CN218884890U - 一种led膜厚测量载台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种LED膜厚测量载台，其包括基座、定位环和装片台，所述基座上沿其长度方向设有滑槽，所述装片台上侧设有用于放置测量片的放片槽；所述装片台下侧设有转动的滑块，所述滑块与滑槽滑动配合；所述定位环套设于装片台外围，所述定位环上设有角刻度；所述装片台上设有角度块。通过基座的滑槽与装片台的滑块的滑动配合，能够快速调整装片台在基座上的位置以确保测试点位与投射的光线相对；通过角度块、定位环及角刻度的设置，能够以确定的转动角度来对片源进行转动以快速确定测试点位，同时定角度的转动保证后续片源的测量区域统一，减少测量误差。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种LED膜厚测量载台。
背景技术
光学膜厚测量仪，是一种非接触、非破坏式精密量测仪器，利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的仪器。在片源作业后，需将片源放到光学膜厚测量仪的LED膜厚测量载台上进行厚度测量。一般测量片源的边缘有4-8个测试点位，现有的基座没有片源的固定位置及方向要求，每次放置于载台的片源位置不固定，每片边缘测试的点位均不同的位置，操作人员为了测量点位需目测后移动片源，这样不仅无法保证片源的测量统一区域，而且多次手动转动片源及寻找测试点位而影响作业效率。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种快速确定测试点位的LED膜厚测量载台。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种LED膜厚测量载台，包括基座、定位环和装片台，所述基座上沿其长度方向设有滑槽，所述装片台上侧设有用于放置测量片的放片槽；所述装片台下侧设有转动的滑块，所述滑块与滑槽滑动配合；所述定位环套设于装片台外围，所述定位环上设有角刻度；所述装片台上设有角度块。
进一步地，还包括定位螺栓，所述定位环上设有定位孔，所述定位孔与滑槽开口相对；所述定位孔通过定位螺栓与滑槽开口锁付。
进一步地，还包括定位螺母，所述定位螺栓包括螺帽和螺杆，所述螺帽移动地设于滑槽内，所述螺杆同时穿过滑槽开口和定位孔，所述螺杆凸出于定位环上侧的部分与定位螺母螺纹配合。
进一步地，所述放片槽边沿由平直边沿和弧形边沿组成。
进一步地，所述放片槽一侧设有取片槽，所述取片槽的槽底低于放片槽的槽底；在放片槽槽深方向上，所述放片槽的投影与取片槽的投影具有重合部分。
进一步地，还包括支架和光源，所述支架设于基座上，所述滑槽在其长度方向的投影与支架重合，所述支架远离基座一端设有光源。
本实用新型的有益效果在于：通过基座的滑槽与装片台的滑块的滑动配合，能够快速调整装片台在基座上的位置以确保测试点位与投射的光线相对；通过角度块、定位环及角刻度的设置，能够以确定的转动角度来对片源进行转动以快速确定测试点位，同时定角度的转动保证后续片源的测量区域统一，减少测量误差。
附图说明
图1为背景技术中的光学膜厚测量仪的结构示意图；
图2为本实用新型具体实施方式的LED膜厚测量载台的结构示意图；
图3为本实用新型具体实施方式的LED膜厚测量载台无支架及光源时的俯视图；
图4为本实用新型具体实施方式的片源及测试点位的结构示意图。
标号说明：
1、基座；11、滑槽；2、定位环；
3、装片台；31、放片槽；311、平直边沿；312、弧形边沿；313、取片槽；32、滑块；33、角度块；
4、定位螺栓；41、螺帽；42、螺杆；
5、定位螺母；6、支架；7、光源。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1，一种LED膜厚测量载台，包括基座1、定位环2和装片台3，所述基座1上沿其长度方向设有滑槽11，所述装片台3上侧设有用于放置测量片的放片槽31；所述装片台3下侧设有转动的滑块32，所述滑块32与滑槽11滑动配合；所述定位环2套设于装片台3外围，所述定位环2上设有角刻度；所述装片台3上设有角度块33。
从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：通过基座1的滑槽11与装片台3的滑块32的滑动配合，能够快速调整装片台3在基座1上的位置以确保测试点位与投射的光线相对；通过角度块33、定位环2及角刻度的设置，能够以确定的转动角度来对片源进行转动以快速确定测试点位，同时定角度的转动保证后续片源的测量区域统一，减少测量误差。
进一步地，还包括定位螺栓4，所述定位环2上设有定位孔，所述定位孔与滑槽11开口相对；所述定位孔通过定位螺栓4与滑槽11开口锁付。
由上述描述可知，通过定位螺栓4与定位环2的定位孔、滑槽11开口的配合，在确定好测试点位与光源7在滑槽11长度方向的定位后，将定位环2、滑槽11一同锁付，而装片台3由于与定位环2的套设布置，也一同固定，以避免转动过程中发生移位。
进一步地，还包括定位螺母5，所述定位螺栓4包括螺帽41和螺杆42，所述螺帽41移动地设于滑槽11内，所述螺杆42同时穿过滑槽11开口和定位孔，所述螺杆42凸出于定位环2上侧的部分与定位螺母5螺纹配合。
