CN218847146U - 一种导轮检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种导轮检测装置,用于检测硅片切割机上的导轮质量,其特征在于,包括:检测组件,所述检测组件安装在硅片切割机的切割室内壁上且位于导轮的侧上方,所述检测组件根据接收的检测指令对所述导轮以及所述导轮上的金刚线的外轮廓进行检测并向外输出检测信息;控制组件,所述控制组件安装在硅片切割机的切割室外,所述控制组件通信连接所述检测组件以向所述检测组件输出检测指令并从所述检测组件接收检测信息。根据本实用新型实施例的导轮检测装置,以在切割前对硅片切割机上的导轮进行检测,避免在切割过程中断线、跳线等事故的发生。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片切割技术领域,具体涉及一种导轮检测装置。
背景技术
太阳能电池的硅片是通过硅片切割机将硅棒线切割所得,线网的分布和切割导轮质量直接影响硅片的切割质量。而组成线网的金刚线位于切割导轮上的V形槽内,切割过程中金刚线与导轮V形槽会产生磨损,导致V形槽无法精确的固定钢线,使线网分布不均匀或产生断线、跳线等生产事故,存在整刀报废或产生薄厚不均的不良品等隐患。
随着硅片厚度要求越来越薄,对于产品的制造精度和稳定性要求越来越高,避免因导轮质量造成的线网分布不均、断线、跳线等,已成为硅片切割行业的瓶颈。为降低因导轮质量造成产品损失,目前的导轮质量检测仅限于导轮生产完毕后使用相关仪器进行测量,没有针对导轮安装在生产设备上的在线检测技术。由此,对于生产事故的预防检测也无法精确到每次切割前进行,也就不能保证每次切割前导轮都是合格的。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供一种导轮检测装置,以在切割前对硅片切割机上的导轮进行检测,避免在切割过程中断线、跳线等事故的发生。
为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:
根据本实用新型实施例的导轮检测装置,用于检测硅片切割机上的导轮质量,包括:
检测组件,所述检测组件安装在硅片切割机的切割室内壁上且位于导轮的侧上方,所述检测组件根据接收的检测指令对所述导轮以及所述导轮上的金刚线的外轮廓进行检测并向外输出检测信息;
控制组件,所述控制组件安装在硅片切割机的切割室外,所述控制组件通信连接所述检测组件以向所述检测组件输出检测指令并从所述检测组件接收检测信息,然后根据所述检测信息生成所述导轮的检测结果。
进一步地,所述检测组件包括:
防尘护罩,所述防尘护罩安装在硅片切割机的所述切割室内壁上且位于导轮的侧上方;
镭射灯,所述镭射灯安装在所述防尘护罩内,所述镭射灯用于发出镭射光线照射所述导轮以及所述导轮上的金刚线的外轮廓;
反射光接收器,所述反射光接收器安装在所述防尘护罩内且位于所述镭射灯上方,所述反射光接收器用于接收所述镭射光线照射所述导轮以及所述导轮上的金刚线后的反射光线。
进一步地,所述反射光接收器还包括光源,所述光源用于在较暗的环境下对所述导轮及所述导轮上的金刚线进行补光。
进一步地,所述检测组件还包括调节支架,所述调节支架安装在所述防尘护罩内,所述反射光接收器安装在所述调节支架上,所述调节支架用于调节和固定所述反射光接收器的设置角度。
进一步地,所述检测组件还包括清洁喷嘴,所述清洁喷嘴安装在所述防尘护罩的顶部且伸入所述防尘护罩内部,所述清洁喷嘴外接压缩空气用于清洁所述防尘护罩内部以及所述反射光接收器。
进一步地,所述防尘护罩的底部设开口,在所述开口上安装有防尘护板,所述防尘护板打开/闭合开口。
进一步地,所述防尘护板还连接有驱动部,所述驱动部驱动所述防尘护板打开/闭合所述开口。
进一步地,所述驱动部为气缸或油缸。
进一步地,所述控制组件包括:
处理器,所述处理器与所述镭射灯和所述反射光接收器通信连接,所述处理器向所述镭射灯输出检测指令并从所述反射光接收器接收检测信息,然后根据检测信息生成所述导轮的检测结果。
进一步地,所述控制组件还包括:
镭射灯控制器,所述镭射灯控制器与所述镭射灯和所述处理器通信连接,以根据镭射光线调节指令调节镭射光线,
所述处理器向所述镭射灯控制器发射镭射光线调节指令。
本实用新型的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:
根据本实用新型实施例的导轮检测装置包括设置在切割室内的检测组件以及设置在切割室外与检测组件通信连接的控制组件,检测组件检测待检测的导轮以及导轮上的金刚线的外轮廓并输出检测信息,控制组件向检测组件输出检测指令并从检测组件接收检测信息,由此,可在每次切割运行前对硅片切割机上的导轮进行在线检测,以防止在切割过程中断线、跳线等事故的发生,避免造成物料的浪费,有效降低了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型实施例的导轮检测装置的结构示意图。
附图标记:101.清洁喷嘴;102.防尘护罩;103.反射光接收器;104.调节支架;105.镭射灯;106.防尘护板;107.驱动部;108.镭射灯控制器;109.处理器;201.导轮;202.金刚线;301.镭射光线。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例的附图,对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
