CN218836507U - 用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台 - Google Patents

用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台 Download PDF

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CN218836507U CN202222080771.9U CN202222080771U CN218836507U CN 218836507 U CN218836507 U CN 218836507U CN 202222080771 U CN202222080771 U CN 202222080771U CN 218836507 U CN218836507 U CN 218836507U
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刘蔚谕
黎万烙
李梓莹
陈宏铎
龚华溢
陈华欣
杨源达
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    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

本申请提供了一种用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，包括：平台；第一基座；驱动结构，连接于第一基座和平台，驱动结构用于驱动平台相对于第一基座沿第一方向运动和沿第二方向运动和沿第三方向运动；柔性铰链，设置于驱动结构和第一基座之间；检测结构，用于获取平台相对于第一基座的位置信息；控制结构，连接于检测结构和驱动结构，用于接收位置信息，并依据位置信息控制驱动结构驱动平台相对于第一基座运动；其中，第一方向、第二方向以及第三方向之间两两垂直。将待加工件放置于平台上，可以对该待加工件在三维空间内进行微位移，配合激光抛光的装置中对激光调节的结构，可以有效提高激光抛光的精确度。

Description

用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台
技术领域
本申请属于机械加工技术领域，更具体地说，是涉及一种用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台。
背景技术
利用激光对金属材质进行加工，激光在金属表面照射之后，会使金属表面凸出的部分融化，融化之后的金属液体会填充于金属表面凹陷的部分，从而实现对金属表面的抛光，由于融化的金属会自动实现抛光，因此在利用激光对金属进行抛光所需要的精确度较低；但是对于陶瓷等硬脆材料进行抛光，则需要利用激光对陶瓷等硬脆材料中凸出的部分进行精确去除，因此对于陶瓷等硬脆材料进行抛光需要更高的精度。相关技术中通常是通过控制激光发射器来控制激光照射于待加工件的位置，由于激光和待加工件之间具有一定距离，因此这种控制方式会存在较大的误差，对陶瓷等硬脆材料进行加工需要一种精度更高的激光抛光设备。
实用新型内容
本申请实施例的目的在于提供一种用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，以解决现有技术中存在的激光抛光设备的精度不足的技术问题。
为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：
提供一种用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，包括：
平台；
第一基座；
驱动结构，连接于所述第一基座和所述平台，所述驱动结构用于驱动所述平台相对于所述第一基座沿第一方向运动和沿第二方向运动和沿第三方向运动；
柔性铰链，设置于所述驱动结构和所述第一基座之间；
检测结构，用于获取所述平台相对于所述第一基座的位置信息；
控制结构，连接于所述检测结构和所述驱动结构，用于接收所述位置信息，并依据所述位置信息控制所述驱动结构驱动所述平台相对于所述第一基座运动；
其中，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间两两垂直。
在一个实施例中，
所述驱动结构包括：第一压电陶瓷驱动器、第二压电陶瓷驱动器以及第三压电陶瓷驱动器；
所述柔性铰链包括：第一柔性铰链、第二柔性铰链以及第三柔性铰链；
所述第一压电陶瓷驱动器连接于所述第一柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第一柔性铰链沿所述第一方向运动；
所述第二压电陶瓷驱动器连接于所述第二柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第二柔性铰链沿所述第二方向运动；
所述第三压电陶瓷驱动器连接于所述第三柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第三柔性铰链沿所述第三方向运动。
在一个实施例中，
所述第一柔性铰链在所述第一方向上的刚性远大于所述第一柔性铰链在除第一方向上的其他方向上的刚性；
所述第二柔性铰链在所述第二方向上的刚性远大于所述第二柔性铰链在除第二方向上的其他方向上的刚性；
所述第三柔性铰链在所述第三方向上的刚性远大于所述第三柔性铰链在除第三方向上的其他方向上的刚性。
