CN218647303U - 外接式光阻剂供应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种外接式光阻剂供应装置，包括箱体以及安装在箱体中的光阻剂供应部和控制电路，光阻剂供应部包括连接光阻剂存储装置的进料管道，连接光刻涂胶设备的出料管道，以及进料管道和出料管道之间的供液泵，进料管道还设置有过滤器，控制电路的输入端电连接光刻涂胶设备的信号输出接口，输出端电连接供液泵，用于响应光刻涂胶设备的信号的供液信号和停止信号控制供液泵提供光阻剂。该外接式光阻剂供应装置不影响设备的原有管路，能够作为扩展装置广泛地兼容于光刻涂胶设备；实现产品快速切换，提高生产效率；实现离线清洗，不影响生产进度。

Description

外接式光阻剂供应装置

技术领域

本说明书涉及半导体技术领域，具体涉及一种外接式光阻剂供应装置。

背景技术

在半导体的生产过程中，需要向光刻设备提供光阻剂，光阻剂通过涂胶设备涂布在待加工的晶圆表面。目前的光刻涂胶设备的涂胶管路和供给单元数量固定且不可移动，此外，在进行设备保养作业或切换产品时，光刻涂胶设备的管路需要泡管和冲洗，操作时间长，光刻设备停止工作，影响晶圆的产能。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种外接式光阻剂供应装置，该装置独立于光刻涂胶设备本身的管路系统，能够实现与光刻涂胶设备的快速对接、快速更换，不影响光阻剂的涂布作业，达到在设备保养或切换产品时不占用设备产能的目的。

本说明书实施例提供以下技术方案：

一种外接式光阻剂供应装置，包括箱体以及安装在所述箱体中的光阻剂供应部和控制电路，所述光阻剂供应部包括：

连接光阻剂存储装置的进料管道；

连接所述光刻涂胶设备的出料管道；

设置于所述进料管道的过滤器；

设置于所述进料管道与所述出料管道之间的供液泵；

所述控制电路的输入端电连接所述光刻涂胶设备的信号输出接口，所述控制电路的第一输出端电连接所述供液泵，用于响应供液信号以启动所述供液泵，以及响应停止信号以停止所述供液泵，其中，所述供液信号和所述停止信号为所述光刻涂胶设备发出的信号。

上述方案中的外接式光阻剂供应装置，通过控制电路获取光刻涂胶设备的供液信号和停止信号，使用供液泵将光阻剂存储装置中向光刻涂胶设备提供光阻剂，光阻剂在输送前经过滤器过滤，其结构与光刻涂胶设备既有的光阻剂输送结构类似，使用的控制信号相同。该外接式光阻剂供应装置能够匹配适用于光刻涂胶设备，实现与光刻涂胶设备的快速对接和脱离，便于产品切换，使用拆卸更换的方式将不同的外接式光阻剂供应装置快速连接于光刻涂胶设备，清洗时拆除外接式光阻剂供应装置，光刻涂胶设备无需等待清洗完成，起到节省时间成本和提升产能的作用。

本说明书实施例还提供一种方案，所述出料管道设置有气动回吸阀，所述气动回吸阀的压力输送口连接压缩空气管道；

所述压缩空气管道设置有电磁阀，所述电磁阀用于控制向所述气动回吸阀的回吸机构提供压缩空气，以使所述回吸机构回复至初始状态。

本说明书实施例还提供一种方案，所述控制电路的第二输出端电连接所述电磁阀，所述控制电路还用于响应回复信号，以向所述气动回吸阀提供压缩空气，其中，所述回复信号为所述光刻涂胶设备发出的信号。

本说明书实施例还提供一种方案，所述外接式光阻剂供应装置还包括液晶触控面板，所述箱体设置有与所述液晶触控面板相适配、以供所述液晶触控面板的触控显示区域露出的开口，所述液晶触控面板电连接所述控制电路。

