CN218864956U - 一种石英坩埚壁厚快速检测装置 - Google Patents

一种石英坩埚壁厚快速检测装置 Download PDF

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周勇
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Abstract

本发明涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括底座、固定坩埚圆心的旋转装置和测量坩埚壁厚的测量装置;所述旋转装置设置在所述底座上;所述测量装置设置在所述底座上;所述测量装置包括支架、对坩埚的壁厚测量的测量件;所述测量件的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁;所述测量件相对设置;所述测量件滑动连接在所述支架上。解决了现有技术无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量,且测量出的结果仅为合格或者不合格的问题。

Description

一种石英坩埚壁厚快速检测装置
技术领域
本发明涉及一种检测装置,尤其涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置。
背景技术
石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干;而内外径及壁厚的检测就是其中的一环。
现有技术中,根据专利号202010171880.4的发明专利,其包括顶板承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。现有技术无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量,且测量出的结果仅为合格或者不合格。
发明内容
本申请实施例通过提供一种石英坩埚壁厚快速检测装置,解决了现有技术中无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量,且测量出的结果仅为合格或者不合格的问题。
本申请实施例采用的技术方案如下。
一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括底座、固定坩埚圆心的旋转装置和测量坩埚壁厚的测量装置;所述旋转装置设置在所述底座上;所述测量装置滑动连接在所述底座上;所述测量装置包括支架、对坩埚的壁厚测量的测量件;所述测量件的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁;所述测量件相对设置;所述测量件滑动连接在所述支架上。
进一步的技术方案为:所述测量装置还包括对所述测量件导向的导向杆和将所述测量件始终压紧坩埚的内侧壁和外侧壁的弹性件;所述支架上开设有滑动槽;所述导向杆设置在所述滑动槽内;所述弹性件的一端抵紧所述测量件,所述弹性件的另一端抵紧所述滑动槽的侧壁。
进一步的技术方案为:所述测量件包括抵紧坩埚的内侧壁和外侧壁的滚动块和对所述滚动块导向的滑动块;所述滑动块滑动连接在所述支架上;所述滚动块旋转连接在所述滑动块上。
进一步的技术方案为:所述支架上设置有刻度;所述滑动块上设置有指针;所述指针指向所述刻度。
进一步的技术方案为:所述滑动块上设置有卡块;所述支架上设置有卡槽;所述滑动块向远离坩埚的方向移动,直至所述卡块卡入所述卡槽内。
进一步的技术方案为:所述旋转装置包括支撑块、对坩埚侧壁进行压紧的辊轮、滑动连接在所述支撑块的第一滑块、设置在所述底座上的圆块和移动所述第一滑块的抵紧块;所述支撑块与所述圆块同轴;所述抵紧块设置在所述圆块上;所述第一滑块抵紧所述抵紧块;所述辊轮旋转连接在所述第一滑块上。
进一步的技术方案为:所述抵紧块、所述第一滑块和所述辊轮沿着坩埚圆周阵列若干。
进一步的技术方案为:所述支撑块侧壁上设置有将所述支撑块与所述圆块同轴的第二滑块;所述第二滑块贴紧所述圆块;所述第二滑块沿着坩埚圆周阵列若干;其中一组所述第二滑块上螺纹连接第一螺栓;所述第一螺栓的螺纹端压紧所述圆块的侧壁。
本申请实施例中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
