CN218610573U - 一种光罩清洗治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光罩清洗治具，包括支撑架、固定装置、清洗装置及驱动装置，支撑架包括底架及转动式设于底架上的转动架，固定装置包括固定于转动架上的固定柱，固定柱的一侧设有用于固定光罩的限位夹块，清洗装置包括设于底架上的固定架，及设于固定架上的清洁组件，清洁组件包括设于固定架上的清洁刷、储液罐组件，及与储液罐组件连接的喷头组件，驱动装置包括设于底架上的第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴连接转动架。通过将待清洗的光罩固定于限位夹块上，通过第一驱动电机带动光罩进行转动，并基于清洗组件对光罩进行快速清洗，清洗完成后继续通过第一驱动电机带动光罩进行转动，通过离心力的作用将光罩进行干燥，提高清洗效率。

Description

一种光罩清洗治具

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，特别涉及一种光罩清洗治具。

背景技术

芯片制程中的黄光站是将光罩上的图形复制到晶圆上的站点，黄光站主要工序是涂胶、曝光、显影和目检，在曝光工序中，光罩是非常重要的治具之一，在正常生产过程中光罩容易脏污，所以，清洗光罩是黄光站点重要的日常工作之一。

现有技术中，通常业内使用槽式浸没泡洗，药液槽中配制清洗药液，及超声辅助完成清洗动作，而采用槽式浸泡清洗容易残留水印，且清洗时间较长，清洗效率较低。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光罩清洗治具，旨在解决现有技术中清洗效率较低的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下技术方案来实现的：一种光罩清洗治具，包括：

支撑架，所述支撑架包括底架及转动式设于所述底架上的转动架，

固定装置，所述固定装置包括固定于所述转动架上的若干个固定柱，所述固定柱远离所述转动架的一侧设有用于固定光罩的限位夹块；

清洗装置，所述清洗装置包括设于所述底架上的固定架，及设于所述固定架上的清洁组件，所述清洁组件包括设于所述固定架上的清洁刷、储液罐组件，及与所述储液罐组件连接的喷头组件；

驱动装置，所述驱动装置包括设于所述底架上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴连接所述转动架。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过设置支撑架，支撑架包括底架及转动式设于底架上的转动架，转动架上设有固定柱，固定柱上设有用于固定光罩的限位夹块，底架上设有固定架，固定架上设有清洁组件，清洁组件包括设于固定架上的清洁刷、储液罐组件及喷头组件，底架上设有第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴连接转动架，通过将待清洗的光罩固定于限位夹块上，通过第一驱动电机带动光罩进行转动，并基于清洗组件对光罩进行快速清洗，清洗完成后继续通过第一驱动电机带动光罩进行转动，通过离心力的作用将光罩进行干燥，提高清洗效率。

根据上述技术方案的一方面，所述固定柱包括固定于所述转动架上的第一固定柱、铰接于所述第一固定柱上的第二固定柱，及铰接与所述第二固定柱上的第三固定柱，所述限位夹块设于所述第三固定柱的一端。

根据上述技术方案的一方面，所述固定架包括固定于所述底架上的纵向导轨，及滑动式设于所述纵向导轨上的安装架，所述清洁刷固定于所述安装架上。

根据上述技术方案的一方面，所述纵向导轨上开设有容纳槽，所述驱动装置还包括设于所述容纳槽内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述安装架之间设有传动机构。

根据上述技术方案的一方面，所述传动机构包括设于所述第二驱动电机的输出轴一侧的丝杆，所述丝杆上螺接有螺母座，所述螺母座连接所述安装架。

根据上述技术方案的一方面，所述固定柱远离所述转动架的一端外壁凹陷设置有卡槽，所述限位夹块靠近所述卡槽设置。

根据上述技术方案的一方面，所述储液罐组件包括设于所述固定架上的第一储液罐及第二储液罐。

根据上述技术方案的一方面，所述喷头组件包括分别与所述第一储液罐及所述第二储液罐连接的若干个第一喷头及第二喷头，若干个所述第一喷头与所述第二喷头交错间隔设置。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中光罩清洗治具第一视角的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中光罩清洗治具第二视角的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例中固定柱折叠状态的结构示意图；