本说明书实施例还提供一种方案，所述液晶触控面板用于设定涂胶量、涂胶量偏差值、涂胶速度、涂胶延时、回吸速度、回吸延时中的至少一个参数。

本说明书实施例还提供一种方案，所述出料管道的出料端设置有快速接头，所述快速接头连接所述光刻涂胶设备的进料接口。

本说明书实施例还提供一种方案，所述光阻剂存储装置包括储存罐和计量罐，所述储存罐和所述计量罐通过连通管道连接，所述进料管道连接所述计量罐。

本说明书实施例还提供一种方案，所述光阻剂存储装置还包括排放罐，所述计量罐通过第一排放管道连接所述排放罐，所述第一排放管道设置有第一控制阀；

和/或，所述过滤器通过第二排放管道连接所述排放罐，所述第二排放管道设置有第二控制阀。

本说明书实施例还提供一种方案，所述光刻涂胶设备设置有电源接口，所述外接式光阻剂供应装置的控制电路电连接所述电源接口；

和/或，所述光刻涂胶设备设置有压缩空气接口，所述压缩空气管道连接所述压缩空气接口。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：本实用新型提供的外接式光阻剂供应装置，作为外接设备，并不影响光刻涂胶设备中原有的管路结构，可以作为原有设备的扩展装置，广泛地兼容集成电路的光刻涂胶设备；可以实现多台供应装置与光刻涂胶设备的快速切换，提高生产效率；当外接式光阻剂供应装置需要维修保养或清洗时，可以方便地与光刻涂胶设备脱离进行离线清洗，从而有效地降低晶圆生产的时间成本，实现增加产能的可观收益。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是一种现有技术光刻机工作台中的光阻剂供应装置的结构示意图；

图2是一种外接式光阻剂供应装置的结构示意图；

图3是一种外接式光阻剂供应装置的液晶触摸面板的显示示意图；

其中，100、外接式光阻剂供应装置，10、控制电路，11、液晶触控面板，20、进料管道，25、过滤器，30、出料管道，31、气动回吸阀，32、电磁阀，33、压缩空气管道，35、快速接头，40、供液泵，50、光刻涂胶设备，51、电源接口，52、信号输出接口，53、压缩空气接口，55、光阻剂进料接口，60、电源线，70、信号线，81、储存罐，82、计量罐，83、连通管道，84、排放罐，85、第一排放管道，86、第一控制阀，87、第二排放管道，88、第二控制阀，89、氮气管路。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

需要理解的是，“部件A与部件B的连接”是指部件A直接与部件B接触连接，或者部件A通过其他部件与部件B进行间接连接。本说明书的示例实施例中所描述的“上”、“下”、“内”、“外”、“侧”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本说明书的示例实施例的限定。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。

在晶圆的生产制程中，光刻时需要在晶圆上涂布光阻剂(也称为光阻)形成被覆层，光阻剂分为有两种，正向光阻(Positive Photoresist)和负向光阻(NegativePhotoresist)，正向光阻受照射时会溶解于光阻显影液，负向光阻受照射时则不会溶解于光阻显影液，从而能够方便地制作电路图形。

光阻剂通过光刻涂胶设备(如光刻机工作台中的光刻涂胶设备)吸入，并按照工艺要求，经由管道输送至喷嘴处进行涂布作业。目前，半导体光刻涂胶设备的涂胶管路和供给单元固定在既有设备中，如图1所示，例如，进料管道20、出料管道30、供液泵40、过滤器25均布置在光刻涂胶设备50中，设备数量不可变，安装位置固定且不可移动。当需要切换工艺或产品时，需要等待管路清洗(如泡管和冲洗作业)完成，才能执行新的光阻剂涂布作业，影响产能和生产效率；并且当涂胶管路和供给单元执行定期维护或定期清洗时，光刻涂胶设备需要等待维护或清洗完成，时间跨度较长，降低了时间效益。

发明人提出一种外接式的光阻剂供应装置，其内部结构与现有的固设与光刻涂胶设备内部的光阻剂供应装置相似，其供液管路与光刻涂胶设备的注液管路相连，其驱动装置连接光刻涂胶设备的信号端口，配合光刻涂胶设备执行供液作业，使得该外接式光阻剂供应装置能够独立于光刻涂胶设备，通过快速对接，实现产品的快速切换，并且在清洗光阻剂供应管路时，不占用光刻涂胶的作业时间，从而达到提高生产效率、便于清洗、便于维护保养的目的。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图2所示的外接式光阻剂供应装置100，包括箱体、光阻剂供应部和控制电路10，其中，光阻剂供应部和控制电路10设置在箱体中。

