CN218694884U - 直线行位机构及应用其的精密激光加工设备 - Google Patents

直线行位机构及应用其的精密激光加工设备 Download PDF

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刘小勇
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Abstract

本实用新型公开了一种直线行位机构及应用其的精密激光加工设备,其包括Y轴行位子机构和防尘组件;防尘组件包括前端板、后端板、水平挡板以及内风琴罩;内风琴罩设置有两个,其中一个内风琴罩的两端分别与前端板和Y轴位移台的一侧相固定,另外一个内风琴罩的两端分别与后端板和Y轴位移台的另一侧相固定,内风琴罩用于覆盖Y轴直线电机;水平挡板水平设置,并跨设于前端板和后端板之间,且水平挡板从Y轴位移台与Y轴支撑板之间的间隙中穿过,水平挡板用于覆盖内风琴罩。本实用新型主要解决避免激光加工设备的行位机构受污染的问题;该精密激光加工设备具有良好的行位精度,能够满足各种工业领域对于加工精度的要求。

Description

直线行位机构及应用其的精密激光加工设备
技术领域
本实用新型涉及激光加工设备技术领域,具体为一种直线行位机构及应用其的精密激光加工设备。
背景技术
激光加工设备可以用于快速高效地完成切割、雕刻、打孔以及焊接等加工过程,甚至能够完成许多机加工设备不能实现的加工过程,因此,激光加工设备被广泛地应用于各种工业领域。
目前,各种工业领域对于加工精度的要求均越来越高,相应地,对于激光加工设备本身的精度要求也会越来越高。
激光加工设备通常包括激光加工机构、行位机构以及夹具/治具机构,其中,行位机构用于承载激光加工机构到达预定的加工位置,完成加工过程,由此可见,激光加工设备的精度,将很大程度依赖于其行位机构的精度。
激光加工设备通常工作在生产制造车间,生产制造车间本身容易产生碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物,此外,激光加工设备在加工的过程中,同样容易产生碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物,这些污染物进入激光加工设备的行位机构后,容易堆积在行位机构处,从而影响行位机构的运行。
综上所述,如何避免激光加工设备的行位机构受污染,对于提高激光加工设备的精度具有重要意义。
实用新型内容
本实用新型的目的之一在于提供一种直线行位装置,能够有效地避免碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入其中,从而确保行位精度。
本实用新型的另一目的在于提供一种精密激光加工设备,其能够有效地避免碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入其Y轴行位子机构和X轴行位子机构中,从而确保行位精度。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种直线行位机构,设置于底座上;其包括Y轴行位子机构和防尘组件;所述Y轴行位子机构包括Y轴直线电机、Y轴位移台以及Y轴支撑板;所述Y轴直线电机的定子固定在所述底座上,所述Y轴直线电机的动子与所述Y轴位移台相互固定连接,使所述Y轴位移台能够沿所述Y轴直线电机的方向行位;所述Y轴支撑板被支撑并固定在所述Y轴位移台上,且所述Y轴位移台与所述Y轴支撑板之间具有间隙;所述防尘组件包括前端板、后端板、水平挡板以及内风琴罩;所述前端板和所述后端板均固定在所述底座上,且所述前端板与所述后端板分列于所述Y轴行位子机构的两端;所述内风琴罩设置有两个,其中一个所述内风琴罩的两端分别与所述前端板和所述Y轴位移台的一侧相固定,另外一个所述内风琴罩的两端分别与所述后端板和所述Y轴位移台的另一侧相固定,所述内风琴罩用于覆盖所述Y轴直线电机;所述水平挡板水平设置,并跨设于所述前端板和所述后端板之间,且所述水平挡板从所述Y轴位移台与所述Y轴支撑板之间的间隙中穿过,所述水平挡板用于覆盖所述内风琴罩。