主要元件符号说明：

支撑架	10	底架	11
				转动架	12	固定柱	20
第一固定柱	21	第二固定柱	22
				第三固定柱	23	卡槽	24
限位夹块	25	清洁刷	31
				第一喷头	32	第二喷头	33
第一储液罐	34	第二储液罐	35
				固定架	50	纵向导轨	52
安装架	51	第二驱动电机	61
				丝杆	62	螺母座	63

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图3，所示为本实用新型一实施例中的光罩清洗治具，包括：

支撑架10，所述支撑架10包括底架11及转动式设于所述底架11上的转动架12，

固定装置，所述固定装置包括固定于所述转动架12上的若干个固定柱20，所述固定柱20远离所述转动架12的一侧设有用于固定光罩的限位夹块25；

清洗装置，所述清洗装置包括设于所述底架11上的固定架50，及设于所述固定架50上的清洁组件，所述清洁组件包括设于所述固定架50上的清洁刷31、储液罐组件，及与所述储液罐组件连接的喷头组件；

驱动装置，所述驱动装置包括设于所述底架11上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴连接所述转动架12。

具体来说，本实施例中的光罩清洗治具，通过设置支撑架10，支撑架10包括底架11及转动式设于底架11上的转动架12，转动架12上设有固定柱20，固定柱20上设有用于固定光罩的限位夹块25，底架11上设有固定架50，固定架50上设有清洁组件，清洁组件包括设于固定架50上的清洁刷31、储液罐组件及喷头组件，底架11上设有第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴连接转动架12，通过将待清洗的光罩固定于限位夹块25上，通过第一驱动电机带动光罩进行转动，并基于清洗组件对光罩进行快速清洗，清洗完成后继续通过第一驱动电机带动光罩进行转动，通过离心力的作用将光罩进行干燥，提高清洗效率。

具体来说，在本实施例中，上述固定柱20的数量为四个，并均匀间隔设于上述转动架12的四个边角处，上述固定柱20远离所述转动架12的一端外壁凹陷设置有卡槽24，所述限位夹块25靠近所述卡槽24设置。

优选地，在本实施例中，上述固定柱20包括固定于所述转动架12上的第一固定柱21、铰接于所述第一固定柱21上的第二固定柱22，及铰接与所述第二固定柱22上的第三固定柱23，所述限位夹块25设于所述第三固定柱23的一端。

可以理解地，在本实施例的一些应用场景中，针对不同尺寸规格的光罩，通过调节第二固定柱22的角度，可以调节第三固定柱23与第一固定柱21之间的距离，以实现不同尺寸光罩的装载。

进一步地，在实施例中，上述固定架50包括固定于所述底架11上的纵向导轨52，及滑动式设于所述纵向导轨52上的安装架51，所述清洁刷31固定于所述安装架51上。可以理解地，通过设置纵向导轨52及滑动式设于纵向导轨52上的安装架51，将清洁刷31固定于安装架51上，以调节清洁刷31的高度，通过将清洁刷31远离限位夹块25一侧移动，可便于光罩的放置，此外，由于在上述固定柱20的调节过程中，第三固定柱23的水平高度会发生变化，上述清洁刷31可以根据第三固定柱23的高度进行相应调节，实现对光罩的刷洗清洁。

优选地，在本实施例中，上述纵向导轨52上开设有容纳槽，所述驱动装置还包括设于所述容纳槽内的第二驱动电机61，所述第二驱动电机61与所述安装架51之间设有传动机构。具体来说，在本实施例中，上述传动机构包括设于所述第二驱动电机61的输出轴一侧的丝杆62，所述丝杆62上螺接有螺母座63，所述螺母座63连接所述安装架51。