在一个实施例中，所述检测结构包括：
第一电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第一方向上的第一位置信息；
第二电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第二方向上的第二位置信息；
第三电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第三方向上的第三位置信息。
在一个实施例中，
所述控制结构连接于所述第一电容传感器和所述第一压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第一位置信息，并依据所述第一位置信息控制所述第一压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第一方向运动；
所述控制结构连接于所述第二电容传感器和所述第二压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第二位置信息，并依据所述第二位置信息控制所述第二压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第二方向运动；
所述控制结构连接于所述第三电容传感器和所述第三压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第三位置信息，并依据所述第三位置信息控制所述第三压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第三方向运动。
在一个实施例中，还包括：
第二基座；
第一转动组件，连接于所述第一基座和所述第二基座，用于控制所述第一基座相对于所述第二基座绕所述第一方向转动。
在一个实施例中，所述第一转动组件包括：
第一驱动电机，安装于所述第二基座；
第一减速器，传动连接于所述第一驱动电机的输出轴和所述第二基座，用于在所述第一驱动电机的带动下转动并带动所述第二基座转动。
在一个实施例中，还包括：
第三基座；
第二转动组件，连接于所述第二基座和所述第三基座，用于控制所述第二基座相对于所述第三基座绕所述第二方向转动。
在一个实施例中，所述第二转动组件包括：
第二驱动电机，安装于所述第三基座；
第二减速器，传动连接于所述第二驱动电机的输出轴和所述第二基座，用于在所述第二驱动电机的带动下转动并带动所述第二基座转动。
在一个实施例中，还包括：
夹具，安装于所述平台，用于夹持于待加工件。
本申请提供的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台的有益效果在于：
该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台包括：平台、第一基座、驱动结构、柔性铰链、检测结构以及控制结构；平台用于承载待加工件；驱动结构连接于第一基座和平台，驱动结构用于驱动平台相对于第一基座沿第一方向、第二方向以及第三方向运动；柔性铰链设置于驱动结构和第一基座之间，利用柔性铰链可以使驱动结构可以在一定的距离范围内驱动平台运动，使平台可以在三个自由度上均可以活动；并且利用检测结构可以获取平台相对于第一基座的位置信息，控制结构利用该位置信息控制驱动结构驱动平台运动，以达到控制平台相对于第一基座位置的目的。
在对待加工件进行激光抛光的过程中，可以将待加工件放置于该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台的平台上，从而可以对该待加工件在三维空间内进行微位移，配合激光抛光的装置中对于激光调节的结构，从而有效提高激光抛光的精确度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台在第一视角下的剖面图；
图2为本申请实施例提供的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台在第二视角下的剖面图。
其中，图中各附图标记：
100、用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台；110、平台；120、第一基座；131、第一压电陶瓷驱动器；132、第二压电陶瓷驱动器；133、第三压电陶瓷驱动器；141、第一柔性铰链；142、第二柔性铰链；143、第三柔性铰链；151、第一电容传感器；152、第二电容传感器；153、第三电容传感器；160、夹具。
具体实施方式
为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
现对本申请实施例提供的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台及激光抛光设备进行说明。
如图1和图2所示，该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100包括：平台110、第一基座120、驱动结构、检测结构以及控制结构。
平台110用于承载待加工件，具体的，该平台110可以开设有通孔，该通孔可以为连接于待加工件的连接孔。利用该平台110，可以为待加工件提供支撑，使待加工件的位置和平台110之间保持固定。