1、由于采用了旋转装置将坩埚始终以自身为圆心旋转,一侧测量件的测量端压紧坩埚的外侧壁,另一侧测量件的测量端压紧坩埚的内侧壁,进而实现了测量坩埚的侧壁且通过坩埚的旋转可以查看不同区域的壁厚。
2、由于采用了滚动块滚动在坩埚的外侧壁与内侧壁上,滚动块旋转连接在滑动块上,滑动块滑动连接在支架上,支架上设置有导向杆,导向杆穿设于滑动块,滑动槽与滑动块之间设置有弹性件,支架上设置有刻度,滑动块上设置有指针,指针指向刻度,进而实现了弹性件将滚动块始终压紧坩埚的外侧壁与内侧壁,通过坩埚旋转,滑动块产生左右的位移,从而观察指针对应的刻度是否超出误差最大值以及观察坩埚的整体壁厚。
3、由于采用了滑动块上设置有卡块,支架上开设有卡槽,当将滑动块向远离坩埚的方向移动,直至卡块卡入卡槽,进而实现了当需要将坩埚拆下时,将滑动块远离坩埚,随后取下坩埚。
4、由于采用了辊轮侧面压紧坩埚,辊轮旋转连接在第一滑块上,第一滑块滑动连接在支撑块上,圆块上设置有抵紧块,抵紧块压紧第一滑块,进而实现了旋转支撑块时,抵接块将第一滑块向靠近坩埚的方向移动,直至辊轮压紧坩埚的侧壁。
5、由于采用了支撑块上设置有第二滑块,第二滑块套设于圆块,其中一组第二滑块上螺纹连接第一螺栓,第一螺栓的螺纹端压紧圆块的侧壁,进而实现了支撑块与圆块同轴旋转连接,当旋转支撑块直至辊轮压紧坩埚的侧壁时,将第一螺栓压紧圆块侧壁,从而辊轮固定在当前位置。
附图说明
图1为本实用新型中石英坩埚壁厚快速检测装置的结构示意图。
图2为本实用新型中石英坩埚壁厚快速检测装置的底部结构示意图。
图3为图1中A的局部放大图。
图4为图2中B的局部放大图。
图中:1、底座;2、旋转装置;21、支撑块;211、第二滑块;212、第一螺栓;22、辊轮;23、第一滑块;3、测量装置;31、支架;311、滑动槽;32、测量件;321、滚动块;322、滑动块;33、导向杆;34、圆块;35、抵紧块;36、指针;37、卡块;38、卡槽;39、弹性件;4、刻度;5、支撑架。
具体实施方式
本申请实施例通过提供一种石英坩埚壁厚快速检测装置,解决了现有技术中无法对不同直径或不同壁厚的坩埚进行测量,且测量出的结果仅为合格或者不合格。
本申请实施例中的技术方案为解决上述问题,总体思路如下
为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
图1为本实用新型中石英坩埚壁厚快速检测装置的结构示意图。图2为本实用新型中石英坩埚壁厚快速检测装置的底部结构示意图。图3为图1中A的局部放大图。图4为图2中B的局部放大图。结合图1、图2、图3和图4所示,本实用新型公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置。图中Y的方向为本实用新型结构示意图的右端,图中X的方向为本实用新型结构示意图的上端。
一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括底座1、固定坩埚圆心的旋转装置2和测量坩埚壁厚的测量装置3;旋转装置2设置在底座1上;测量装置3滑动连接在底座1上;测量装置3包括支架31、对坩埚的壁厚测量的测量件32;测量件32的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁;测量件32相对设置;测量件32滑动连接在支架31上。
旋转装置2旋转设置在底座1上。测量装置3滑动连接在底座1上。底座1上设置有支撑架5,支架31滑动连接在支撑架5内。支架31呈L型。测量件32左右滑动连接在支架31上。测量件32对称设置有两组。测量件32的测量端朝向坩埚且压紧坩埚,支撑架5内部中空且上方开口,支撑架5的后侧开设有螺纹孔,螺纹孔内螺纹连接有第二螺栓。当支架31插入支撑架5时,第二螺栓压紧支架31的侧壁,从而固定支架31的高度。
由于采用了旋转装置2将坩埚始终以自身为圆心旋转,一侧测量件32的测量端压紧坩埚的外侧壁,另一侧测量件32的测量端压紧坩埚的内侧壁,进而实现了测量坩埚的侧壁且通过坩埚的旋转可以查看不同区域的壁厚。
测量装置3还包括对测量件32导向的导向杆33和将测量件32始终压紧坩埚的内侧壁和外侧壁的弹性件39;支架31上开设有滑动槽311;导向杆33设置在滑动槽311内;弹性件39的一端抵紧测量件32,弹性件39的另一端抵紧滑动槽311的侧壁。
测量件32包括抵紧坩埚的内侧壁和外侧壁的滚动块321和对滚动块321导向的滑动块322;滑动块322滑动连接在支架31上;滚动块321旋转连接在滑动块322上。
支架31上设置有刻度4;滑动块322上设置有指针36;指针36指向刻度4。
