CN218766670U - 一种半导体专用光学检测模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种半导体专用光学检测模组，包括反射镜架、光源组合、光源座和盖板；所述盖板包括中间呈矩形镂空的盖板本体，安装在所述盖板本体下端的、且中间呈矩形镂空的棱镜支架，以及固定安装在所述盖板本体下方的若干块棱镜，棱镜支架为嵌入盖板本体的下端，并通过螺钉固定，棱镜绕棱镜支架的矩形镂空边侧分布，且棱镜朝外41°倾斜设置；通过41°倾斜设置的棱镜使反射的影像总长变长，平均一个像素损失的精度将会降低，并且拉长的影像更容易测量，使用反射式背光，无论半导体的管脚切面成任何角度都不会在图像上产生干扰性亮光，使模组适用性更强，高亮度红蓝光光组合，能使材料底部和管脚底部缺陷更加清晰，提高半导体的检测进度。
Description
技术领域
本发明具体涉及一种半导体专用光学检测模组。
背景技术
在半导体外观检测方面，半导体的各项尺寸测量是很重要的一面，用3D5S的结构来对材料的各个方面进行精确测量是目前各机器视觉公司的普遍做法，但一般都是用45°反射棱镜的方式，使用背光测量管脚站高时，都没有将站高影像进行延长处理，当检测材料管脚站高时，45°角棱镜反射的管脚成像受背光产生的干涉影响很大，降低了光学测量的精度，并且会使管脚尖部发亮，使管脚光线均匀度不一致，容易对视觉检测造成干扰。
发明内容
有鉴于此，本发明目的是提供一种能使材料底部和管脚底部缺陷更加清晰，提高半导体检测进度的半导体专用光学检测模组。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：
一种半导体专用光学检测模组，包括反射镜架，安装在所述反射镜架上方的光源组合，与所述光源组合配合的、且一侧与反射镜架固定安装的光源座，以及装配在所述光源座上方的、且与所述反射镜架固定安装的盖板；所述盖板包括中间呈矩形镂空的盖板本体，安装在所述盖板本体下端的、且中间呈矩形镂空的棱镜支架，以及固定安装在所述盖板本体下方的若干块棱镜，棱镜支架为嵌入盖板本体的下端，并通过螺钉固定，棱镜绕棱镜支架的矩形镂空边侧分布，且棱镜朝外41°倾斜设置。
优选的，所述棱镜设置有四块，具体通过胶水与棱镜支架进行粘贴固定。
优选的，所述反射镜架包括反射镜架主体，安装在所述反射镜架主体内部的反射镜，所述射镜为倾斜设置。
进一步的，所述反射镜架主体的内部为镂空设置，并在镂空处开设有反射镜嵌装槽，所述反射镜架主体的一侧上方还设置有侧装板，并在所述侧装板的内侧设置有配合光源座进行固定的卡条。
优选的，所述光源组合包括与所述反射镜架1通过螺钉固定的、且中部为矩形镂空的光源盖，设置在所述光源盖上的、中间部位为矩形镂空的灯珠座，设置在所述灯珠座上的、中间部位为矩形镂空的平面光源扩散板，绕所述平面光源扩散板内部镂空侧边分布的、且倾斜设置的侧光源扩散板，以及与平面光源扩散板配合进行固定侧光源扩散板的扩散板支架。
进一步的，所述灯珠座上嵌装有若干个灯珠。
优选的，所述光源座包括内部为镂空设置的光源座本体，开设在所述光源座本体侧面的嵌装槽，以及开设在所述光源座本体上端的、方便棱镜进入内部的十字槽。
本发明技术效果主要体现在以下方面：通过41°倾斜设置的棱镜使反射的影像总长变长，平均一个像素损失的精度将会降低，并且拉长的影像更容易测量，使用反射式背光，无论半导体的管脚切面成任何角度都不会在图像上产生干扰性亮光，使模组适用性更强，高亮度红蓝光光组合，能使材料底部和管脚底部缺陷更加清晰，提高半导体的检测进度。
附图说明
图1为本实用新型一种半导体专用光学检测模组的结构图；
图2为图1的爆炸图；
图3为图2中反射镜架的结构图。
具体实施方式
以下结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步详述，以使本发明技术方案更易于理解和掌握。
在本实施例中，需要理解的是，术语“中间”、“上”、“下”、“顶部”、“右侧”、“左端”、“上方”、“背面”、“中部”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
另，在本具体实施方式中如未特别说明部件之间的连接或固定方式，其连接或固定方式均可为通过现有技术中常用的螺栓固定或钉销固定，或销轴连接等方式，因此，在本实施例中不在详述。
实施例
一种半导体专用光学检测模组，如图1-2所示，包括反射镜架1，安装在所述反射镜架1上方的光源组合2，与所述光源组合2配合的、且一侧与反射镜架1固定安装的光源座3，以及装配在所述光源座3上方的、且与所述反射镜架1固定安装的盖板4。
其中，所述反射镜架1包括反射镜架主体11，安装在所述反射镜架主体11内部的反射镜12，所述射镜12为倾斜设置。