驱动结构连接于第一基座120和平台110，驱动结构用于驱动平台110相对于第一基座120沿第一方向运动和沿第二方向运动和沿第三方向运动，其中，第一方向、第二方向以及第三方向两两垂直。即驱动结构可以驱动平台110相对于第一基座120在三个自由度上进行运动，使平台110在一定的空间范围内活动。
柔性铰链设置于驱动结构和第一基座120之间。具体的，柔性铰链为可以在一定的方向上保持较高的刚度，在其他的方向上保持较低的刚度。利用柔性铰链可以使平台110相对于第一基座120在一定的范围内活动，防止出现因为驱动结构和平台110之间刚性连接而产生的活动范围受限的问题。
检测结构用于获取平台110相对于第一基座120的位置信息。具体的，检测结构可以通过获取平台110相对于第一基座120在不同方向上的距离信息，来得到平台110相对于第一基座120的位置信息。
控制结构连接于检测结构和驱动结构，控制结构用于接收位置信息，并依据该位置信息控制驱动结构驱动平台110相对于第一基座120运动。具体的，控制结构可以通过导线以电信号的方式连接于检测结构和驱动结构，也可以通过无线电以无线通讯的方式连接于检测结构和驱动结构，以实现不同结构之间的信号传递。具体的，该控制结构可以为控制电路或单片机。
该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100包括：平台110、第一基座120、驱动结构、柔性铰链、检测结构以及控制结构；平台110用于承载待加工件；驱动结构连接于第一基座120和平台110，驱动结构用于驱动平台110相对于第一基座120沿第一方向、第二方向以及第三方向运动；柔性铰链设置于驱动结构和第一基座120之间，利用柔性铰链可以使驱动结构可以在一定的距离范围内驱动平台110运动，使平台110可以在三个自由度上均可以活动；并且利用检测结构可以获取平台110相对于第一基座120的位置信息，控制结构利用该位置信息控制驱动结构驱动平台110运动，以达到控制平台110相对于第一基座120位置的目的。
在对待加工件进行激光抛光的过程中，可以将待加工件放置于该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100的平台110上，从而可以对该待加工件在三维空间内进行微位移，配合激光抛光的装置中对于激光调节的结构，从而有效提高激光抛光的精确度。
在本申请的一些实施例中，该驱动结构可以包括：第一压电陶瓷驱动器131、第二压电陶瓷驱动器132以及第三压电陶瓷驱动器133。该柔性铰链可以包括：第一柔性铰链141、第二柔性铰链142以及第三柔性铰链143。
其中，第一压电陶瓷驱动器131连接于第一柔性铰链141和平台110之间，第一压电陶瓷驱动器131用于驱动平台110相对于第一柔性铰链141沿第一方向运动。具体的，第一压电陶瓷驱动器131可以固定连接于第一柔性铰链141，并且第一压电陶瓷驱动器131的驱动方向为第一方向，第一柔性铰链141的延伸方向也可以为第一方向，以使第一压电陶瓷驱动器131可以准确地将运动通过第一柔性铰链141沿第一方向传递至平台110上。控制器连接于第一压电陶瓷驱动器131，用于在接收到位置信息之后，根据该位置信息控制第一压电陶瓷驱动器131驱动平台110在第一方向上运动。
其中，第二压电陶瓷驱动器132连接于第二柔性铰链142和平台110之间，第二压电陶瓷驱动器132用于驱动平台110相对于第二柔性铰链142沿第二方向运动。具体的，第二压电陶瓷驱动器132可以固定连接于第二柔性铰链142，并且第二压电陶瓷驱动器132的驱动方向为第二方向，第二柔性铰链142的延伸方向也可以为第二方向，以使第二压电陶瓷驱动器132可以准确地将运动通过第二柔性铰链142沿第二方向传递至平台110上。控制器连接于第二压电陶瓷驱动器132，用于在接收到位置信息之后，根据该位置信息控制第二压电陶瓷驱动器132驱动平台110在第二方向上运动。
其中，第三压电陶瓷驱动器133连接于第三柔性铰链143和平台110之间，第三压电陶瓷驱动器133用于驱动平台110相对于第三柔性铰链143沿第三方向运动。具体的，第三压电陶瓷驱动器133可以固定连接于第三柔性铰链143，并且第三压电陶瓷驱动器133的驱动方向为第三方向，第三柔性铰链143的延伸方向也可以为第三方向，以使第三压电陶瓷驱动器133可以准确地将运动通过第三柔性铰链143沿第三方向传递至平台110上。控制器连接于第三压电陶瓷驱动器133，用于在接收到位置信息之后，根据该位置信息控制第三压电陶瓷驱动器133驱动平台110在第三方向上运动。
由于压电陶瓷驱动器具有驱动精度高的特点，利用三个压电陶瓷驱动器分别由三个方向驱动平台110，可以使平台110相对于第一基座120在三个方向上的运动均具有很高的精确度。
在本申请的一些实施例中，第一柔性铰链141在第一方向上的刚性远大于第一柔性铰链141在除第一方向上的其他方向上的刚性。利用第一柔性铰链141的该性质，可以使第一压电陶瓷驱动器131在第一方向上的驱动精度更高，使控制结构更容易控制第一压电陶瓷驱动器131在第一方向上运动。
在本申请的一些实施例中，第二柔性铰链142在第二方向上的刚性远大于第二柔性铰链142在除第二方向上的其他方向上的刚性。利用第二柔性铰链142的该性质，可以使第二压电陶瓷驱动器132在第二方向上的驱动精度更高，使控制结构更容易控制第二压电陶瓷驱动器132在第二方向上运动。
