CN218812218U - 一种简易高效的拉晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种简易高效的拉晶炉，包括机架、设于机架上部的安装模块、设于安装模块下方的加热机构及设于拉晶炉主体中的驱动机构，安装模块包括若干个安装工位，通过安装工位固定玻璃管，加热机构包括移动板，移动板设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔，所述安装工位与所述加热孔一一对应，移动板内部设有靠近加热孔的加热元件，移动板通过驱动机构相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过加热孔，并通过加热元件对玻璃管中的材料进行加热。多个所述安装工位可安装多个装有待加热材料的玻璃管，内设有加热元件的移动板通过驱动机构向上移动并对玻璃管进行逐层加热，令待加工材料均匀受热熔化，从而提升待加工材料的加热效率和加热质量。

Description

一种简易高效的拉晶炉

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备的技术领域，尤其涉及一种简易高效的拉晶炉。

背景技术

拉晶炉常用于加工半导体材料，将半导体原料的分子在高温下进行排列整齐，该过程为拉晶，拉晶制造出晶棒，进而将晶棒切割成为晶粒，便于人们使用。拉晶的质量和效率受加热温度、加热速度、冷却速度等因素影响较大，现有的拉晶炉中一般对装有待加工材料的容器采取两端固定方式，中间设置有可移动的加热盘和冷却盘对容器内的材料进行加工，但是这种两端固定的固定方式在生产过程中拆装不方便，而且一次加工数量少，导致加热效率低下。

本实用新型即是针对现有技术的不足而研究提出。

实用新型内容

针对上述提到的现有的拉晶炉中一般对装有待加工材料的容器采取两端固定方式，中间设置有可移动的加热盘和冷却盘对容器内的材料进行加工，这种两端固定的固定方式在生产过程中拆装不方便，而且一次加工数量少，导致加热效率低下的问题。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：

一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架、设于机架上部的安装模块、设于所述安装模块下方的加热机构及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构，所述安装模块包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构包括移动板，所述移动板设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔，所述安装工位与所述加热孔一一对应，所述移动板内部设有靠近加热孔的加热元件，所述移动板通过驱动机构相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述安装模块包括安装在机架上部的承托板及若干个设于承托板上部的调节机构，所述承托板的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔且定位孔与所述加热孔同轴，各所述调节机构分别安装在定位孔上部，所述调节机构包括设于所述定位孔上方的固定块及与固定块连接的调节件，所述固定块用于将玻璃管固定在定位孔处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔，所述固定块通过调节件安装在承托板上，通过调节所述调节件来调节固定块底面与承托板顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔的中轴线重合。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块设有与定位孔同轴的插接孔，玻璃管插接在所述插接孔中。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块还设有若干个位于所述插接孔外围并对称分布的连接孔，通过所述调节件与连接孔连接使所述固定块安装在承托板上。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述连接孔设有内螺纹，所述调节件与连接孔通过螺纹连接。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述固定块内侧设有环形垫片，所述环形垫片的内孔形成所述插接孔。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述调节件的高度大于所述固定块的高度。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述驱动机构包括设于所述移动板下部的驱动电机、与驱动电机连接的丝杆及固定安装在移动板上并与丝杆啮合的丝杆螺母，所述移动板设有通孔以供所述丝杆穿过，所述驱动电机驱动丝杆转动并通过所述丝杆螺母带动所述移动板上下移动，从而使所述加热元件对玻璃管内的材料进行加热。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述驱动机构还包括设于所述安装模块下部的导向柱，所述导向柱穿过所述移动板并固定在机架上，所述导向柱用于引导所述移动板上下移动。

由上所述的一种简易高效的拉晶炉，所述移动板上部还设有限位支架，通过所述限位支架限定所述移动板向上移动至与安装模块底部相接触的位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

所述安装模块中设有多个安装工位，多个所述安装工位可安装多个装有待加热材料的玻璃管，内设有加热元件的移动板通过驱动机构向上移动并对玻璃管进行逐层加热，令待加工材料均匀受热熔化，从而提升待加工材料的加热效率，而且所述驱动机构可使加热机构慢速上升并对待加工材料逐层加热，延长了待加工材料的受热时间，从而提升待加工材料的加热质量，进而提升拉晶的效率和质量。

下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为图1中的A部分放大图；

图3为本实用新型的承托板的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式作详细说明。

如图1—3所示，本实用新型所提供的一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，所述拉晶炉主体包括机架1、设于机架1上部的安装模块2、设于所述安装模块2下方的加热机构3及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构4，所述安装模块2包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构3包括移动板31，所述移动板31设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔32，所述安装工位与所述加热孔32一一对应，所述移动板31内部设有靠近加热孔32的加热元件，所述移动板31通过驱动机构4相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔32，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。在本实施方式中，所述安装模块2设有多个安装工位，而多个所述安装工位能够固定安装多个玻璃管，各玻璃管内均装载有待加热的固体材料，通过增加一次加热的玻璃管数量以提升待加工材料的加热效率，且所述加热机构3通过所述驱动机构4进行向上移动并对玻璃管内的待加工材料逐层加热，所述驱动机构4的移动速度可通过人工调节，以延长待加工材料的加热时间，从而提升待加工材料的加热质量，进而提升拉晶的效率和质量。