此外，在本实施例中，上述储液罐组件包括设于所述固定架50上的第一储液罐34及第二储液罐35，上述喷头组件包括分别与所述第一储液罐34及所述第二储液罐35连接的若干个第一喷头32及第二喷头33，若干个所述第一喷头32与所述第二喷头33交错间隔设置。在本实施例的一些应用场景中，上述第一储液罐34用于放置丙酮溶液，上述第一储液罐34用于放置DI水(去离子水)，相对于现有技术中通过在药液槽中配置硫酸溶液，硫酸溶液需要手动配置，同时安全性相对较低。

在本实施例的一些应用场景中，在对光罩进行清洗时，首先对固定柱20，进行调节以适配待清洁光罩的尺寸，然后将光罩通过限位夹块25固定于固定柱20上，保证铬面朝上，玻璃面朝下，通过第二驱动电机61，带动清洁组件靠近光罩移动，然后控制水泵将第一储液罐34中的丙酮溶液通过第一喷头32覆盖在光罩的铬面上，静置1分钟，然后通过启动第一驱动电机控制转动架12低速旋转，基于清洁刷31对光罩进行刷洗，再通过第二储液罐35中的DI水对光罩进行冲洗，冲洗完毕后，基于第一驱动电机控制转动架12高速旋转，在离心作用下将DI水甩干，完成光罩的清洁，冲洗完毕后可以通过强光灯对清洁效果进行观察检测。

综上，本实用新型上述实施例当中的光罩清洗治具，通过设置支撑架10，支撑架10包括底架11及转动式设于底架11上的转动架12，转动架12上设有固定柱20，固定柱20上设有用于固定光罩的限位夹块25，底架11上设有固定架50，固定架50上设有清洁组件，清洁组件包括设于固定架50上的清洁刷31、储液罐组件及喷头组件，底架11上设有第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴连接转动架12，通过将待清洗的光罩固定于限位夹块25上，通过第一驱动电机带动光罩进行转动，并基于清洗组件对光罩进行快速清洗，清洗完成后继续通过第一驱动电机带动光罩进行转动，通过离心力的作用将光罩进行干燥，提高清洗效率，通过调节第二固定柱22的角度，可以调节第三固定柱23与第一固定柱21之间的距离，以实现不同尺寸光罩的装载。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种光罩清洗治具，其特征在于，包括：

支撑架，所述支撑架包括底架及转动式设于所述底架上的转动架，

固定装置，所述固定装置包括固定于所述转动架上的若干个固定柱，所述固定柱远离所述转动架的一侧设有用于固定光罩的限位夹块；

清洗装置，所述清洗装置包括设于所述底架上的固定架，及设于所述固定架上的清洁组件，所述清洁组件包括设于所述固定架上的清洁刷、储液罐组件，及与所述储液罐组件连接的喷头组件；

驱动装置，所述驱动装置包括设于所述底架上的第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴连接所述转动架。

2.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述固定柱包括固定于所述转动架上的第一固定柱、铰接于所述第一固定柱上的第二固定柱，及铰接与所述第二固定柱上的第三固定柱，所述限位夹块设于所述第三固定柱的一端。

3.根据权利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述固定架包括固定于所述底架上的纵向导轨，及滑动式设于所述纵向导轨上的安装架，所述清洁刷固定于所述安装架上。

4.根据权利要求3所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述纵向导轨上开设有容纳槽，所述驱动装置还包括设于所述容纳槽内的第二驱动电机，所述第二驱动电机与所述安装架之间设有传动机构。

5.根据权利要求4所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述传动机构包括设于所述第二驱动电机的输出轴一侧的丝杆，所述丝杆上螺接有螺母座，所述螺母座连接所述安装架。

6.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述固定柱远离所述转动架的一端外壁凹陷设置有卡槽，所述限位夹块靠近所述卡槽设置。

7.根据权利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述储液罐组件包括设于所述固定架上的第一储液罐及第二储液罐。

8.根据权利要求7所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述喷头组件包括分别与所述第一储液罐及所述第二储液罐连接的若干个第一喷头及第二喷头，若干个所述第一喷头与所述第二喷头交错间隔设置。

Images