CN218808006U - 一种蚀刻液混配及储存装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蚀刻液混配及储存装置，包括：控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐，送料管道设置在控制面板与储液罐之间，送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，储液罐底部设有搅拌器，控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关，送料管道的首端与其中一进/出液口相连，送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连。解决了现有蚀刻液大批量配制难的技术问题，同时本装置操作方便，控制面板上能够显示各部件的运行状态、蚀刻液的相关信息，使操作者一目了然。

Description

一种蚀刻液混配及储存装置

技术领域

本实用新型属于大型容器技术领域，尤其涉及一种蚀刻液混配及储存装置。

背景技术

在化工产业中，一般是用大型储液罐对蚀刻液进行储存，目前我国常用的大型储液罐的容量范围是30-50立方。蚀刻液是将多种酸或碱性溶液混配在一起，而形成的具有独特功能的腐蚀性溶液。在蚀刻液的大批量生产过程中，需将原料从槽车中抽出，再经液体混配器的混配管道进入液体混配器中，液体混配器将各溶液混配成蚀刻液后送入储液罐中。

中国专利文献(公开号：204056794U)公开了一种金属蚀刻液储液罐，包括：罐体，所述罐体顶部设置有开口；斜坡结构，设置于所述罐体内并位于所述开口下方；储液部，位于所述斜坡结构下方并与所述斜坡结构联通；出液口，设置于所述储液部底部；管道，连接所述储液部和所述斜坡结构上方的罐壁或者罐顶；泵，作用于所述管道，可控制的使所述储液部的液体流向所述斜坡结构上方；所述斜坡结构上设置有台阶。

现有的蚀刻液储存装置功能单一，只具备存储功能，需借助其他工具才能完成对蚀刻液的混配。使用时需架设液体混配器的管道，操作起来十分繁琐。其次，储液罐内的溶液类别无法直接从外部识别，在混配过程中，存在人为操作失误等因素，导致酸性溶液液和碱性溶液进行错误的混合，而造成产品损失。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种能够单独进行混配操作的蚀刻液混配及储存装置，且使用起来十分方便。

本实用新型解决上述技术问题所采取的技术方案：一种蚀刻液混配及储存装置，包括：控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐，送料管道设置在控制面板与储液罐之间，送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，储液罐底部设有搅拌器，控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关，送料管道的首端与其中一进/出液口相连，送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连，在靠近送料泵及储液罐的管口处的主/备用送料管道处分别设有一旋转阀，所述送料泵可以正向和反向运行。

工作原理：首先根据原料配比清单中记载的各原料的配比体积，将各原料通过送料泵抽入到储液罐中，在进入到储液罐之前，多滤芯管道过滤器会对原料进行过滤，去除原料中的颗粒杂质。待所有原料都进入到储液罐后，启动搅拌器对罐内原料进行搅拌。设置控制面板后，操作人员可以方便快捷的操控本装置，全局了解蚀刻液的混配及存储情况。

更进一步地，送料管道包括若干组并列管道，每组并列管道包括一主送料管道和一备用送料管道，主送料管道和备用送料管道并列设置，主送料管道和备用送料管道上分别设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，主送料管道和备用送料管道的首端分别与一进/出液口相连，主送料管道和备用送料管道的末端分别与一储液罐的管口相连。

有原料经过的为主送料管道，通过设置并列管道，在主送料管道出现故障时，通过控制主送料管道和备用送料管道上的阀门的开关，切换到备用管道送料进行送料，这样设置可以保证送料的可靠性。

更进一步地，每一储液罐内均设有一温度感应器和一电加热部件，控制面板上还设有一电子显示屏，以及与电加热部件数目相一致的加热开关；电加热部件与加热开关通过电路相连接，每一加热开关控制一电加热部件的启动与关闭；电子显示屏与温度传感器通过电路相连接，电子显示屏用于显示各储液罐内的温度。通过设置温度传感器，在控制面板上可以直观的了解储液罐的温度，必要时启动加热部件对储液罐内的原料进行加热，保证原料在合适的温度下进行混合，以及让蚀刻液在合适的温度下进行存储。

更进一步地，每一储液罐内还装有液位感应器，液位感应器与电子显示屏通过电路相连接。

更进一步地，送料管道包括两组并列管道，控制面板上也设有两组进/出液口，每组进/出液口为2个,其中一组并列管道和对应的一组进/出液口用于运送酸性溶液，另一组并列管道和对应的一组进/出液口用于运送碱性溶液，每一进/出液口下方设有一标签栏。标签栏可用于放置标示牌，标示牌用于记录储液罐内的蚀刻液信息，相关人员能够通过阅读标示牌了解储液罐内装的是什么蚀刻液，减少人工操作失误。

与现有技术相比，本实用新型内设有搅拌器,无须借助辅助工具即可配置蚀刻液，并且配置的蚀刻液更加均匀。同时结构十分简单，整个装置的各部件的控制开关均集中到控制面板上,通过操作控制面板即可实现蚀刻液的配制，并且操作还十分方便。控制面板上还集中有各配件的各项参数，以及标示牌，能够将各部件的运行状态、蚀刻液的相关信息可视化的展现在控制面板上，使操作者一目了然。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为控制面板的放大图。

图中，1、控制面板；2、送料管道；3、并列管道；4、储液罐；5、多滤芯管道过滤器；6、送料泵；7、搅拌器；8、旋转阀；9、送料泵开关；10、电子显示屏；11、搅拌器开关；12、标签栏；13、进/出液口。

