CN218647897U - 晶圆储存装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆储存装置，包括一晶圆存放组件，晶圆存放组件包含有定位柱、上盖件、下承载件、及晶圆承载件，晶圆存放组件的左右两侧分别设有左侧夹持组件及右侧夹持组件，下承载件或左侧夹持组件及右侧夹持组件连接有一纵向带动机构，其中左侧夹持组件包含有左侧支撑件、左上夹爪、及左下夹爪，右侧夹持组件包含有右侧支撑件、右上夹爪、及右下夹爪，左侧夹持组件会经由一左横向带动机构所带动，而右侧夹持组件会经由一右横向带动机构所带动，借此夹持晶圆存放组件中的上盖件或各晶圆承载件，以配合纵向带动机构的带动方式，来产生供使用者取放晶圆片的空间，同时配合晶圆检测机构来检测晶圆片的状况，以提高使用上的方便性与效率。

Description

晶圆储存装置

技术领域

本实用新型涉及一种提高储存方便性与取放效率的晶圆储存装置。

背景技术

晶圆的技术乃目前许多半导体技术的根本，因此晶圆的生产制造与研发技术即为半导体产业的重点之一。

而晶圆在存放或运送时，往往都会利用容器来进行装载，以达到防止破坏或降低与外部空气接触的可能性，以稳定及确保晶圆的质量。而正常晶圆放置于容器中的方式，大多是利用堆栈的方式来进行放置，并在需要的时候，再透过机械手臂之类的机械设备将晶圆取出。

而若是应用于小型的晶圆时，会因为晶圆尺寸或厚度较小，因此将晶圆于容器中堆栈的更加紧密，进而完整的利用整个存放的空间，但若是透过此种方式堆放，又可能会因为尺寸较小且间隙较密的关系，让使用者要取出晶圆时会较为麻烦，可能产生撞伤其他晶圆状况，使得在取放晶圆时的效率大为下降。

是以，要如何解决上述习用的问题与缺失，即为本实用新型的申请人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。

实用新型内容

因此，有鉴于上述缺失，本实用新型的主要目的是在于提供一种储存使用上更加方便有效率的晶圆储存装置。

本实用新型的目的是在于利用纵向带动机构来带动晶圆存放组件，并配合左侧夹持组件与右侧夹持组件来产生取放晶圆片的空间，以及配合晶圆检测机构同时检测晶圆片的状况，借此提高使用上的方便性与效率。

为达成上述目的，本实用新型提供一种晶圆储存装置，其特征在于，包含：

一晶圆存放组件，该晶圆存放组件包含有复数的定位柱、一活动设置于该复数的定位柱上的上盖件、一活动设置于该复数的定位柱上的下承载件、及活动设置于该复数的定位柱上并位于该上盖件及该下承载件之间的复数的晶圆承载件，而该复数的晶圆承载件是供盛放晶圆片；

一左侧夹持组件，该左侧夹持组件设于该晶圆存放组件的左侧处，且该左侧夹持组件包含有一左侧支撑件、一设于该左侧支撑件上的左上夹爪、及一活动设于该左上夹爪下侧处的左下夹爪；

一左横向带动机构，该左横向带动机构设于该左侧夹持组件上，以供带动该左侧夹持组件横向移动；

一右侧夹持组件，该右侧夹持组件设于该晶圆存放组件的右侧处，且该右侧夹持组件包含有一右侧支撑件、一设于该右侧支撑件上的右上夹爪、及一活动设于该右上夹爪下侧处的右下夹爪；

一右横向带动机构，该右横向带动机构设于该右侧夹持组件上，以供带动该右侧夹持组件横向移动；

一纵向带动机构，该纵向带动机构设于该晶圆存放组件的一侧处，是供连接该晶圆存放组件或该左侧夹持组件及该右侧夹持组件；及

一晶圆检测机构，该晶圆检测机构设于该晶圆存放组件的一侧处，以供检测该晶圆存放组件内的晶圆片。

所述的晶圆储存装置，其中：该晶圆检测机构具有一翘曲检测件、及一设于该翘曲检测件的一侧处的晶圆确认件。

所述的晶圆储存装置，其中：该晶圆存放组件上设有一位置对应该晶圆确认件的确认窗口，而各该晶圆承载件上具有一位置对应该确认窗口的检验区。

所述的晶圆储存装置，其中：该晶圆存放组件上设有一气体进出机构。

所述的晶圆储存装置，其中：该晶圆存放组件的一侧处设有一气幕组件。

借由上述的结构，当用户要进行晶圆片的取放动作时，能先经由纵向带动机构带动晶圆存放组件移动至指定位置处，或带动左侧夹持组件及右侧夹持组件移动至指定位置处，并利用左横向带动机构带动左侧夹持组件中的左侧支撑件往晶圆存放组件的方向移动，同时利用右横向带动机构带动右侧夹持组件中的右侧支撑件往晶圆存放组件的方向移动。

