CN218583178U - 干蚀刻设备的尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种干蚀刻设备的尾气处理装置，包括燃烧室，燃烧室内设置有点火器，点火器的外周设置有内部循环流通有冷却水的冷却水管，蚀刻室上设置有与燃烧室连通的第一输气管，第一输气管上设置有第一抽气泵，还包括第一排水管和第一液位传感器，第一排水管与第一输气管连通，第一排水管上设置有第一电磁阀，第一液位传感器设置于燃烧室内与第一输气管的底沿相齐平，用于测量蚀刻室内由冷却水管泄漏的冷却水水位，第一液位传感器连接有控制器，控制器与第一电磁阀电连接，以控制第一排水管启闭。本实用新型能将泄漏的冷却水排出尾气处理装置，避免库冷却水回流入输气管中并冲击抽气泵，对抽气泵起到保护的作用。

Description

干蚀刻设备的尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及刻蚀技术领域，尤其涉及一种干蚀刻设备的尾气处理装置。

背景技术

现有技术中，刻蚀是用化学或物理的方法有选择地从基材的表面去除不需要的材料的过程，刻蚀后所产生的尾气里包含的未反应气体、反应中间产物及反应产生物质若直接排入大气会造成严重污染，需要经过尾气处理后才可排入大气中。现有的尾气处理方法，有直接燃烧法，也称为直接火焰燃烧，将产生的尾气排入燃烧室内，通过点火器将燃烧室内的废气中可燃有害成分当做燃料直接烧掉。

现有技术存在以下缺陷：由于点火器在点燃废气时燃烧室内的温度升高，为确保点火器能够维持正常运作，在其周围会设置冷却管道，在冷却管道内循环输送冷却水对点火器进行降温。但燃烧室内充斥的废气易对冷却管道进行腐蚀，从而出现冷却水泄漏的情况，泄漏出来的冷却水回流至废气的输气管中并冲击抽气泵，导致抽气泵损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种干蚀刻设备的尾气处理装置，能将泄漏的冷却水排出尾气处理装置，避免冷却水回流入输气管中并冲击抽气泵，对抽气泵起到保护的作用。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种干蚀刻设备的尾气处理装置，包括蚀刻室和燃烧室，所述燃烧室内设置有点火器，所述点火器的外周设置有内部循环流通有冷却水的冷却水管，所述蚀刻室上设置有与所述燃烧室连通的第一输气管，所述第一输气管上设置有第一抽气泵，用于将所述蚀刻室内的废气抽入所述燃烧室中，还包括：

第一排水管，其与所述第一输气管连通，所述第一排水管上设置有第一电磁阀；

第一液位传感器，其设置于所述燃烧室内与所述第一输气管的底沿相齐平，用于测量所述蚀刻室内由所述冷却水管泄漏的冷却水水位，所述第一液位传感器连接有控制器，所述控制器与所述第一电磁阀电连接，以控制所述第一排水管启闭。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述第一输气管呈水平设置，所述第一输气管的底部在所述蚀刻室与所述第一排水管之间设置有倾斜面，所述倾斜面朝向远离所述蚀刻室的方向逐步地向下倾斜。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述第一排水管的出水端设置有存储室，所述存储室上设置有与所述第一输气管连通的第二输气管，所述第二输气管上设置有第二抽气泵，用于将存储室内的废气抽入所述燃烧室中，所述存储室上设置有第二排水管，所述第二排水管上设置有第二电磁阀。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述第二输气管的一端设置于所述存储室的顶部，另一端连接于所述第一输气管的上部，所述第二排水管设置于所述存储室的底部。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述存储室的底部设置为锥面，所述锥面朝向所述第二排水管的进水端倾斜，用于导向冷却水流入所述第二排水管内。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述第二输气管远离所述存储室的一端位于所述第一输气管的顶部。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述第二排水管的出水端设置有收集槽。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述存储室内设置有与所述控制器连接的第二液位传感器，所述控制器与所述第二电磁阀电连接，以控制所述第二排水管启闭。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述燃烧室上设置有助燃气进口。

