CN218885312U - 一种用于定位真空容器漏点的治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于定位真空容器漏点的治具，包括罩体，罩体一侧设置有第一开口，罩体在第一开口的一侧贴附于真空腔室壁面，并与真空腔室壁面形成相对密闭的检测空间，罩体上设置有充气口、抽气口和置换口，充气口用于充入检漏气体，抽气口用于抽出检漏气体和/或空气，置换口用于向检测空间中补入空气。本实用新型通过将罩体罩住真空容器的壁面上并与之形成相对密封的检测空间，在向检测点供氦气时，氦气聚集在检测空间中，从而降低真空检漏过程氦气通入漏点进入真空容器的排除置换的时间，提升检漏的效果；另外，通过罩体对壁面局部范围进行供气，便于实现真空腔壁漏点的精确定位。

Description

一种用于定位真空容器漏点的治具

技术领域

本实用新型涉及检漏治具技术领域，更具体地说，是涉及一种用于定位真空容器漏点的治具。

背景技术

一般情况下，真空容器设备的腔体周围都具有相应的开口，以在开口的位置加装相应的功能模块，如电源线路，信号线路，冷却水管线路，用于进行工作状态检测的传感器系统安装；这些真空腔体壁上的开口可能成为漏点，以至于腔体内的真空度的提升受到限制，尤其是一些高真空环境的工作条件需求，使得真空腔体与外界相连通的各端口都要能够更好的密封。然而，由于上述管线等的设定使得真空检漏有一点的困难，尤其是同一位置附近有多个真空接口，在氦气喷洒的时候，很容易就飘到相邻的位置，以至于难以精确的定位漏点，并且因为漏点频繁吸入氦气，使得氦气排除时间延迟及检漏的时间也大幅度的增加。

以上不足，有待改进。

发明内容

为了解决现有的氦质谱检漏系统在氦气喷洒的时候，很容易就飘到相邻的位置，以至于难以精确的定位漏点，并且因为漏点频繁吸入氦气，使得氦气排除时间延迟及检漏的时间也大幅度的增加的问题，本实用新型提供一种用于定位真空容器漏点的治具。

本实用新型技术方案如下所述：

一种用于定位真空容器漏点的治具，包括罩体，所述罩体一侧设置有第一开口，所述罩体在所述第一开口的一侧贴附于真空腔室壁面，并与所述真空腔室壁面形成相对密闭的检测空间，所述罩体上设置有充气口、抽气口和置换口，所述充气口用于充入检漏气体，常用检漏气体为氦气，所述抽气口用于抽出检漏气体和/或空气，所述置换口用于向所述检测空间中补入空气。

进一步，所述罩体包括曲面构造。

进一步，所述罩体为半球状或圆柱状。

进一步，所述罩体在所述第一开口一侧的边缘设置有沟槽，所述沟槽用于所述罩体吸附于所述真空腔室壁面，所述沟槽上设置有接口，所述接口用于充气或放气。

进一步，所述罩体在所述第一开口一侧为柔性材质。

进一步，所述罩体在所述第一开口一侧的所述沟槽边缘面为弧形形状。

进一步，所述罩体在所述第一开口相对的一侧边缘设置有第二开口，所述第二开口能够收紧，所述第二开口用于管线穿过，并与所述管线紧密贴合封闭所述检测空间，所述罩体在所述第一开口一侧至所述第二开口一侧设置有活动连接部，所述罩体能够沿着所述活动连接部展开。工作状态下，所述罩体为圆柱状，在非工作状态下，则罩体可以沿活动连接部展开类似平面的状态，即可以在第一开口的一侧展开呈木耳边，这是由于罩体在第一开口处的周长较大造成的，除开木耳边之外的部分展开后可以为矩形。

进一步，所述第二开口与所述管线粘合封闭或系带封闭。

进一步，所述活动连接部为自封条，所述自封条包括凹条和凸条，所述凹条与所述凸条卡合连接

进一步，所述罩体为橡胶或硅胶，罩体具有一定的强度和厚度，可以抵抗内外部相对压差0～0.1kg范围内无明显的变形。

根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：

1.本实用新型通过将罩体罩住真空容器的壁面上并与之形成相对密封的检测空间，在向检测点供氦气时，氦气聚集在检测空间中，从而降低真空检漏过程氦气通入漏点进入真空容器的排除置换的时间，提升检漏的效果；另外，通过罩体对壁面局部范围进行供气，便于实现真空腔壁漏点的精确定位。

