CN218840558U - 一种电子级硫酸储罐氮封系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于电子级硫酸储罐技术领域，尤其是涉及一种电子级硫酸储罐氮封系统，具体包括：电子级硫酸罐，所述电子级硫酸罐的顶部中间设有进料法兰，所述电子级硫酸罐底部中间设有出料法兰，在所述电子级硫酸罐的顶部两端分别设有进气口和出气口，在所述进气口和所述出气口之间等距设有多个压力传感器，所述进气口连接氮气进气管，所述出气口连接排气管，所述排气管上还连接气体收集罐，所述气体收集罐通过管道连接接触室。本实用新型的优点在于：可将电子级硫酸罐排出的气体回收利用，及环保又降低产品损耗，一举多得；通过在电子级硫酸罐上设置多个压力传感器，并与出液泵联锁，实现对产品的完全氮封和储罐的安全使用，有效避免瘪罐的问题。

Description

一种电子级硫酸储罐氮封系统

技术领域

本实用新型属于电子级硫酸储罐技术领域，尤其是涉及一种电子级硫酸储罐氮封系统。

背景技术

电子级硫酸又称超纯硫酸，目前广泛应用于集成电路制作工艺，主要用于硅晶片的清洗、光刻等，可有效的去处残留在硅晶片上的有机污染物。

现有技术中，专利申请号：202110000684.5，公布了一种电子级硫酸的生产方法，在该文件的背景技术中，披露了电子级硫酸的生产工艺，通过将硫铁矿和硫磺等物质经过沸腾炉焙烧，焙烧后的炉气含有二氧化硫、氧气、氮气、砷、硒、尘土等，将炉气除尘净化、干燥后进入接触室催化，催化后的气体主要是三氧化硫、二氧化硫、氧气、氮气等，将三氧化硫吸收，其他气体再次进入接触室二次催化、然后二次吸收；然后使用蒸发器蒸馏纯化，纯化后吸收脱气后，过滤得到电子级硫酸产品。

在实际生产操作时，为保证电子级硫酸的纯度，往往在一次催化后的气体吸收后，还要进行二到四次的催化、吸收，工艺时长较长，得到的产品纯度也较高。在得到超高纯的电子级硫酸产品后，为了保持电子级硫酸的纯度，使其不与空气接触，现有技术常规方法是储罐氮封。

专利申请号：202020572639.8，公布了一种电子级硫酸成品储槽氮封装置，在该文件的背景技术中，披露了储罐氮封的现有技术为：当储罐进液阀开启，向罐内添加物料时，液面上升，气相部分容积减小，压力升高，当罐内压力升至高于泄氮阀压力设定值时，泄氮阀打开，向外界释放氮气，使罐内压力下降，降至泄氮阀压力设定点时，自动关闭。

由此产生的技术问题是：1、电子级硫酸储罐在储存产品时，会生产酸雾，其中还包括三氧化硫、二氧化硫等气体，当电子级硫酸罐压力升高时，仅打开泄氮阀降低压力，会导致储罐内的硫酸雾等气体也随之排出，不仅污染空气，对生产而言也造成浪费；2、电子级硫酸罐在使用一段时间后，随着电子级硫酸储罐中的产品减少，压力有变动时，若没有及时补充氮气，储罐会出现因压力不足的瘪罐情况，从而损坏罐体。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种电子级硫酸储罐氮封系统。

本实用新型的技术方案是：包括电子级硫酸罐，所述电子级硫酸罐的顶部中间设有进料法兰，所述电子级硫酸罐底部中间设有出料法兰，在所述电子级硫酸罐的顶部两端分别设有进气口和出气口，在所述进气口和所述出气口之间等距设有多个压力传感器，所述进气口连接氮气进气管，所述出气口连接排气管，所述排气管上还连接气体收集罐，所述气体收集罐通过管道连接接触室，可将电子级硫酸罐排出的气体回收利用。

进一步，为保证电子级硫酸罐的压力平衡，在氮气进氮管上设有氮气自动阀，在排气管上设有排气自动阀，通过压力传感器测得的压力高于设定值时，打开排气自动阀，实现自动排气，使得电子级硫酸罐的压力下降；当压力传感器测得压力低于设定值时，打开氮气自动阀，实现自动进气，使得电子级硫酸罐压力上升。

进一步，为保证测量电子级硫酸罐的压力精准，在所述进气口和所述出气口之间等距设有4个压力传感器，所述压力传感器连接电控柜，所述电控柜与所述氮气自动阀和所述排气自动阀通过电连接。

