CN218847991U - 双面曝光自动检测机 - Google Patents

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Inventor
张秋涛
鲍元平
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Suzhou Xingshengke Semiconductor Material Co ltd
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Suzhou Xingshengke Semiconductor Material Co ltd
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Abstract

本实用新型提供双面曝光自动检测机,涉及曝光机技术领域,包括:加工台;检测组件,所述检测组件包括第一电机,所述第一电机固定安装在加工台的后表面,所述第一电机输出端与加工台滑动贯穿,所述第一电机输出端固定连接有第一丝杆,所述第一丝杆外表面螺纹连接有第一滑动座。本实用新型中,通过检测组件的设置,可以通过第一电机与第二电机的配合自动工作带动检测相机在X、Y轴上自由活动依次对铜材的各个监测区域进行拍照,拍照完成后录入系统与模板图案进行对比,即完成了对铜材的缺陷检测,解决了背景技术中工作人员使用显微镜检测需要花费较多时间的问题,提升了工作效率。

Description

双面曝光自动检测机
技术领域
本实用新型涉及曝光机技术领域,尤其涉及双面曝光自动检测机。
背景技术
曝光机主要应用于PCB线路板制造、半导体生产及高精密细线路曝光。
现有技术中,在对铜件进行双面曝光生产完成后,需要工作人员使用显微镜对曝光后的铜材进行目视检查,由于检查面积较大,而缺陷面积通常较小,依靠操作人员使用显微镜目视检查存在漏检风险,且需要花费较多时间,工作效率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有的技术中在对铜件进行双面曝光生产完成后,需要工作人员使用显微镜对曝光后的铜材进行目视检查,由于检查面积较大,而缺陷面积通常较小,依靠操作人员使用显微镜目视检查存在漏检风险,且需要花费较多时间,工作效率较低的问题,而提出的双面曝光自动检测机。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:包括:加工台;检测组件,所述检测组件包括第一电机,所述第一电机固定安装在加工台的后表面,所述第一电机输出端与加工台滑动贯穿,所述第一电机输出端固定连接有第一丝杆,所述第一丝杆外表面螺纹连接有第一滑动座,所述加工台内表面之间固定连接有连接杆,所述连接杆外表面滑动连接有第二滑动座,所述第一滑动座与第二滑动座上表面之间固定连接有支撑座。
优选的,所述支撑座右侧外表面固定连接有第二电机,所述第二电机输出端与支撑座滑动贯穿,所述第二电机输出端固定连接有第二丝杆,所述第二丝杆外表面螺纹连接有第三滑动座,所述第三滑动座下表面设置有检测相机,第二电机启动可以驱动第二丝杆转动,第二丝杆转动可以带动第三滑动座和检测相机在Y轴上移动。
优选的,所述加工台上表面固定连接有放料托盘,所述放料托盘与检测相机位置相配合,将双面曝光加工完成后的铜材放置在放料托盘上后,通过检测相机的移动即可对铜材的各个位置进行拍照检测。
优选的,所述加工台外表面固定连接有支撑板,所述支撑板上表面固定连接有第一光栅尺,所述第一光栅尺与第一滑动座呈配套设置,所述第一光栅尺与第一电机电性连接,第一光栅尺的设置可以对第一滑动座的运动坐标作实时检测,配合第一电机进行工作可以起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机移动位置的准确性。
优选的,所述支撑座前表面固定连接有第二光栅尺,所述第二光栅尺与第三滑动座呈配套设置,所述第二光栅尺与第二电机电性连接,第二光栅尺的设置可以对第二滑动座的运动坐标作实时检测,配合第二电机进行工作可以起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机移动位置的准确性。
优选的,所述第一滑动座和第二滑动座下表面均与加工台内底部滑动连接,所述支撑座内表面之间对称固定连接有限位杆,两个所述限位杆均与第三滑动座滑动贯穿,通过支撑座与第一滑动座和第二滑动座的连接,在第一电机带动第一滑动座移动时对移动轨迹起到了限位作用,通过限位杆的设置对第三滑动座的移动轨迹起到了限位作用。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
1、本实用新型中,通过检测组件的设置,可以通过第一电机与第二电机的配合自动工作带动检测相机在X、Y轴上自由活动依次对铜材的各个监测区域进行拍照,拍照完成后录入系统与模板图案进行对比,即完成了对铜材的缺陷检测,解决了背景技术中工作人员使用显微镜检测需要花费较多时间的问题,提升了工作效率。
2、本实用新型中,通过第一光栅尺和第二光栅尺的配合设置,可以对第一滑动座和第三滑动座的移动起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机移动位置的准确性,达到了提升检测准确度的目的。
附图说明
图1为本实用新型提出双面曝光自动检测机的立体图;
图2为本实用新型提出双面曝光自动检测机的仰视图;
图3为本实用新型提出双面曝光自动检测机的检测相机结构示意图。
图例说明:1、加工台;2、检测组件;201、第一电机;202、第一丝杆;203、第一滑动座;204、连接杆;205、第二滑动座;206、支撑座;207、第二电机;208、第二丝杆;209、第三滑动座;210、限位杆;211、检测相机;3、放料托盘;4、第一光栅尺;5、第二光栅尺。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点,下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
请参阅图1-图3,本实用新型提供一种技术方案:双面曝光自动检测机,包括:加工台1;检测组件2,检测组件2包括第一电机201,第一电机201固定安装在加工台1的后表面,第一电机201输出端与加工台1滑动贯穿,第一电机201输出端固定连接有第一丝杆202,第一丝杆202外表面螺纹连接有第一滑动座203,加工台1内表面之间固定连接有连接杆204,连接杆204外表面滑动连接有第二滑动座205,第一滑动座203与第二滑动座205上表面之间固定连接有支撑座206。
如图1-图3所示,支撑座206右侧外表面固定连接有第二电机207,第二电机207输出端与支撑座206滑动贯穿,第二电机207输出端固定连接有第二丝杆208,第二丝杆208外表面螺纹连接有第三滑动座209,第三滑动座209下表面设置有检测相机211,第二电机207启动可以驱动第二丝杆208转动,第二丝杆208转动可以带动第三滑动座209和检测相机211在Y轴上移动。
如图1-图3所示,加工台1上表面固定连接有放料托盘3,放料托盘3与检测相机211位置相配合,将双面曝光加工完成后的铜材放置在放料托盘3上后,通过检测相机211的移动即可对铜材的各个位置进行拍照检测。
如图1-图3所示,加工台1外表面固定连接有支撑板,支撑板上表面固定连接有第一光栅尺4,第一光栅尺4与第一滑动座203呈配套设置,第一光栅尺4与第一电机201电性连接,第一光栅尺4的设置可以对第一滑动座203的运动坐标作实时检测,配合第一电机201进行工作可以起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机211移动位置的准确性。
如图1-图3所示,支撑座206前表面固定连接有第二光栅尺5,第二光栅尺5与第三滑动座209呈配套设置,第二光栅尺5与第二电机207电性连接,第二光栅尺5的设置可以对第二滑动座205的运动坐标作实时检测,配合第二电机207进行工作可以起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机211移动位置的准确性。
如图1-图3所示,第一滑动座203和第二滑动座205下表面均与加工台1内底部滑动连接,支撑座206内表面之间对称固定连接有限位杆210,两个限位杆210均与第三滑动座209滑动贯穿,通过支撑座206与第一滑动座203和第二滑动座205的连接,在第一电机201带动第一滑动座203移动时对移动轨迹起到了限位作用,通过限位杆210的设置对第三滑动座209的移动轨迹起到了限位作用。
本装置的使用方法及工作原理:在自动检测机使用时,将双面曝光完成的铜材放在放料托盘3上方,启动第一电机201可以通过第一丝杆202的连接与第二滑动座205配合带动支撑座206移动,达到了移动检测相机211在X轴位置的目的,启动第二电机207可以通过第二丝杆208的转动带动第三滑动座209移动,第三滑动座209的移动可以带动检测相机211在Y轴上移动,通过第一电机201和第二电机207的配合工作,即可以带动检测相机211在X、Y轴上自由移动,可以依次对铜材的各个检测区域进行拍照,拍照完成后录入系统与模板图案进行对比,即完成了对铜材的缺陷检测,通过第一光栅尺4与第二光栅尺5的设置可以与第一电机201和第二电机207配合工作,对第一滑动座203和第三滑动座209的移动起到补偿运动误差的作用,提升了检测相机211移动位置的准确性,达到了提升检测准确度的目的。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非是对本实用新型作其它形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域,但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (6)