上述技术方案中,所述防尘组件还包括外风琴罩;所述外风琴罩设置有两个,其中一个所述外风琴罩的两端分别与所述前端板和所述Y轴支撑板的一侧相固定,另外一个所述外风琴罩的两端分别与所述后端板和所述Y轴支撑板的另一侧相固定,所述外风琴罩用于将所述Y轴行位子机构与加工区域隔离。
上述技术方案中,所述防尘组件还包括竖直挡板;所述竖直挡板竖直设置,且所述竖直挡板的两端分别固定在所述前端板和所述后端板上,所述竖直挡板用于将所述外风琴罩与加工区域隔离。
上述技术方案中,所述Y轴行位子机构还包括Y轴直线导轨;所述Y轴直线导轨固定在所述底座上且与所述Y轴直线电机相互平行,所述Y轴直线导轨用于为所述Y轴位移台导向;所述防尘组件的内风琴罩还用于覆盖所述Y轴直线导轨。
上述技术方案中,所述底座上开设有避空回流槽;所述避空回流槽位于所述Y轴行位子机构和所述防尘组件之内。
上述技术方案中,所述Y轴行位子机构和所述防尘组件相互对置地设置有两个。
一种精密激光加工设备,其包括了上述的直线行位机构,其还包括X轴行位子机构、Z轴行位子机构、激光加工机构以及夹具机构;所述X轴行位子机构设置在所述Y轴行位子机构的Y轴支撑板上,使所述Y轴行位子机构能够连动所述X轴行位子机构沿Y轴方向行位;所述Z轴行位子机构设置在所述X轴行位子机构上,使所述X轴行位子机构能够连动所述Z轴行位子机构沿X轴方向行位;所述激光加工机构设置在所述Z轴行位子机构上,使所述Z轴行位子机构能够连动所述激光加工机构沿Z轴方向行位;所述夹具机构设置在所述底座的加工区域处。
上述技术方案中,所述X轴行位子机构包括X轴直线电机、X轴直线导轨、X轴位移台以及X轴底盒;所述X轴底盒固定在所述Y轴行位子机构的Y轴支撑板上;所述X轴直线电机的定子固定在所述X轴底盒上,所述X轴直线电机的动子与所述X轴位移台相互固定连接,使所述X轴位移台能够沿所述X轴直线电机的方向行位;所述X轴直线导轨固定在所述X轴底盒上且与所述X轴直线电机相互平行,所述X轴直线导轨用于为所述X轴位移台导向。
上述技术方案中,所述X轴行位子机构还包括X轴风琴罩;所述X轴风琴罩设置有两个,其中一个所述X轴风琴罩的两端分别与所述X轴底盒的一侧端板和所述X轴位移台的一侧相固定,另外一个所述X轴风琴罩的两端分别与所述X轴底盒的另一侧端板和所述X轴位移台的另一侧相固定,所述X轴风琴罩用于覆盖所述X轴直线电机和所述X轴直线导轨。
上述技术方案中,所述Z轴行位子机构包括Z轴支架和Z轴位移台;所述Z轴支架固定在所述X轴行位子机构的X轴位移台上,所述Z轴位移台沿Z轴方向设置并固定在所述Z轴支架上;所述激光加工机构固定在所述Z轴位移台的滑台上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型的直线行位机构,Y轴行位子机构能够用于承载并带动激光加工机构沿Y轴方向行位;内风琴罩覆盖Y轴行位子机构的Y轴直线电机和Y轴直线导轨,避免污染物落入Y轴直线电机和Y轴直线导轨处;水平挡板覆盖内风琴罩,防止重物下压,并防止高温物体与内风琴罩接触,增加内风琴罩的耐用性;外风琴罩和竖直挡板均能够将Y轴行位子机构与加工区域隔离,从而避免加工区域飞溅的污染物落入Y轴行位子机构处;通过内风琴罩、水平挡板、外风琴罩以及竖直挡板的多重防护,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入Y轴行位子机构处,使Y轴行位子机构能够稳定地运行,从而确保Y轴行位子机构的行位精度。