作为干蚀刻设备的尾气处理装置的一种优选方案，所述燃烧室外设置有循环泵，所述冷却水管与所述循环泵连通。

本实用新型的有益效果：本实用新型的干蚀刻设备的尾气处理装置通过在第一输气管上增设第一排水管。当第一抽气泵抽取废气进入燃烧室时，第一排水管的第一电磁阀处于闭合状态，以确保废气能够通过第一输气管顺利进入燃烧室内。当冷却水管被燃烧室内部的废气腐蚀破损后，冷却水管内部的冷却水泄漏并存积至燃烧室的底部，直至存积的冷却水的液位高于第一输气管的底部时，第一液位传感器发送信号至控制器，控制器启动第一电磁阀开启，从而将要回流至输气管并冲击第一抽气泵的冷却水自排水管排出，达到了保护第一抽气泵的作用。

附图说明

图1是本实用新型实施例的干蚀刻设备的尾气处理装置的剖面结构示意图。

图中：

1、蚀刻室；11、第一输气管；111、第一排水管；1111、倾斜面；112、第一电磁阀；12、第一抽气泵；

2、燃烧室；21、点火器；22、冷却水管；23、循环泵；24、助燃气进口；25、第一液位传感器；26、控制器；

3、存储室；30、锥面；31、第二输气管；32、第二抽气泵；33、第二排水管；331、第二电磁阀；34、收集槽；35、第二液位传感器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

基于上文述及的内容，如图1所示，本实施例提供了一种干蚀刻设备的尾气处理装置，包括蚀刻室1和燃烧室2。蚀刻室1内进行刻蚀加工作业，燃烧室2内设置有点火器21，点火器21对燃烧室2内的气体进行火焰燃烧处理，以此直接净化可燃的有害组分浓度较高或是燃烧时热值较高的废气。燃烧室2的顶部开设有与其内部连通的助燃气进口24，助燃气进口24通过助燃管路连接有注气泵，注气泵将助燃的气体由助燃气进口24注入燃烧室2内。示例性地，助燃的气体可以是氮气等，在此不作一一罗列。

为确保点火器21在燃烧室2的高温环境下能够维持正常运作，点火器21的外周通过支架固定盘绕有冷却水管22，冷却水管22的内部循环流通有冷却水，燃烧室2的外部设置有循环泵23和冷却装置，冷却水管22的进口和出口与循环泵23和冷却装置连通，通过循环泵23实现冷却水的循环流动，通过冷却装置实现冷却水的降温。因点火器21和冷却装置均为现有技术，故本实施例不作进一步赘述。

进一步地，蚀刻室1上设置有与燃烧室2连通的第一输气管11，第一输气管11上设置有第一抽气泵12，第一抽气泵12设置于蚀刻室1的外壁上，通过启动第一抽气泵12能够将蚀刻室1内产生的废气抽入燃烧室2中进行处理。

基于上文，由于燃烧室2内充斥的废气易对冷却水管22产生腐蚀，从而出现冷却水泄漏的情况，泄漏出来的冷却水回流至第一输气管11中并冲击第一抽气泵12，会导致第一抽气泵12损坏。

为解决上述问题，如图1所示，本实施例的干蚀刻设备的尾气处理装置还包括第一排水管111和第一液位传感器25。第一排水管111与第一输气管11连通，第一排水管111上设置有第一电磁阀112，第一液位传感器25设置于燃烧室2内与第一输气管11的底沿相齐平，用于测量蚀刻室1内由冷却水管泄漏的冷却水水位，第一液位传感器25连接有控制器26，控制器26与第一电磁阀112电连接，以控制第一排水管111启闭。

可以理解的是，通过在第一输气管11上增设第一排水管111。当第一抽气泵12抽取废气进入燃烧室2时，第一排水管111的第一电磁阀112处于闭合状态，以确保废气能够通过第一输气管11顺利进入燃烧室2内。当冷却水管22被燃烧室2内部的废气腐蚀破损后，冷却水管22内部的冷却水泄漏并存积至燃烧室2的底部，直至存积的冷却水的液位高于第一输气管11的底部时，第一液位传感器25发送信号至控制器26，控制器26启动第一电磁阀112开启，从而将要回流至输气管并冲击第一抽气泵12的冷却水自排水管排出，达到了保护第一抽气泵12的作用。

其中，第一输气管11呈水平设置，第一排水管111呈竖直设置，第一输气管11的底部在蚀刻室1与第一排水管111之间设置有倾斜面1111，倾斜面1111朝向远离蚀刻室1的方向逐步地向下倾斜，且第一液位传感器25与倾斜面1111的最低点齐平或位于倾斜面1111的最高点与最低点之间，倾斜面1111的设置能够确保冷却水在回流至第一输气管11的第一抽气泵12时，率先流进第一排水管111并排出第一输气管11。

