们提出一种抛光垫清洗机用于解决上述问题。

申请号为201920265330.1的中国实用新型专利公开的一种抛光垫的清洗装置，上述专利记载了，在使用过程中，无法对需要清洗的物体进行固定，会使需要清理的物体移动，无法进行彻底清理，在清理完成后，污水无法进行处理，会带来很多不便。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中存在上述的技术问题，提供一种抛光垫清洗机，可以上下移动调整抛光垫的位置，在进行清理时，对抛光垫进行喷水，清洗时会更加干净，提高使用效率。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种抛光垫清洗机，底座、抛光刷、喷水装置，底座为空心结构，底座上方的左右两侧安装有固定板，两个固定板相互平行，底座上方设有升降装置；抛光刷通过转动轴转动连接于两个固定板之间，抛光刷位于升降装置上方，固定板远离抛光刷一侧安装有支撑台，支撑台上方设有电机，电机轴端穿过固定板与抛光刷转动连接；喷水装置安装于底座上方且位于固定板远离抛光刷的一侧。

进一步的，底座前后两侧上侧壁处铰接有防水板，底座上方靠近两个固定板处设有两个出水管，出水管下方设有两个收集盒，两个收集盒均设有把手。

进一步的，升降装置包括位于抛光刷下方的支撑板，支撑板下方四角处均设有气缸，支撑板靠近固定板的相对两侧设有固定装置。

进一步的，固定装置包括安装于支撑板相对两侧倒置的L型板，两个L型板上方一侧的底部设有齿条，L型板从上往下一次设有多个限位孔，支撑板两端安装有插栓，插栓贯穿限位孔与支撑板插接。

进一步的，喷水装置包括安装在底座上方的水箱，水箱位于固定板远离抛光刷的一侧，水箱上方安装有水泵，水泵一端连接有水管，水管另一端与支撑台连接，水管上方连接有多个喷头。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：可以通过固定装置对需要清理的抛光垫进行固定，可以通过升降装置可以使支撑板进行上下移动，方便抛光刷对抛光垫进行清理，通过喷水装置，可以对抛光垫进行清洗，通过防水板可以防止清洁时，污水迸溅到其他地方，通过出水管可以使污水流入收集盒中，方便清理。

附图说明

图1是本实用新型一种抛光垫清洗机的主视结构示意图。

图2是本实用新型一种抛光垫清洗机的立体结构示意图。

图3是本实用新型一种抛光垫清洗机的侧视结构示意图。

图4是本实用新型一种抛光垫清洗机的固定结构主视结构示意图。

如图所示：1、底座；2、固定板；3、升降装置；301、支撑板；302、气缸；4、抛光刷；5、支撑台；6、电机；7、固定装置；701、L型板；702、齿条；703、限位孔；704、插栓；8、喷水装置；801、水箱；802、水泵；803、水管；804、喷头；9、防水板；10、出水管；11、收集盒；12、把手。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。

如图1-4所示，一种抛光垫清洗机，包括底座1、抛光刷4、喷水装置8，底座1为空心结构，底座1前后两侧上侧壁处铰接有防水板9，底座1上方靠近两个固定板2处设有两个出水管10，出水管10下方设有两个收集盒11，两个收集盒11均设有把手12，两个收集盒11方便对清理下来的污水以及灰尘进行收集，底座1上方的左右两侧安装有固定板2，两个固定板2相互平行，底座上方设有升降装置3，升降装置3包括位于抛光刷4下方的支撑板301，支撑板301下方四角处均设有气缸302，支撑板301靠近固定板2的相对两侧设有固定装置7，可以对需要清洗的抛光垫进行上下移动，使抛光垫与抛光刷4充分接触，进行清洗；

