CN218760428U - 一种罗茨螺杆串联式真空系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种罗茨螺杆串联式真空系统，包括罗茨机组支架、设在所述罗茨机组支架上的罗茨真空泵，所述罗茨真空泵上设有进气口和出气口，所述出气口的一侧设有空滤进气系统，所述空滤进气系统的出气端设有喷油式螺杆真空泵，所述喷油式螺杆真空泵的出气端设有油气分离系统，所述罗茨机组支架的一侧设有一个用于固定所述空滤进气系统、喷油式螺杆真空泵以及所述油气分离系统的机架，所述罗茨真空泵的出气口与所述空滤进气系统之间通过进气管道连接，所述罗茨真空泵的抽真空效率通过串联的所述喷油式螺杆真空泵进行增加。能够实现高真空和大抽速的抽真空效果，且噪音、震动和能耗均可以进行有效的降低，从而满足节能环保的要求。

Description

一种罗茨螺杆串联式真空系统

技术领域

本发明涉及于抽真空技术领域，具体涉及一种罗茨螺杆串联式真空系统。

背景技术

真空泵主要应用于半导体、电子行业、造纸行业、食品行业、医院和新能源等行业。其中罗茨泵为市面上主要使用的真空泵之一，但是，目前的罗茨泵抽速和真空度比较低，一般是需要多个罗茨泵串联后才能形成高真空的效果，但是多个罗茨泵串联后的抽速还是会收到限制，无法达到大抽速的效果，同时，噪音、震动和能耗均比较大，无法满足现代节能环保的要求，且对于高真空和大抽速的应用场合适用性底。

发明内容

为了解决现有技术中存在的某种或某些技术问题，本申请的目的在于提供一种罗茨螺杆串联式真空系统，能够实现高真空和大抽速的抽真空效果，且噪音、震动和能耗均可以进行有效的降低，从而满足节能环保的要求。

为解决上述现有的技术问题，本申请采用如下技术方案实现：

一种罗茨螺杆串联式真空系统，包括罗茨机组支架、设在所述罗茨机组支架上的罗茨真空泵，所述罗茨真空泵上设有进气口和出气口，其特征在于：所述出气口的一侧设有空滤进气系统，所述空滤进气系统的出气端设有喷油式螺杆真空泵，所述喷油式螺杆真空泵的出气端设有油气分离系统，所述罗茨机组支架的一侧设有一个用于固定所述空滤进气系统、喷油式螺杆真空泵以及所述油气分离系统的机架，所述罗茨真空泵的出气口与所述空滤进气系统之间通过进气管道连接，所述罗茨真空泵的抽真空效率通过串联的所述喷油式螺杆真空泵进行增加。

优选的，所述空滤进气系统包括设在所述机架上的安装支架、设在所述安装支架上的空滤箱、设在所述空滤箱出气端的进气阀，所述空滤箱的一端设有密封盖，所述空滤箱内的滤芯通过所述密封盖端进行拆装，通过所述空滤箱过滤后的气体从所述进气阀端排出进入所述喷油式螺杆真空泵内。

优选的，所述油气分离系统包括外桶、设在所述外桶一侧的进气接口、从上往下依次设置在所述外桶内的盖板、油分芯、衬桶、油雾分离器以及压片，所述油分芯安装在所述盖板的内侧，所述油分芯伸入所述衬桶内，所述油雾分离器通过所述压片安装在所述衬桶的底部，所述盖板上设有出气孔，所述外桶的底部设有出油接口。

优选的，所述进气接口与所述外桶呈相切设置，通过所述进气接口进入所述外桶的气体呈旋风分离。

优选的，所述油气分离系统与所述喷油式螺杆真空泵之间还设有油管路系统，通过所述油气分离系统排出的润滑油再次通过所述油管路系统供给到所述喷油式螺杆真空泵内进行使用。

优选的，所述油管路系统包括设在所述出油接口上的温控阀、设在所述温控阀与所述喷油式螺杆真空泵之间的机头回油管。

优选的，所述机架上还设有风冷冷却系统，所述温控阀与所述风冷冷却系统之间设有进油管和出油管，所述喷油式螺杆真空泵用油通过所述风冷冷却系统冷却后再从所述机头回油管回流到所述喷油式螺杆真空泵内。