为了避免还未燃烧的废气通过第一排水管111与冷却水一并排出。如图1所示，第一排水管111的出水端还设置有存储室3，存储室3上设置有与第一输气管11连通的第二输气管31，第二输气管31上设置有第二抽气泵32，用于将存储室3内的废气抽入燃烧室2中，存储室3上设置有第二排水管33，第二排水管33上设置有第二电磁阀331，存储室3内设置有与控制器26连接的第二液位传感器35，控制器26与第二电磁阀331电连接，以控制第二排水管33启闭。

可以理解的是，冷却水和残留于第一输气管11及燃烧室2内未燃烧处理完毕的废气通过第一排水管111进入存储室3内。当第一液位传感器25测得燃烧室2内冷却水的液面低于倾斜面1111的最低点或第二液位传感器35测得存储室3内的冷却水液面濒临预设阈值时，第一液位传感器25或第二液位传感器35发送信号至控制器26，控制器26启动第一电磁阀112关闭，而后启动第二抽气泵32将存储室3内的废气再次抽入第一输气管11内，并启动第一抽气泵12继续将蚀刻室1内的废气抽入燃烧室2内，在废气排放完毕后，启动第二电磁阀331开启，存储室3内的冷却水自第二排水管33排出。

其中，因液体的密度大于气体的密度，同步进入存储室3的冷却水和废气，冷却水将位于存储室3的下方，废气位于存储室3的上方，故第二输气管31设置于存储室3的顶部，第二排水管33设置于存储室3的底部，第二输气管31远离存储室3的一端位于第一输气管11的上部。

进一步地，为了确保存储室3内的冷却水能够尽数排出，避免存积。存储室3的底部设置为锥面30，锥面30朝向第二排水管33的进水端倾斜，能够导向冷却水流入第二排水管33内排出。其中，第二排水管33的出水端设置有收集槽34，冷却水存入收集槽34内以便操作人员进行后续处理。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种干蚀刻设备的尾气处理装置，包括燃烧室、点火器和第一输气管，所述燃烧室内设置有所述点火器，所述点火器的外周设置有冷却水管，所述冷却水管内部循环流通有冷却水，所以第一输气管的一端与所述燃烧室连通，另一端用于连通干蚀刻设备的蚀刻室，所述第一输气管上设置有第一抽气泵，用于将所述蚀刻室内的废气抽入所述燃烧室中，其特征在于，还包括：

第一排水管，其与所述第一输气管连通，所述第一排水管上设置有第一电磁阀；

第一液位传感器，其设置于所述燃烧室内与所述第一输气管的底沿相齐平，用于测量所述蚀刻室内由所述冷却水管泄漏的冷却水水位，所述第一液位传感器连接有控制器，所述控制器与所述第一电磁阀电连接，以控制所述第一排水管启闭。

2.根据权利要求1所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第一输气管呈水平设置，所述第一输气管的底部在所述蚀刻室与所述第一排水管之间设置有倾斜面，所述倾斜面朝向远离所述蚀刻室的方向逐步地向下倾斜。

3.根据权利要求1所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第一排水管的出水端设置有存储室，所述存储室上设置有与所述第一输气管连通的第二输气管，所述第二输气管上设置有第二抽气泵，用于将所述存储室内的废气抽入所述第一输气管中，所述存储室上设置有第二排水管，所述第二排水管上设置有第二电磁阀，所述第二电磁阀与所述控制器连接。

4.根据权利要求3所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第二输气管的一端设置于所述存储室的顶部，另一端连接于所述第一输气管的上部，所述第二排水管设置于所述存储室的底部。

5.根据权利要求4所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述存储室的底部设置为锥面，所述锥面朝向所述第二排水管的进水端倾斜，用于导向冷却水流入所述第二排水管内。

6.根据权利要求3所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第二输气管远离所述存储室的一端位于所述第一输气管的顶部。

7.根据权利要求3所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述第二排水管的出水端设置有收集槽。

8.根据权利要求3所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述存储室内设置有与所述控制器连接的第二液位传感器，所述控制器与所述第二电磁阀电连接，以控制所述第二排水管启闭。

9.根据权利要求1所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧室上设置有助燃气进口。

10.根据权利要求1所述的干蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧室外设置有循环泵，所述冷却水管与所述循环泵连通。

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