支架31上左右开设有滑动槽311,导向杆33左右设置在滑动槽311内。滑动块322滑动在滑动槽311内。导向杆33穿设于滑动块322。滑动块322左右滑动。滑动块322上旋转连接有滚动块321。滚动块321的侧壁压紧坩埚的的内侧壁和外侧壁。滑动块322与滑动槽311之间设置有弹性件39。弹性件39将滚动块321始终压紧坩埚的内侧壁和外侧壁。滑动块322上设置有指针36。支架31上设置有刻度4。指针36朝向刻度4。底座1上设置有支撑架5。支架31上下滑动连接在支撑架5内。
当将坩埚安装在旋转装置2上后,将左侧的滚动块321与右侧的滚动块321压紧坩埚的内侧壁和外侧壁,随后手动旋转坩埚,观察指针36的变化,从而知晓壁厚的误差以及壁厚。
由于采用了滚动块321滚动在坩埚的外侧壁与内侧壁上,滚动块321旋转连接在滑动块322上,滑动块322滑动连接在支架31上,支架31上设置有导向杆33,导向杆33穿设于滑动块322,滑动槽311与滑动块322之间设置有弹性件39,支架31上设置有刻度4,滑动块322上设置有指针36,指针36指向刻度4,进而实现了弹性件39将滚动块321始终压紧坩埚的外侧壁与内侧壁,通过坩埚旋转,滑动块322产生左右的位移,从而观察指针36对应的刻度4是否超出误差最大值以及观察坩埚的整体壁厚。优选的,指针36至滚动块321的最远端尺寸为10cm。当计算壁厚时,将左侧指针36对应的数值减去右侧指针36对应的数值再减去20cm即可得出壁厚。
滑动块322上设置有卡块37;支架31上设置有卡槽38;滑动块322向远离坩埚的方向移动,直至卡块37卡入卡槽38内。
滑动块322远离坩埚的一侧设置有卡块37。支架31远离坩埚的表面上开设有卡槽38。卡槽38与卡块37形状一致。
当此坩埚检测完毕,将滑动块322向远离坩埚的方向推动,直至卡块37卡入卡槽38内,随后即可取出坩埚。
由于采用了滑动块322上设置有卡块37,支架31上开设有卡槽38,当将滑动块322向远离坩埚的方向移动,直至卡块37卡入卡槽38,进而实现了当需要将坩埚拆下时,将滑动块322远离坩埚,随后取下坩埚。
旋转装置2包括支撑块21、对坩埚侧壁进行压紧的辊轮22、滑动连接在支撑块21的第一滑块23、设置在底座1上的圆块34和移动第一滑块23的抵紧块35;支撑块21与圆块34同轴;抵紧块35设置在圆块34上;第一滑块23抵紧抵紧块35;辊轮22旋转连接在第一滑块23上。
抵紧块35、第一滑块23和辊轮22沿着坩埚圆周阵列若干。
圆块34设置在底座1上。支撑块21同轴旋转连接在圆块34上。圆块34上下开口。圆块34内部设置有抵紧块35。抵紧块35呈三角形。支撑块21上开设有滑槽。第一滑块23滑动连接在滑槽内。第一滑块23与抵紧块35接触。辊轮22旋转连接在第一滑块23上。
当需要夹紧坩埚时,旋转支撑块21,将抵紧块35接触第一滑块23同时带动第一滑块23向坩埚方向移动,直至辊轮22压紧坩埚的侧壁。
由于采用了辊轮22侧面压紧坩埚,辊轮22旋转连接在第一滑块23上,第一滑块23滑动连接在支撑块21上,圆块34上设置有抵紧块35,抵紧块35压紧第一滑块23,进而实现了旋转支撑块21时,抵接块将第一滑块23向靠近坩埚的方向移动,直至辊轮22压紧坩埚的侧壁。
支撑块21侧壁上设置有将支撑块21与圆块34同轴的第二滑块211;第二滑块211贴紧圆块34;第二滑块211沿着坩埚圆周阵列若干;其中一组第二滑块211上螺纹连接第一螺栓212;第一螺栓212的螺纹端压紧圆块34的侧壁。
第二滑块211固定连接在支撑块21的侧壁。第二滑块211圆周阵列三组。第二滑块211的内侧壁贴紧支撑块21。其中一组第二滑块211上开设有螺纹孔。第一螺栓212螺纹连接在第二滑块211上。当需要固定支撑块21的旋转角度时,旋转第一螺栓212直至第一螺栓212压紧支撑块21的侧壁。
由于采用了支撑块21上设置有第二滑块211,第二滑块211套设于圆块34,其中一组第二滑块211上螺纹连接第一螺栓212,第一螺栓212的螺纹端压紧圆块34的侧壁,进而实现了支撑块21与圆块34同轴旋转连接,当旋转支撑块21直至辊轮22压紧坩埚的侧壁时,将第一螺栓212压紧圆块34侧壁,从而辊轮22固定在当前位置。
