CN218769435U - 一种全自动晶圆解键合装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种全自动晶圆解键合装置，包括：机体，电动伸缩杆和移动块，所述机体连接有固定板，所述电动伸缩杆连接有固定块，所述固定块连接有夹板一，所述移动块连接有夹板二；有益效果为：首先通过液压缸将工件收缩到机体的内部，随后启动电动伸缩杆将固定块移动到工件的一旁，然后启动驱动电机带动螺丝杆进行旋转，转动的同时通过螺纹孔以及滑块和滑槽之间的作用，带动移动块前端的夹板二向夹板一处移动，移动到一定距离时，将工件进行夹持固定，并通过防滑保护垫防止在夹紧过程中对工件造成损坏，最后控制电动伸缩杆将工件通过出料口送出，以此来减少人工手动操作取出，提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种全自动晶圆解键合装置。
背景技术
晶圆键合是晶圆级的封装技术，用于制造微机电系统、纳米机电系统、微电子学和光电子学，从而确保机械稳定且密封的封装，在封装时需要对其进行夹紧，但是现有的夹紧装置存在很多问题或缺陷。
中国专利CN 216488005 U公开了一种晶圆键合加压装置，包括柜体，柜体的顶部固定安装有支撑台，支撑台上设置有设置有加压在组件以及位于加压组件下方的固定组件，加压组件由支撑架、气缸、支撑座、连接座、支撑杆、滑块、连接杆、第一弹簧和加压头组成。本实用新型通过向上拉动拉杆能够使横板带动顶杆上升，通过顶杆能够将置物台内的晶圆键合顶出，从而便于将加压后的晶圆键合取出，提高了该加压装置的实用性，在气缸推动支撑座下降的过程中，通过第一弹簧的作用力能够对加压头与晶圆键合接触时的作用力进行缓冲，能够减少接触力过大导致晶圆键合发生损坏的情况，从而能够进一步提高该加压装置的实用性。
但是，上述装置在将加工完成后的工件取出时，每次都需要操作人员手动向上提拉拉杆，才能将加工后发的工件取出，十分麻烦，并且随着时间的增加，操作人员的工作效率开始下降，从而影响产品的生产速度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种全自动晶圆解键合装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动晶圆解键合装置，所述全自动晶圆解键合装置包括：
机体，所述机体的内部上端固定连接有固定板，所述固定板上壁设有液压缸；
电动伸缩杆，固定连接在机体的后端内壁上，所述电动伸缩杆的前端设有固定块，所述固定块连接有驱动电机和螺丝杆，所述固定块的前端左侧固定连接有夹板一；
移动块，与螺丝杆相连，所述移动块的下端固定连接有滑块，所述移动块的前端设有夹板二。
优选的，所述固定板呈“L”形，所述固定板的右端上侧壁与液压缸固定连接。
优选的，所述固定块的侧壁上开设有安装槽，所述固定块在安装槽的右侧壁上开设有放置槽。
优选的，所述驱动电机的固定端固定连接在放置槽内，所述驱动电机的输出端与螺丝杆的一端固定连接。
优选的，所述移动块的左右侧壁中间开设有螺纹孔，所述螺纹孔与螺丝杆之间螺纹连接。
优选的，所述安装槽的下侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内壁与滑块的外壁之间滑动连接。
优选的，所述移动块的前端侧壁上设有夹板二，所述夹板二和夹板一的内侧壁上均固定连接有防滑保护垫。
优选的，所述机体的前端转动连接有箱门，所述箱门的前端侧壁上方开设有出料口。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
当对工件加工完成后，首先通过液压缸将工件收缩到机体的内部，随后启动电动伸缩杆将固定块移动到工件的一旁，然后启动驱动电机带动螺丝杆进行旋转，转动的同时通过螺纹孔以及滑块和滑槽之间的作用，带动移动块前端的夹板二向夹板一处移动，移动到一定距离时，将工件进行夹持固定，并通过防滑保护垫防止在夹紧过程中对工件造成损坏，最后控制电动伸缩杆将工件通过出料口送出，以便于减少人工手动操作取出，提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型机体内部结构示意图；
图3为本实用新型图2中A处结构放大示意图。
图中：1、机体；2、液压缸；3、箱门；4、出料口；5、固定板；6、夹板一；7、电动伸缩杆；8、防滑保护垫；9、螺丝杆；10、安装槽；11、移动块；12、驱动电机；13、放置槽；14、固定块；15、滑槽；16、滑块；17、螺纹孔；18、夹板二。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本发明实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，仅仅用以解释本发明实施例，并不用于限定本发明实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一：
请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种全自动晶圆解键合装置，全自动晶圆解键合装置包括：机体1，机体1的内部上端固定连接有固定板5，固定板5上壁设有液压缸2；电动伸缩杆7，固定连接在机体1的后端内壁上，电动伸缩杆7的前端设有固定块14，固定块14连接有驱动电机12和螺丝杆9，固定块14的前端左侧固定连接有夹板一6；移动块11，与螺丝杆9相连，移动块11的下端固定连接有滑块16，移动块11的前端设有夹板二18；固定板5呈“L”形，固定板5的右端上侧壁与液压缸2固定连接；机体1的前端转动连接有箱门3，箱门3的前端侧壁上方开设有出料口4。
当对工件加工完成后，首先通过液压缸2将工件收缩到机体1的内部，随后启动电动伸缩杆7将固定块14移动到工件的一旁，然后启动驱动电机12带动螺丝杆9进行旋转，转动的同时通过螺纹孔17以及滑块16和滑槽15之间的作用，带动移动块11前端的夹板二18向夹板一6处移动，移动到一定距离时，将工件进行夹持固定，并通过防滑保护垫8防止在夹紧过程中对工件造成损坏，最后控制电动伸缩杆7将工件通过出料口4送出。
