CN218711023U - 一种用于单晶热场对中的炉底固毡 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于单晶热场对中的炉底固毡，设置于单晶炉的炉底上，主要包括固毡本体，固毡本体上表面设有固定凹槽，固毡本体上还设有穿透固毡本体的排气孔、电极通孔及托杆通孔，固毡本体的四周均有定位块，其中：固毡本体为圆盘形结构，固毡本体位于单晶炉中护底压板的下端；固定凹槽在固毡本体上围成一个圆形结构；托杆通孔设置于固毡本体的中心，排气孔对称设置于托杆通孔的两侧，电极通孔均布与托杆通孔的四周，排气孔、电极通孔及托杆通孔均位于固毡本体上的固定凹槽内；定位块均布在固毡本体的圆周方向上，固毡本体通过定位块卡合在单晶炉炉底上该固毡结构简单，使用方便，有效解决热场装偏问题，提高热场安装效率，减少返工。

Description

一种用于单晶热场对中的炉底固毡

技术领域

本实用新型涉及一种固毡，具体涉及一种用于单晶热场对中的炉底固毡。

背景技术

近年来，单晶硅片产量明显稳步增长，增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价硅材料需求的增加；另一方面是近年来装备制造发展迅速，各类信息家电和通信产品需求旺盛，因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大，单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着单晶硅片需求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。

在单晶硅棒制造过程中单晶炉是其主要设备，单晶硅棒直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶硅棒拉出后通过检测才能获知，温度分布合适的热场，不仅单晶硅棒生长顺利，而且品质较高。

目前单晶炉热场在对中安装时不好定位，容易装偏，有些在安装单晶炉热场中的下保温筒时，根据单晶炉中的护底压板去对中定位，但是由于护底压板有一定的活动空间，故经常会导致热场装偏，污染石英坩埚，不利于整体热场的安装，严重影响热场的温度分布。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种用于单晶热场对中的炉底固毡，该固毡结构简单，使用方便，对中效果好有效解决热场装偏问题，提高热场安装效率，减少返工。

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种用于单晶热场对中的炉底固毡，设置于单晶炉的炉底上，主要包括固毡本体，固毡本体上表面设有固定凹槽，固毡本体上还设有穿透固毡本体的排气孔、电极通孔及托杆通孔，固毡本体的四周均有定位块，其中：

固毡本体为圆盘形结构，固毡本体位于单晶炉中护底压板的下端；

固定凹槽在固毡本体上围成一个圆形结构；

托杆通孔设置于固毡本体的中心，排气孔对称设置于托杆通孔的两侧，电极通孔均布与托杆通孔的四周，排气孔、电极通孔及托杆通孔均位于固毡本体上的固定凹槽内；

定位块均布在固毡本体的圆周方向上，固毡本体通过定位块卡合在单晶炉炉底上。

本实用新型进一步限定的技术方案是：

进一步的，前述用于单晶热场对中的炉底固毡中，固毡本体的外径大于护底压板的外径小于单晶炉的内径技术效果，热场安装时下保温筒安装后，护底压板正好位于下保温筒内，下保温筒与固毡本体接触，固毡本体的外径大于护底压板的外径，便于在固毡本体上开固定凹槽，下保温筒直接设置于凹槽内进行限定，提高热场安装的效率，避免装偏。

前述用于单晶热场对中的炉底固毡中，固定凹槽与单晶热场中下保温筒相适配，下保温筒的下沿设置于固定凹槽内。

技术效果，本实用新型根据热场中下保温筒的直径及壁厚在固毡本体上设置一个相适配的固定凹槽，用于在安装下保温桶时将下保温桶放在固定凹槽内，减少下保温桶的活动余量，给热场一个精准的限位。

前述用于单晶热场对中的炉底固毡中，固毡本体上的排气孔、电极通孔及托杆通孔与单晶炉炉底上开设的孔相对应。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，采用结构特殊的炉底固毡，在其上设有固定凹槽使其能在热场中下保温筒安装时能很好的限定进行精准安装，然后在安装中保温筒、上保温筒，使得整个热场安装精确，使其温度分散均匀，保证热场使用时效果好，也提高了热场安装效率，减少返工，降低成本。