光阻剂供应部包括以下部件：

进料管道20，该进料管道20连接光阻剂存储装置，如连接计量罐82，计量罐82中存放有经过计量的光阻剂；并且，进料管道20中设置有过滤器25；

出料管道30，该出料管道30连接光刻涂胶设备50，如连接光刻涂胶设备50上既有的光阻剂进料接口55；需要说明的是，光刻涂胶设备可以包括光刻机工作台中既有的光刻胶涂胶设备，也可以是固定连接于光刻设备的独立的光刻胶涂胶设备；

供液泵40，该工业泵40设置在进料管道20和出料管道30之间，并且与控制电路10的第一输出端电连接；

控制电路10，该控制电路10的输入端电连接光刻涂胶设备50上既有的信号输出接口52，例如通过信号线70连接控制电路10的输入端与光刻涂胶设备50的信号输出接口52。

在使用该外接式光阻剂供应装置100时，分别将进料管道20和出料管道30连接于光阻剂存储装置和光刻涂胶设备50，并将控制电路10的输入端连接信号输出接口52，光刻涂胶设备50根据所在实行的工艺发出供液信号和停止信号，控制电路10响应供液信号以启动供液泵40向光阻剂进料接口55供应光阻剂，或响应停止信号停止供液泵40工作。

在上述方案中，外接式光阻剂供应装置独立于光刻涂胶设备，不影响光刻涂胶设备本身的结构，且能够使用光刻涂胶设备既有的各类接口实现快速连接和脱离，便于切换使用不同的光阻剂，实现产品的快速切换，当脱离后，可以独立地进行清洗、维护保养作业，不占用光刻涂胶设备的生产时间，具有节省时间成本和提升产能的优点。

在一些实施方案中，如图2所示的外接式光阻剂供应装置100，出料管道30中设置有气动回吸阀31，气动回吸阀31的压力输送口连接压缩空气管道33，压缩空气管道33中设置有电磁阀32，电磁阀32用于控制压缩空气管道33的通断。当电磁阀32打开时，向气动回吸阀31的回吸机构提供压缩空气，使得回吸机构回复至初始状态，以保证气动回吸阀31的正常工作。

在一些实施方案中，如图2所示，在设置气动回吸阀31和电磁阀32的基础上，控制电路10设置有第二输出端，该第二输出端电连接电磁阀32，此时，控制电路10还用于响应光刻涂胶设备50发出的回复信号，从而向气动回吸阀31提供压缩空气，使得气动回吸阀31的回吸机构回复至初始状态。

在一些实施方案中，如图2所示的外接式光阻剂供应装置100，还包括液晶触控面板11，相应的，为了安装液晶触控面板11，箱体设置有与液晶触控面板11相适配、以供液晶触控面板11的触控显示区域露出的开口，并且液晶触控面板11电连接控制电路10，通过液晶触控面板11显示和调节外接式光阻剂供应装置100的工作参数。例如，当外接式光阻剂供应装置100设置有气动回吸阀31和电磁阀32时，液晶触控面板11用于设定吐出胶量、吐胶偏差校准、吐胶速度、吐胶延时、回吸速度、回吸延时中的任意一个或任意组合的参数，图3示出了一种可能的参数组合，图中，吐出胶量表示吐出胶量，偏差校准表示吐胶偏差校准，吐出速度表示吐胶速度，吐出延时表示吐胶延时。

在一些实施方案中，如图2所示的外接式光阻剂供应装置100，其出料管道30的出料端设置有快速接头35，快速接头35用于连接光刻涂胶设备50的进料接口，从而能够方便地与光刻涂胶设备50的管路连接和脱离，方便替换，节省时间。

在一些实施方案中，如图2所示，外接式光阻剂供应装置100所连接的光阻剂存储装置，包括储存罐81和计量罐82，储存罐81和计量罐82之间通过连通管道83连接，外接式光阻剂供应装置100的进料管道20连接计量罐82。需要说明的是，储存罐81中还可以设置有氮气管路89，以提供保护气体，或者通过压力向计量罐82中转移光阻剂。