在本申请的一些实施例中，第三柔性铰链143在第三方向上的刚性远大于第三柔性铰链143在除第三方向上的其他方向上的刚性。利用第三柔性铰链143的该性质，可以使第三压电陶瓷驱动器133在第三方向上的驱动精度更高，使控制结构更容易控制第三压电陶瓷驱动器133在第三方向上运动。
在本申请的一些实施例中，检测结构包括：第一电容传感器151、第二电容传感器152以及第三电容传感器153。
第一电容传感器151连接与第一基座120和平台110之间，第一电容传感器151用于获取平台110相对于第一基座120在第一方向上的位置信息。具体的，第一电容传感器151中的一个金属片可以固定安装于第一基座120上，第一电容传感器151中的另一个金属片可以固定安装于平台110上，并且两个金属片在第一方向上相对设置，通过获取第一电容传感器151中的电压信息，即可获取两个金属片在第一方向上的位置信息，进而可以获取平台110相对于第一基座120在第一方向上的位置信息，该位置信息即为第一位置信息。控制结构连接于第一电容传感器151，控制结构用于接收第一电容传感器151获取的第一位置信息，并根据该第一位置信息控制第一压电陶瓷驱动器131驱动平台110相对于第一基座120沿第一方向运动。
第二电容传感器152连接与第一基座120和平台110之间，第二电容传感器152用于获取平台110相对于第一基座120在第二方向上的位置信息。具体的，第二电容传感器152中的一个金属片可以固定安装于第一基座120上，第二电容传感器152中的另一个金属片可以固定安装于平台110上，并且两个金属片在第二方向上相对设置，通过获取第二电容传感器152中的电压信息，即可获取两个金属片在第二方向上的位置信息，进而可以获取平台110相对于第一基座120在第二方向上的位置信息，该位置信息即为第二位置信息。控制结构连接于第二电容传感器152，控制结构用于接收第二电容传感器152获取的第二位置信息，并根据该第二位置信息控制第二压电陶瓷驱动器132驱动平台110相对于第一基座120沿第二方向运动。
第三电容传感器153连接与第一基座120和平台110之间，第三电容传感器153用于获取平台110相对于第一基座120在第三方向上的位置信息。具体的，第三电容传感器153中的一个金属片可以固定安装于第一基座120上，第三电容传感器153中的另一个金属片可以固定安装于平台110上，并且两个金属片在第三方向上相对设置，通过获取第三电容传感器153中的电压信息，即可获取两个金属片在第三方向上的位置信息，进而可以获取平台110相对于第一基座120在第三方向上的位置信息，该位置信息即为第三位置信息。控制结构连接于第三电容传感器153，控制结构用于接收第三电容传感器153获取的第三位置信息，并根据该第三位置信息控制第三压电陶瓷驱动器133驱动平台110相对于第一基座120沿第三方向运动。
由于电容传感器在检测距离的方面具有检测精度高的特点，因此利用三个电容传感器可以精确获取平台110相对于第一基座120在三个方向上的位置关系。
在本申请的一些实施例中，该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100还包括：第二基座和第一转动组件。
第一转动组件连接于第一基座120和第二基座之间，第一转动组件用于控制第一基座120相对于第二基座绕第一方向转动。利用第一转动组件，可以实现第一基座120的转动，进而可以使平台110绕第一方向转动，进一步提高对平台110所处位置的控制的灵活性，以便于更好地配合激光进行抛光。
在本申请的一些实施例中，第一转动组件可以包括：第一驱动电机和第一减速器。
第一驱动电机安装于第二基座，第一驱动电机传动连接于第一减速器，第一驱动电机用于驱动第一减速器转动。具体的，第一驱动电机可以为步进电机，由于步进电机具有转动角度控制精确的特点，利用步进电机可以准确地驱动第一减速器转动至预设的角度。
第一减速器传动连接于第二基座，第一减速器用于在第一驱动电机的带动下转动并驱动第二基座转动。利用第一减速器可以增加第一驱动电机输出的扭矩，便于驱动第一基座120转动。
在本申请的一些实施例中，该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100还包括：第三基座和第一转动组件。
第一转动组件连接于第二基座和第三基座之间，第一转动组件用于控制第二基座相对于第三基座绕第二方向转动。利用第一转动组件，可以实现第二基座的转动，进而可以使平台110绕第二方向转动，进一步提高对平台110所处位置的控制的灵活性，以便于更好地配合激光进行抛光。
在本申请的一些实施例中，第一转动组件可以包括：第二驱动电机和第二减速器。
第二驱动电机安装于第三基座，第二驱动电机传动连接于第二减速器，第二驱动电机用于驱动第二减速器转动。具体的，第二驱动电机可以为步进电机，由于步进电机具有转动角度控制精确的特点，利用步进电机可以准确地驱动第二减速器转动至预设的角度。
第二减速器传动连接于第三基座，第二减速器用于在第二驱动电机的带动下转动并驱动第三基座转动。利用第二减速器可以增加第二驱动电机输出的扭矩，便于驱动第二基座转动。
在本申请的一些实施例中，该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台100还包括：夹具。
夹具160安装于平台110上。具体的，夹具160可以安装于平台110上的通孔内，利用该通孔，可以使夹具160固定安装于平台110上。该夹具160用于夹持于待加工件，以固定待加工件的位置。具体的，该待加工件可以为陶瓷。