工作原理:旋转支撑块21,随后将辊轮22均手动向外推动,直至可以放入坩埚;将两组测量件32向互相远离的方向拨动,直至卡块37卡入卡槽38内;将支架31沿着支撑架5向上移动,随后将坩埚放入辊轮22组成的容纳腔内;旋转支撑块21,将抵紧块35接触第一滑块23同时带动第一滑块23向坩埚方向移动,直至辊轮22压紧坩埚的侧壁,将第二滑块211螺纹旋入第一螺栓212,直至第二滑块211压紧圆块34;将支架31沿着支撑架5向下移动,直至测量件32可以完全接触坩埚的侧壁且支架31与坩埚之间留有间隙,旋转第二螺栓直至压紧支架31,将支架31的高度固定;将卡块37拨出卡槽38内,控制两侧测量件32接触坩埚的侧壁,防止弹性件39的冲击对坩埚侧面造成伤害;随后手动旋转坩埚,观察指针36的变化,从而知晓壁厚的误差以及壁厚;当计算壁厚时,将左侧指针36对应的数值减去右侧指针36对应的数值再减去20cm即可得出壁厚。
尽管已描述了本发明的优选实施例,但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念,则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以,所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,包括底座(1)、固定坩埚圆心的旋转装置(2)和测量坩埚壁厚的测量装置(3);所述旋转装置(2)设置在所述底座(1)上;所述测量装置(3)滑动连接在所述底座(1)上;所述测量装置(3)包括支架(31)、对坩埚的壁厚测量的测量件(32);所述测量件(32)的测量端压紧坩埚的内侧壁和外侧壁;所述测量件(32)相对设置;所述测量件(32)滑动连接在所述支架(31)上。
2.如权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述测量装置(3)还包括对所述测量件(32)导向的导向杆(33)和将所述测量件(32)始终压紧坩埚的内侧壁和外侧壁的弹性件(39);所述支架(31)上开设有滑动槽(311);所述导向杆(33)设置在所述滑动槽(311)内;所述弹性件(39)的一端抵紧所述测量件(32),所述弹性件(39)的另一端抵紧所述滑动槽(311)的侧壁。
3.如权利要求2所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述测量件(32)包括抵紧坩埚的内侧壁和外侧壁的滚动块(321)和对所述滚动块(321)导向的滑动块(322);所述滑动块(322)滑动连接在所述支架(31)上;所述滚动块(321)旋转连接在所述滑动块(322)上。
4.如权利要求3所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述支架(31)上设置有刻度(4);所述滑动块(322)上设置有指针(36);所述指针(36)指向所述刻度(4)。
5.如权利要求4所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述滑动块(322)上设置有卡块(37);所述支架(31)上设置有卡槽(38);所述滑动块(322)向远离坩埚的方向移动,直至所述卡块(37)卡入所述卡槽(38)内。
6.如权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述旋转装置(2)包括支撑块(21)、对坩埚侧壁进行压紧的辊轮(22)、滑动连接在所述支撑块(21)的第一滑块(23)、设置在所述底座(1)上的圆块(34)和移动所述第一滑块(23)的抵紧块(35);所述支撑块(21)与所述圆块(34)同轴;所述抵紧块(35)设置在所述圆块(34)上;所述第一滑块(23)抵紧所述抵紧块(35);所述辊轮(22)旋转连接在所述第一滑块(23)上。
7.如权利要求6所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述抵紧块(35)、所述第一滑块(23)和所述辊轮(22)沿着坩埚圆周阵列若干。
8.如权利要求7所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述支撑块(21)侧壁上设置有将所述支撑块(21)与所述圆块(34)同轴的第二滑块(211);所述第二滑块(211)贴紧所述圆块(34);所述第二滑块(211)沿着坩埚圆周阵列若干;其中一组所述第二滑块(211)上螺纹连接第一螺栓(212);所述第一螺栓(212)的螺纹端压紧所述圆块(34)的侧壁。
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