CN218747005U - 一种igbt硅片研磨机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种研磨机，尤其涉及一种IGBT硅片研磨机。本实用新型提供一种便于对研磨盘进行更换的IGBT硅片研磨机。本实用新型提供了这样一种IGBT硅片研磨机，包括有研磨台、支撑架、放置架、放置板、IGBT硅片、气缸、电机和连接杆，研磨台顶部后侧固接有支撑架，研磨台顶部中间位置固接有放置架，放置架顶部固接有放置板，放置板内放置有IGBT硅片，支撑架顶部安装有气缸，气缸的伸缩杆上安装有电机，电机的输出轴上通过联轴器设置有连接杆。通过将研磨盘向下拉动，使得连接卡板向下移动与卡块脱离，从而能够对研磨盘进行拆卸，通过将连接卡板向上推入圆槽，使得卡块向内移动将连接卡板夹紧，从而能够对研磨盘进行安装，如此达到了便于更换的目的。

Description

一种IGBT硅片研磨机

技术领域

本实用新型涉及一种研磨机，尤其涉及一种IGBT硅片研磨机。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，在IGBT硅片制作完成后，通常需要对IGBT硅片表面研磨，使其表面更加光滑。

专利授权公告号为CN211073139U的专利，公布了一种硅片研磨机，包括底座，底座上设置有至少两根液压杆和至少两根支撑柱，支撑柱上端固定连接固定座，固定座中部设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一直线上的导向块内部连接第一螺杆，第一螺杆一端与第一旋转板固定连接，导向块上端与移动柱相连，移动柱上端与安装板相连，安装板中部安装有第二螺杆，第二螺杆下端安装有固定板，第二螺杆上端与第二旋转板相连，液压杆上端固定连接安装横梁，安装横梁中部安装电机，电机输出端与转轴相连，转轴下方设置有研磨压头，研磨压头下方设置有水冷盘，水冷盘下方设置有研磨片，研磨片位于固定座中部上方，由于上述专利在研磨片损坏后，不便于对其进行更换，从而对IGBT硅片研磨作业带来影响。

因此，需要提供一种便于对研磨盘进行更换的IGBT硅片研磨机。

实用新型内容

为了克服上述专利在研磨片损坏后，不便于对其进行更换，从而对IGBT硅片研磨作业带来影响的缺点，提供一种便于对研磨盘进行更换的IGBT硅片研磨机。

本实用新型通过以下技术途径实现：一种IGBT硅片研磨机，包括有研磨台、支撑架、放置架、放置板、IGBT硅片、气缸、电机、连接杆、连接盘、连接卡板、研磨盘、卡块和弹性件，研磨台顶部后侧固接有支撑架，研磨台顶部中间位置固接有放置架，放置架顶部固接有放置板，放置板内放置有IGBT硅片，支撑架顶部安装有气缸，气缸的伸缩杆上安装有电机，电机的输出轴上通过联轴器设置有连接杆，连接杆底端固接有连接盘，连接盘底部均匀间隔开有三个圆槽，圆槽内滑动式设置有一组卡块，每组卡块的数量为五个，卡块与连接盘之间连接有弹性件，每组卡块之间设置有连接卡板，连接卡板底部固接有研磨盘。

在其中一个实施例中，还包括有装料框、调节盘、出料管和第一扭力弹簧，连接杆中部固接有装料框，连接杆下部转动式设置有调节盘，装料框内均匀间隔开有多个下料孔，调节盘能够将下料孔堵住，调节盘底部均匀间隔连接并连通有出料管，调节盘与连接盘之间连接有第一扭力弹簧，第一扭力弹簧套在连接杆上。

在其中一个实施例中，还包括有脚踏板、第一推杆、转杆、第二推杆和推板，放置架下部转动式设置有转杆，转杆上固接有第一推杆，第一推杆右端固接有脚踏板，放置架内滑动式设置有第二推杆，第二推杆顶端固接有推板，推板位于放置板内，推板位于IGBT硅片下方，第一推杆向上转动会挤压第二推杆向上移动。

在其中一个实施例中，还包括有第二扭力弹簧，转杆与放置架之间连接有两根第二扭力弹簧，第二扭力弹簧套在转杆的前后两部。

在其中一个实施例中，还包括有滤网，装料框内固接有滤网。

在其中一个实施例中，还包括有导流管和收集箱，放置板顶部固接有导流管，研磨台顶部固接有收集箱，收集箱位于支撑架与放置架之间。

采用了上述对本实用新型结构的描述可知，本实用新型的设计出发点、理念及优点是：1、通过将研磨盘向下拉动，使得连接卡板向下移动与卡块脱离，从而能够对研磨盘进行拆卸，通过将连接卡板向上推入圆槽，使得卡块向内移动将连接卡板夹紧，从而能够对研磨盘进行安装，如此达到了便于更换的目的。