除非另作定义,本实用新型中使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。
下面首先结合附图具体描述根据本实用新型实施例的导轮检测装置。
如图1所示,根据本实用新型实施例的导轮检测装置,用于检测硅片切割机上的导轮质量,包括:检测组件和控制组件。
其中,检测组件安装在硅片切割机的切割室内壁上且位于导轮201的侧上方,检测组件根据接收的检测指令对导轮201以及导轮201上的金刚线202的外轮廓进行检测并向外输出检测信息。
控制组件安装在硅片切割机的切割室外,控制组件通信连接检测组件以向检测组件输出检测指令并从检测组件接收检测信息。
也就是说,本实用新型实施例的导轮检测装置当需要对导轮进行检查时,控制组件向检测组件输出检测指令,检测装置接收到控制组件的检测指令后照射扫描待检测的导轮201,也即得到导轮201和金刚线202相对位置的外轮廓信息,即得到检测信息,然后将检测信息传输给切割室外部的控制组件,而控制组件通信连接检测组件以接收检测组件检测的检测信息(即导轮201和金刚线202相对位置的轮廓信息),并根据接收到的检测信息生成导轮的检测结果,即控制组件根据检测信息判断金刚线202在导轮201上的位置是否有偏差,若检测出偏差,则控制硅片切割机停止运行并更换导轮201,若无偏差,则硅片切割机正常运行。
根据本实用新型实施例的导轮检测装置,可在每次切割运行前对硅片切割机上的导轮进行在线检测,以防止在切割过程中断线、跳线等事故的发生,避免造成物料的浪费,有效降低了生产成本。
在一些实施例中,如图1所示,检测组件可以包括:防尘护罩102、镭射灯105和反射光接收器103。
其中,防尘护罩102安装在硅片切割机的切割室内壁上且位于导轮201的侧上方。防尘护罩102内部形成容纳空间。
镭射灯105安装在防尘护罩102内,镭射灯105用于发出镭射光线301照射扫描导轮201以及导轮201上的金刚线202的外轮廓。
反射光接收器103安装在防尘护罩102内且位于镭射灯105上方,反射光接收器103用于接收镭射光线照射导轮201以及导轮201上的金刚线202后的反射光线。
也就是说,检测组件通过防尘护罩102安装在硅片切割机切割室内且位于导轮201的侧上方,并在防尘护罩102内安装镭射灯105,通过发出镭射光线301照射下方的导轮201并标记导轮201及导轮201上的金刚线202,而在防尘护罩102内的镭射灯105上方安装反射光接收器103(例如,可以是CMOS图像传感器),以接收反射的镭射光线301。由此,通过镭射灯105发出镭射光线301标记待检测区域,并通过反射光接收器103接收标记待检测区域后反射的镭射光线301来获取检测目标信息也即导轮201和金刚线202相对位置的轮廓是否有偏差。自动化程度高,大大提高了检测效率,且检测较为精准。
此外,防尘护罩102可起到对镭射灯105以及反射光接收器103等精密仪器的防尘保护作用,避免影响仪器运作的精确性。
在一些实施例中,反射光接收器103还包括光源(未示出),光源用于在光线较暗的环境下对导轮201及导轮201上的金刚线202进行补光。
在一些实施例中,检测组件还可以包括调节支架104,调节支架104安装在防尘护罩102内,反射光接收器103安装在调节支架104上,调节支架104用于调节和固定反射光接收器103的设置角度。
也就是说,如图1所示,在防尘护罩102内安装调节支架104,调节支架包括固定板(未示出)和连接板(未示出),固定板安装在防尘护罩102的侧壁上,连接板的一端角度可调节地连接固定板,连接板的另一端连接反射光接收器103,由此将反射光接收器103安装在调节支架104上,使得反射光接收器103设置的角度可以调节,以适用接收镭射灯105发射的镭射光线,便于检测组件的正常运行。
在一些实施例中,如图1所示,检测组件还可以包括清洁喷嘴104,清洁喷嘴104安装在防尘护罩102的顶部且伸入防尘护罩102内部,清洁喷嘴104外接压缩空气用于清洁防尘护罩102内部以及反射光接收器103。
也就是说,在防尘护罩102的顶部安装有清洁喷嘴101,清洁喷嘴101伸入防尘护罩102内部,通过清洁喷嘴101外接压缩空气以对防尘护罩102内部以及反射光接收器103的镜头进行清洁,由此保证仪器的精密性,防止粉尘干扰检测。
在一些实施例中,防尘护罩102的底部设开口(未示出),在开口上安装有防尘护板106,防尘护板106还连接有驱动部107,驱动部107驱动防尘护板106以控制防尘护罩102的开口的打开/闭合。
也就是说,在防尘护罩102的底部安装防尘护板106,在检测组件不工作时,防尘护板106处于关闭状态以防止外界的灰尘进入防尘护罩102内,当检测组件工作时,由驱动部107驱动防尘护板106打开,清洁喷嘴101向下喷出压缩气体以形成向下的正向气压,以防止检测组件在工作时,防尘护板106打开,灰尘由开口进入到防尘护罩102内影响发射光接收器103。
在一些实施例中,如图1所示,控制组件可以包括:处理器109。
其中,处理器109与镭射灯105和反射光接收器103通信连接,处理器109向镭射灯105输出检测指令并从反射光接收器103接收检测信息,然后根据检测信息生成导轮201的检测结果。
也就是说,反射光接收器103接收反射的镭射光线并传输给处理器109,处理器109进行处理后形成导轮201上的金刚线202的外轮廓的成像信息。处理器109可以对成像信息进行分析生成导轮的检测信息,判断导轮是否异常。