1.双面曝光自动检测机,其特征在于,包括:
加工台(1);
检测组件(2),所述检测组件(2)包括第一电机(201),所述第一电机(201)固定安装在加工台(1)的后表面,所述第一电机(201)输出端与加工台(1)滑动贯穿,所述第一电机(201)输出端固定连接有第一丝杆(202),所述第一丝杆(202)外表面螺纹连接有第一滑动座(203),所述加工台(1)内表面之间固定连接有连接杆(204),所述连接杆(204)外表面滑动连接有第二滑动座(205),所述第一滑动座(203)与第二滑动座(205)上表面之间固定连接有支撑座(206)。
2.根据权利要求1所述的曝光自动检测机,其特征在于:所述支撑座(206)右侧外表面固定连接有第二电机(207),所述第二电机(207)输出端与支撑座(206)滑动贯穿,所述第二电机(207)输出端固定连接有第二丝杆(208),所述第二丝杆(208)外表面螺纹连接有第三滑动座(209),所述第三滑动座(209)下表面设置有检测相机(211)。
3.根据权利要求2所述的曝光自动检测机,其特征在于:所述加工台(1)上表面固定连接有放料托盘(3),所述放料托盘(3)与检测相机(211)位置相配合。
4.根据权利要求1所述的曝光自动检测机,其特征在于:所述加工台(1)外表面固定连接有支撑板,所述支撑板上表面固定连接有第一光栅尺(4),所述第一光栅尺(4)与第一滑动座(203)呈配套设置,所述第一光栅尺(4)与第一电机(201)电性连接。
5.根据权利要求2所述的曝光自动检测机,其特征在于:所述支撑座(206)前表面固定连接有第二光栅尺(5),所述第二光栅尺(5)与第三滑动座(209)呈配套设置,所述第二光栅尺(5)与第二电机(207)电性连接。
6.根据权利要求2所述的曝光自动检测机,其特征在于:所述第一滑动座(203)和第二滑动座(205)下表面均与加工台(1)内底部滑动连接,所述支撑座(206)内表面之间对称固定连接有限位杆(210),两个所述限位杆(210)均与第三滑动座(209)滑动贯穿。
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