2、通过转动调节盘带动出料管转动与下料孔对齐，使装料框内的研磨液流至IGBT硅片表面，从而能够起到润滑作用，使研磨盘将IGBT硅片表面研磨得更加光滑。

3、通过将脚踏板向下踩，使得脚踏板带动第一推杆和转杆转动，使得第二推杆被挤压带动推板向上移动，从而可以将IGBT硅片顶起，达到了便于将IGBT硅片取出的目的。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为装料框、调节盘和电机的立体剖视结构示意图。

图3为本实用新型A处的放大图。

图4为滤网和出料管的立体剖视结构示意图。

图5为脚踏板、第二推杆和推板的立体剖视结构示意图。

图6为本实用新型B处的放大图。

图7为连接杆和连接盘的立体剖视结构示意图。

图中标记为：1-研磨台，101-支撑架，2-放置架，3-放置板，4-IGBT硅片，5-气缸，6-电机，7-连接杆，8-连接盘，81-圆槽，9-连接卡板，10-研磨盘，11-卡块，12-弹性件，13-装料框，14-调节盘，15-下料孔，16-出料管，171-第一扭力弹簧，18-脚踏板，19-第一推杆，20-转杆，21-第二推杆，22-推板，23-第二扭力弹簧，24-滤网，25-导流管，26-收集箱。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。

实施例1

一种IGBT硅片研磨机，参阅图1、图2、图3和图7所示，包括有研磨台1、支撑架101、放置架2、放置板3、IGBT硅片4、气缸5、电机6、连接杆7、连接盘8、连接卡板9、研磨盘10、卡块11和弹性件12，研磨台1顶部后侧通过焊接的方式设置有支撑架101，研磨台1顶部中间位置固接有放置架2，放置架2顶部通过焊接的方式设置有放置板3，放置板3内放置有IGBT硅片4，支撑架101顶部安装有气缸5，气缸5的伸缩杆上安装有电机6，电机6的输出轴上通过联轴器设置有连接杆7，连接杆7底端固接有连接盘8，连接盘8底部均匀间隔开有三个圆槽81，圆槽81内滑动式设置有一组卡块11，每组卡块11的数量为五个，卡块11与连接盘8之间连接有弹性件12，每组卡块11之间设置有连接卡板9，连接卡板9底部固接有研磨盘10。

当需要使用本装置时，工作人员将IGBT硅片4放置于放置板3内，随后工作人员开启电机6，电机6的输出轴转动带动连接杆7和连接盘8转动，使得连接卡板9和研磨盘10转动，然后工作人员开启气缸5，气缸5的伸缩杆伸长带动电机6向下移动，使得研磨盘10向下移动对IGBT硅片4进行研磨，研磨完成后，工作人员控制气缸5的伸缩杆缩短带动电机6向上移动，使研磨盘10向上复位，随后工作人员将电机6关闭，然后工作人员将IGBT硅片4取出，重复上述操作，能够再次对IGBT硅片4进行研磨，当要对研磨盘10进行取出时，工作人员将研磨盘10向下拉动，使得连接卡板9向下移动与卡块11脱离，弹性件12随之带动卡块11向内移动复位，当要对研磨盘10进行安装时，工作人员将连接卡板9抵在卡块11上，然后工作人员向上推动连接卡板9，使其挤压卡块11向外移动，弹性件12随之被压缩，当连接卡板9进入圆槽81后，弹性件12能够带动卡块11向内移动将连接卡板9夹紧，如此完成了对研磨盘10的安装，达到了便于更换的目的。

实施例2

在实施例1的基础之上，参阅图2和图4所示，还包括有装料框13、调节盘14、出料管16、第一扭力弹簧171和滤网24，连接杆7中部固接有装料框13，连接杆7下部转动式设置有调节盘14，装料框13内均匀间隔开有多个下料孔15，调节盘14能够将下料孔15堵住，调节盘14底部均匀间隔连接并连通有出料管16，调节盘14与连接盘8之间连接有第一扭力弹簧171，第一扭力弹簧171套在连接杆7上，装料框13内固接有滤网24。

参阅图1所示，导流管25和收集箱26，放置板3顶部固接有导流管25，研磨台1顶部固接有收集箱26，收集箱26位于支撑架101与放置架2之间。

当要对IGBT硅片4进行研磨时，工作人员将适量研磨液注入装料框13内，在IGBT硅片4进行研磨时，工作人员转动调节盘14带动出料管16转动，第一扭力弹簧171随之发生形变，当出料管16转动与下料孔15对齐时，装料框13内的研磨液能够通过下料孔15和出料管16流至IGBT硅片4表面，从而能够起到润滑作用，使研磨盘10将IGBT硅片4表面研磨得更加光滑，在滤网24的作用下，能够对研磨液中的杂质进行过滤，防止杂质掉落至IGBT硅片4表面，影响IGBT硅片4研磨，工作人员通过松开调节盘14，第一扭力弹簧171能够带动调节盘14反转，从而将下料孔15堵住，通过导流管25能够对研磨液进行导流，使其流入收集箱26内进行回收利用。