2.本实用新型通过罩体在罩体上设置沟槽，通过对沟槽的抽气和放气，实现罩体与壁面连接与分离，方便该治具与真空腔壁进行任意位置的贴合而不需要外界的支撑，方便使用。

3.本实用新型通过将罩体上设置活动连接部，便于将管线穿过罩体，且第二开口可以收紧，保证检测空间的密闭性，从而便于检测有管线伸出的壁面。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1的结构示意图；

图2为本实用新型实施例1应用时的结构示意图；

图3为本实用新型实施例2的结构示意图；

图4为本实用新型实施例2应用时的结构示意图；

图5为本实用新型中活动连接部的结构示意图。

其中，图中各附图标记：1、罩体；101、检测空间；102、第一开口；103、充气口；104、抽气口；105、置换口；106、沟槽；107、接口；108、第二开口；109、活动连接部；1091、凹条；1092、凸条；2、真空腔室；3、氦质谱检漏仪；4、抽真空泵。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当部件被称为“固定”或“设置”或“连接”另一个部件，它可以直接或者间接位于该另一个部件上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是为了便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。术语“第一”、“第二”等仅用于便于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。“多”的含义是二或二以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一或一以上，除非另有明确具体的限定。

如图1所示，本实用新型所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，包括罩体1，罩体1一侧设置有第一开口102，罩体1在第一开口102的一侧贴附于真空腔室2壁面，并与真空腔室2壁面形成相对密闭的检测空间101，罩体1上设置有充气口103、抽气口104和置换口105，充气口103用于充入检漏气体，常用检漏气体为氦气，抽气口104用于抽出氦气和/或空气，置换口105用于向检测空间101中补入空气。

实施列1

如图1和图2所示，当真空腔室2壁面上的密封口是数据盲板结构（可能漏点），即没有连接外部的连线，如水管、电线、信号线等，则可以采用半球状的罩体1，将罩体1罩在包含盲板在内的壁面上，启动被检漏的真空腔体上氦质谱检漏的系统，氦质谱检漏的系统包括氦质谱检漏仪3和抽真空泵4，将氦气气源对接到充气口103。罩体1可以由检测人员直接人工按着贴合于壁面，将氦气气源与充气口103连通，打开充气口103充入氦气。通过充气口103通入氦气到相对密闭的检测空间101内，如果该位置有漏点，则在真空腔体连接的泵组的作用下，氦气很快被吸入真空腔体，从而可以被与真空泵组相连接的氦质谱仪检测到氦气的信号，则说明此处有漏点。当完成检验的动作后，打开抽气口104和置换口105，从置换口105充入空气，从抽气口104抽出氦气和空气，而快速将氦气稀释，最终不至于密闭容器内较多的氦气而飘逸影响到其它的位置。

如图1所示，在一个优选实例中，为了在检漏时能够更好的固定治具，罩体1在第一开口102一侧的边缘设置有沟槽106，沟槽106为柔性材料，如橡胶、硅胶等，沟槽106上设置有接口107，接口107用于充气或放气，通过接口107进行抽气的动作则可以实现基于外部压力作用，使得该罩体1可以更紧密贴合于壁面。当检测完成且进行了气氛的置换后准备将罩体1移到下一个漏点位置时，则打开接口107，使得沟槽106内外的压力平衡后，此时沟槽106不再吸附在壁面上，方便取下。因此，便于控制罩体1与壁面的连接状态，方便检测人员操作使用。

如图1所示，在一个优选实例中，罩体1在第一开口102一侧的沟槽106边缘面为弧形形状，沟槽106边缘面为弧形形状，可以实现与壁面的无缝衔接贴合。

在一些实施例中，所述罩体上设有三通阀，三通阀的一端与罩体连接，另外两端作为所述充气口和置换口。具体使用过程中，充入氦气的时候置换口密闭；当需要排出罩体内的氦气时，氦气充气端密闭，置换口开启即可。