其中，所述光源组合2包括与所述反射镜架1通过螺钉固定的、且中部为矩形镂空的光源盖21，设置在所述光源盖21上的、中间部位为矩形镂空的灯珠座22，设置在所述灯珠座22上的、中间部位为矩形镂空的平面光源扩散板23，绕所述平面光源扩散板23内部镂空侧边分布的、且倾斜设置的侧光源扩散板24，以及与平面光源扩散板23配合进行固定侧光源扩散板24的扩散板支架25。所述灯珠座22上嵌装有若干个灯珠221。
其中，所述光源座3包括内部为镂空设置的光源座本体31，开设在所述光源座本体31侧面的嵌装槽32，以及开设在所述光源座本体31上端的、方便棱镜43进入内部的十字槽33。
其中，所述盖板4包括中间呈矩形镂空的盖板本体41，安装在所述盖板本体41下端的、且中间呈矩形镂空的棱镜支架42，以及固定安装在所述盖板本体41下方的若干块棱镜43，棱镜支架42为嵌入盖板本体41的下端，并通过螺钉固定，棱镜43绕棱镜支架42的矩形镂空边侧分布，且棱镜43朝外41°倾斜设置。所述棱镜43设置有四块，具体通过胶水与棱镜支架42进行粘贴固定。
如图3所示，并结合图1-2，所述反射镜架主体11的内部为镂空设置，并在镂空处开设有反射镜嵌装槽111，所述反射镜架主体11的一侧上方还设置有侧装板112，并在所述侧装板112的内侧设置有配合光源座3进行固定的卡条113。
具体的，棱镜支架42嵌装在盖板本体41的下方之后，再将棱镜43绕棱镜支架42的矩形镂空边侧分布，同时朝外41°倾斜设置，在固定后，通过移动盖板本体41使得棱镜43进入光源座本体31的内部，同时盖板本体41与光源座本体31贴合，边侧通过螺钉与侧装板112进行固定，此时棱镜43位于光源座本体31内部，并能够与光源组合2进行配合实用，灯珠座22上嵌装的灯珠221为红蓝光灯珠组合。
本发明技术效果主要体现在以下方面：通过41°倾斜设置的棱镜43使反射的影像总长变长，平均一个像素损失的精度将会降低，并且拉长的影像更容易测量，使用反射式背光，无论半导体的管脚切面成任何角度都不会在图像上产生干扰性亮光，使模组适用性更强，高亮度红蓝光光组合，能使材料底部和管脚底部缺陷更加清晰，提高半导体的检测进度。
当然，以上只是本发明的典型实例，除此之外，本发明还可以有其它多种具体实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
Claims (7)
1.一种半导体专用光学检测模组，包括反射镜架，安装在所述反射镜架上方的光源组合，与所述光源组合配合的、且一侧与反射镜架固定安装的光源座，以及装配在所述光源座上方的、且与所述反射镜架固定安装的盖板；所述盖板包括中间呈矩形镂空的盖板本体，安装在所述盖板本体下端的、且中间呈矩形镂空的棱镜支架，以及固定安装在所述盖板本体下方的若干块棱镜，棱镜支架为嵌入盖板本体的下端，并通过螺钉固定，棱镜绕棱镜支架的矩形镂空边侧分布，且棱镜朝外41°倾斜设置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述棱镜设置有四块，具体通过胶水与棱镜支架进行粘贴固定。
3.根据权利要求1所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述反射镜架包括反射镜架主体，安装在所述反射镜架主体内部的反射镜，所述射镜为倾斜设置。
4.根据权利要求3所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述反射镜架主体的内部为镂空设置，并在镂空处开设有反射镜嵌装槽，所述反射镜架主体的一侧上方还设置有侧装板，并在所述侧装板的内侧设置有配合光源座进行固定的卡条。
5.根据权利要求1所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述光源组合包括与所述反射镜架1通过螺钉固定的、且中部为矩形镂空的光源盖，设置在所述光源盖上的、中间部位为矩形镂空的灯珠座，设置在所述灯珠座上的、中间部位为矩形镂空的平面光源扩散板，绕所述平面光源扩散板内部镂空侧边分布的、且倾斜设置的侧光源扩散板，以及与平面光源扩散板配合进行固定侧光源扩散板的扩散板支架。
6.根据权利要求5所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述灯珠座上嵌装有若干个灯珠。
7.根据权利要求1所述的一种半导体专用光学检测模组，其特征在于：所述光源座包括内部为镂空设置的光源座本体，开设在所述光源座本体侧面的嵌装槽，以及开设在所述光源座本体上端的、方便棱镜进入内部的十字槽。
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| CN202222618654.3U Active CN218766670U (zh) | 2022-09-30 | 2022-09-30 | 一种半导体专用光学检测模组 |
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