2、本实用新型的精密激光加工设备,通过内风琴罩、水平挡板、外风琴罩以及竖直挡板的多重防护,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入Y轴行位子机构处,使Y轴行位子机构能够稳定地运行,从而确保Y轴行位子机构的行位精度;X轴风琴罩与X轴底盒一同围蔽X轴行位子机构的X轴直线电机和X轴直线导轨,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入X轴行位子机构的X轴直线电机和X轴直线导轨处,使X轴行位子机构能够稳定地运行,从而确保X轴行位子机构的行位精度;从而,该精密激光加工设备具有良好的行位精度,能够满足各种工业领域对于加工精度的要求。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的机构分解视图。
图2为本实用新型实施例二的立体视图。
图3为本实用新型实施例二的机构分解视图。
附图标记为:1、底座;11、避空回流槽;2、Y轴行位子机构;21、Y轴直线电机;22、Y轴直线导轨;23、Y轴位移台;24、Y轴支撑板;3、防尘组件;31、前端板;32、后端板;33、水平挡板;34、竖直挡板;35、内风琴罩;36、外风琴罩;4、X轴行位子机构;41、X轴直线电机;42、X轴直线导轨;43、X轴位移台;44、X轴底盒;45、X轴风琴罩;5、Z轴行位子机构;51、Z轴支架;52、Z轴位移台;6、激光加工机构;7、夹具机构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例一:
请参阅图1,本实施例提供一种直线行位机构,设置于底座1上。
其中,底座1为金属材质或者大理石材质的平整板材,本实施例中,底座1为大理石材质,使底座1具有较高的刚性而不易形变。
本实施例的直线行位机构,包括Y轴行位子机构2和防尘组件3。
Y轴行位子机构2包括Y轴直线电机21、Y轴位移台23以及Y轴支撑板24;其中,Y轴位移台23和Y轴支撑板24均为金属板材;该Y轴直线电机21为精密型直线电机,其具有作为轨道的定子和作为位移部件的动子,Y轴直线电机21的定子固定在底座1上,Y轴直线电机21的动子与Y轴位移台23相互固定连接,使Y轴位移台23能够沿Y轴直线电机21的方向行位;Y轴支撑板24被支撑并固定在Y轴位移台23上,且Y轴位移台23与Y轴支撑板24之间具有间隙,具体来说,Y轴位移台23的两侧均设置有支撑条,Y轴支撑板24被支撑并固定在该支撑条上,从而使Y轴位移台23与Y轴支撑板24之间具有间隙。
防尘组件3包括前端板31、后端板32、水平挡板33以及内风琴罩35;其中,前端板31和后端板32均为金属立板,水平挡板33则为薄型的金属板材,内风琴罩35由具有皱褶的三防布构成,使内风琴罩35能够遮盖物体,且能够伸缩;前端板31和后端板32均固定在底座1上,且前端板31与后端板32分列于Y轴行位子机构2的两端;内风琴罩35设置有两个,其中一个内风琴罩35的两端分别与前端板31和Y轴位移台23的一侧相固定,另外一个内风琴罩35的两端分别与后端板32和Y轴位移台23的另一侧相固定,内风琴罩35用于覆盖Y轴直线电机21;Y轴位移台23在行位时,其中一个内风琴罩35逐渐展开,另外一个内风琴罩35则逐渐收缩;水平挡板33水平设置,并跨设于前端板31和后端板32之间,即,水平挡板33的两端分别固定在前端板31和后端板32上,且水平挡板33从Y轴位移台23与Y轴支撑板24之间的间隙中穿过,水平挡板33用于覆盖内风琴罩35。