本实用新型在固毡本体的四周设置了定位块，原先的固毡本体都是有活动空间的与炉壁之间有间隙，本实用新型通过定位块将固毡本体卡合在炉底使其稳定在热场对中时便于准确使下保温筒很高的安装固定不会因为固毡的活动使其定位不准。

附图说明

图1为本实用新型实施例用于单晶热场对中的炉底固毡的结构示意图；

图中：1-固毡本体，2-固定凹槽，3-排气孔，4-电极通孔，5-托杆通孔，6-定位块。

具体实施方式

实施例1

本实施例提供的一种用于单晶热场对中的炉底固毡，结构如图1所示，设置于单晶炉的炉底上，主要包括固毡本体1，固毡本体1上表面设有固定凹槽2，固毡本体1上还设有穿透固毡本体1的排气孔3、电极通孔4及托杆通孔5，固毡本体1的四周均有定位块6，其中：

固毡本体1为圆盘形结构，固毡本体1位于单晶炉中护底压板的下端；

固定凹槽2在固毡本体1上围成一个圆形结构；

托杆通孔5设置于固毡本体1的中心，排气孔3对称设置于托杆通孔5的两侧，电极通孔4均布与托杆通孔5的四周，排气孔3、电极通孔4及托杆通孔5均位于固毡本体1上的固定凹槽2内；

定位块6均布在固毡本体1的圆周方向上，固毡本体1通过定位块6卡合在单晶炉炉底上。

在本实施例中，固毡本体1的外径大于护底压板的外径小于单晶炉的内径。

在本实施例中，固定凹槽2与单晶热场中下保温筒相适配，下保温筒的下沿设置于固定凹槽2内。

在本实施例中，现有技术中的单晶炉的炉底上根据托杆、电极、排气的需要开有对应的通孔，固毡本体1上的排气孔3、电极通孔4及托杆通孔5与单晶炉炉底上开设的孔相对应。

本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，采用结构特殊的炉底固毡，根据热场中下保温筒的直径及壁厚在固毡本体上设置一个相适配的固定凹槽，使其能在热场中下保温筒安装时能很好的对中限位进行精准安装，然后在安装中保温筒、上保温筒，使得整个热场安装精确，使其温度分散均匀，保证热场使用时效果好，相较于目前热场的安装提高了热场安装效率，减少返工，降低成本。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。

Claims (4)

1.一种用于单晶热场对中的炉底固毡，设置于单晶炉的炉底上，其特征在于：主要包括固毡本体（1），所述固毡本体（1）上表面设有固定凹槽（2），所述固毡本体（1）上还设有穿透固毡本体（1）的排气孔（3）、电极通孔（4）及托杆通孔（5），所述固毡本体（1）的四周均有定位块（6），其中：

所述固毡本体（1）为圆盘形结构，所述固毡本体（1）位于单晶炉中护底压板的下端；

所述固定凹槽（2）在固毡本体（1）上围成一个圆形结构；

所述托杆通孔（5）设置于所述固毡本体（1）的中心，所述排气孔（3）对称设置于所述托杆通孔（5）的两侧，所述电极通孔（4）均布与所述托杆通孔（5）的四周，所述排气孔（3）、电极通孔（4）及托杆通孔（5）均位于所述固毡本体（1）上的固定凹槽（2）内；

所述定位块（6）均布在固毡本体（1）的圆周方向上，所述固毡本体（1）通过所述定位块（6）卡合在单晶炉炉底上。

2.根据权利要求1所述的用于单晶热场对中的炉底固毡，其特征在于：所述固毡本体（1）的外径大于所述护底压板的外径小于单晶炉的内径。

3.根据权利要求1所述的用于单晶热场对中的炉底固毡，其特征在于：所述固定凹槽（2）与单晶热场中下保温筒相适配，下保温筒的下沿设置于所述固定凹槽（2）内。

4.根据权利要求1所述的用于单晶热场对中的炉底固毡，其特征在于：所述固毡本体（1）上的排气孔（3）、电极通孔（4）及托杆通孔（5）与单晶炉炉底上开设的孔相对应。

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