而此时左上夹爪及右上夹爪则会同时夹持住同一个晶圆承载件或上盖件，而左下夹爪及右下夹爪则会同时夹持住另一个晶圆承载件，之后纵向带动机构则会带动下承载件沿定位柱的方向往下方移动一第一预定距离，而未被夹持住的晶圆承载件则同样会被下承载件连动往下带动。

当下承载件移动完毕后，左下夹爪及右下夹爪则会带动所夹持住的晶圆承载件下降一第二预定距离，如此就能经由第一预定距离及第二预定距离所产生的空间，让使用者能进行取放的动作，并且在进行取放时，还能经由晶圆检测机构来检测晶圆存放组件之中的晶圆片状况，以辅助用户的相关作业，即可达到提高使用效率与方便性的优势。

借由上述技术，可针对习用的小型晶圆片取放不易的问题点加以突破，达到上述优点的实用进步性。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的立体透视图。

图2为本实用新型较佳实施例的局部示意图(一)。

图3为本实用新型较佳实施例的局部示意图(二)。

图4为本实用新型较佳实施例的晶圆存放组件分解图。

图5为本实用新型较佳实施例的垂直移动示意图(一)。

图6为本实用新型较佳实施例的检测示意图。

图7为本实用新型较佳实施例的夹持示意图。

图8为本实用新型较佳实施例的垂直移动示意图(二)。

图9为本实用新型较佳实施例的夹爪移动示意图。

图10为本实用新型较佳实施例的取出示意图。

图11为本实用新型再一较佳实施例的立体透视图。

图12为本实用新型再一较佳实施例的气流示意图。

图13为本实用新型再一较佳实施例的气幕示意图。

图14为本实用新型又一较佳实施例的立体透视图。

图15为本实用新型又一较佳实施例的垂直移动示意图(一)。

图16为本实用新型又一较佳实施例的夹持示意图。

图17为本实用新型又一较佳实施例的垂直移动示意图(二)。

附图标记说明：晶圆存放组件1；定位柱11；上盖件12；下承载件13；晶圆承载件14；检验区141；确认窗口15；纵向带动机构2；左侧夹持组件3；左侧支撑件31；左上夹爪32；左下夹爪33；左横向带动机构34；右侧夹持组件4；右侧支撑件41；右上夹爪42；右下夹爪43；右横向带动机构44；晶圆检测机构5；翘曲检测件51；晶圆确认件52；气体进出机构6；进气管61；出气孔62；气幕组件7；晶圆片W。

具体实施方式

为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及构造，现结合附图就本实用新型较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利于完全了解。

请参阅图1至图10所示，为本实用新型较佳实施例的立体透视图至取出示意图，由图中可清楚看出本实用新型包括：

一晶圆存放组件1，晶圆存放组件1包含有复数的定位柱11、一活动设置于各定位柱11上的上盖件12、一活动设置于该定位柱11上的下承载件13、及复数活动设置于各定位柱11上并位于上盖件12及下承载件13之间的晶圆承载件14；

一设于晶圆存放组件1上的确认窗口15，且各晶圆承载件14上会具有一位置对应确认窗口15的检验区141；

一连接于下承载件13上的纵向带动机构2，本实用新型实施例的纵向带动机构2以伺服马达作为举例；

一设于晶圆存放组件1的左侧处的左侧夹持组件3，左侧夹持组件3包含有一左侧支撑件31、一设于左侧支撑件31上的左上夹爪32、及一活动设置于左上夹爪32下侧处的左下夹爪33，本实用新型实施例的左下夹爪33以透过升降式汽缸来带动作为举例；