本申请的实施例还提供了一种激光抛光设备，该激光抛光设备包括上述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台和用于控制激光角度和位置的激光控制结构，利用该用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台和激光控制结构共同配合，可以有效提高激光照射于待加工件的位置精度，有效提高激光抛光对于硬脆材料的抛光效果。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，包括：
平台；
第一基座；
驱动结构，连接于所述第一基座和所述平台，所述驱动结构用于驱动所述平台相对于所述第一基座沿第一方向运动和沿第二方向运动和沿第三方向运动；
柔性铰链，设置于所述驱动结构和所述第一基座之间；
检测结构，用于获取所述平台相对于所述第一基座的位置信息；
控制结构，连接于所述检测结构和所述驱动结构，用于接收所述位置信息，并依据所述位置信息控制所述驱动结构驱动所述平台相对于所述第一基座运动；
其中，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间两两垂直。
2.如权利要求1所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，
所述驱动结构包括：第一压电陶瓷驱动器、第二压电陶瓷驱动器以及第三压电陶瓷驱动器；
所述柔性铰链包括：第一柔性铰链、第二柔性铰链以及第三柔性铰链；
所述第一压电陶瓷驱动器连接于所述第一柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第一柔性铰链沿所述第一方向运动；
所述第二压电陶瓷驱动器连接于所述第二柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第二柔性铰链沿所述第二方向运动；
所述第三压电陶瓷驱动器连接于所述第三柔性铰链和所述平台，用于驱动所述平台相对于所述第三柔性铰链沿所述第三方向运动。
3.如权利要求2所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，所述检测结构包括：
第一电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第一方向上的第一位置信息；
第二电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第二方向上的第二位置信息；
第三电容传感器，连接于所述第一基座和所述平台，用于获取所述平台相对于所述第一基座在所述第三方向上的第三位置信息。
4.如权利要求3所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，
所述控制结构连接于所述第一电容传感器和所述第一压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第一位置信息，并依据所述第一位置信息控制所述第一压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第一方向运动；
所述控制结构连接于所述第二电容传感器和所述第二压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第二位置信息，并依据所述第二位置信息控制所述第二压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第二方向运动；
所述控制结构连接于所述第三电容传感器和所述第三压电陶瓷驱动器；所述控制结构用于接收所述第三位置信息，并依据所述第三位置信息控制所述第三压电陶瓷驱动器驱动所述平台相对于所述第一基座沿第三方向运动。
5.如权利要求1所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，还包括：
第二基座；
第一转动组件，连接于所述第一基座和所述第二基座，用于控制所述第一基座相对于所述第二基座绕所述第一方向转动。
6.如权利要求5所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，所述第一转动组件包括：
第一驱动电机，安装于所述第二基座；
第一减速器，传动连接于所述第一驱动电机的输出轴和所述第二基座，用于在所述第一驱动电机的带动下转动并带动所述第二基座转动。
7.如权利要求5所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，还包括：
第三基座；
第二转动组件，连接于所述第二基座和所述第三基座，用于控制所述第二基座相对于所述第三基座绕所述第二方向转动。
8.如权利要求7所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，所述第二转动组件包括：
第二驱动电机，安装于所述第三基座；
第二减速器，传动连接于所述第二驱动电机的输出轴和所述第二基座，用于在所述第二驱动电机的带动下转动并带动所述第二基座转动。
9.如权利要求1所述的用于高硬脆材料激光超精密抛光的纳米微位移工作台，其特征在于，还包括：
夹具，安装于所述平台，用于夹持于待加工件。
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