参阅图5和图6所示，包括有脚踏板18、第一推杆19、转杆20、第二推杆21、推板22和第二扭力弹簧23，放置架2下部转动式设置有转杆20，转杆20上固接有第一推杆19，第一推杆19右端通过螺栓的方式设置有脚踏板18，放置架2内滑动式设置有第二推杆21，第二推杆21顶端固接有推板22，推板22位于放置板3内，推板22位于IGBT硅片4下方，第一推杆19向上转动会挤压第二推杆21向上移动，第二扭力弹簧23，转杆20与放置架2之间连接有两根第二扭力弹簧23，第二扭力弹簧23套在转杆20的前后两部。

当IGBT硅片4打磨完成后，工作人员将脚踏板18向下踩，使得脚踏板18带动第一推杆19和转杆20转动，第二扭力弹簧23随之发生形变，当第一推杆19转动与第二推杆21接触时，能够挤压第二推杆21带动推板22向上移动，从而可以将IGBT硅片4顶起，达到了便于将IGBT硅片4取出的目的，当工作人员将IGBT硅片4取出后，工作人员将脚踏板18松开，第二扭力弹簧23随之带动第一推杆19、转杆20和脚踏板18反转复位，同时推板22和第二推杆21在重力的作用下向下移动复位。

最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。

Claims (6)

1.一种IGBT硅片研磨机，包括有研磨台(1)、支撑架(101)、放置架(2)、放置板(3)、IGBT硅片(4)、气缸(5)、电机(6)、连接杆(7)和连接盘(8)，研磨台(1)顶部后侧固接有支撑架(101)，研磨台(1)顶部中间位置固接有放置架(2)，放置架(2)顶部固接有放置板(3)，放置板(3)内放置有IGBT硅片(4)，支撑架(101)顶部安装有气缸(5)，气缸(5)的伸缩杆上安装有电机(6)，电机(6)的输出轴上通过联轴器设置有连接杆(7)，连接杆(7)底端固接有连接盘(8)，其特征在于，还包括有连接卡板(9)、研磨盘(10)、卡块(11)和弹性件(12)，连接盘(8)底部均匀间隔开有三个圆槽(81)，圆槽(81)内滑动式设置有一组卡块(11)，每组卡块(11)的数量为五个，卡块(11)与连接盘(8)之间连接有弹性件(12)，每组卡块(11)之间设置有连接卡板(9)，连接卡板(9)底部固接有研磨盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种IGBT硅片研磨机，其特征在于，还包括有装料框(13)、调节盘(14)、出料管(16)和第一扭力弹簧(171)，连接杆(7)中部固接有装料框(13)，连接杆(7)下部转动式设置有调节盘(14)，装料框(13)内均匀间隔开有多个下料孔(15)，调节盘(14)能够将下料孔(15)堵住，调节盘(14)底部均匀间隔连接并连通有出料管(16)，调节盘(14)与连接盘(8)之间连接有第一扭力弹簧(171)，第一扭力弹簧(171)套在连接杆(7)上。

3.根据权利要求2所述的一种IGBT硅片研磨机，其特征在于，还包括有脚踏板(18)、第一推杆(19)、转杆(20)、第二推杆(21)和推板(22)，放置架(2)下部转动式设置有转杆(20)，转杆(20)上固接有第一推杆(19)，第一推杆(19)右端固接有脚踏板(18)，放置架(2)内滑动式设置有第二推杆(21)，第二推杆(21)顶端固接有推板(22)，推板(22)位于放置板(3)内，推板(22)位于IGBT硅片(4)下方，第一推杆(19)向上转动会挤压第二推杆(21)向上移动。

4.根据权利要求3所述的一种IGBT硅片研磨机，其特征在于，还包括有第二扭力弹簧(23)，转杆(20)与放置架(2)之间连接有两根第二扭力弹簧(23)，第二扭力弹簧(23)套在转杆(20)的前后两部。

5.根据权利要求4所述的一种IGBT硅片研磨机，其特征在于，还包括有滤网(24)，装料框(13)内固接有滤网(24)。

6.根据权利要求5所述的一种IGBT硅片研磨机，其特征在于，还包括有导流管(25)和收集箱(26)，放置板(3)顶部固接有导流管(25)，研磨台(1)顶部固接有收集箱(26)，收集箱(26)位于支撑架(101)与放置架(2)之间。

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