实施例二：
在实施例一的基础上，为了便于对加工后的工件进行固定夹持，固定块14的侧壁上开设有安装槽10，固定块14在安装槽10的右侧壁上开设有放置槽13；驱动电机12的固定端固定连接在放置槽13内，驱动电机12的输出端与螺丝杆9的一端固定连接；移动块11的左右侧壁中间开设有螺纹孔17，螺纹孔17与螺丝杆9之间螺纹连接；移动块11的前端侧壁上设有夹板二18，夹板二18和夹板一6的内侧壁上均固定连接有防滑保护垫8。
首先通过液压缸2经工件收缩到机体1的内部，随后启动电动伸缩杆7将固定块14移动到工件的一旁，然后启动驱动电机12带动螺丝杆9进行旋转，转动的同时通过螺纹孔17以及滑块16和滑槽15之间的作用，带动移动块11前端的夹板二18向夹板一6处移动，移动到一定距离时，以便于将工件进行夹持固定。
实施例三：
在实施例一的基础上，为了防止夹板二18在移动时发生晃动，安装槽10的下侧壁开设有滑槽15，滑槽15的内壁与滑块16的外壁之间滑动连接。
通过滑块16在滑槽15内部的移动，使得螺纹杆9带动移动块11移动时更加稳定，防止出现晃动造成对工件的损伤。
实际使用时，当对工件加工完成后，首先通过液压缸2经工件收缩到机体1的内部，随后启动电动伸缩杆7将固定块14移动到工件的一旁，然后启动驱动电机12带动螺丝杆9进行旋转，转动的同时通过螺纹孔17以及滑块16和滑槽15之间的作用，带动移动块11前端的夹板二18向夹板一6处移动，移动到一定距离时，将工件进行夹持固定，并通过防滑保护垫8防止在夹紧过程中对工件造成损坏，最后控制电动伸缩杆7将工件通过出料口4送出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述全自动晶圆解键合装置包括：
机体(1)，所述机体(1)的内部上端固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)上壁设有液压缸(2)；
电动伸缩杆(7)，固定连接在机体(1)的后端内壁上，所述电动伸缩杆(7)的前端设有固定块(14)，所述固定块(14)连接有驱动电机(12)和螺丝杆(9)，所述固定块(14)的前端左侧固定连接有夹板一(6)；及
移动块(11)，与螺丝杆(9)相连，所述移动块(11)的下端固定连接有滑块(16)，所述移动块(11)的前端设有夹板二(18)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述固定板(5)呈“L”形，所述固定板(5)的右端上侧壁与液压缸(2)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述固定块(14)的侧壁上开设有安装槽(10)，所述固定块(14)在安装槽(10)的右侧壁上开设有放置槽(13)。
4.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述驱动电机(12)的固定端固定连接在放置槽(13)内，所述驱动电机(12)的输出端与螺丝杆(9)的一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述移动块(11)的左右侧壁中间开设有螺纹孔(17)，所述螺纹孔(17)与螺丝杆(9)之间螺纹连接。
6.根据权利要求3所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述安装槽(10)的下侧壁开设有滑槽(15)，所述滑槽(15)的内壁与滑块(16)的外壁之间滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述移动块(11)的前端侧壁上设有夹板二(18)，所述夹板二(18)和夹板一(6)的内侧壁上均固定连接有防滑保护垫(8)。
8.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆解键合装置，其特征在于：所述机体(1)的前端转动连接有箱门(3)，所述箱门(3)的前端侧壁上方开设有出料口(4)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202223237804.2U CN218769435U (zh) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 一种全自动晶圆解键合装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223237804.2U CN218769435U (zh) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 一种全自动晶圆解键合装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN218769435U true CN218769435U (zh) | 2023-03-28 |
Family
ID=85680597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202223237804.2U Active CN218769435U (zh) | 2022-12-01 | 2022-12-01 | 一种全自动晶圆解键合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218769435U (zh) |
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2022
- 2022-12-01 CN CN202223237804.2U patent/CN218769435U/zh active Active
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