进一步地,防尘组件3还包括外风琴罩36,外风琴罩36由具有皱褶的三防布构成,使外风琴罩36能够遮盖物体,且能够伸缩;外风琴罩36设置有两个,其中一个外风琴罩36的两端分别与前端板31和Y轴支撑板24的一侧相固定,另外一个外风琴罩36的两端分别与后端板32和Y轴支撑板24的另一侧相固定,外风琴罩36用于将Y轴行位子机构2与加工区域隔离;Y轴位移台23在行位时,其中一个外风琴罩36逐渐展开,另外一个外风琴罩36则逐渐收缩。
进一步地,防尘组件3还包括竖直挡板34,该竖直挡板34为薄型的金属板材;竖直挡板34竖直设置,且竖直挡板34的两端分别固定在前端板31和后端板32上,竖直挡板34用于将外风琴罩36与加工区域隔离。
进一步地,Y轴行位子机构2还包括Y轴直线导轨22,该Y轴直线导轨22为精密型直线导轨,Y轴直线导轨22上设置有滑块;Y轴直线导轨22固定在底座1上且与Y轴直线电机21相互平行,Y轴直线导轨22用于为Y轴位移台23导向,具体来说,Y轴位移台23固定在Y轴直线导轨22的滑块上,使Y轴直线导轨22能够为Y轴位移台23导向;本实施例中,Y轴直线导轨22在Y轴直线电机21的两侧相互平行地设置有两条;防尘组件3的内风琴罩35还用于覆盖Y轴直线导轨22。
本实施例的直线行位机构,Y轴行位子机构2能够用于承载并带动激光加工机构6沿Y轴方向行位;内风琴罩35覆盖Y轴行位子机构2的Y轴直线电机21和Y轴直线导轨22,避免污染物落入Y轴直线电机21和Y轴直线导轨22处;水平挡板33覆盖内风琴罩35,防止重物下压,并防止高温物体与内风琴罩35接触,增加内风琴罩35的耐用性;外风琴罩36和竖直挡板34均能够将Y轴行位子机构2与加工区域隔离,从而避免加工区域飞溅的污染物落入Y轴行位子机构2处;通过内风琴罩35、水平挡板33、外风琴罩36以及竖直挡板34的多重防护,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入Y轴行位子机构2处,使Y轴行位子机构2能够稳定地运行,从而确保Y轴行位子机构2的行位精度。
进一步地,底座1上开设有避空回流槽11,具体来说,该避空回流槽11为开设在底座1上的条形长槽,且该避空回流槽11具有一定的宽度;避空回流槽11位于Y轴行位子机构2和防尘组件3之内;在Y轴行位子机构2高速运转时,避空回流槽11能够增加防尘组件3内部的空气回流空间,减少外部空气进入防尘组件3,进一步避免污染物落入Y轴直线电机21和Y轴直线导轨22处。
进一步地,Y轴行位子机构2和防尘组件3相互对置地设置有两个,使本实施例的直线行位机构能够承载更大的重量。
实施例二:
请参阅图2和图3,本实施例提供一种精密激光加工设备,其包括了实施例一所述的直线行位机构,其还包括X轴行位子机构4、Z轴行位子机构5、激光加工机构6以及夹具机构7。
X轴行位子机构4设置在Y轴行位子机构2的Y轴支撑板24上,使Y轴行位子机构2能够连动X轴行位子机构4沿Y轴方向行位;Z轴行位子机构5设置在X轴行位子机构4上,使X轴行位子机构4能够连动Z轴行位子机构5沿X轴方向行位;激光加工机构6设置在Z轴行位子机构5上,使Z轴行位子机构5能够连动激光加工机构6沿Z轴方向行位;夹具机构7设置在底座1的加工区域处。
具体地,X轴行位子机构4包括X轴直线电机41、X轴直线导轨42、X轴位移台43以及X轴底盒44;其中,X轴位移台43为金属板材,X轴底盒44则为由金属板材围成的上端开口的盒体,X轴直线导轨42为精密型直线导轨,该X轴直线导轨42上设置有滑块;X轴底盒44固定在Y轴行位子机构2的Y轴支撑板24上,本实施例中,X轴底盒44跨设于两个Y轴行位子机构2的Y轴支撑板24上;该X轴直线电机41为精密型直线电机,其具有作为轨道的定子和作为位移部件的动子,X轴直线电机41的定子固定在X轴底盒44上,X轴直线电机41的动子与X轴位移台43相互固定连接,使X轴位移台43能够沿X轴直线电机41的方向行位;X轴直线导轨42固定在X轴底盒44上且与X轴直线电机41相互平行,X轴直线导轨42用于为X轴位移台43导向,具体来说,X轴位移台43固定在X轴直线导轨42的滑块上,使X轴直线导轨42能够为X轴位移台43导向,本实施例中,X轴直线导轨42在X轴直线电机41的两侧相互平行地设置有两条。