进一步的，所述安装模块2包括安装在机架1上部的承托板21及若干个设于承托板21上部的调节机构22，所述承托板21的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔211且定位孔211与所述加热孔32同轴，各所述调节机构22分别安装在定位孔211上部，所述调节机构22包括设于所述定位孔211上方的固定块221及与固定块221连接的调节件222，所述固定块221用于将玻璃管固定在定位孔211处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔211，所述固定块221通过调节件222安装在承托板21上，通过调节所述调节件222来调节固定块221底面与承托板21顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔211的中轴线重合。如图1所示，所述承托板21上设有多组位于定位孔211上方的调节机构22，通过所述固定块221对玻璃管的上部进行一端固定，便于生产工人拆装玻璃管，所述调节件222将固定块221可拆卸地安装在承托板21上，提升了玻璃管的安装效率；通过调节所述调节件222来调节固定块221底面与承托板21顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔211的中轴线重合，为下一步的加热工序奠定良好的基础，玻璃管内部真空且装有待加热的固体材料，通过拉晶炉加热处理将玻璃管内的材料加热熔化，能够有效提升材料的加热效率和质量。

进一步的，所述固定块221设有与定位孔211同轴的插接孔2211，玻璃管插接在所述插接孔2211中。在本实施方式中，所述固定块221优选为包括相对设置的两个夹持部，两所述夹持部设有相对设置的C型凹孔，两所述凹孔组合形成所述插接孔2211以与玻璃管配合，优选的是，所述固定块221还包括两个向上延伸的耳部，两所述耳部分别设在两所述夹持部顶部，两所述耳部之间通过螺丝锁紧从而使玻璃管固定，所述调节机构22的整体结构比较简单且安全，易于实现，生产成本较低。

进一步的，所述固定块221还设有若干个位于所述插接孔2211外围并对称分布的连接孔2212，通过所述调节件222与连接孔2212连接使所述固定块221安装在承托板21上。在本实施方式中，通过多个调节件222加强固定所述固定块221，使其不易松动，加强固定玻璃管，保证玻璃管加热过程中的安全性。优选的是，所述连接孔2212设有4个，对称分布在所述插接孔2211的两侧，调节时只需调节同侧的两个调节件222即可将固定块221调整到位，能够节省调整时间，从而提升玻璃管的调整效率。

进一步的，所述连接孔2212设有内螺纹，所述调节件222与连接孔2212通过螺纹连接。在本实施方式中，各所述连接孔2212均设有内螺纹，所述调节件222优选采用螺栓，能够保障生产工人的生产安全，使生产工人不易受伤，而且通过螺纹连接能够使所述固定块221不易从调节件222上滑落，以满足所述水平调节机构的工作要求，另外，螺纹连接为可拆卸连接，易于操作，螺栓容易获取，生产成本较低。

优选的，所述固定块221内侧设有环形垫片，所述环形垫片的内孔形成所述插接孔2211。所述固定块221内侧还能够设置环形垫片，以加固玻璃管，使其不易掉落，从而保障玻璃管的稳固性。

优选的，所述调节件222的高度大于所述固定块221的高度。如图2所示，在本实施方式中，所述调节件222设有相互连接的调节件顶部和杆体，其杆体设有与所述连接孔2212的内螺纹相配合的外螺纹，所述调节件222与固定块221之间通过螺纹连接固定，所述调节件222杆体的底部与承托板21的顶面抵接，通过旋转调节件222来调整固定块221在调节件222杆体的具体位置，从而调整固定块221底面与承托板2顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔211的中轴线重合，进而满足所述水平调节机构的工作要求；如图2所示，所述调节件222的高度C大于固定块221高度B，以使所述调节件222有足够的调节空间以供固定块221调整，从而满足所述水平调节机构的工作要求。

优选的，所述驱动机构4包括设于所述移动板31下部的驱动电机、与驱动电机连接的丝杆41及固定安装在移动板31上并与丝杆41啮合的丝杆螺母42，所述移动板31设有通孔以供所述丝杆41穿过，所述驱动电机驱动丝杆41转动并通过所述丝杆螺母42带动所述移动板31上下移动，从而使所述加热元件对玻璃管内的材料进行加热。在本实施方式中，所述驱动机构4采取丝杆升降的方式，结构简单，易于操作；优选的是，所述驱动机构4能够人工调整移动速度，使得所述移动板31能够慢速地向上移动，并对玻璃管内的材料逐层加热，延长了材料的加热时间，从而提升了材料的加热质量，进而提升了拉晶质量。