在一些实施方案中，如图2所示，光阻剂存储装置包括排放罐84，计量罐82和排放罐84之间设置有第一排放管道85，第一排放管道85设置有第一控制阀86，以控制计量罐82向排放罐84中排出光阻剂。

在一些实施方案中，如图2所示，光阻剂存储装置包括排放罐84，过滤器25和排放罐84之间设置有第二排放管道87，第二排放管道87设置有第二控制阀88，以控制过滤器25向排放罐84中排出光阻剂。

在一些实施方案中，如图2所示，排放罐84被设置成能够连接排放罐84和过滤器25，其具体的连接方式参考前述实施方案，此处不再赘述。

在一些实施方案中，如图2所示，光刻涂胶设备50设置有电源接口51，外接式光阻剂供应装置的控制电路10电连接该电源接口51，直接从光刻涂胶设备50处获取电能。例如，当光刻涂胶设备50是光刻机工作台中的光刻涂胶设备50，光刻机工作台设置有电源接口，外接式光阻剂供应装置100的控制电路10通过电源线60电连接电源接口51。

在一些实施方案中，如图2所示，光刻涂胶设备50设置有压缩空气接口53，外接式光阻剂供应装置100的压缩空气管道33连接压缩空气接口53。

在一些实施方案中，如图2所示，光刻涂胶设备50同时具有能够与外接式光阻剂供应装置100相连的电源接口51和压缩空气接口53，设备之间的具体连接方式参考前述实施方案，此处不再赘述。

本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种外接式光阻剂供应装置，其特征在于，包括箱体以及安装在所述箱体中的光阻剂供应部和控制电路，所述光阻剂供应部包括：

连接光阻剂存储装置的进料管道；

连接光刻涂胶设备的出料管道；

设置于所述进料管道的过滤器；

设置于所述进料管道与所述出料管道之间的供液泵；

所述控制电路的输入端电连接所述光刻涂胶设备的信号输出接口，所述控制电路的第一输出端电连接所述供液泵，用于响应供液信号以启动所述供液泵，以及响应停止信号以停止所述供液泵，其中，所述供液信号和所述停止信号为所述光刻涂胶设备发出的信号。

2.根据权利要求1所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述出料管道设置有气动回吸阀，所述气动回吸阀的压力输送口连接压缩空气管道；

所述压缩空气管道设置有电磁阀，所述电磁阀用于控制向所述气动回吸阀的回吸机构提供压缩空气，以使所述回吸机构回复至初始状态。

3.根据权利要求2所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述控制电路的第二输出端电连接所述电磁阀，所述控制电路还用于响应回复信号，以向所述气动回吸阀提供压缩空气，其中，所述回复信号为所述光刻涂胶设备发出的信号。

4.根据权利要求3所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述外接式光阻剂供应装置还包括液晶触控面板，所述箱体设置有与所述液晶触控面板相适配、以供所述液晶触控面板的触控显示区域露出的开口，所述液晶触控面板电连接所述控制电路。

5.根据权利要求4所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述液晶触控面板用于设定涂胶量、涂胶量偏差值、涂胶速度、涂胶延时、回吸速度、回吸延时中的至少一个参数。

6.根据权利要求1所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述出料管道的出料端设置有快速接头，所述快速接头连接所述光刻涂胶设备的进料接口。

7.根据权利要求1所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述光阻剂存储装置包括储存罐和计量罐，所述储存罐和所述计量罐通过连通管道连接，所述进料管道连接所述计量罐。

8.根据权利要求7所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述光阻剂存储装置还包括排放罐，所述计量罐通过第一排放管道连接所述排放罐，所述第一排放管道设置有第一控制阀；

和/或，所述过滤器通过第二排放管道连接所述排放罐，所述第二排放管道设置有第二控制阀。

9.根据权利要求2所述的外接式光阻剂供应装置，其特征在于，所述光刻涂胶设备设置有电源接口，所述外接式光阻剂供应装置的控制电路电连接所述电源接口；

和/或，所述光刻涂胶设备设置有压缩空气接口，所述压缩空气管道连接所述压缩空气接口。

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