进一步地,X轴行位子机构4还包括X轴风琴罩45,X轴风琴罩45由具有皱褶的三防布构成,使X轴风琴罩45能够遮盖物体,且能够伸缩;X轴风琴罩45设置有两个,其中一个X轴风琴罩45的两端分别与X轴底盒44的一侧端板和X轴位移台43的一侧相固定,另外一个X轴风琴罩45的两端分别与X轴底盒44的另一侧端板和X轴位移台43的另一侧相固定,X轴风琴罩45用于覆盖X轴直线电机41和X轴直线导轨42;X轴位移台43在行位时,其中一侧的X轴风琴罩45逐渐展开,另外一侧的X轴风琴罩45则逐渐收缩。
本实施例中,X轴位移台43在X轴行位子机构4上设置有两个,两个X轴位移台43共用相同的X轴直线电机41、X轴直线导轨42以及X轴底盒44;相应地,本实施例还设置有第三个X轴风琴罩45,该X轴风琴罩45的两端分别与两个X轴位移台43连接。
X轴风琴罩45与X轴底盒44一同围蔽X轴行位子机构4的X轴直线电机41和X轴直线导轨42,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入X轴行位子机构4的X轴直线电机41和X轴直线导轨42处,使X轴行位子机构4能够稳定地运行,从而确保X轴行位子机构4的行位精度。
具体地,Z轴行位子机构5包括Z轴支架51和Z轴位移台52,其中,Z轴支架51为金属框架,Z轴位移台52是由伺服电机或步进电机驱动的精密位移台,其具有能够沿直线行位的滑台;Z轴支架51固定在X轴行位子机构4的X轴位移台43上,Z轴位移台52沿Z轴方向设置并固定在Z轴支架51上,使X轴行位子机构4能够连动Z轴行位子机构5沿X轴方向行位;激光加工机构6固定在Z轴位移台52的滑台上,使Z轴行位子机构5能够连动激光加工机构6沿Z轴方向行位。
需要说明的是,本实施例中的激光加工机构6由激光发射器和激光光路构成,能够完成切割、雕刻、打孔以及焊接等加工过程;本实施例中的激光加工机构6和Z轴行位子机构5对应于X轴位移台43的数量,均设置有两个,即每个X轴位移台43上均设置有一组激光加工机构6和Z轴行位子机构5;夹具机构7设置在底座1的加工区域处,用于夹持待加工的工件。
本实施例的精密激光加工设备,通过内风琴罩35、水平挡板33、外风琴罩36以及竖直挡板34的多重防护,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入Y轴行位子机构2处,使Y轴行位子机构2能够稳定地运行,从而确保Y轴行位子机构2的行位精度;X轴风琴罩45与X轴底盒44一同围蔽X轴行位子机构4的X轴直线电机41和X轴直线导轨42,有效地避免了碎屑、粉尘以及颗粒物等污染物落入X轴行位子机构4的X轴直线电机41和X轴直线导轨42处,使X轴行位子机构4能够稳定地运行,从而确保X轴行位子机构4的行位精度;从而,该精密激光加工设备具有良好的行位精度,能够满足各种工业领域对于加工精度的要求。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种直线行位机构,设置于底座上;其特征在于,包括Y轴行位子机构和防尘组件;
所述Y轴行位子机构包括Y轴直线电机、Y轴位移台以及Y轴支撑板;所述Y轴直线电机的定子固定在所述底座上,所述Y轴直线电机的动子与所述Y轴位移台相互固定连接,使所述Y轴位移台能够沿所述Y轴直线电机的方向行位;所述Y轴支撑板被支撑并固定在所述Y轴位移台上,且所述Y轴位移台与所述Y轴支撑板之间具有间隙;
所述防尘组件包括前端板、后端板、水平挡板以及内风琴罩;
所述前端板和所述后端板均固定在所述底座上,且所述前端板与所述后端板分列于所述Y轴行位子机构的两端;