抛光刷4通过转动轴转动连接于两个固定板2之间，抛光刷4位于升降装置3上方，固定板2远离抛光刷4一侧安装有支撑台5，支撑台5上方设有电机6，电机6轴端穿过固定板2与抛光刷4转动连接，电机6可以使抛光刷4高速旋转，对抛光垫进行清理，固定装置7包括安装于支撑板301相对两侧倒置的L型板701，两个L型板701上方一侧的底部设有齿条702，L型板701从上往下一次设有多个限位孔703，支撑板301两端安装有插栓704，插栓704贯穿限位孔703与支撑板301插接，可以对需要清洗的抛光垫进行固定，防止清洗时抛光垫移动；

喷水装置8安装于底座1上方且位于固定板2远离抛光刷4的一侧，喷水装置8包括安装在底座1上方的水箱801，水箱801位于固定板2远离抛光刷4的一侧，水箱801上方安装有水泵802，水泵802一端连接有水管803，水管803另一端与支撑台5连接，水管803上方连接有多个喷头804，当清洗时，多个喷头804可以均匀喷洒出水，方便对抛光垫进行清洗。

本实用新型在具体实施时，首先将需要清洗的抛光垫放置在升降装置3上，使用支撑板301两侧的固定装置7，拉动插栓704，通过限位孔703夹紧抛光垫，使L型板701下的齿条702与抛光垫固定住，启动支撑板301下方的四个气缸302，四个气缸302带动支撑板301进行上下移动，调整合适的高度后，转动防水板9，使防水板9靠在两个固定板2上，再启动支撑台5上的电机6，电机6带动抛光刷4进行高速旋转，对抛光垫进行清理，若需要用水对抛光垫进行清理，可以通过水泵802抽取水箱801的水，通过水管803和多个喷头804喷洒出来，对支撑板301上的抛光垫进行清洗，抛光刷4转动水流迸溅，会落入防水板9上，清洗之后的水流会从出水管803流入两个收集盒11中，拉开收集盒11上的把手12，可以对里面的污水进行处理，完成清洗。

本装置在实际使用过程中，结构合理、设计巧妙、整体一致性强、方便快捷，省时省力。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种抛光垫清洗机，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)为空心结构，所述底座(1)上方的左右两侧安装有固定板(2)，两个所述固定板(2)相互平行，所述底座上方设有升降装置(3)；

抛光刷(4)，所述抛光刷(4)通过转动轴转动连接于两个所述固定板(2)之间，所述抛光刷(4)位于升降装置(3)上方，所述固定板(2)远离抛光刷(4)一侧安装有支撑台(5)，所述支撑台(5)上方设有电机(6)，所述电机(6)轴端穿过固定板(2)与抛光刷(4)转动连接；

喷水装置(8)，所述喷水装置(8)安装于底座(1)上方且位于固定板(2)远离抛光刷(4)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫清洗机，其特征在于：所述底座(1)前后两侧上侧壁处铰接有防水板(9)，所述底座(1)上方靠近两个固定板(2)处设有两个出水管(10)，所述出水管(10)下方设有两个收集盒(11)，两个所述收集盒(11)均设有把手(12)。

3.根据权利要求1所述的一种抛光垫清洗机，其特征在于：所述升降装置(3)包括位于抛光刷(4)下方的支撑板(301)，所述支撑板(301)下方四角处均设有气缸(302)，所述支撑板(301)靠近固定板(2)的相对两侧设有固定装置(7)。

4.根据权利要求3所述的一种抛光垫清洗机，其特征在于：所述固定装置(7)包括安装于支撑板(301)相对两侧倒置的L型板(701)，两个所述L型板(701)上方一侧的底部设有齿条(702)，所述L型板(701)从上往下一次设有多个限位孔(703)，所述支撑板(301)两端安装有插栓(704)，所述插栓(704)贯穿限位孔(703)与支撑板(301)插接。

5.根据权利要求1所述的一种抛光垫清洗机，其特征在于：所述喷水装置(8)包括安装在底座(1)上方的水箱(801)，所述水箱(801)位于固定板(2)远离抛光刷(4)的一侧，所述水箱(801)上方安装有水泵(802)，所述水泵(802)一端连接有水管(803)，所述水管(803)另一端与支撑台(5)连接，所述水管(803)上方连接有多个喷头(804)。

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