优选的，所述风冷冷却系统包括风机、设在所述风机内的风冷换热器，所述进油管和所述出油管的一端均与所述风冷换热器连接。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：

罗茨螺杆串联机组，既能够保证进入喷油式螺杆真空泵内的气体的洁净度，又能够提高罗茨真空泵的抽真空效率，还解决了喷油螺杆真空泵真空度底的问题，相比于多个罗茨真空泵的串联抽真空效率上限更高，且只需串联一个喷油式螺杆真空泵就能够实现高真空和大抽速目的，整个系统的噪音、震动和能耗均得到了有效的控制，有效的解决了现有多个罗茨泵串联后的抽真空效率不仅受到限制，还容易照成噪音大、震动大且能耗高的问题，更加节能环保。

附图说明

图1为本实用实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用实用新型中空滤进气系统的结构示意图；

图3为本实用实用新型中油气分离系统的结构示意图；

图4为本实用实用新型中油管路系统的结构示意图；

图5为本实用实用新型中风冷冷却系统的结构示意图；

图6为本实用实用新型的整体侧视图；

图中：1、油管路系统；2、油气分离系统；21、出油接口；22、压片；23、油雾分离器；24、油分芯；25、出气孔；26、盖板；27、衬桶；28、进气接口；29、外桶；3、喷油式螺杆真空泵；4、空滤进气系统；41、安装支架；42、空滤箱；43、进气阀；44、密封盖；5、风冷冷却系统；51、风冷换热器；52、风机；6、进气口；7、罗茨真空泵；8、出气口；9、罗茨机组支架；10、机架；11、机头回油管；12、温控阀；13、进油管；14、出油管。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本申请做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

本申请中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

实施例1：

如图1和图2所示，一种罗茨螺杆串联式真空系统，包括罗茨机组支架9、设在所述罗茨机组支架9上的罗茨真空泵7，所述罗茨真空泵7上设有进气口6和出气口8，其特征在于：所述出气口8的一侧设有空滤进气系统4，所述空滤进气系统4的出气端设有喷油式螺杆真空泵3，所述喷油式螺杆真空泵3的出气端设有油气分离系统2，所述罗茨机组支架9的一侧设有一个用于固定所述空滤进气系统4、喷油式螺杆真空泵3以及所述油气分离系统2的机架10，所述罗茨真空泵7的出气口8与所述空滤进气系统4之间通过进气管道连接，所述罗茨真空泵7的抽真空效率通过串联的所述喷油式螺杆真空泵3进行增加。

在实际使用过程中，空滤进气系统4、喷油式螺杆真空泵3以及油气分离系统2通过机架10形成一个单独的机组，在与罗茨机组进行串联时更急方便，待抽真空的腔体抽气口通过管道接入罗茨真空泵7的进气口6，罗茨真空泵7作为直接与待抽真空的腔体抽气口连接的一级泵使用，可以获得较高的真空度，且在罗茨真空泵7的出气口8通过进气管道向外依次串联有空滤进气系统4、喷油式螺杆真空泵3以及油气分离系统2，罗茨真空泵7排出的气体通过喷油式螺杆真空泵3进出再次抽真空处理后从油气分离系统2中进行排出，且在将气体从罗茨真空泵7抽入喷油式螺杆真空泵3的过程中经过空滤进气系统4进行过滤，既能够保证进入喷油式螺杆真空泵3内的气体的洁净度，又能够提高罗茨真空泵7的抽真空效率，还解决了喷油螺杆真空泵真空度底的问题，相比于多个罗茨真空泵7的串联抽真空效率上限更高，且只需串联一个喷油式螺杆真空泵3就能够实现高真空和大抽速目的，整个系统的噪音、震动和能耗均得到了有效的控制，有效的解决了现有多个罗茨泵串联后的抽真空效率不仅受到限制，还容易照成噪音大、震动大且能耗高的问题，更加节能环保。同时，通过喷油式螺杆真空泵3排出的压缩油气混合物再次通过油气分离系统2进行分离，将油气中的油分离掉，能够使排出的气体更加洁净环保。