进一步，所述出料法兰通过管道连接出料泵，为保证电子级硫酸罐的压力，所述压力传感器通过控制柜与出料泵联锁。

进一步，为防止进气管内进入硫酸雾从而被腐蚀，在所述进气口处设置单向阀，所述单向阀口朝向进气管一侧，所述单向阀采用与电子级硫酸罐内衬相同的聚四氟乙烯材质，单向阀通过热熔的方式与进气口连接。

本实用新型的有益效果为：通过在排气管上设置气体收集罐，当电子级硫酸罐进行排气时，气体通过管道进入到气体收集罐，当气体收集罐内气体收集满后，通过管道进入到生产电子级硫酸的接触室进行催化，将气体收集罐内的三氧化硫、二氧化硫气体回收用于生产硫酸产品，避免了气体直接排放带来的空气污染，也避免了生产上的成本浪费。

通过出料泵与压力传感器联锁设置，当氮气自动阀损坏或发生故障时，压力传感器测量到压力过小无法实现补充气体，出料泵自动停止工作，保证电子级硫酸罐的使用安全，避免出现因压力过小导致瘪罐的情况。

电子级硫酸罐在顶部的进气口和出气口之间设置多个等距的压力传感器，当电子硫酸罐进行补气时，局部压力较大，若此时压力传感器显示到设定数值后，停止补充氮气，易导致电子级硫酸产品没有完全氮封，通过对电子硫酸罐的不同部位测量压力，可精确的测量出储罐的内部压力，避免电子级硫酸罐氮封不完全的情况。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图

图中：

1、进料法兰 2、出料法兰 3、氮气自动阀

4、排气自动阀 5、压力传感器

具体实施方式

一种电子级硫酸储罐氮封系统，包括电子级硫酸罐，电子级硫酸罐的顶部中间设有进料法兰1，电子级硫酸罐底部中间设有出料法兰2，在电子级硫酸罐的顶部两端分别设有进气口和出气口，在进气口和所述出气口之间等距设有四个压力传感器5，进气口连接氮气进气管，在氮气进氮管上设有氮气自动阀3；出气口连接排气管，在排气管上还排气自动阀4,在排气管上还连接气体收集罐，气体收集罐通过管道和废气阀连接接触室，可将电子级硫酸罐排出的气体回收利用。

进一步，四个压力传感器5、氮气自动阀3及排气自动阀4均分别连接电控柜，电控柜对压力传感器设定最高压力及最低压力值，当四个压力传感器均显示达到最高值时，打开排气自动阀4，排出气体降低压力；当四个压力传感器5均显示达到最低值时，打开氮气自动阀3补充氮气，使得电子级硫酸罐的压力升高，将电子级硫酸产品完全氮封。

进一步，出料法兰2通过管道连接出料泵，压力传感器5通过控制柜与出料泵联锁，当电子级硫酸罐进行出料时，遇到氮气自动阀3损坏或故障时，可通过压力传感器5检测到不能及时补充氮气的情况后，关闭出料泵，保证电子级硫酸罐的使用安全。

进一步，在进气口处设置单向阀，单向阀口朝向进气管一侧，单向阀采用与电子级硫酸罐内衬相同的聚四氟乙烯材质，单向阀通过热熔的方式与进气口连接；当电子级硫酸产品经过一段时间的储存后，储罐内会产生一定的硫酸雾，通过单向阀的设置可有效避免硫酸雾进入氮气进气管内，对进气管造成腐蚀。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (5)

1.一种电子级硫酸储罐氮封系统，其特征在于：包括电子级硫酸罐，所述电子级硫酸罐的顶部中间设有进料法兰，所述电子级硫酸罐底部中间设有出料法兰，在所述电子级硫酸罐的顶部两端分别设有进气口和出气口，在所述进气口和所述出气口之间等距设有多个压力传感器，所述进气口连接氮气进气管，所述出气口连接排气管，所述排气管上还连接气体收集罐，所述气体收集罐通过管道连接接触室。

2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸储罐氮封系统，其特征在于：在氮气进氮管上设有氮气自动阀，在排气管上设有排气自动阀。

3.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸储罐氮封系统，其特征在于：在所述进气口和所述出气口之间等距设有4个压力传感器，所述压力传感器连接电控柜，所述电控柜与所述氮气自动阀和所述排气自动阀通过电连接。

4.根据权利要求3所述的一种电子级硫酸储罐氮封系统，其特征在于：所述出料法兰通过管道连接出料泵，所述压力传感器通过控制柜与出料泵联锁。

5.根据权利要求3所述的一种电子级硫酸储罐氮封系统，其特征在于：在所述进气口处设置单向阀，所述单向阀口朝向进气管一侧，所述单向阀采用与电子级硫酸罐内衬相同的聚四氟乙烯材质，单向阀通过热熔的方式与进气口连接。

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