一设于左侧夹持组件3上的左横向带动机构34，本实用新型实施例的左横向带动机构34以横向式的汽缸作为举例；

一设于晶圆存放组件1的右侧处的右侧夹持组件4，右侧夹持组件4包含有一右侧支撑件41、一设于右侧支撑件41上的右上夹爪42、及一活动设置于右上夹爪42下侧处的右下夹爪43，本实用新型实施例的右下夹爪43以透过升降式汽缸来带动作为举例；

一设于右侧夹持组件4上的右横向带动机构44，本实用新型实施例的右横向带动机构44以横向式的汽缸作为举例；及

一设于晶圆存放组件1的一侧处的晶圆检测机构5，晶圆检测机构5具有一翘曲检测件51、及一设于翘曲检测件51的一侧处的晶圆确认件52，其中翘曲检测件51及晶圆确认件52以设置于左侧夹持组件3及右侧夹持组件4上的光学式检测器作为举例。

借由上述的说明，已可了解本实用新型技术的结构，而依据这个结构的对应配合，即可达到使用上更加方便有效率的优势，而详细的解说将于下述说明。

当使用者要取放晶圆片W时，能配合图5所示，先利用纵向带动机构2带动晶圆存放组件1进行纵向的移动，并移动至指定位置处，本实用新型实施例以要取放上盖件12下方第一个晶圆承载件14上的晶圆片W作为举例，因此移至指定位置处时，会让上盖件12的位置对准于左侧夹持组件3中的左上夹爪32与右侧夹持组件4中的右上夹爪42位置处，即将要取出晶圆片W的晶圆承载件14对准于左下夹爪33与右下夹爪43的位置处。

此时如图6所示，晶圆检测机构5中的晶圆确认件52就会利用确认窗口15的位置处来检测晶圆存放组件1内的状况，且因各晶圆承载件14上会有检验区141，检验区141的位置会让各晶圆片W裸露出来，并不会被晶圆承载件14所遮挡到，因此若晶圆确认件52穿过确认窗口15处确认道有晶圆时，准确度就会较高，并不会受到晶圆承载件14的影响，借此来达到准确检测晶圆承载件14上是否有放置晶圆片W的优势。

确认有晶圆片W之后，能配合图2、图3及图7至图9所示，左横向带动机构34就会带动左侧支撑件31往晶圆存放组件1的方向移动，以让左上夹爪32卡合于上盖件12上，以及让左下夹爪33卡合于晶圆承载件14上，而右横向带动机构44则会带动右侧支撑件41往晶圆存放组件1的方向移动，以让右上夹爪42卡合于上盖件12上，以及使右下夹爪43卡合晶圆承载件14上。且上述的左侧支撑件31及右侧支撑件41的夹持顺序并不设限，能同时进行、先左后右、或先右后左皆可。

卡合完毕后，则会使纵向带动机构2带动下承载件13往下移动一第一预定距离，并同时带动未被卡合晶圆承载件14往下移动。当纵向带动机构2移动完毕后，左下夹爪33及右下夹爪43则会带动所夹持卡合的晶圆承载件14往下移动一第二预定距离，并且第二预定距离的长度会小于第一预定距离，借此让左下夹爪33及右下夹爪43所夹持卡合的晶圆承载件14与上方的上盖件12及下方的另一晶圆承载件14都产生空间。

此时使用者即可利用此空间，取放被左下夹爪33及右下夹爪43所夹持卡合的晶圆承载件14上的晶圆片W，借此来取放晶圆存放组件1之中的晶圆片W，而不会碰触到上盖件12与下方剩余的晶圆承载件14，以提高使用上的方便性与降低碰撞损坏的可能性。而若是要放入晶圆片W于晶圆承载件14上时，则还可经由晶圆检测机构5中的翘曲检测件51检测晶圆片W的翘曲程度，以防止因为过度翘曲时，导致撞到其他晶圆承载件14或上盖件12而产生损坏的可能性。

取放完毕后，则可反向操作上述的动作，即让左下夹爪33及右下夹爪43带动所夹持卡合的晶圆承载件14往上移动至原位置处，再经由纵向带动机构2带动下承载件13及其余的晶圆承载件14往上回复到原本的位置处，并让左横向带动机构34及右横向带动机构44带动左侧夹持组件3及右侧夹持组件4远离晶圆存放组件1，即可回复到原本的存放状态。