在一些实施例中，对接口107的实际应用方案有两个思路；1）上述的罩体我们可以采用人工压合的方式使得罩体与真空腔壁形成密封面；此过程在压合前接口107是开启，压合后排出沟槽106空间的空气后接口107管口密闭，待测试完成要移动罩体时候则开启接口107管口使得外界大气与106连通则可以松开贴合面轻松取走罩体；为了有更好的效果，则接口107也可以作为一个三通，一端连接沟槽106空间，一段是作为放气口连通大气端，一端是作为抽气口连通真空抽气端；当罩体与真空墙壁贴合后抽气端抽气形成更好的贴合效果，待检验完毕后开启连通大气的端口放气则可以松动罩体；

实施例2

如图3和图4所示，当需要检漏的漏点位置有相关的传感器、电线等连线伸出的时候，可以选用圆柱状罩体1，罩体1在第一开口102相对的一侧设置有第二开口108，第二开口108能够收紧呈锥形，第二开口108用于连接管线穿过，且能够紧密将连接线路包覆形成密封的结构；罩体1在第一开口102的一侧则贴合于需要测试漏点的壁面上。第二开口108初始状态为打开状态，以打开的方式包覆在伸出的连接管线的外侧，接着收紧与管线紧密贴合封闭检测空间101，第二开口108与管线粘合封闭或系带封闭，如图3中采用系带进行封闭，封闭时系紧绳子，不封闭时松开绳子。中部具有刚性支撑的部分通过两个相对连接密合的边进行嵌入连接而达到该边部的密封的效果，如上述的半球状的罩体1的工作方式是一样的。

如图3和图5所示，在一个优选实例中，罩体1在第一开口102一侧至第二开口108一侧设置有活动连接部109，罩体1能够沿着活动连接部109展开。活动连接部为自封条，自封条包括凹条1091与凸条1092，分别设置在罩体1断开的两端，凹条1091与凸条1092相互卡合，实现密封。在检测有管线伸出的壁面时，将活动连接部109打开，将管线放入后，再将活动连接部109闭合，使得罩体1能够与壁面贴合，并将管线包裹，方便检测有管线伸出的壁面，尤其是在伸出的管线较长时方便使用。自封条向下凸出于治具，可以增加密封面，自封条向上凸出于治具后，可以便于绳子封口。

本实用新型的罩体1包括曲面构造，罩体1为半球状或圆柱状，罩体1的形状包括但不限于所列举的类型，推荐采用带有曲面构造的形状，曲面构造相较于平面构造各部分受力较为均匀，具有较好的耐压强度，在罩体1充气和抽气时，罩体1不易变形，保证检测结果的准确性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，包括罩体，所述罩体一侧设置有第一开口，所述罩体在所述第一开口的一侧贴附于真空腔室壁面，并与所述真空腔室壁面形成相对密闭的检测空间，所述罩体上设置有充气口、抽气口和置换口，所述充气口用于充入检漏气体，所述抽气口用于抽出检漏气体和/或空气，所述置换口用于向所述检测空间中补入空气。

2.根据权利要求1中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体包括曲面构造。

3.根据权利要求2中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体为半球状或圆柱状。

4.根据权利要求1中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体在所述第一开口一侧的边缘设置有沟槽，所述沟槽用于所述罩体吸附于所述真空腔室壁面，所述沟槽上设置有接口，所述接口用于充气或放气。

5.根据权利要求1中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体在所述第一开口一侧为柔性材质。

6.根据权利要求1中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体上设有三通阀，三通阀的一端与罩体连接，另外两端作为所述充气口和置换口。

7.根据权利要求1中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体在所述第一开口相对的一侧边缘设置有第二开口，所述第二开口能够收紧，所述第二开口用于管线穿过，并与所述管线紧密贴合封闭所述检测空间，所述罩体在所述第一开口一侧至所述第二开口一侧设置有活动连接部，所述罩体能够沿着所述活动连接部展开。

8.根据权利要求7中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述第二开口与所述管线粘合封闭或系带封闭。

9.根据权利要求7中所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述活动连接部为自封条，所述自封条包括凹条和凸条，所述凹条与所述凸条卡合连接。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的一种用于定位真空容器漏点的治具，其特征在于，所述罩体为橡胶或硅胶。

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