实施例2：

在实施例1的基础上进一步的改进为，如图2所示，所述空滤进气系统4包括设在所述机架10上的安装支架41、设在所述安装支架41上的空滤箱42、设在所述空滤箱42出气端的进气阀43，所述空滤箱42的一端设有密封盖44，所述空滤箱42内的滤芯通过所述密封盖44端进行拆装，通过所述空滤箱42过滤后的气体从所述进气阀43端排出进入所述喷油式螺杆真空泵3内。

罗茨真空泵7和喷油式螺杆真空泵3通过空滤进气系统4进行串联的过程中，由于喷油式螺杆真空泵3的抽真空效率大于罗茨真空泵7的抽真空效率，从而容易导致喷油式螺杆真空泵3内部的真空度过低的现象，因此，在空滤箱42的出气端与喷油式螺杆真空泵3之间安装了一个进气阀43，当喷油式螺杆真空泵3内部的真空度过低时，能够启动进气阀43进行气体的补充，从而使喷油式螺杆真空泵3内部的真空度能够得到保证，使整个系统的抽真空效率更好，同时，通过空滤箱42还能够对从罗茨真空泵7内排出的气体进行过滤，避免喷油式螺杆真空泵3内部出现堵塞现象，安装在空滤箱42内的滤芯可以通过打开密封盖44端进行拆装更换，其中，密封盖44与空滤箱42之间采用一圈螺栓连接，密封性更好。

实施例3：

在实施例2的基础上进一步的改进为，如图3所示，所述油气分离系统2包括外桶29、设在所述外桶29一侧的进气接口28、从上往下依次设置在所述外桶29内的盖板26、油分芯24、衬桶27、油雾分离器23以及压片22，所述油分芯24安装在所述盖板26的内侧，所述油分芯24伸入所述衬桶27内，所述油雾分离器23通过所述压片22安装在所述衬桶27的底部，所述盖板26上设有出气孔25，所述外桶29的底部设有出油接口21。

压缩油气混合物通过外桶29的进气接口28进入后，通过衬桶27底部的油雾分离器23进行油气分离，气体进入衬桶27后，再通过油分芯24进行二次过滤后沿着盖板26顶部的出气孔25排出，而分离下来的润滑油则通过外桶29底部的出油接口21排出。

在实施例3的基础上进一步的改进为，所述进气接口28与所述外桶29呈相切设置，通过所述进气接口28进入所述外桶29的气体呈旋风分离。

将进气接口28与外桶29直接的连接设计成相切结构，能够使通过进气接口28进入外桶29的气体呈旋风分离，使由谁能够与外桶29内壁产生撞击及吸附，将油气中的油分离掉，更好的排出洁净的空气。

实施例4：

在实施例3的基础上进一步的改进为，如图4所示，所述油气分离系统2与所述喷油式螺杆真空泵3之间还设有油管路系统1，通过所述油气分离系统2排出的润滑油再次通过所述油管路系统1供给到所述喷油式螺杆真空泵3内进行使用。

通过油气分离系统2将喷油式螺杆真空泵3排出的润滑油进行分离后，通过油管路系统1进行再次回收利用，能够使润滑油实现重复循环利用的目的，使成本更低，更加节能环保。

在实施例4的基础上进一步的改进为，如图4所示，所述油管路系统1包括设在所述出油接口21上的温控阀12、设在所述温控阀12与所述喷油式螺杆真空泵3之间的机头回油管11。

通过温控阀12能够起到温度调节的作用，可以维持油路系统内的温度平衡。

实施例5：

在实施例4的基础上进一步的改进为，如图5所示，所述机架10上还设有风冷冷却系统5，所述温控阀12与所述风冷冷却系统5之间设有进油管13和出油管14，所述喷油式螺杆真空泵3用油通过所述风冷冷却系统5冷却后再从所述机头回油管11回流到所述喷油式螺杆真空泵3内；所述风冷冷却系统5包括风机52、设在所述风机52内的风冷换热器51，所述进油管13和所述出油管14的一端均与所述风冷换热器51连接。