再请同时配合参阅图11至图13所示，为本实用新型再一较佳实施例的立体透视图至气幕示意图，由图中可清楚看出，本实用新型实施例与上述实施例为大同小异，仅于本实用新型实施例中，会于晶圆存放组件1上设有一气体进出机构6，本实用新型实施例的气体进出机构6以复数设置于晶圆存放组件1上的进气管61与出气孔62所组成，如此即可根据需求导入洁净气体进入晶圆存放组件1中。

且晶圆存放组件1的一侧处设有一气幕组件7，本实用新型实施例的气幕组件7以设置于取放晶圆片的进出口两侧处的气幕机作为举例，如此即可透过气幕组件7产生的气幕效果，使得外部的脏污不会进入晶圆存放组件1之中。

再请同时配合参阅图14至图17所示，为本实用新型又一较佳实施例的立体透视图至垂直移动示意图(二)，由图中可清楚看出，本实用新型实施例与上述实施例为大同小异，仅于本实用新型实施例中，纵向带动机构2为分别连接左侧夹持组件3及右侧夹持组件4作为举例，以表示纵向带动机构2连接的目标并不设限。

如此本实用新型实施例在作动时，晶圆存放组件1并不会移动，而纵向带动机构2会先带动左侧夹持组件3及右侧夹持组件4往上移动至指定位置处，如将上盖件12的位置对准于左侧夹持组件3中的左上夹爪32与右侧夹持组件4中的右上夹爪42位置处。之后即可如前述实施例的作动，使左横向带动机构34就会带动左侧支撑件31往晶圆存放组件1的方向移动，以让左上夹爪32卡合于上盖件12上，以及让左下夹爪33卡合于晶圆承载件14上，而右横向带动机构44则会带动右侧支撑件41往晶圆存放组件1的方向移动，以让右上夹爪42卡合于上盖件12上，以及使右下夹爪43卡合晶圆承载件14上。

卡合完毕后，则让纵向带动机构2带动左侧夹持组件3及右侧夹持组件4往上移动第一预定距离，并同样使左下夹爪33及右下夹爪43带动所夹持卡合的晶圆承载件14往下移动第二预定距离，即可同样产生供使用者取放晶圆片的空间。当取放完毕后，则同样反向操作上述的动作，即可使整体回复到原始的状态。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶圆储存装置，其特征在于，包含：

一晶圆存放组件，该晶圆存放组件包含有复数的定位柱、一活动设置于该复数的定位柱上的上盖件、一活动设置于该复数的定位柱上的下承载件、及活动设置于该复数的定位柱上并位于该上盖件及该下承载件之间的复数的晶圆承载件，而该复数的晶圆承载件是供盛放晶圆片；

一左侧夹持组件，该左侧夹持组件设于该晶圆存放组件的左侧处，且该左侧夹持组件包含有一左侧支撑件、一设于该左侧支撑件上的左上夹爪、及一活动设于该左上夹爪下侧处的左下夹爪；

一左横向带动机构，该左横向带动机构设于该左侧夹持组件上，以供带动该左侧夹持组件横向移动；

一右侧夹持组件，该右侧夹持组件设于该晶圆存放组件的右侧处，且该右侧夹持组件包含有一右侧支撑件、一设于该右侧支撑件上的右上夹爪、及一活动设于该右上夹爪下侧处的右下夹爪；

一右横向带动机构，该右横向带动机构设于该右侧夹持组件上，以供带动该右侧夹持组件横向移动；

一纵向带动机构，该纵向带动机构设于该晶圆存放组件的一侧处，是供连接该晶圆存放组件或该左侧夹持组件及该右侧夹持组件；及

一晶圆检测机构，该晶圆检测机构设于该晶圆存放组件的一侧处，以供检测该晶圆存放组件内的晶圆片。

2.如权利要求1所述的晶圆储存装置，其特征在于：该晶圆检测机构具有一翘曲检测件、及一设于该翘曲检测件的一侧处的晶圆确认件。

3.如权利要求2所述的晶圆储存装置，其特征在于：该晶圆存放组件上设有一位置对应该晶圆确认件的确认窗口，而各该晶圆承载件上具有一位置对应该确认窗口的检验区。

4.如权利要求1所述的晶圆储存装置，其特征在于：该晶圆存放组件上设有一气体进出机构。

5.如权利要求1所述的晶圆储存装置，其特征在于：该晶圆存放组件的一侧处设有一气幕组件。

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