具体实施方式

储液罐用于存储配置好的蚀刻液，使用时通过抽料泵将蚀刻液从储液罐中抽出。因为高浓度的蚀刻液具有很强的腐蚀性，出于安全性的考虑，大型储液罐常设置于厂区外。现有的大型储液罐功能十分单一，只具备一般的储存功能。

如图所示，本实用新型包括：控制面板1、用于输送蚀刻液的送料管道2以及若干储液罐4，送料管道2设置在控制面板1与储液罐4之间，送料管道2上设有一多滤芯管道过滤器5和一送料泵6，储液罐4底部设有搅拌器7，控制面板1上设有若干进/出液口13、送料泵开关9和搅拌器开关11，送料管道2的首端与其中一进/出液口13相连，送料管道2的末端与一储液罐4的管口相连,送料泵开关9和搅拌器开关11分别通过电路与送料泵6和搅拌器7相连。控制面板1可设置在厂区，送料管道2的中间部分可埋在地下或设置在厂区的连廊轨道上。多滤芯管道过滤器5能够对原料中的颗粒进行多重过滤，过滤后，能够去除直径在0.2微米以上的颗粒，从而得到适用于集成电路蚀刻的高纯试剂。

优选地，送料管道2包括若干组并列管道3，每组并列管道3包括一主送料管道和一备用送料管道，主送料管道和备用送料管道并列设置，主送料管道和备用送料管道上分别设有一多滤芯管道过滤器5和一送料泵6，主送料管道和备用送料管道的首端分别与一进/出液口13相连，主送料管道和备用送料管道的末端分别与一储液罐4的管口相连，在靠近送料泵6及储液罐4的管口处的主/备用送料管道处分别设有一旋转阀8。在抽液和混配后，及时关闭储液罐4管口处的阀门，可以防止杂质通过管口进入储液罐4内部，而污染蚀刻液。

优选地，每一储液罐4内均设有一温度感应器和一电加热部件，控制面板1上还设有一电子显示屏10，以及与电加热部件数目相一致的加热开关；电加热部件与加热开关通过电路相连接，每一加热开关控制一电加热部件的启动与关闭；电子显示屏10与温度传感器通过电路相连接，电子显示屏10用于显示各储液罐4内的温度。

优选地，每一储液罐4内还装有液位感应器，液位感应器与电子显示屏10通过电路相连接。

优选地，送料管道2包括两组并列管道3，控制面板1上也设有两组进/出液口13，每组进/出液口13为2个,其中一组并列管道3和对应的一组进/出液口13用于运送酸性溶液，另一组并列管道3和对应的一组进/出液口13用于运送碱性溶液，每一进/出液口13下方设有一标签栏12。

为了方便使用，可将左侧两进/出液口13设为酸性原料或酸性蚀刻液的进出口，右侧两进/出液口13设为碱性原料或碱性蚀刻液的进出口。或以上下为区分，将上侧两进/出液口13设为酸性原料或酸性蚀刻液的进出口，下侧两进/出液口13设为碱性原料或碱性蚀刻液的进出口。在更换储液罐4内蚀刻液的种类时，只需更换标牌就行。

本实用新型的工作过程：原料依次经进/出液口13进入送料管道2内，再经送料管道2内的多滤芯管道过滤器5过滤后，送入储液罐4内进行混配。在主送料管道出现故障时，关上主送料管道上的旋转阀8，开启备用送料管道的旋转阀8，原料便通过备用送料管道进行过滤、输送。在需要取出蚀刻液时，启动送料泵6，使其叶轮反向旋转，送料泵6对蚀刻液进行反向送料，将储液罐4内的蚀刻液抽到进/出液口13处。

Claims (5)

1.一种蚀刻液混配及储存装置，其特征在于，包括：控制面板、用于输送蚀刻液的送料管道以及若干储液罐，送料管道设置在控制面板与储液罐之间，送料管道上设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，储液罐底部设有搅拌器，控制面板上设有若干进/出液口、送料泵开关和搅拌器开关，送料管道的首端与其中一进/出液口相连，送料管道的末端与一储液罐的管口相连,送料泵开关和搅拌器开关分别通过电路与送料泵和搅拌器相连，在靠近送料泵及储液罐的管口处的主/备用送料管道处分别设有一旋转阀，所述送料泵可以正向和反向运行。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液混配及储存装置，其特征在于，送料管道包括若干组并列管道，每组并列管道包括一主送料管道和一备用送料管道，主送料管道和备用送料管道并列设置，主送料管道和备用送料管道上分别设有一多滤芯管道过滤器和一送料泵，主送料管道和备用送料管道的首端分别与一进/出液口相连，主送料管道和备用送料管道的末端分别与一储液罐的管口相连。

3.根据权利要求2所述的蚀刻液混配及储存装置，其特征在于，每一储液罐内均设有一温度感应器和一电加热部件，控制面板上还设有一电子显示屏，以及与电加热部件数目相一致的加热开关；电加热部件与加热开关通过电路相连接，每一加热开关控制一电加热部件的启动与关闭；电子显示屏与温度传感器通过电路相连接，电子显示屏用于显示各储液罐内的温度。

4.根据权利要求3所述的蚀刻液混配及储存装置，其特征在于，每一储液罐内还装有液位感应器，液位感应器与电子显示屏通过电路相连接。

5.根据权利要求2所述的蚀刻液混配及储存装置，其特征在于，所述送料管道包括两组并列管道，控制面板上也设有两组进/出液口，每组进/出液口为2个,其中一组并列管道和对应的一组进/出液口用于运送酸性溶液，另一组并列管道和对应的一组进/出液口用于运送碱性溶液，每一进/出液口下方设有一标签栏。

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