通过风冷冷却系统5能够对油路中的润滑油进行降温，润滑油通过板翅式风冷换热器51，与外界空气进行冷热交换，风冷冷却系统5中的风机52是提供冷风，从而将板翅式风冷换热器51的热量带走，使油温控制更加方便。

上述实施方式仅为本申请的优选实施方式，不能以此来限定本申请保护的范围，本领域的技术人员在本申请的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本申请所要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种罗茨螺杆串联式真空系统，包括罗茨机组支架(9)、设在所述罗茨机组支架(9)上的罗茨真空泵(7)，所述罗茨真空泵(7)上设在进气口(6)和出气口(8)，其特征在于：所述出气口(8)的一侧设有空滤进气系统(4)，所述空滤进气系统(4)的出气端设有喷油式螺杆真空泵(3)，所述喷油式螺杆真空泵(3)的出气端设有油气分离系统(2)，所述罗茨机组支架(9)的一侧设有一个用于固定所述空滤进气系统(4)、喷油式螺杆真空泵(3)以及所述油气分离系统(2)的机架(10)，所述罗茨真空泵(7)的出气口(8)与所述空滤进气系统(4)之间通过进气管道连接，所述罗茨真空泵(7)的抽真空效率通过串联的所述喷油式螺杆真空泵(3)进行增加。

2.根据权利要求1所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述空滤进气系统(4)包括设在所述机架(10)上的安装支架(41)、设在所述安装支架(41)上的空滤箱(42)、设在所述空滤箱(42)出气端的进气阀(43)，所述空滤箱(42)的一端设有密封盖(44)，所述空滤箱(42)内的滤芯通过所述密封盖(44)端进行拆装，通过所述空滤箱(42)过滤后的气体从所述进气阀(43)端排出进入所述喷油式螺杆真空泵(3)内。

3.根据权利要求1所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述油气分离系统(2)包括外桶(29)、设在所述外桶(29)一侧的进气接口(28)、从上往下依次设置在所述外桶(29)内的盖板(26)、油分芯(24)、衬桶(27)、油雾分离器(23)以及压片(22)，所述油分芯(24)安装在所述盖板(26)的内侧，所述油分芯(24)伸入所述衬桶(27)内，所述油雾分离器(23)通过所述压片(22)安装在所述衬桶(27)的底部，所述盖板(26)上设有出气孔(25)，所述外桶(29)的底部设有出油接口(21)。

4.根据权利要求3所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述进气接口(28)与所述外桶(29)呈相切设置，通过所述进气接口(28)进入所述外桶(29)的气体呈旋风分离。

5.根据权利要求4所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述油气分离系统(2)与所述喷油式螺杆真空泵(3)之间还设有油管路系统(1)，通过所述油气分离系统(2)排出的润滑油再次通过所述油管路系统(1)供给到所述喷油式螺杆真空泵(3)内进行使用。

6.根据权利要求5所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述油管路系统(1)包括设在所述出油接口(21)上的温控阀(12)、设在所述温控阀(12)与所述喷油式螺杆真空泵(3)之间的机头回油管(11)。

7.根据权利要求6所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述机架(10)上还设有风冷冷却系统(5)，所述温控阀(12)与所述风冷冷却系统(5)之间设有进油管(13)和出油管(14)，所述喷油式螺杆真空泵(3)用油通过所述风冷冷却系统(5)冷却后再从所述机头回油管(11)回流到所述喷油式螺杆真空泵(3)内。

8.根据权利要求7所述的一种罗茨螺杆串联式真空系统，其特征在于：所述风冷冷却系统(5)包括风机(52)、设在所述风机(52)内的风冷换热器(51)，所述进油管(13)和所述出油管(14)的一端均与所述风冷换热器(51)连接。

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