进一步的，所述驱动机构4还包括设于所述安装模块2下部的导向柱43，所述导向柱43穿过所述移动板31并固定在机架1上，所述导向柱43用于引导所述移动板31上下移动。在本实施方式中，所述驱动机构4还包括两根位于所述丝杆41两侧的导向柱43，两所述导向柱43均设于所述安装模块2与机架1底部之间，且两所述导向柱43穿过所述移动板31，使得所述加热机构3通过两所述导向柱43导向上下移动，增强了所述驱动机构4的结构稳定性，以保证加热过程的安全。

进一步的，所述移动板31上部还设有限位支架5，通过所述限位支架5限定所述移动板31向上移动至与安装模块2底部相接触的位置。在本实施方式中，所述加热机构3和安装模块2之间还可以设置限位支架5，所述限位支架5优选固定安装在所述移动板31上并跟随所述移动板31进行上下移动，当所述移动板31从靠近机架1底部的位置向上移动至靠近所述安装模块2时通过所述限位支架5定位，能够有效防止所述加热机构3不断向上移动而与所述安装模块2碰撞而导致损坏，从而保障所述拉晶炉主体的设备安全。

上述仅以实施例来进一步说明本实用新型的技术内容，以便于读者更容易理解，但不代表本实用新型的实施方式仅限于此，任何依本实用新型所做的技术延伸或再创造，均受本实用新型的保护。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种简易高效的拉晶炉，包括拉晶炉主体，其特征在于：所述拉晶炉主体包括机架(1)、设于机架(1)上部的安装模块(2)、设于所述安装模块(2)下方的加热机构(3)及设于所述拉晶炉主体中的驱动机构(4)，所述安装模块(2)包括若干个安装工位，通过所述安装工位固定玻璃管，所述加热机构(3)包括移动板(31)，所述移动板(31)设有若干个沿其外轮廓间隔排列分布的加热孔(32)，所述安装工位与所述加热孔(32)一一对应，所述移动板(31)内部设有靠近加热孔(32)的加热元件，所述移动板(31)通过驱动机构(4)相对玻璃管进行上下移动并使玻璃管穿过所述加热孔(32)，并通过所述加热元件对玻璃管中的材料进行加热。

2.根据权利要求1所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述安装模块(2)包括安装在机架(1)上部的承托板(21)及若干个设于承托板(21)上部的调节机构(22)，所述承托板(21)的外周上设有若干个沿其外轮廓间隔排列的定位孔(211)且定位孔(211)与所述加热孔(32)同轴，各所述调节机构(22)分别安装在定位孔(211)上部，所述调节机构(22)包括设于所述定位孔(211)上方的固定块(221)及与固定块(221)连接的调节件(222)，所述固定块(221)用于将玻璃管固定在定位孔(211)处，且玻璃管向下延伸穿过所述定位孔(211)，所述固定块(221)通过调节件(222)安装在承托板(21)上，通过调节所述调节件(222)来调节固定块(221)底面与承托板(21)顶面的间距，以使玻璃管的中轴线与定位孔(211)的中轴线重合。

3.根据权利要求2所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(221)设有与定位孔(211)同轴的插接孔(2211)，玻璃管插接在所述插接孔(2211)中。

4.根据权利要求3所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(221)还设有若干个位于所述插接孔(2211)外围并对称分布的连接孔(2212)，通过所述调节件(222)与连接孔(2212)连接使所述固定块(221)安装在承托板(21)上。

5.根据权利要求4所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述连接孔(2212)设有内螺纹，所述调节件(222)与连接孔(2212)通过螺纹连接。

6.根据权利要求3所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述固定块(221)内侧设有环形垫片，所述环形垫片的内孔形成所述插接孔(2211)。

7.根据权利要求2所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述调节件(222)的高度大于所述固定块(221)的高度。

8.根据权利要求1所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述驱动机构(4)包括设于所述移动板(31)下部的驱动电机、与驱动电机连接的丝杆(41)及固定安装在移动板(31)上并与丝杆(41)啮合的丝杆螺母(42)，所述移动板(31)设有通孔以供所述丝杆(41)穿过，所述驱动电机驱动丝杆(41)转动并通过所述丝杆螺母(42)带动所述移动板(31)上下移动，从而使所述加热元件对玻璃管内的材料进行加热。

9.根据权利要求8所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述驱动机构(4)还包括设于所述安装模块(2)下部的导向柱(43)，所述导向柱(43)穿过所述移动板(31)并固定在机架(1)上，所述导向柱(43)用于引导所述移动板(31)上下移动。

10.根据权利要求9所述的一种简易高效的拉晶炉，其特征在于：所述移动板(31)上部还设有限位支架(5)，通过所述限位支架(5)限定所述移动板(31)向上移动至与安装模块(2)底部相接触的位置。

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