由上述描述可知，由定位螺栓4和定位螺母5的配合使得定位环2、基座1能够锁付；而螺帽41位于滑槽11内的设置，使得在安装时，可以以螺帽41与滑槽11的配合作为移动导向，使得定位环2以固定的转动角度推入滑槽11内。
进一步地，所述放片槽31边沿由平直边沿311和弧形边沿312组成。
由上述描述可知，通过放片槽31的平直边沿311和弧形边沿312的设置，使得置入的片源不会转动偏移；具体地，所述片源也对应设有平直边沿311和弧形边沿312。
进一步地，所述放片槽31一侧设有取片槽313，所述取片槽313的槽底低于放片槽31的槽底；在放片槽31槽深方向上，所述放片槽31的投影与取片槽313的投影具有重合部分。
由上述描述可知，通过取片槽313的设置，使得吸笔能够伸入取片槽313内并对片源下侧进行吸附，以快速取出片源。
进一步地，还包括支架6和光源7，所述支架6设于基座1上，所述滑槽11在其长度方向的投影与支架6重合，所述支架6远离基座1一端设有光源7。
由上述描述可知，由支架6作为光源7在基座1上的固定连接件；而滑槽11在其长度方向的投影与支架6重合的设置，方便片源的测试点位与光源7相对位置的调整。
参照图1，本实用新型的实施例一为：
本实用新型的应用场景：现有的基座1没有片源的固定位置及方向要求，每次放置于基座1的片源位置不固定，每片边缘测试的点位均不同的位置，操作人员为了测量点位需目测后移动片源，这样不仅无法保证片源的测量统一区域，而且多次手动转动片源及寻找测试点位而影响作业效率。
本实施例的一种LED膜厚测量载台，包括基座1、定位环2、定位螺栓4、定位螺母5、支架6、光源7和装片台3。
所述基座1上沿其长度方向设有滑槽11，所述装片台3上侧设有用于放置测量片的放片槽31；所述装片台3下侧设有转动的滑块32，所述滑块32与滑槽11滑动配合；所述定位环2套设于装片台3外围，所述定位环2上设有角刻度；所述装片台3上设有角度块33。
所述定位环2上设有定位孔，所述定位孔与滑槽11开口相对；所述定位孔通过定位螺栓4与滑槽11开口锁付。具体地，定位孔与滑槽11开口的锁附由定位螺栓4和定位螺母5的配合实现。所述定位螺栓4包括螺帽41和螺杆42，所述螺帽41移动地设于滑槽11内，所述螺杆42同时穿过滑槽11开口和定位孔，所述螺杆42凸出于定位环2上侧的部分与定位螺母5螺纹配合。
所述放片槽31边沿由平直边沿311和弧形边沿312组成，通过平直边沿311和弧形边沿312的设计限制片源在放片槽31内的转动；所述放片槽31一侧设有取片槽313，所述取片槽313的槽底低于放片槽31的槽底；在放片槽31槽深方向上，所述放片槽31的投影与取片槽313的投影具有重合部分。
所述支架6设于基座1上，所述滑槽11在其长度方向的投影与支架6重合，所述支架6远离基座1一端设有光源7。
本实用新型的工作原理：在装配时，将片源对应置于装片台3的放片槽31内，将定位环2与装片台3套设，而后将滑块32推入滑槽11，同时将定位螺栓4推入滑槽11并使其与定位环2的定位孔配合，由此定位环2不会在移动过程中发生转动。在滑块32与滑槽11、定位螺栓4的螺帽41与滑槽11的导向配合下，将装片台3及定位环2以准确滑入基座1内并调整至测试点位与光源7相对；而后通过角度块33和定位环2的角刻度的配合，能够对装片台3定角度的转动以统一片源的测试区域。
综上所述，本实用新型提供的一种LED膜厚测量载台，通过基座的滑槽与装片台的滑块的滑动配合，能够快速调整装片台在基座上的位置以确保测试点位与投射的光线相对；通过角度块、定位环及角刻度的设置，能够以确定的转动角度来对片源进行转动以快速确定测试点位，同时定角度的转动保证后续片源的测量区域统一，减少测量误差。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种LED膜厚测量载台，其特征在于，包括基座、定位环和装片台，所述基座上沿其长度方向设有滑槽，所述装片台上侧设有用于放置测量片的放片槽；所述装片台下侧设有转动的滑块，所述滑块与滑槽滑动配合；所述定位环套设于装片台外围，所述定位环上设有角刻度；所述装片台上设有角度块。
2.根据权利要求1所述的LED膜厚测量载台，其特征在于，还包括定位螺栓，所述定位环上设有定位孔，所述定位孔与滑槽开口相对；所述定位孔通过定位螺栓与滑槽开口锁付。
3.根据权利要求2所述的LED膜厚测量载台，其特征在于，还包括定位螺母，所述定位螺栓包括螺帽和螺杆，所述螺帽移动地设于滑槽内，所述螺杆同时穿过滑槽开口和定位孔，所述螺杆凸出于定位环上侧的部分与定位螺母螺纹配合。
4.根据权利要求1所述的LED膜厚测量载台，其特征在于，所述放片槽边沿由平直边沿和弧形边沿组成。
5.根据权利要求1所述的LED膜厚测量载台，其特征在于，所述放片槽一侧设有取片槽，所述取片槽的槽底低于放片槽的槽底；在放片槽槽深方向上，所述放片槽的投影与取片槽的投影具有重合部分。
6.根据权利要求1所述的LED膜厚测量载台，其特征在于，还包括支架和光源，所述支架设于基座上，所述滑槽在其长度方向的投影与支架重合，所述支架远离基座一端设有光源。
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