另外,控制组件还包括显示装置,处理器109将成像信息显示在显示装置上,此时通过观察屏幕上金刚线202与导轮201的V形槽的相对位置轮廓,从而最终判断导轮201是否处于正常状态(也即导轮201上与金刚线接触的V形槽是否有磨损),并决定是否进行停机更换维护。
在一些实施例中,控制组件还可以包括:镭射灯控制器108。
其中,镭射灯控制器108与镭射灯105和处理器109通信连接,以根据镭射光线调节指令调节镭射光线。
处理器109向镭射灯控制器108发射镭射光线调节指令。
也就是说,控制组件中设置处理器109以对镭射灯控制器108发出控制镭射光线调节指令,然后镭射灯控制器108接收到镭射光线调节指令,并根据接收到的镭射光线调节指令控制镭射灯105发出既定质量的镭射光线。
需要说明的是,上述的镭射灯105为三色可编程的镭射灯,例如,通过镭射灯控制器108可对三色基础光进行编辑,通过设定输出电压与频率,控制镭射灯105发出不同频率、密度的激光,以适用不同光线环境条件下的照射检测。
以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种导轮检测装置,用于检测硅片切割机上的导轮质量,其特征在于,包括:
检测组件,所述检测组件安装在硅片切割机的切割室内壁上且位于导轮的侧上方,所述检测组件根据接收的检测指令对所述导轮以及所述导轮上的金刚线的外轮廓进行检测并向外输出检测信息;
控制组件,所述控制组件安装在硅片切割机的切割室外,所述控制组件通信连接所述检测组件以向所述检测组件输出检测指令并从所述检测组件接收检测信息,然后根据所述检测信息生成所述导轮的检测结果。
2.根据权利要求1所述的导轮检测装置,其特征在于,所述检测组件包括:
防尘护罩,所述防尘护罩安装在硅片切割机的所述切割室内壁上且位于导轮的侧上方;
镭射灯,所述镭射灯安装在所述防尘护罩内,所述镭射灯用于发出镭射光线照射所述导轮以及所述导轮上的金刚线的外轮廓;
反射光接收器,所述反射光接收器安装在所述防尘护罩内且位于所述镭射灯上方,所述反射光接收器用于接收所述镭射光线照射所述导轮以及所述导轮上的金刚线后的反射光线。
3.根据权利要求2所述的导轮检测装置,其特征在于,所述反射光接收器还包括光源,所述光源用于在较暗的环境下对所述导轮及所述导轮上的金刚线进行补光。
4.根据权利要求2所述的导轮检测装置,其特征在于,所述检测组件还包括调节支架,所述调节支架安装在所述防尘护罩内,所述反射光接收器安装在所述调节支架上,所述调节支架用于调节和固定所述反射光接收器的设置角度。
5.根据权利要求2所述的导轮检测装置,其特征在于,所述检测组件还包括清洁喷嘴,所述清洁喷嘴安装在所述防尘护罩的顶部且伸入所述防尘护罩内部,所述清洁喷嘴外接压缩空气用于清洁所述防尘护罩内部以及所述反射光接收器。
6.根据权利要求5所述的导轮检测装置,其特征在于,所述防尘护罩的底部设开口,在所述开口上安装有防尘护板,所述防尘护板打开/闭合开口。
7.根据权利要求6所述的导轮检测装置,其特征在于,所述防尘护板还连接有驱动部,所述驱动部驱动所述防尘护板打开/闭合所述开口。
8.根据权利要求7所述的导轮检测装置,其特征在于,所述驱动部为气缸或油缸。
9.根据权利要求2所述的导轮检测装置,其特征在于,所述控制组件包括:
处理器,所述处理器与所述镭射灯和所述反射光接收器通信连接,所述处理器向所述镭射灯输出检测指令并从所述反射光接收器接收检测信息,然后根据检测信息生成所述导轮的检测结果。
10.根据权利要求9所述的导轮检测装置,其特征在于,所述控制组件还包括:
镭射灯控制器,所述镭射灯控制器与所述镭射灯和所述处理器通信连接,以根据镭射光线调节指令调节镭射光线,
所述处理器向所述镭射灯控制器发射镭射光线调节指令。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223198224.7U CN218847146U (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种导轮检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202223198224.7U CN218847146U (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种导轮检测装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN218847146U true CN218847146U (zh) | 2023-04-11 |
Family
ID=87282949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202223198224.7U Active CN218847146U (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种导轮检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN218847146U (zh) |
-
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