所述内风琴罩设置有两个,其中一个所述内风琴罩的两端分别与所述前端板和所述Y轴位移台的一侧相固定,另外一个所述内风琴罩的两端分别与所述后端板和所述Y轴位移台的另一侧相固定,所述内风琴罩用于覆盖所述Y轴直线电机;
所述水平挡板水平设置,并跨设于所述前端板和所述后端板之间,且所述水平挡板从所述Y轴位移台与所述Y轴支撑板之间的间隙中穿过,所述水平挡板用于覆盖所述内风琴罩。
2.根据权利要求1所述的直线行位机构,其特征在于:所述防尘组件还包括外风琴罩;
所述外风琴罩设置有两个,其中一个所述外风琴罩的两端分别与所述前端板和所述Y轴支撑板的一侧相固定,另外一个所述外风琴罩的两端分别与所述后端板和所述Y轴支撑板的另一侧相固定,所述外风琴罩用于将所述Y轴行位子机构与加工区域隔离。
3.根据权利要求2所述的直线行位机构,其特征在于:所述防尘组件还包括竖直挡板;
所述竖直挡板竖直设置,且所述竖直挡板的两端分别固定在所述前端板和所述后端板上,所述竖直挡板用于将所述外风琴罩与加工区域隔离。
4.根据权利要求1所述的直线行位机构,其特征在于:所述Y轴行位子机构还包括Y轴直线导轨;
所述Y轴直线导轨固定在所述底座上且与所述Y轴直线电机相互平行,所述Y轴直线导轨用于为所述Y轴位移台导向;
所述防尘组件的内风琴罩还用于覆盖所述Y轴直线导轨。
5.根据权利要求1所述的直线行位机构,其特征在于:所述底座上开设有避空回流槽;
所述避空回流槽位于所述Y轴行位子机构和所述防尘组件之内。
6.根据权利要求1所述的直线行位机构,其特征在于:所述Y轴行位子机构和所述防尘组件相互对置地设置有两个。
7.一种精密激光加工设备,其特征在于,包括了权利要求1-6任一所述的直线行位机构,其还包括X轴行位子机构、Z轴行位子机构、激光加工机构以及夹具机构;
所述X轴行位子机构设置在所述Y轴行位子机构的Y轴支撑板上,使所述Y轴行位子机构能够连动所述X轴行位子机构沿Y轴方向行位;
所述Z轴行位子机构设置在所述X轴行位子机构上,使所述X轴行位子机构能够连动所述Z轴行位子机构沿X轴方向行位;
所述激光加工机构设置在所述Z轴行位子机构上,使所述Z轴行位子机构能够连动所述激光加工机构沿Z轴方向行位;
所述夹具机构设置在所述底座的加工区域处。
8.根据权利要求7所述的精密激光加工设备,其特征在于:所述X轴行位子机构包括X轴直线电机、X轴直线导轨、X轴位移台以及X轴底盒;
所述X轴底盒固定在所述Y轴行位子机构的Y轴支撑板上;
所述X轴直线电机的定子固定在所述X轴底盒上,所述X轴直线电机的动子与所述X轴位移台相互固定连接,使所述X轴位移台能够沿所述X轴直线电机的方向行位;
所述X轴直线导轨固定在所述X轴底盒上且与所述X轴直线电机相互平行,所述X轴直线导轨用于为所述X轴位移台导向。
9.根据权利要求8所述的精密激光加工设备,其特征在于:所述X轴行位子机构还包括X轴风琴罩;
所述X轴风琴罩设置有两个,其中一个所述X轴风琴罩的两端分别与所述X轴底盒的一侧端板和所述X轴位移台的一侧相固定,另外一个所述X轴风琴罩的两端分别与所述X轴底盒的另一侧端板和所述X轴位移台的另一侧相固定,所述X轴风琴罩用于覆盖所述X轴直线电机和所述X轴直线导轨。
10.根据权利要求8所述的精密激光加工设备,其特征在于:所述Z轴行位子机构包括Z轴支架和Z轴位移台;
所述Z轴支架固定在所述X轴行位子机构的X轴位移台上,所述Z轴位移台沿Z轴方向设置并固定在所述Z轴支架上;
所述激光加工机构固定在所述Z轴位移台的滑台上。
CN202222594298.6U 2022-09-29 2022-09-29 直线行位机构及应用其的精密激光加工设备 Active CN218694884U (zh)

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